特許 7099288 磁歪式トルクセンサの製造方法、及び磁歪式トルクセンサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-07-04

(45)【発行日】2022-07-12

(54)【発明の名称】磁歪式トルクセンサの製造方法、及び磁歪式トルクセンサ

(51)【国際特許分類】

   G01L 3/10 20060101AFI20220705BHJP

【ＦＩ】

G01L3/10 301J

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2018224536

(22)【出願日】2018-11-30

(65)【公開番号】P2020085814

(43)【公開日】2020-06-04

【審査請求日】2021-05-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000005083

【氏名又は名称】日立金属株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002583

【氏名又は名称】特許業務法人平田国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中村 晃之

(72)【発明者】

【氏名】杉山 雄太

(72)【発明者】

【氏名】清水 悠輝

【審査官】森 雅之

(56)【参考文献】

【文献】特開平８－５４７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５８－１２７４２１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００２－３４３６５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第２９５４２５３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特許第６３７６０２８（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】米国特許第４９０９０８８（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｌ３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

磁歪特性を有するシャフトと離間して同軸に設けられ、中空円筒状に形成されたボビン、及び、前記ボビンに絶縁電線を巻き付けて形成された検出コイルを有するコイル部材を備え、
前記検出コイルのインダクタンスの変化を検出することにより、前記シャフトに付与されたトルクを測定する磁歪式トルクセンサの製造方法であって、
前記コイル部材を覆うように熱硬化性樹脂をモールドしてインナーモールドを形成するインナーモールド形成工程と、
前記インナーモールドを覆うように樹脂をモールドしてアウターモールドを形成するアウターモールド形成工程と、を備え、
前記アウターモールド工程では、前記コイル部材から延出された信号線の一部と前記インナーモールドとを覆うように樹脂製のカバーを設け、当該カバーを覆うように樹脂をモールドして前記アウターモールドを形成する、
磁歪式トルクセンサの製造方法。

【請求項2】

前記磁歪式トルクセンサは、前記コイル部材の周囲を覆うように設けられた環状の磁性体リングを有し、
前記インナーモールド形成工程では、前記コイル部材及び前記磁性体リングを覆うようにエポキシ樹脂をモールドして前記インナーモールドを形成する、
請求項１に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法。

【請求項3】

磁歪特性を有するシャフトと離間して同軸に設けられ、中空円筒状に形成されたボビン、及び、前記ボビンに絶縁電線を巻き付けて形成された検出コイルを有するコイル部材を備え、
前記検出コイルのインダクタンスの変化を検出することにより、前記シャフトに付与されたトルクを測定するように構成されており、
前記コイル部材を覆うように熱硬化性樹脂をモールドして形成されたインナーモールドと、
前記インナーモールドを覆うように樹脂をモールドして形成されたアウターモールドと、
前記コイル部材から延出された信号線の一部と前記インナーモールドとを覆うように設けられた樹脂製のカバーと、
を備え、
前記アウターモールドは、前記カバーを覆うように樹脂をモールドして形成されている、
磁歪式トルクセンサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、磁歪式トルクセンサの製造方法、及び磁歪式トルクセンサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、磁歪式トルクセンサが知られている。磁歪式トルクセンサは、応力が付与された際に透磁率が変化する磁歪特性を有するシャフトを用い、トルクが付与されてシャフトが捩じれた際のシャフトの透磁率の変化を検出コイルのインダクタンスの変化として検出することにより、シャフトに付与されたトルクを検出する（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１６－２００５５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

磁歪式トルクセンサとして、検出コイルを覆うように樹脂をモールドして形成されたアウターモールドを有するものがある。アウターモールドを有する磁歪式トルクセンサでは、アウターモールドの成型時に、金型に流し込む樹脂の圧力によって検出コイルを構成する絶縁電線が断線してしまう場合があった。

