(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-08-01
(45)【発行日】2022-08-09
(54)【発明の名称】ウェーハの回転検出方法及びウェーハの回転検出システム
(51)【国際特許分類】
G01D 5/347 20060101AFI20220802BHJP
G01D 5/245 20060101ALI20220802BHJP
H01L 21/68 20060101ALI20220802BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20220802BHJP
【ＦＩ】
G01D5/347 110A
G01D5/245 110J
H01L21/68 M
H01L21/304 648G
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2019075856
(22)【出願日】2019-04-11
(65)【公開番号】P2020173193
(43)【公開日】2020-10-22
【審査請求日】2021-04-12
(73)【特許権者】
【識別番号】302006854
【氏名又は名称】株式会社ＳＵＭＣＯ
(74)【代理人】
【識別番号】100147485
【弁理士】
【氏名又は名称】杉村 憲司
(74)【代理人】
【識別番号】230118913
【弁護士】
【氏名又は名称】杉村 光嗣
(74)【代理人】
【識別番号】100165696
【弁理士】
【氏名又は名称】川原 敬祐
(74)【代理人】
【識別番号】100164448
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 雄輔
(72)【発明者】
【氏名】神野 清治
(72)【発明者】
【氏名】浅井 大作
【審査官】吉田 久
(56)【参考文献】
【文献】特開平１０－２８９８８９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－８５６６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－７９９０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－１５２３８２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｄ ５／２６－５／３８
Ｇ０１Ｄ ５／１２－５／２５２
Ｈ０１Ｌ ２１／６８、２１／３０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ウェーハを回転させる駆動ローラにより前記ウェーハを回転させながら、前記ウェーハを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部により、前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラの回転状態を検出して、前記ウェーハの回転を検出し、
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、
前記サブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
照射されたレーザが前記サブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出し、
前記サブローラの前記切り欠き部の最大径は、前記ウェーハのノッチ部の深さより大きいことを特徴とする、ウェーハの回転検出方法。
【請求項2】
ウェーハを回転させる駆動ローラにより前記ウェーハを回転させながら、前記ウェーハを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部により、前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラの回転状態を検出して、前記ウェーハの回転を検出し、
前記スレーブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
照射されたレーザが前記スレーブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出し、
前記スレーブローラの前記切り欠き部の最大径は、前記ウェーハのノッチ部の深さより大きいことを特徴とする、ウェーハの回転検出方法。
【請求項3】
前記検出部は、透過型レーザセンサである、請求項１又は２に記載のウェーハの回転検出方法。
【請求項4】
ウェーハを回転させる駆動ローラと、前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラと、
前記スレーブローラの回転を検出する、検出部と、を備え、
前記検出部は、前記スレーブローラの回転を検出して、前記ウェーハの回転を検出し、
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、
前記サブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
前記検出部は、照射されたレーザが前記サブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出し、
前記サブローラの前記切り欠き部の最大径は、前記ウェーハのノッチ部の深さより大きいことを特徴とする、ウェーハの回転検出システム。
【請求項5】
ウェーハを回転させる駆動ローラと、前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラと、
前記スレーブローラの回転を検出する、検出部と、を備え、
前記検出部は、前記スレーブローラの回転を検出して、前記ウェーハの回転を検出し、
前記スレーブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
