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特許7079332ＣＭＰ研磨パッドコンディショナ
発明の名称 ＣＭＰ研磨パッドコンディショナ
出願人 インテグリス・インコーポレーテッド （識別番号 505307471）
特許公開件数ランキング 300 位（103件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 340 位（75件）（共同出願を含む）
出願人 ユニヴァーシティ オブ フロリダ リサーチ ファウンデーション，インコーポレーテッド （識別番号 511300927）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7079332
公報発行日 2022年6月1
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7079332
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