特許7103210シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法及びシリコンエピタキシャルウェーハ

発明の名称　シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法及びシリコンエピタキシャルウェーハ

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 874 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 520 位（11件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7103210

公報発行日　2022年7月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7103210

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