特許 7080349 防着部材及び真空処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-05-26

(45)【発行日】2022-06-03

(54)【発明の名称】防着部材及び真空処理装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/00 20060101AFI20220527BHJP

【ＦＩ】

C23C14/00 B

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020563026

(86)(22)【出願日】2019-12-09

(86)【国際出願番号】 JP2019048078

(87)【国際公開番号】W WO2020137489

(87)【国際公開日】2020-07-02

【審査請求日】2020-12-01

(31)【優先権主張番号】P 2018243949

(32)【優先日】2018-12-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】110003339

【氏名又は名称】特許業務法人南青山国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100104215

【弁理士】

【氏名又は名称】大森 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100196575

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 満

(74)【代理人】

【識別番号】100168181

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 哲平

(74)【代理人】

【識別番号】100144211

【弁理士】

【氏名又は名称】日比野 幸信

(72)【発明者】

【氏名】阪上 弘敏

(72)【発明者】

【氏名】大野 哲宏

【審査官】篠原 法子

(56)【参考文献】

【文献】特開平１０－０４６３３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０５４１２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３６３７４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－３３５９３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－０６０６２４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／００ －１４／５８

Ｈ０５Ｈ １／４６

Ｈ０１Ｌ ２１／２０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

プラズマを用いた真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材であって、
枠状の防着本体部材と、
前記防着本体部材を前記真空槽内の放電空間側に密着した状態で保持する枠状の保持部材とを備え、
前記防着本体部材が、前記保持部材の前記放電空間側の面と反対側の面から複数の締結部材によって固定されるとともに、当該各締結部材は、それぞれの先端部分が前記防着本体部材の前記放電空間側の面から当該放電空間側に露出しないように構成され、
前記防着本体部材の各構成部材の周縁部には、前記真空槽内の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部と、前記プラズマ遮蔽用の壁部に対して外方側に延びるように、前記保持部材に対する取付部がそれぞれ設けられている防着部材。

【請求項2】

前記保持部材の前記防着本体部材側の面に、当該防着本体部材を冷却する冷却部が設けられている請求項１記載の防着部材。

【請求項3】

前記真空槽内において概ね鉛直方向に向けて配置するように構成されている請求項１又は２項記載の防着部材。

【請求項4】

真空槽と、前記真空槽内に設けられ、プラズマを用いた真空処理の際に発生する物質の前記真空槽内への付着を防止する防着部材とを備え、
前記防着部材は、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を前記真空槽内の放電空間側に密着した状態で保持する枠状の保持部材とを有し、前記防着本体部材が、前記保持部材の前記放電空間側の面と反対側の面から複数の締結部材によって固定されるとともに、当該各締結部材は、それぞれの先端部分が前記防着本体部材の前記放電空間側の面から当該放電空間側に露出しないように構成され、
前記防着本体部材の各構成部材の周縁部には、前記真空槽内の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部と、前記プラズマ遮蔽用の壁部に対して外方側に延びるように、前記保持部材に対する取付部がそれぞれ設けられ、
前記防着部材の近傍に配置された処理対象物に対して所定の真空処理を行うように構成されている真空処理装置。

【請求項5】

スパッタリングターゲットが配置される前記真空槽を有し、前記防着部材の近傍に配置される処理対象物に対してスパッタリングを行うように構成されている請求項４記載の真空処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばスパッタリング装置等の真空処理装置に用いる防着部材の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、この種の真空処理装置においては、スパッタリング等の真空処理を行う際に真空槽内の壁面等に対する成膜材料等の付着を防止するため、板状の防着部材が設けられている。

【0003】

この防着部材は、例えばスパッタリング装置のようなプラズマ処理を行う放電空間の基板の近傍に設けられている。

【0004】

この場合、防着部材は真空槽内において基板と平行な方向に向けて例えば枠状の保持部材に取り付けられる。

【0005】

従来、このような防着部材は、多数のボルトを用いて保持部材に取り付けられている。
しかし、保持部材に取り付けられた防着部材においては、種々の課題がある。

【0006】

すなわち、スパッタリング等の成膜時には防着部材に対しても成膜材料が付着する。その際にはボルトの表面にも成膜材料が付着してパーティクルの発生の原因になる。このため、各ボルトに対して成膜材料の付着を防止するためのキャップを取り付けるようにしているが、このキャップに付着した成膜材料もパーティクルの発生の原因になる。