【0005】

そこで、本発明は、アウターモールドの成型時に検出コイルに断線が発生しにくい磁歪式トルクセンサの製造方法、及び磁歪式トルクセンサを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、上記課題を解決することを目的として、磁歪特性を有するシャフトと離間して同軸に設けられ、中空円筒状に形成されたボビン、及び、前記ボビンに絶縁電線を巻き付けて形成された検出コイルを有するコイル部材を備え、前記検出コイルのインダクタンスの変化を検出することにより、前記シャフトに付与されたトルクを測定する磁歪式トルクセンサの製造方法であって、前記コイル部材を覆うように熱硬化性樹脂をモールドしてインナーモールドを形成するインナーモールド形成工程と、前記インナーモールドを覆うように樹脂をモールドしてアウターモールドを形成するアウターモールド形成工程と、を備えた、磁歪式トルクセンサの製造方法を提供する。

【0007】

また、本発明は、上記課題を解決することを目的として、磁歪特性を有するシャフトと離間して同軸に設けられ、中空円筒状に形成されたボビン、及び、前記ボビンに絶縁電線を巻き付けて形成された検出コイルを有するコイル部材を備え、前記検出コイルのインダクタンスの変化を検出することにより、前記シャフトに付与されたトルクを測定するように構成されており、前記コイル部材を覆うように熱硬化性樹脂をモールドして形成されたインナーモールドと、前記インナーモールドを覆うように樹脂をモールドして形成されたアウターモールドと、を備えた、磁歪式トルクセンサを提供する。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、アウターモールドの成型時に検出コイルに断線が発生しにくい磁歪式トルクセンサの製造方法、及び磁歪式トルクセンサを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】磁歪式トルクセンサのセンサ部の一例を示す図であり、（ａ）はシャフトに取り付けた際の側面図、（ｂ）はそのＡ－Ａ線断面図である。

【図2】ボビンを展開した状態を模式的に示す平面図であって、（ａ）は第１検出コイル及び第４検出コイルを説明する図、（ｂ）は第２検出コイル及び第３検出コイルを説明する図である。

【図3】（ａ）磁歪式トルクセンサの検出信号によりシャフトに付与されたトルクを測定する測定部の一例を示す回路図であり、（ｂ），（ｃ）はその一変形例である。

【図4】（ａ）は、コイル形成工程及び接続工程後のトルクセンサの外観を示す斜視図であり、（ｂ）は、インナーモールド形成工程後のトルクセンサの外観を示す斜視図である。

【図5】アウターモールド形成工程後のトルクセンサの外観を示す斜視図である。

【図6】ケースの斜視図である。

【図7】（ａ）は、トルクセンサに負荷する温度サイクルを示すグラフ図であり、（ｂ）は、（ａ）の温度サイクルを負荷した際に、インナーモールドを有さない比較例のトルクセンサに生じるセンサ出力の変動の測定結果を示すグラフ図である。

【図8】（ａ）は、図７（ａ）の温度サイクルを負荷した際に、本発明のトルクセンサに生じるセンサ出力の変動の測定結果を示すグラフ図であり、（ｂ）はその一部を拡大したグラフ図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

［実施の形態］
以下、本発明の実施の形態を添付図面にしたがって説明する。

【0011】

図１は、磁歪式トルクセンサのセンサ部の一例を示す図であり、（ａ）はシャフトに取り付けた際の側面図、（ｂ）はそのＡ－Ａ線断面図である。図２は、ボビンを展開した状態を模式的に示す平面図であって、（ａ）は第１検出コイル及び第４検出コイルを説明する図、（ｂ）は第２検出コイル及び第３検出コイルを説明する図である。なお、図１では、インナーモールドとアウターモールドとを省略して示している。

【0012】

図１（ａ），（ｂ）に示すように、磁歪式トルクセンサ（以下、単にトルクセンサという）１のセンサ部２は、磁歪特性を有するシャフト（回転軸）１００の周囲に取り付けられている。トルクセンサ１は、シャフト１００に付与されたトルク（回転トルク）を測定するものである。

【0013】

シャフト１００は、磁歪特性を有する材料から構成され、円柱状（棒状）に形成されている。シャフト１００は、例えば、車両のパワートレイン系のトルク伝達に用いられるシャフト、あるいは車両のエンジンのトルク伝達に用いられるシャフトである。

【0014】

センサ部２は、コイル部材（以下、単にコイルという）２１と、磁性体リング２２と、を備えている。磁性体リング２２は、磁性体（強磁性体）からなり、コイル２１の周囲を覆うように環状（ここでは中空円筒状）に形成されている。磁性体リング２２の中空部にはコイル２１が挿入される。磁性体リング２２は、コイル２１の検出コイル３で生じた磁束が外部に漏れて感度が低下することを抑制する役割を果たす。

