特許7104001Ｆｅ－Ｐｔ－ＢＮ系スパッタリングターゲット及びその製造方法

発明の名称　Ｆｅ－Ｐｔ－ＢＮ系スパッタリングターゲット及びその製造方法

出願人　田中貴金属工業株式会社　（識別番号 509352945）

　　　　特許公開件数ランキング 2094 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1047 位（22件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7104001

公報発行日　2022年7月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7104001

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