前記検出部は、照射されたレーザが前記スレーブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出し、
前記スレーブローラの前記切り欠き部の最大径は、前記ウェーハのノッチ部の深さより大きいことを特徴とする、ウェーハの回転検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェーハの回転検出方法及びウェーハの回転検出システムに関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、ウェーハの製造においては、ウェーハの清浄度を高めるための洗浄工程が行われている（例えば、特許文献１）。洗浄工程においては、ウェーハを横置きまたは縦置きにするなどしてウェーハの表裏端面に目掛けてノズル等を設置しウェーハを回転させながらノズル等を介し洗浄液等を供給して、ウェーハ表裏端面の異物等を除去している。
【0003】
しかしながら、洗浄工程において、何らかの原因でウェーハの回転が停止してしまうと、ウェーハの表裏面や端面に汚れが残留してしまい、発塵源が形成されるおそれがある。このため、洗浄工程においては、ウェーハの回転を監視することが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１３－２４３２１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
これに対し、ウェーハにレーザを照射し、レーザセンサを用いて、ウェーハが回転している場合にレーザが周期的にノッチ部を通過するのを検知することで、ウェーハの回転を監視することも考えられる。
しかしながら、洗浄工程においては、洗浄液等の飛沫が常に生じていること等に起因して、ウェーハの回転状態に対して誤検出が生じるおそれがある。
しかしながら、洗浄工程においては、洗浄液等の飛沫が常に生じていること等に起因して、ウェーハの回転状態に対して誤検出が生じるおそれがある。
【0006】
そこで、本発明は、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる、ウェーハの回転検出方法及びウェーハの回転検出システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の要旨構成は、以下の通りである。
（１）本発明のウェーハの回転検出方法は、
ウェーハを回転させる駆動ローラにより前記ウェーハを回転させながら、前記ウェーハを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、
検出部により、前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラの回転状態を検出して、前記ウェーハの回転を検出することを特徴とする。
（１）本発明のウェーハの回転検出方法は、
ウェーハを回転させる駆動ローラにより前記ウェーハを回転させながら、前記ウェーハを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、
検出部により、前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラの回転状態を検出して、前記ウェーハの回転を検出することを特徴とする。
【0008】
（２）本発明のウェーハの回転検出方法では、
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、
前記サブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
照射されたレーザが前記サブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、
前記サブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
照射されたレーザが前記サブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
【0009】
（３）上記（２）において、前記サブローラの前記切り欠き部の最大径は、前記ウェーハのノッチ部の深さより大きいことが好ましい。
ここで、「サブローラの切り欠き部の最大径」とは、平面視において、切り欠き部により区画されるサブローラのエッジ部、及び、切り欠き部が形成されていないと仮定した場合にサブローラの外縁となる仮想線（実際のサブローラの外縁を除く）からなる閉じた線内の２点間の距離のうち最大となる場合の該２点間の距離をいうものとする。
また、「ノッチ部の深さ」とは、ウェーハの平面視において、ノッチ部により区画されるウェーハのエッジ部から、ノッチ部が形成されていないと仮定した場合にウェーハの外縁となる仮想線（実際のウェーハの外縁を除く）までの距離を、ウェーハの径方向に計測した際に最大となる場合の該距離をいうものとする。
ここで、「サブローラの切り欠き部の最大径」とは、平面視において、切り欠き部により区画されるサブローラのエッジ部、及び、切り欠き部が形成されていないと仮定した場合にサブローラの外縁となる仮想線（実際のサブローラの外縁を除く）からなる閉じた線内の２点間の距離のうち最大となる場合の該２点間の距離をいうものとする。
また、「ノッチ部の深さ」とは、ウェーハの平面視において、ノッチ部により区画されるウェーハのエッジ部から、ノッチ部が形成されていないと仮定した場合にウェーハの外縁となる仮想線（実際のウェーハの外縁を除く）までの距離を、ウェーハの径方向に計測した際に最大となる場合の該距離をいうものとする。
【0010】
（４）本発明のウェーハの回転検出方法では、
前記スレーブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
照射されたレーザが前記スレーブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
前記スレーブローラの周上のいずれかの位置に、切り欠き部が設けられ、