【0015】

コイル２１は、非磁性体である樹脂からなるボビン２３と、ボビン２３の外周に絶縁電線を巻き付けて構成される複数の検出コイル３と、を有している。ボビン２３は、シャフト１００と離間して同軸に設けられており、中空円筒状に形成されている。ボビン２３の外周面には、シャフト１００の軸方向に対して所定角度（ここでは＋４５度）傾斜した複数の第１傾斜溝４と、軸方向に対して第１傾斜溝４と反対方向に所定角度（ここでは－４５度）傾斜した複数の第２傾斜溝５とが形成されている。第１傾斜溝４及び第２傾斜溝５は、ボビン２３の径方向に窪んだ溝によって形成されている。

【0016】

図２（ａ），（ｂ）に示すように、コイル２１は、検出コイル３として、第１～第４検出コイル３１～３４を有している。第１検出コイル３１及び第４検出コイル３４は、第１傾斜溝４に沿って絶縁電線をボビン２３に巻き付けて形成される。第２検出コイル３２及び第３検出コイル３３は、第２傾斜溝５に沿って絶縁電線をボビン２３に巻き付けて形成される。

【0017】

図２（ａ）中、符号３１ａ，３１ｂは、それぞれ第１検出コイル３１の１層分の入力端と出力端を示し、符号３４ａ，３４ｂは、それぞれ第４検出コイル３４の１層分の入力端と出力端を示す。図２（ｂ）中、符号３２ａ，３２ｂは、それぞれ第２検出コイル３２の１層分の入力端と出力端を示し、符号３３ａ，３３ｂは、それぞれ第３検出コイル３３の１層分の入力端と出力端を示す。なお、図２（ａ），（ｂ）では１ターン分の絶縁電線の巻き付けを示しており、目的のターン数となるように絶縁電線の巻き付けを繰り返すことで、各検出コイル３１～３４が形成される。また、図２（ａ），（ｂ）に示した絶縁電線の巻き付け方法は一例であり、他の巻き付け方を用いて検出コイル３１～３４を形成してもよい。

【0018】

第１検出コイル３１及び第４検出コイル３４は、シャフト１００の軸方向に対して所定角度（ここでは＋４５度）傾斜した第１方向でのシャフト１００の透磁率変化を検出するためのものである。また、第２検出コイル３２及び第３検出コイル３３は、シャフト１００の軸方向に対して第１方向と反対側に所定角度（ここでは－４５度）傾斜した第２方向でのシャフト１００の透磁率変化を検出するためのものである。

【0019】

図３（ａ）に示すように、測定部４１は、第１～第４検出コイル３１～３４のインダクタンスの変化を検出することにより、シャフト１００に付与されたトルクを測定するものである。

【0020】

測定部４１は、第１検出コイル３１、第２検出コイル３２、第４検出コイル３４、第３検出コイル３３をこの順序で環状に接続して構成されたブリッジ回路４２と、第１検出コイル３３と第２検出コイル３２との間の接点ａと第３検出コイル３３と第４検出コイル３４との間の接点ｂとの間に交流電圧を印加する発信器４３と、第１検出コイル３１と第３検出コイル３３との間の接点ｃと第２検出コイル３２と第４検出コイル３４との間の接点ｄ間の電圧を検出する電圧測定装置４４と、電圧測定装置４４で測定した電圧を基にシャフト１００に付与されたトルクを演算するトルク演算部４５と、を備えている。ブリッジ回路４２は、第１検出コイル３１及び第４検出コイル３４を対向する一方の辺に配置し、第２検出コイル３２及び第３検出コイル３３を対向する他方の辺に配置して構成される。

【0021】

測定部４１では、シャフト１００にトルクが付与されない状態では、第１～第４検出コイル３１～３４のインダクタンスＬ１～Ｌ４は等しくなり、電圧測定装置４４で検出される電圧は略０となる。