【0007】

また、防着部材は保持部材に対して多数のボルトを用いて放電空間側から取り付けられているので、放電の際の熱による防着部材の伸びに起因して保持部材との間で擦れが生じ、これによりパーティクルが発生してしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】特開平４－７８１３２号公報

【文献】特開平１０－０６０６２４号公報

【文献】特開２００４－３１５９４８号公報

【文献】国際公開２００６－０６７８３６号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、真空処理の際に放電空間に配置される防着部材から発生するパーティクルを抑制することができる技術を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記目的を達成するためになされた本発明は、プラズマを用いた真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材であって、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を前記真空槽内の放電空間側に密着した状態で保持する枠状の保持部材とを備え、前記防着本体部材が、前記保持部材の前記放電空間側の面と反対側の面から複数の締結部材によって固定されるとともに、当該各締結部材は、それぞれの先端部分が前記防着本体部材の前記放電空間側の面から当該放電空間側に露出しないように構成されている防着部材である。
本発明は、前記保持部材の前記防着本体部材側の面に、当該防着本体部材を冷却する冷却部が設けられている防着部材である。
本発明は、前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記真空槽内の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている防着部材である。
本発明は、前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記プラズマ遮蔽用の壁部に対して外方側に延びるように、前記保持部材に対する取付部が設けられている防着部材である。
本発明は、前記真空槽内において概ね鉛直方向に向けて配置するように構成されている防着部材である。
本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられた上述したいずれかの防着部材とを備え、前記防着部材の近傍に配置された処理対象物に対して所定の真空処理を行うように構成されている真空処理装置である。
本発明は、スパッタリングターゲットが配置される前記真空槽を有し、前記防着部材の近傍に配置される処理対象物に対してスパッタリングを行うように構成されている真空処理装置である。

【発明の効果】

【0011】

本発明にあっては、防着本体部材が、保持部材の放電空間側の面と反対側の面から複数の締結部材によって固定されるとともに、各締結部材は、それぞれの先端部分が防着本体部材の放電空間側の面から放電空間側に露出しないように構成されていることから、防着本体部材を保持部材に保持させるために従来技術のように多数のカバー付きのボルトを用いる必要がない。

【0012】

その結果、本発明によれば、防着部材の放電空間側の面の凹凸部を減らしてその表面積を小さくすることができるので、真空処理の際に付着した成膜材料等の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。

【0013】

また、本発明によれば、防着本体部材と保持部材とを確実に密着させることができるので、例えば防着部材を鉛直方向に向けて配置した場合であっても、防着部材の反りに起因する防着本体部材と保持部材との間に隙間を生じさせることがない。

【0014】

また、本発明において、保持部材の前記防着本体部材側の面に、防着本体部材を冷却する冷却部が設けられている場合には、防着本体部材と保持部材とが確実に密着することと相俟って、防着部材を確実に冷却することができる。その結果、本発明によれば、放電の際の熱による防着部材の伸びに起因する擦れによるパーティクルの発生を確実に防止することができる。

【0015】

さらに、本発明において、防着本体部材の各構成部材の周縁部に、真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている場合には、防着部材の放電空間側の面に付着する成膜材料等の物質の量を更に減少させることができるので、当該物質の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。

【0016】

さらにまた、本発明において、防着本体部材の各構成部材の周縁部に、プラズマ遮蔽用の壁部から外方側に延びるように、保持部材に対する取付部が設けられている場合には、取付部においてねじを用いて防着本体部材を保持部材に取り付けた場合であっても、真空処理の際に生ずる物質が防着本体部材に設けたプラズマ遮蔽用の壁部によって遮られ、防着本体部材の取付部への付着を防止することができるので、当該物質の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明に係る真空処理装置の例であるスパッタリング装置の内部構成を示す概略構成図