照射されたレーザが前記スレーブローラの前記切り欠き部を所定の周期で通過するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
【0011】
（５）上記（４）において、前記スレーブローラの前記切り欠き部の最大径は、前記ウェーハのノッチ部の深さより大きいことが好ましい。
ここで、「スレーブローラの切り欠き部の最大径」とは、平面視において、切り欠き部により区画されるスレーブローラのエッジ部、及び、切り欠き部が形成されていないと仮定した場合にスレーブローラの外縁となる仮想線（実際のスレーブローラの外縁を除く）からなる閉じた線内の２点間の距離のうち最大となる場合の該２点間の距離をいうものとする。
ここで、「スレーブローラの切り欠き部の最大径」とは、平面視において、切り欠き部により区画されるスレーブローラのエッジ部、及び、切り欠き部が形成されていないと仮定した場合にスレーブローラの外縁となる仮想線（実際のスレーブローラの外縁を除く）からなる閉じた線内の２点間の距離のうち最大となる場合の該２点間の距離をいうものとする。
【0012】
（６）上記（２）～（５）のいずれかにおいて、前記検出部は、透過型レーザセンサであることが好ましい。
【0013】
（７）本発明のウェーハの回転検出方法では、
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、前記サブローラは、前記サブローラの回転状態の情報をエンコードするエンコーダを備え、
前記エンコーダによりエンコードされた前記サブローラの回転状態の情報に基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、前記サブローラは、前記サブローラの回転状態の情報をエンコードするエンコーダを備え、
前記エンコーダによりエンコードされた前記サブローラの回転状態の情報に基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
【0014】
（８）上記（７）において、前記検出部は、前記エンコーダによりエンコードされた前記サブローラの回転状態の情報を受信する受信部と、
前記受信部により受信した前記情報をデコードするデコーダと、を備えることが好ましい。
前記受信部により受信した前記情報をデコードするデコーダと、を備えることが好ましい。
【0015】
（９）本発明のウェーハの回転検出方法では、
前記スレーブローラは、前記スレーブローラの回転状態の情報をエンコードするエンコーダを備え、
前記エンコーダによりエンコードされた前記スレーブローラの回転状態の情報に基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
前記スレーブローラは、前記スレーブローラの回転状態の情報をエンコードするエンコーダを備え、
前記エンコーダによりエンコードされた前記スレーブローラの回転状態の情報に基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
【0016】
（１０）上記（９）において、
前記検出部は、前記エンコーダによりエンコードされた前記スレーブローラの回転状態の情報を受信する受信部と、
前記受信部により受信した前記情報をデコードするデコーダと、を備えることが好ましい。
前記検出部は、前記エンコーダによりエンコードされた前記スレーブローラの回転状態の情報を受信する受信部と、
前記受信部により受信した前記情報をデコードするデコーダと、を備えることが好ましい。
【0017】
（１１）本発明のウェーハの回転検出方法では、
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、前記サブローラの周上のいずれかの位置に、光を反射する反射部を設け、
前記サブローラの反射部により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
前記スレーブローラに、前記スレーブローラの回転にさらに追従して回転するサブローラが連結され、前記サブローラの周上のいずれかの位置に、光を反射する反射部を設け、
前記サブローラの反射部により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
【0018】
（１２）本発明のウェーハの回転検出方法では、
前記スレーブローラの周上のいずれかの位置に、光を反射する反射部を設け、
前記スレーブローラの反射部により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
前記スレーブローラの周上のいずれかの位置に、光を反射する反射部を設け、
前記スレーブローラの反射部により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、前記ウェーハの回転を検出することが好ましい。
【0019】
（１３）上記（１１）又は（１２）において、前記検出部は、前記反射部に向けて照射されて、前記反射部により反射された光を検出することが好ましい。
【0020】
（１４）本発明のウェーハの回転検出システムは、
ウェーハを回転させる駆動ローラと、
前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラと、
前記スレーブローラの回転を検出する、検出部と、を備え、
前記検出部は、前記スレーブローラの回転を検出して、前記ウェーハの回転を検出することを特徴とする。
ウェーハを回転させる駆動ローラと、
前記ウェーハの回転に追従して回転するスレーブローラと、
前記スレーブローラの回転を検出する、検出部と、を備え、
前記検出部は、前記スレーブローラの回転を検出して、前記ウェーハの回転を検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【0021】