【0022】

シャフト１００にトルクが付与されると、軸方向に対して＋４５度の方向の透磁率が減少（又は増加）し、軸方向に対して－４５度方向の透磁率が増加（又は減少）する。よって、発信器４３から交流電圧を印加した状態でシャフト１００にトルクが付与されると、第１検出コイル３１及び第４検出コイル３４ではインダクタンスが減少（又は増加）し、第２検出コイル３２及び第３検出コイル３３ではインダクタンスが増加（又は減少）する。その結果、電圧測定装置４４で検出される電圧が変化するので、この電圧の変化を基に、トルク演算部４５がシャフト１００に付与されたトルクを演算する。

【0023】

第１検出コイル３１及び第４検出コイル３４と、第２検出コイル３２及び第３検出コイル３３とは、巻き付け方向が異なる以外は全く同じ構成であるから、図３（ａ）のようなブリッジ回路４２を用いることで、第１～第４検出コイル３１～３４のインダクタンスへの温度等の影響をキャンセルすることが可能であり、シャフト１００に付与されたトルクを精度よく検出することができる。また、トルクセンサ１では、第１検出コイル３１及び第４検出コイル３４でインダクタンスが増加（又は低下）すれば、第２検出コイル３２及び第３検出コイル３３ではインダクタンスが低下（又は増加）するため、図３（ａ）のようなブリッジ回路４２を用いることで、検出感度をより向上することができる。

【0024】

なお、図３（ｂ），（ｃ）に示すように、図３（ａ）のブリッジ回路４２において、第１～第４検出コイル３１～３４のいずれか２つを抵抗に置き換えてもよい。図３（ｂ）では、第２検出コイル３２及び第４検出コイル３４を抵抗３２ａ，３４ａに置き換えた場合、図３（ｃ）では第３検出コイル３３及び第４検出コイル３４を抵抗３３ａ，３４ａに置き換えた場合を示している。同様に、図３（ａ）のブリッジ回路４２において、第１検出コイル３１及び第３検出コイル３３を抵抗に置き換えてもよいし、第１検出コイル３１及び第２検出コイル３２を抵抗に置き換えてもよい。検出コイル３を抵抗に置き換えることで、感度が若干低下するものの、絶縁電線をボビン２３に巻き付ける手間を省くことが可能になり、低コスト化を図ることが可能になる。

【0025】

また、トルクセンサ１は、コイル２１を覆うようにエポキシ樹脂をモールドして形成されたインナーモールドと、インナーモールドを覆うように樹脂をモールドして形成されたアウターモールドと、を備えている。これらインナーモールドとアウターモールドの詳細については後述する。

【0026】

（トルクセンサ１の製造方法）
トルクセンサ１を製造する際には、まず、図４（ａ）に示すように、ボビン２３に絶縁電線を巻き付けて検出コイル３（第１～第４検出コイル３１～３４）を形成し、コイル２１を形成するコイル形成工程を行う。コイル形成工程では、コイル２１には、検出コイル３を構成する絶縁電線に電気的に接続された端子部２４が設けられる。その後、発信器４３及び電圧測定装置４４から延出された信号線６１の各心線６２を、端子部２４に電気的に接続する接続工程を行う。ここでは、信号線６１は、４本の心線６２を一括してジャケット６３で覆った構造となっている。

【0027】

その後、図４（ｂ）に示すように、コイル２１を覆うようにエポキシ樹脂をモールドしてインナーモールド７を形成するインナーモールド形成工程を行う。インナーモールド形成工程では、コイル２１及び磁性体リング２２を覆うようにエポキシ樹脂をモールドしてインナーモールド７を形成する。本実施の形態では、コイル２１、磁性体リング２２、及び端子部２４の一部を覆うように、インナーモールド７を形成した。

【0028】

溶融エポキシ樹脂は粘度が低いため、成型時にコイル２１や磁性体リング２２に樹脂の流れによる圧力がかかりにくく、検出コイル３の断線や磁性体リング２２の破断等の不具合が発生しにくい。よって、次工程のアウターモールド形成工程に先立ってインナーモールド形成工程を行っておくことで、アウターモールド形成工程の際にインナーモールド７がコイル２１や磁性体リング２２を保護する役割を果たし、アウターモールド形成工程時に検出コイル３の断線や磁性体リング２２の破断が生じにくくなる。なお、エポキシ樹脂以外に、フェノール樹脂やシリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂を用いることができる。