【図2】（ａ）（ｂ）：本発明に係る防着部材の防着本体部材の例を示す概略構成図で、図２（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図２（ｂ）は、放電空間側の反対側から見た正面図

【図3】（ａ）（ｂ）：同防着本体部材の例を示す概略構成図で、図３（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ－Ａ線断面図

【図4】（ａ）～（ｄ）：防着本体部材に設けられる保持部の構成例を示すもので、図４（ａ）は、防着本体部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図４（ｂ）は、防着本体部材の裏側面側から見た状態を示す正面図、図４（ｃ）は、図４（ｂ）のＢ－Ｂ線部分断面図、図４（ｄ）は、図４（ｂ）のＣ－Ｃ線断面図

【図5】（ａ）（ｂ）：本発明に用いる保持部材の例を示す概略構成図で、図５（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図５（ｂ）は、放電空間の反対側から見た正面図

【図6】（ａ）～（ｄ）：保持部材の収容凹部及び孔部の構成例を示すもので、図６（ａ）は、保持部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図６（ｂ）は、保持部材の裏側面側から見た状態を示す正面図、図６（ｃ）は、図６（ａ）のＤ－Ｄ線断面図、図６（ｄ）は、図６（ｂ）のＥ－Ｅ線断面図

【図7】（ａ）（ｂ）：本発明に係る防着部材の例を示す概略構成図で、図７（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図７（ｂ）は、放電空間の反対側から見た正面図

【図8】（ａ）～（ｄ）：本例の防着部材における防着本体部材と保持部材との固定部分を示す図で、図８（ａ）は、保持部材の裏側面側から見た状態を示す正面図、図８（ｂ）は、防着本体部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図８（ｃ）は、図８（ａ）のＧ－Ｇ線断面図、図８（ｄ）は、図８（ａ）のＨ－Ｈ線断面図

【図9】（ａ）（ｂ）：本例の防着部材における防着本体部材の取付部と保持部材との取付部分を示す図で、図９（ａ）は、保持部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＩ－Ｉ線断面図

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係る真空処理装置の例であるスパッタリング装置の内部構成を示す概略構成図である。

【0019】

図２（ａ）（ｂ）は、本発明に係る防着部材の防着本体部材の例を示す概略構成図で、図２（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図２（ｂ）は、放電空間の反対側から見た正面図である。

【0020】

また、図３（ａ）は、同防着本体部材の例を示す概略構成図で、図３（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ－Ａ線断面図である。

【0021】

さらに、図４（ａ）～（ｄ）は、防着本体部材に設けられる保持部の構成例を示すもので、図４（ａ）は、防着本体部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図４（ｂ）は、防着本体部材の裏側面側から見た状態を示す正面図、図４（ｃ）は、図４（ｂ）のＢ－Ｂ線部分断面図、図４（ｄ）は、図４（ｂ）のＣ－Ｃ線断面図である。

【0022】

図１に示すように、本例の防着本体部材１０は、真空処理装置であるスパッタリング装置４０に用いる防着部材３０を構成するもので、接地された真空槽６内の基板８（処理対象物）の近傍において、後述する保持部材２０に保持された状態で配置されている。

【0023】

ここで、本例では、基板８、スパッタリングターゲット（以下、「ターゲット」という。）７及び防着部材３０が概ね鉛直方向に向けて設けられ、防着本体部材１０は、基板８とターゲット７との間の放電空間９においてターゲット７に対向するように配置される。