本発明によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる、ウェーハの回転検出方法及びウェーハの回転検出システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本発明の第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。
【図2】本発明の第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、透過型レーザ照射装置、及び検出部を示す、概略図である。
【図3】切り欠きの寸法について説明するための図である。
【図4】本発明の第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。
【図5】本発明の第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、エンコーダ、及び検出部を示す、概略図である。
【図6】本発明の第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。
【図7】本発明の第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、光照射装置、反射部、及び検出部を示す、概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に例示説明する。
【0024】
（第１の実施形態）
＜ウェーハの回転検出システム（第１の実施形態）＞
図１は、本発明の第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。
図１に示すように、このウェーハの回転検出システム１００は、駆動ローラ１と、スレーブローラ２、３、４と、サブローラ２ａ、３ａ、４ａと、抑えローラ５と、透過型レーザ照射装置６、７、８と、検出部９、１０、１１と、支持台１２と、を備えている。
＜ウェーハの回転検出システム（第１の実施形態）＞
図１は、本発明の第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。
図１に示すように、このウェーハの回転検出システム１００は、駆動ローラ１と、スレーブローラ２、３、４と、サブローラ２ａ、３ａ、４ａと、抑えローラ５と、透過型レーザ照射装置６、７、８と、検出部９、１０、１１と、支持台１２と、を備えている。
【0025】
駆動ローラ１は、ウェーハＷを回転させるローラである。図１に示す例では、駆動ローラ１は、１つ設けられている。駆動ローラ１は、図示しないモータ等により回転するように構成され、この駆動モータ１が回転する力により、ウェーハＷも回転するように構成される。なお、駆動ローラ１は、モータを備えているため、ウェーハＷに位置ずれ等が生じた場合には、ウェーハＷの回転が停止している場合でも、駆動ローラ１はモータにより回転する。
図示例では、駆動ローラ１は、ウェーハＷを保持する保持台１２により区画される凹部の角部に設けられているが、この場合に限定されず、様々な配置とすることができる。また、駆動ローラ１の個数も１つに限定されず、複数個とすることもできる。
図示例では、駆動ローラ１は、ウェーハＷを保持する保持台１２により区画される凹部の角部に設けられているが、この場合に限定されず、様々な配置とすることができる。また、駆動ローラ１の個数も１つに限定されず、複数個とすることもできる。
【0026】
スレーブローラ２、３、４は、ウェーハＷの回転に追従して回転するように構成されている。スレーブローラ２、３、４は、この例ではモータ等を有さず、ウェーハＷと接していることにより、ウェーハＷが回転するとスレーブローラ２、３、４も回転し、また、ウェーハＷの回転が停止するとスレーブローラ２、３、４の回転も停止するように構成されている。
図示例では、３つのスレーブローラ２、３、４は、ウェーハＷの図示下方向（重力の力の方向）に１箇所と、両側方に１箇所ずつ配置されているが、スレーブローラは１つ以上備えていれば良く、また、様々な配置とすることができる。
図示例では、３つのスレーブローラ２、３、４は、ウェーハＷの図示下方向（重力の力の方向）に１箇所と、両側方に１箇所ずつ配置されているが、スレーブローラは１つ以上備えていれば良く、また、様々な配置とすることができる。
【0027】
サブローラ２ａ、３ａ、４ａは、スレーブローラ２、３、４のそれぞれに連結され、それぞれスレーブローラ２、３、４の回転にさらに追従して回転する。サブローラ２ａ、３ａ、４ａは、この例ではモータ等を有さず、それぞれ、スレーブローラ２、３、４が回転するとサブローラ２ａ、３ａ、４ａも回転し、また、スレーブローラ２、３、４の回転が停止するとサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転も停止するように構成されている。
従って、ウェーハＷ、各スレーブローラ２、３、４、及び各サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転は、同期する（ウェーハＷが回転していると、各スレーブローラ２、３、４、及び各サブローラ２ａ、３ａ、４ａも回転し、かつ、ウェーハＷが回転を停止すると、各スレーブローラ２、３、４、及び各サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転も停止する）。
図示例では、３つのスレーブローラ２、３、４のそれぞれに、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けているが、第１の実施形態において、サブローラは、１つ以上設ければ良い。
図示例では、サブローラ２ａ、３ａ、４ａは、それぞれ、スレーブローラ２、３、４に、同軸上に設けられている。また、図示例では、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの径は、それぞれが連結されているスレーブローラ２、３、４の径より大きい。なお、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの径及びスレーブローラ２、３、４の径は、ウェーハＷの径より小さく、ウェーハＷの径の０．０５～０．２倍程度である。