【0029】

その後、図５に示すように、インナーモールド７を覆うように樹脂をモールドしてアウターモールド８を形成するアウターモールド形成工程を行う。本実施の形態では、アウターモールド８の成型時に流し込む樹脂の圧力で信号線６１の心線６２が断線したり、心線６２と端子部２４との接続部分が破断したりすることを抑制するため、予めコイル２１から延出された信号線６１の一部と、インナーモールド７とを覆うように図６に示すような樹脂製のカバー９を設け、当該カバー９を覆うように樹脂をモールドしてアウターモールド８を形成するようにした。

【0030】

図６に示すように、カバー９は、コイル２１の軸方向に２分割された構造となっている。カバー９は、インナーモールド７が収容されるインナーモールド収容部９１と、ジャケット６３から露出されている心線６２、及びジャケット６３の端部が収容される心線収容部９２と、を有している。また、カバー９は、インナーモールド収容部９１から外方に突出するように形成されたフランジ部９３を有している。フランジ部９３には、フランジ部９３を貫通し、金属からなる短円筒状のカラー８１（図５参照）を保持する保持孔９４が形成されている。インナーモールド７や信号線６１をカバー９で覆い、かつ、保持孔９４にカラー８１を保持させた状態で樹脂モールドを行うことで、アウターモールド８が形成される。なお、カラー８１は、ボルト締結時にアウターモールド８がクリープ変形して緩みが発生してしまうことを抑制するための部材である。カラー８１ａには、図示しない位置決め用ピンが通され、取り付け対象部材との位置決めがなされる。その上で、カラー８１ｂには、図示しないボルトが通され、当該ボルトを取り付け対象部材に締結固定することで、センサ部２が対象部材に固定される。なお、ボルト取付け後は、位置決め用ピンを除去しても問題はない。

【0031】

アウターモールド８がカバー９から剥離してしまうことを抑制するため、アウターモールド８とカバー９とは同じ材質からなることが望ましい。これにより、アウターモールド８のモールド時にカバー９とアウターモールド８とが溶融一体化して、アウターモールド８のカバー９からの剥離が抑制される。アウターモールド８とカバー９としては、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＰＡ（ポリフタルアミド）、あるいはＰＡ（ポリアミド）等の熱可塑性樹脂からなるものを用いることができる。熱可塑性樹脂は、熱硬化性樹脂と比較して、低コストであり、成形性が良く（バリがでない）、割れにくい等の理由により好ましい。しかし、アウターモールド８及びカバー９の材料として熱硬化性樹脂等も用いることができる。ここでは、ＰＰＡからなるアウターモールド８及びカバー９を用いた。

【0032】

（インナーモールド７を備えることによる効果）
上述のように、本実施の形態に係るトルクセンサ１は、コイル２１及び磁性体リング２２を覆うようにエポキシ樹脂をモールドして形成されたインナーモールド７と、インナーモールド７を覆うように樹脂をモールドして形成されたアウターモールド８と、を備えている。インナーモールド７は、アウターモールド８の成型時にコイル２１や磁性体リング２２を保護するのみならず、温度変化によるセンサ出力の変動を抑制する役割も果たす。以下、この点について説明する。

【0033】

図７（ａ）に示す温度サイクルを、インナーモールド７を有さない比較例のトルクセンサ、及びインナーモールド７を有するトルクセンサ１に負荷した場合のセンサ出力の変動を測定した。図７（ａ）の温度サイクルでは、－４０℃から１４５℃まで３．４時間で変化させ、その後１４５℃から－４０℃まで５．４時間で変化させるサイクルを２サイクルとしている。なお、温度の計測については、センサ部２の温度の近似として、シャフト１００の温度（シャフト温度という）を用いた。

【0034】

図７（ｂ）に示すように、インナーモールド７を有さない比較例のトルクセンサでは、シャフト温度が－４０℃～１４５℃の間で変動すると、約６０ｍＶのセンサ出力の変動が検出された。