【0024】

このような構成を有するスパッタリング装置４０では、真空槽６内にスパッタガスを導入し、ターゲット７に負電圧を印加して放電空間９においてプラズマ放電を生じさせる。

【0025】

これにより、負電荷にされたターゲット７がプラズマ中のイオンによってスパッタされ、ターゲット７表面から飛び出したスパッタ粒子によって基板８上に膜が形成される。

【0026】

図２（ａ）（ｂ）に示すように、本例の防着本体部材１０は、例えば直線板状の第１～第４構成部材１～４を有し、開口部１０ａを有する矩形枠状に形成されている。

【0027】

図２（ａ）は、防着本体部材１０の放電空間９側の面即ち表側面１０Ｆを示すものであり、図２（ｂ）には、防着本体部材１０の放電空間９と反対側の面即ち裏側面１０Ｒが示されている。

【0028】

本例の防着本体部材１０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）、ステンレス、チタン（Ｔｉ）等の金属からなり、通常は概ね鉛直方向に向けた状態で配置される。

【0029】

ここで、防着本体部材１０は、上下側に配置されそれぞれ水平方向に延びる第１構成部材１及び第２構成部材２と、第１構成部材１及び第２構成部材２の間において水平方向に関して左右側に配置され鉛直方向に延びる第３構成部材３及び第４構成部材４とを有している。

【0030】

以下、防着本体部材１０の第１構成部材１及び第２構成部材２の長手方向を適宜「Ｘ軸方向」といい、第３構成部材３及び第４構成部材４の長手方向を適宜「Ｚ軸方向」という。

【0031】

本例の第１～第４構成部材１～４は、真空処理時における熱による伸長を考慮して、隣接する部材の両端部同士に若干の隙間を設けて配置される。

【0032】

第１～第４構成部材１～４のうち第１構成部材１と第２構成部材２、並びに、第３構成部材３と第４構成部材４は、防着本体部材１０の中心点を通る直線に関して線対称の形状に形成され配置される。

【0033】

そして、第１～第４構成部材１～４は、後述する保持部材２０に保持される。

【0034】

なお、第１～第４構成部材１～４のそれぞれの周縁部には、第１～第４構成部材１～４の図１に示す放電空間９側（表面側）に向って例えば垂直方向に延びるように形成されたプラズマ遮蔽壁（プラズマ遮蔽用の壁部）１ｃ、２ｃ、３ｃ、４ｃが設けられている。

【0035】

本例の第１～第４構成部材１～４の裏側面１０Ｒには、第１～第４構成部材１～４をそれぞれ保持部材２０に保持させるための、後述する締結保持部材１６を有する保持部１５が、開口部１０ａを取り囲む位置に設けられている。

【0036】

ここで、保持部１５は細長形状に形成され、基本構成が同一である、水平方向に延びる水平保持部１５ｈと、鉛直方向に延びる鉛直保持部１５ｖとを有している。

【0037】

水平保持部１５ｈは、第１及び第２構成部材１、２において、それぞれの長手方向（Ｘ軸方向）に沿って直線状に例えば一列に並べて設けられている。

【0038】

鉛直保持部１５ｖは、第１及び第２構成部材１、２の両端部と第３及び第４構成部材３、４において、第３及び第４構成部材３、４の長手方向（Ｚ軸方向）に沿って直線状に例えば一列に並べて設けられている。

【0039】

本発明の場合、特に限定されることはないが、防着部材３０の反りを防止する観点からは、水平保持部１５ｈ及び鉛直保持部１５ｖは、防着本体部材１０において、第１～第４構成部材１～４の長手方向に対して直交する直線に関して線対称となるようにそれぞれ複数の水平保持部１５ｈ及び鉛直保持部１５ｖを設けることが好ましい。

【0040】

一方、第１～第４構成部材１～４の周縁部には、第１～第４構成部材１～４を保持部材２０に後述するボルトを用いて取り付けるための複数の取付部５が、それぞれプラズマ遮蔽壁１ｃ～４ｃから外方側に延びる（突出する）ように設けられている。

【0041】

これら複数の取付部５には、それぞれ防着本体部材１０を放電空間９側からボルトで取り付けるためのねじ孔５０が設けられている（図３（ａ）参照）。

【0042】

図４（ａ）～（ｄ）に示すように、上述した本例の保持部１５は、防着本体部材１０の裏側面１０Ｒに設けられた例えば長方体形状の凹部１０ｂに、例えば細長形状の締結保持部材１６が取り付けられるように構成されている。

