特許7092709ケイ素含有膜の高温原子層堆積

発明の名称　ケイ素含有膜の高温原子層堆積

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 1154 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 900 位（21件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7092709

公報発行日　2022年6月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7092709

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