従って、ウェーハＷ、各スレーブローラ２、３、４、及び各サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転は、同期する（ウェーハＷが回転していると、各スレーブローラ２、３、４、及び各サブローラ２ａ、３ａ、４ａも回転し、かつ、ウェーハＷが回転を停止すると、各スレーブローラ２、３、４、及び各サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転も停止する）。
図示例では、３つのスレーブローラ２、３、４のそれぞれに、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けているが、第１の実施形態において、サブローラは、１つ以上設ければ良い。
図示例では、サブローラ２ａ、３ａ、４ａは、それぞれ、スレーブローラ２、３、４に、同軸上に設けられている。また、図示例では、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの径は、それぞれが連結されているスレーブローラ２、３、４の径より大きい。なお、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの径及びスレーブローラ２、３、４の径は、ウェーハＷの径より小さく、ウェーハＷの径の０．０５～０．２倍程度である。
【0028】
抑えローラ５は、ウェーハＷの回転を安定させるものである。図示例では、ウェーハＷの図示上方に１個設けられているが、抑えローラ５の個数は限定されず、配置も様々なものとすることができる。
【0029】
透過型レーザ照射装置６、７、８は、レーザ光を拡大して照射することができる装置であり、任意の既知の装置を用いることができる。
本例では、３つ全てのサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転（従って、３つ全てのスレーブローラ２、３、４の回転）を検出するために、３つの透過型レーザ照射装置６、７、８を設けているが、第１の実施形態では、透過型レーザ照射装置の個数は１個以上とすることができる。
本例では、３つ全てのサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転（従って、３つ全てのスレーブローラ２、３、４の回転）を検出するために、３つの透過型レーザ照射装置６、７、８を設けているが、第１の実施形態では、透過型レーザ照射装置の個数は１個以上とすることができる。
【0030】
検出部９、１０、１１は、スレーブローラ２、３、４の回転を検出するように構成されている。本例では、検出部７は、透過型レーザセンサである。検出部７は、後述するように、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出して、スレーブローラ２、３、４の回転を検出することができる。
本例では、３つ全てのサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転（従って、３つ全てのスレーブローラ２、３、４の回転）を検出するために、３つの検出部９、１０、１１を設けているが、検出部は１個以上設けていれば良く、該検出部により、１個以上のサブローラの回転（従って、スレーブローラの回転）を検出すれば良い。
本例では、３つ全てのサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転（従って、３つ全てのスレーブローラ２、３、４の回転）を検出するために、３つの検出部９、１０、１１を設けているが、検出部は１個以上設けていれば良く、該検出部により、１個以上のサブローラの回転（従って、スレーブローラの回転）を検出すれば良い。
【0031】
支持台１２は、ウェーハＷを回転可能に固定支持するものである。本例では、図示しない固定手段等をさらに備え、該固定手段により、ウェーハＷが位置ずれしないように固定している。
【0032】
図２は、本発明の第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、透過型レーザ照射装置、及び検出部を示す、概略図である。図２においては、スレーブローラ２、サブローラ２ａ、透過型レーザ照射装置６、及び検出部９を代表して示している。
図２に示すように、本例では、サブローラ２ａは、スレーブローラ２に同軸上に連結され、そして、サブローラ２ａは、スレーブローラ２が回転すると回転し、また、スレーブローラ２の回転が停止するとサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転も停止するように構成されている。
図２に示すように、本例では、サブローラ２ａは、スレーブローラ２に同軸上に連結され、そして、サブローラ２ａは、スレーブローラ２が回転すると回転し、また、スレーブローラ２の回転が停止するとサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転も停止するように構成されている。
【0033】
図２に示すように、本例では、サブローラ２ａは、該サブローラ２ａの周上の１箇所に、平面視で略半円状の、サブローラ２ａの軸方向に貫通する切り欠き部２ｂを有している。
そして、本例では、透過型レーザ照射装置６は、サブローラ２ａの軸方向に、サブローラ２ａの外周領域の周上の所定の箇所に、レーザを照射することができるように配置されている。
本例では、検出部９は、透過型レーザ照射装置６により照射されるレーザの経路上に位置する。これにより、サブローラ２ａの軸回りの回転時に、サブローラ２ａの外周領域の周上の所定の箇所に上記の切り欠き部２ｂが位置した際（図示の状態）には、検出部９（透過型レーザセンサ）は、照射されたレーザを検出し、サブローラ２ａの外周領域の周上の所定の箇所に、上記の切り欠き部２ｂ以外の部分が位置した際には、検出部９（透過型レーザセンサ）は、照射されたレーザを検出しないこととなる。