【0043】

この締結保持部材１６は、例えば板付きナットからなるもので、防着本体部材１０の裏側面１０Ｒ側に、後述する突っ張りボルト２３のねじ部２３ｃ（図８（ｃ）（ｄ）参照）と噛み合うねじ部１６ｂが形成されたねじ孔１６ａを有している。

【0044】

そして、この締結保持部材１６は、防着本体部材１０の裏側面１０Ｒに設けた一対のねじ穴１０ｃのねじ部と噛み合うねじ部を有する一対の固定ボルト１７によって、防着本体部材１０の凹部１０ｂの長手方向両側に延びる一対のフランジ部を防着本体部材１０に取り付けて固定されるように構成されている。

【0045】

図５（ａ）（ｂ）は、本発明に用いる保持部材の例を示す概略構成図で、図５（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図５（ｂ）は、放電空間の反対側から見た正面図である。

【0046】

図６（ａ）～（ｄ）は、保持部材の収容凹部及び孔部の構成例を示すもので、図６（ａ）は、保持部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図６（ｂ）は、保持部材の裏側面側から見た状態を示す正面図、図６（ｃ）は、図６（ａ）のＤ－Ｄ線断面図、図６（ｄ）は、図６（ｂ）のＥ－Ｅ線断面図である。

【0047】

本例では、保持部材２０は、図１に示す真空槽６内に固定され、保持部材２０の放電空間９側に、上述した防着本体部材１０の第１～第４構成部材１～４が取り付けられる。

【0048】

図５（ａ）（ｂ）に示すように、本例の保持部材２０は、矩形枠状に形成されている。

【0049】

この保持部材２０は、剛性の高い板材を用いて一体的に形成され、上述した防着本体部材１０の外径より若干大きい外径を有するとともに、上述した防着本体部材１０の開口部１０ａより若干大きい内径を有する開口部２０ａが設けられている。

【0050】

保持部材２０は、防着本体部材１０の第１～第４構成部材１～４に対応する第１～第４枠部１１～１４から構成されている。すなわち、保持部材２０の上下部分に水平方向に延びる第１枠部１１及び第２枠部１２が設けられ、第１枠部１１及び第２枠部１２の間において水平方向に関して保持部材２０の左右部分に鉛直方向に延びる第３枠部１３及び第４枠部１４が設けられる。

【0051】

以下、保持部材２０の第１枠部１１及び第２枠部１２の長手方向を適宜「Ｘ軸方向」といい、第３枠部１３及び第４枠部１４の長手方向を適宜「Ｚ軸方向」という。

【0052】

図５（ａ）に示すように、保持部材２０の図１に示す放電空間９側の面即ち表側面２０Ｆには、開口部２０ａを取り囲むとともに、防着本体部材１０に取り付けられた複数の保持部１５に対応する位置に、各保持部１５を収容する空間として複数の収容凹部２１が設けられている。

【0053】

ここで、各収容凹部２１は細長形状に形成され、基本構成が同一である、水平方向に延びる水平収容凹部２１ｈと、鉛直方向に延びる鉛直収容凹部２１ｖとを有している。

【0054】

水平収容凹部２１ｈは、保持部材２０の第１枠部１１及び第２枠部１２において、それぞれの長手方向（Ｘ軸方向）に沿って直線状に例えば一列に並べて設けられている。

【0055】

一方、鉛直収容凹部２１ｖは、保持部材２０の第３枠部１３及び第４枠部１４において、それぞれの長手方向（Ｚ軸方向）に沿って直線状に例えば一列に並べて設けられている。

【0056】

本発明の場合、特に限定されることはないが、防着部材３０の反りを防止する観点からは、水平収容凹部２１ｈ及び鉛直収容凹部２１ｖは、保持部材２０において、第１～第４枠部１１～１４の長手方向に対して直交する直線に関して線対称となるようにそれぞれ複数の水平収容凹部２１ｈ及び鉛直収容凹部２１ｖを設けることが好ましい。