【0035】

これに対して、図８（ａ），（ｂ）に示すように、インナーモールド７を有する本実施の形態に係るトルクセンサ１では、シャフト温度を－４０℃～１４５℃で変動させた際のセンサ出力の変動が約２５ｍＶと小さくなっている。これは、インナーモールド７を形成することで、ボビン２３を含むコイル２１や磁性体リング２２の熱による変形（熱膨張や熱収縮）が抑え込まれ、第１～第４検出コイル３１～３４のインダクタンスＬ１～Ｌ４のバランスの崩れが抑制されているためだと考えられる。なお、図８（ｂ）は、図８（ａ）のデータを加工することで得られたグラフ図である。この図８（ｂ）は、各シャフト温度におけるセンサ出力の略中央の値が０ｍＶとなるように減算処理を行うことにより得られた。

【0036】

（実施の形態の作用及び効果）
以上説明したように、本実施の形態に係る磁歪式トルクセンサの製造方法では、コイル２１を覆うように熱硬化性樹脂をモールドしてインナーモールド７を形成するインナーモールド形成工程と、インナーモールド７を覆うように樹脂をモールドしてアウターモールド８を形成するアウターモールド形成工程と、を備えている。

【0037】

アウターモールド８の成型前に、熱硬化性樹脂でインナーモールド７を形成しておくことで、インナーモールド７によってコイル２１が保護され、アウターモールド８の成型時に検出コイル３に断線が発生しにくくなる。また、インナーモールド７を形成することで、温度変化によるセンサ出力の変動を抑制することが可能になる。

【0038】

（実施の形態のまとめ）
次に、以上説明した実施の形態から把握される技術思想について、実施の形態における符号等を援用して記載する。ただし、以下の記載における各符号等は、特許請求の範囲における構成要素を実施の形態に具体的に示した部材等に限定するものではない。

【0039】

［１］磁歪特性を有するシャフト（１００）と離間して同軸に設けられ、中空円筒状に形成されたボビン（２３）、及び、前記ボビン（２３）に絶縁電線を巻き付けて形成された検出コイル（３）を有するコイル部材（２１）を備え、検出コイル（３）のインダクタンスの変化を検出することにより、前記シャフト（１００）に付与されたトルクを測定する磁歪式トルクセンサ（１）の製造方法であって、前記コイル部材（２１）を覆うように熱硬化性樹脂をモールドしてインナーモールド（７）を形成するインナーモールド形成工程と、前記インナーモールド（７）を覆うように樹脂をモールドしてアウターモールド（８）を形成するアウターモールド形成工程と、を備えた、磁歪式トルクセンサの製造方法。

【0040】

［２］前記磁歪式トルクセンサ（１）は、前記コイル部材（２１）の周囲を覆うように設けられた環状の磁性体リング（２２）を有し、前記インナーモールド形成工程では、前記コイル部材（２１）及び前記磁性体リング（２２）を覆うようにエポキシ樹脂をモールドして前記インナーモールド（７）を形成する、［１］に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法。

【0041】

［３］前記アウターモールド工程では、前記コイル部材（２１）から延出された信号線（６１）の一部と、前記インナーモールド（７）とを覆うように樹脂製のカバー（９）を設け、当該カバー（９）を覆うように樹脂をモールドして前記アウターモールド（８）を形成する、［１］または［２］に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法。

【0042】

［４］磁歪特性を有するシャフト（１００）と離間して同軸に設けられ、中空円筒状に形成されたボビン（２３）、及び、前記ボビン（２３）に絶縁電線を巻き付けて形成された検出コイル（３）を有するコイル部材（２１）を備え、前記検出コイル（３）のインダクタンスの変化を検出することにより、前記シャフト（１００）に付与されたトルクを測定するように構成されており、前記コイル部材（２１）を覆うように熱硬化性樹脂をモールドして形成されたインナーモールド（７）と、前記インナーモールド（７）を覆うように樹脂をモールドして形成されたアウターモールド（８）と、を備えた、磁歪式トルクセンサ（１）。

【0043】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。また、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形して実施することが可能である。

【符号の説明】

【0044】

１…トルクセンサ（磁歪式トルクセンサ）
２…センサ部
３…検出コイル
７…インナーモールド
８…アウターモールド
９…カバー
２１…コイル（コイル部材）
２２…磁性体リング
２３…ボビン
６１…信号線
１００…シャフト

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】