【0057】

図６（ａ）、（ｃ）及び（ｄ）に示すように、本例の保持部材２０の収容凹部２１は、保持部材２０の表側面２０Ｆに細長形状の凹部２１ａが設けられ、この凹部２１ａの内側に孔部２１ｂが設けられて構成されている。

【0058】

ここで、保持部材２０の収容凹部２１の凹部２１ａは、防着本体部材１０の保持部１５に取り付けた締結保持部材１６が収容される大きさで形成され、防着本体部材１０を保持部材２０に保持させた場合に、防着本体部材１０の裏側面１０Ｒが保持部材２０の表側面２０Ｆと密着するように構成されている（図８（ｃ）（ｄ）参照）。

【0059】

一方、図５（ｂ）に示すように、保持部材２０の図１に示す放電空間９と反対側の面即ち裏側面２０Ｒには、開口部２０ａを取り囲むとともに、防着本体部材１０の複数の保持部１５に対応する位置に複数の収容孔部２２が設けられている。

【0060】

ここで、各収容孔部２２は長穴形状に形成され、基本構成が同一である、水平方向に延びる水平孔部２２ｈと、鉛直方向に延びる鉛直孔部２２ｖとを有している。

【0061】

水平孔部２２ｈは、保持部材２０の第１枠部１１及び第２枠部１２において、それぞれの長手方向（Ｘ軸方向）に沿って直線状に例えば一列に並べて設けられている。

【0062】

一方、鉛直孔部２２ｖは、保持部材２０の第３枠部１３及び第４枠部１４において、それぞれの長手方向（Ｚ軸方向）に沿って直線状に例えば一列に並べて設けられている。

【0063】

さらに、保持部材２０の表側面２０Ｆの縁部には、上述した防着本体部材１０の取付部５を後述するボルト２４を用いて保持部材２０の表側面２０Ｆに取り付けるための複数のねじ穴２５が設けられている。

【0064】

図６（ｂ）～（ｄ）に示すように、本例の保持部材２０の裏側面２０Ｒに設けられた各収容孔部２２は、保持部材２０の表側面２０Ｆに設けられた収容凹部２１の孔部２１ｂと同方向に延びるように形成されている。

【0065】

そして、各収容孔部２２は、保持部材２０の表側面２０Ｆの収容凹部２１の孔部２１ｂと連続するように形成されている。

【0066】

図５（ａ）（ｂ）に示すように、保持部材２０の表側面２０Ｆ側の内部には、防着部材３０を冷却する冷却部２６が設けられている。

【0067】

この冷却部２６は、例えば保持部材２０の表側面２０Ｆに溝を設けて蓋をすることにより構成することができ、本例では、保持部材２０の開口部２０ａの周囲において、保持部材２０の下部と上部との間を巡るように形成されている。

【0068】

本例の冷却部２６は、保持部材２０の中心部を通るＺ軸と平行な直線を挟んで線対称となるように形成された一対の冷却部２６ａ、２６ｂを有している。

【0069】

この冷却部２６は、保持部材２０の裏側面２０Ｒ側の第２枠部１２に設けられた冷媒（例えば水）を導入する冷媒導入口２６ｃから、保持部材２０の表側面２０Ｆ側の第２枠部１２の一対の冷却部２６ａ、２６ｂの一方の端部２６ｅに対してそれぞれ冷媒を導入するように構成されている。

【0070】

そして、一対の冷却部２６ａ、２６ｂは、保持部材２０の表側面２０Ｆ側の第２枠部１２の一対の冷却部２６ａ、２６ｂの他方の端部２６ｆ同士が、保持部材２０の裏側面２０Ｒ側の第２枠部１２に設けられた接続管２６ｄによって接続されている。

【0071】

図７（ａ）（ｂ）は、本発明に係る防着部材の例を示す概略構成図で、図７（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図７（ｂ）は、放電空間の反対側から見た正面図である。

【0072】

上述した構成を有する本実施の形態において、防着本体部材１０を保持部材２０に保持させる場合には、保持部材２０の第１～第４枠部１１～１４を防着本体部材１０に対してそれぞれ位置決めした状態で、締結部材である突っ張りボルト２３を、保持部材２０の裏側面２０Ｒ側から水平孔部２２ｈ及び鉛直孔部２２ｖ内にそれぞれ挿入し、これら突っ張りボルト２３を防着本体部材１０の保持部１５にそれぞれ締結することにより、防着本体部材１０を保持部材２０に密着させた状態で固定する。

【0073】

また、この位置決め状態で、防着本体部材１０の表側面１０Ｆ側から防着本体部材１０の取付部５のねじ孔５０にボルト２４をそれぞれ挿入し、これらボルト２４を保持部材２０のねじ穴２５（図５（ａ）参照）にそれぞれ締結することにより、防着本体部材１０を保持部材２０に取り付ける。

【0074】

図８（ａ）～（ｄ）は、本例の防着部材における防着本体部材と保持部材との固定部分を示す図で、図８（ａ）は、保持部材の裏側面側から見た状態を示す正面図、図８（ｂ）は、防着本体部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図８（ｃ）は、図８（ａ）のＧ－Ｇ線断面図、図８（ｄ）は、図８（ａ）のＨ－Ｈ線断面図である。

【0075】

図８（ａ）及び図８（ｄ）に示すように、本例に用いる突っ張りボルト２３は、例えば、その頭部２３ａの外径（直径）が、保持部材２０の裏側面２０Ｒに設けた収容孔部２２の幅より大きく、かつ、その胴部２３ｂの直径が、保持部材２０の収容孔部２２の幅より若干小さいものを用いる。

【0076】

そして、突っ張りボルト２３のねじ部２３ｃを保持部材２０の収容孔部２２に挿入して保持部１５の締結保持部材１６のねじ部１６ｂに噛み合わせて突っ張りボルト２３を締めることにより、突っ張りボルト２３の頭部２３ａの座面が保持部材２０の裏側面２０Ｒに押し付けられて締結が完了した状態において、突っ張りボルト２３の胴部２３ｂの先端部が締結保持部材１６の保持部材２０側の面に押し付けられ、かつ、突っ張りボルト２３のねじ先端部２３ｄと防着本体部材１０の凹部１０ｂの底面との間に所定の隙間が形成されるように、突っ張りボルト２３の胴部２３ｂ及びねじ部２３ｃの寸法、並びに、防着本体部材１０の凹部１０ｂ及び締結保持部材１６のねじ部１６ｂの寸法が設定されている。

【0077】

そして、このような構成を有する本実施の形態では、防着部材３０を組み立てた際に防着本体部材１０及び保持部材２０を固定する突っ張りボルト２３のねじ先端部２３ｄが防着本体部材１０の表側面１０Ｆから放電空間９側に露出しないように構成されている。

【0078】

図９（ａ）（ｂ）は、本例の防着部材における防着本体部材の取付部と保持部材との取付部分を示す図で、図９（ａ）は、保持部材の表側面側から見た状態を示す正面図、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＩ－Ｉ線断面図である。

【0079】

図９（ａ）（ｂ）に示すように、本例では、防着本体部材１０の表側面１０Ｆ側から防着本体部材１０の取付部５のねじ孔５０(図２（ａ）参照）を介してボルト２４のねじ部２４ｂを保持部材２０のねじ穴２５のねじ部２５ａに締結することにより、防着本体部材１０を保持部材２０に取り付ける。

【0080】

本発明の場合、特に限定されることはないが、防着部材３０の必要な強度を確保し、かつ、その反りを確実に防止する観点からは、ボルト２４の頭部２４ａと防着本体部材１０の表側面１０Ｆとの間に、若干のクリアランスｃを設けることが好ましい。

【0081】

具体的には、ボルト２４の頭部２４ａと防着本体部材１０の表側面１０Ｆとの間のクリアランスｃを、０．１～１ｍｍ程度に設定することが好ましい。

【0082】

以上述べた本実施の形態にあっては、防着本体部材１０が、保持部材２０の放電空間９側の面と反対側の面から複数の突っ張りボルト２３によって固定されるとともに、各突っ張りボルト２３は、それぞれのねじ先端部２３ｄが防着本体部材１０の放電空間９側の面から放電空間９側に露出しないように構成されていることから、防着本体部材１０を保持部材２０に保持させるために従来技術のように多数のカバー付きのボルトを用いる必要がない。

【0083】

その結果、本実施の形態によれば、防着部材３０の放電空間９側の面の凹凸部を減らしてその表面積を小さくすることができるので、真空処理の際に付着した成膜材料等の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。

【0084】

また、本実施の形態によれば、防着本体部材１０と保持部材２０とを確実に密着させることができるので、例えば防着部材３０を鉛直方向に向けて配置した場合であっても、防着部材３０の反りに起因する防着本体部材１０と保持部材２０との間に隙間を生じさせることがない。

【0085】

また、本実施の形態においては、保持部材２０の前記防着本体部材１０側の面に、防着本体部材１０を冷却する冷却部２６が設けられていることから、防着本体部材１０と保持部材２０とが確実に密着することと相俟って、防着部材３０を確実に冷却することができる。その結果、本実施の形態によれば、放電の際の熱による防着部材３０の伸びに起因する擦れによるパーティクルの発生を確実に防止することができる。

【0086】

さらに、本実施の形態においては、防着本体部材１０の第１～第４構成部材１～４の周縁部に、真空槽６の放電空間９に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽壁１ｃ～４ｃが設けられていることから、防着部材３０の放電空間９側の面に付着する成膜材料等の物質の量を更に減少させることができるので、当該物質の防着部材３０の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。

【0087】

さらにまた、本実施の形態においては、防着本体部材１０の第１～第４構成部材１～４の周縁部に、プラズマ遮蔽壁１ｃ～４ｃから外方側に延びるように、保持部材２０に対する取付部５が設けられていることから、ボルト２４を用いて放電空間９側から防着本体部材１０を保持部材２０に取り付けた場合であっても、真空処理の際に生ずる物質が防着本体部材１０に設けたプラズマ遮蔽壁１ｃ～４ｃによって遮られ、防着本体部材１０の取付部５への付着を防止することができるので、当該物質の防着部材３０の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。

【0088】

なお、本発明は上記実施の形態に限られず、種々の変更を行うことができる。例えば、上記実施の形態では、防着本体部材を保持部材に締結する締結部材として突っ張りボルトを用いたが、本発明はこれに限られず、保持部材の放電空間側の面と反対側の面から固定することができ、かつ、それぞれの先端部分が防着本体部材の放電空間側の面から当該放電空間内に露出しないように構成されているものであれば、種々の締結部材を用いて防着本体部材を保持部材に締結することができる。

【0089】

さらに、上記実施の形態はスパッタリング装置に適用した場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、種々の真空処理装置に適用することができる。

【符号の説明】

【0090】

１……第１構成部材
１ｃ…プラズマ遮蔽壁（プラズマ遮蔽用の壁部）
２……第２構成部材
２ｃ…プラズマ遮蔽壁
３……第３構成部材
３ｃ…プラズマ遮蔽壁
４……第４構成部材
４ｃ…プラズマ遮蔽壁
５……取付部
６……真空槽
７……スパッタリングターゲット
８……基板（処理対象物）
１０…防着本体部材
１１…第１枠部
１２…第２枠部
１３…第３枠部
１４…第４枠部
２０…保持部材
２１…収容凹部
２１ｈ…水平収容凹部
２１ｖ…鉛直収容凹部
２２…収容孔部
２２ｈ…水平孔部
２２ｖ…鉛直孔部
２３…突っ張りボルト（締結部材）
２４…ボルト
２５…ねじ穴
２６…冷却部
４０…スパッタリング装置（真空処理装置）
５０…ねじ孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】