従って、ウェーハＷが回転している場合には、スレーブローラ２及びサブローラ２ａも回転するため、検出部９は、照射されたレーザを所定の周期で検出することになり、一方で、ウェーハＷの回転が停止している場合には、スレーブローラ２及びサブローラ２ａの回転も停止するため、検出部９は、レーザを（上記所定の周期超の期間にわたって）検出しないこととなる（なお、偶々、切り欠き部２ｂの位置が周上のレーザの通過位置で停止した場合には、検出部９は、レーザを連続的に検出することになる）。
このようにして、検出部９により、照射されたレーザを所定の周期で検出している場合には、ウェーハＷが回転しているものとし、一方で、検出部９により照射されたレーザを一定以上の期間検出しない場合（あるいは連続的に検出する場合）に、ウェーハＷの回転が停止しているものとすることにより、ウェーハＷの回転を検出することができる。
この場合、上記の一定以上の期間は、様々に設定することができ、例えば、ウェーハＷの回転の停止を早期に検出した場合には、上記所定の周期の１周期分以上、あるいは、２～５周期分以上を一定以上の期間として設定することができる。あるいは、ウェーハＷが回転しているにも関わらず、ウェーハＷの回転が停止しているとの誤検出を抑制するためには、例えば２０周期分以上の期間を一定以上の期間として設定することもできる。
このようにして、検出部９、１０、１１は、照射されたレーザを所定の周期で検出するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出する（従って、スレーブローラ２、３、４の回転を検出する）ことができる。よって、検出部９、１０、１１は、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転状態を検出して、ウェーハＷの回転を検出することができる。
そして、本例では、透過型レーザ照射装置６は、サブローラ２ａの軸方向に、サブローラ２ａの外周領域の周上の所定の箇所に、レーザを照射することができるように配置されている。
本例では、検出部９は、透過型レーザ照射装置６により照射されるレーザの経路上に位置する。これにより、サブローラ２ａの軸回りの回転時に、サブローラ２ａの外周領域の周上の所定の箇所に上記の切り欠き部２ｂが位置した際（図示の状態）には、検出部９（透過型レーザセンサ）は、照射されたレーザを検出し、サブローラ２ａの外周領域の周上の所定の箇所に、上記の切り欠き部２ｂ以外の部分が位置した際には、検出部９（透過型レーザセンサ）は、照射されたレーザを検出しないこととなる。
従って、ウェーハＷが回転している場合には、スレーブローラ２及びサブローラ２ａも回転するため、検出部９は、照射されたレーザを所定の周期で検出することになり、一方で、ウェーハＷの回転が停止している場合には、スレーブローラ２及びサブローラ２ａの回転も停止するため、検出部９は、レーザを（上記所定の周期超の期間にわたって）検出しないこととなる（なお、偶々、切り欠き部２ｂの位置が周上のレーザの通過位置で停止した場合には、検出部９は、レーザを連続的に検出することになる）。
このようにして、検出部９により、照射されたレーザを所定の周期で検出している場合には、ウェーハＷが回転しているものとし、一方で、検出部９により照射されたレーザを一定以上の期間検出しない場合（あるいは連続的に検出する場合）に、ウェーハＷの回転が停止しているものとすることにより、ウェーハＷの回転を検出することができる。
この場合、上記の一定以上の期間は、様々に設定することができ、例えば、ウェーハＷの回転の停止を早期に検出した場合には、上記所定の周期の１周期分以上、あるいは、２～５周期分以上を一定以上の期間として設定することができる。あるいは、ウェーハＷが回転しているにも関わらず、ウェーハＷの回転が停止しているとの誤検出を抑制するためには、例えば２０周期分以上の期間を一定以上の期間として設定することもできる。
このようにして、検出部９、１０、１１は、照射されたレーザを所定の周期で検出するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出する（従って、スレーブローラ２、３、４の回転を検出する）ことができる。よって、検出部９、１０、１１は、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転状態を検出して、ウェーハＷの回転を検出することができる。
【0034】
第１の実施形態において、上記の切り欠き部２ｂの形状は、様々なものとすることができ、上記のような平面視で、略半円状とすることもできるし、他にも例えば、平面視で、三角形状、四角形状、他の多角形状、円形状、楕円形状等とすることもできる。
また、上記の切り欠き部２ｂの最大径は、（ウェーハＷがノッチ部を有する場合）ウェーハＷのノッチ部の深さより大きいことが好ましい。切り欠き部２ｂには、洗浄工程における洗浄液等の飛沫が付着し、表面張力により膜を形成して、レーザの検出精度を低下される場合があることが判明した。そこで、切り欠き部２ｂの最大径をウェーハＷのノッチ部の深さより大きくすることにより、膜が形成されにくくなって、検出部９、１０、１１によるレーザの検出精度を高めることができるからである。同様の理由により、切り欠き部２ｂの最大径を、透過型レーザのレーザ光径の１．５～２．５倍とすることが好ましい。
図３は、切り欠き２ｂの寸法について説明するための図である。上記の切り欠き部２ｂの大きさは、特には限定されないが、例えば、図示のように、幅ｗ（平面視で、深さに直交する方向の最大長さ）を３．５～６ｍｍ、深さｈ（ウェーハＷの径方向の最大長さ）を３．５～６ｍｍとすることができる。
このような寸法とすることによっても、切り欠き部２ｂに膜が形成されにくくなり、検出部９、１０、１１によるレーザの検出精度を高めることができる。
また、上記の切り欠き部２ｂの最大径は、（ウェーハＷがノッチ部を有する場合）ウェーハＷのノッチ部の深さより大きいことが好ましい。切り欠き部２ｂには、洗浄工程における洗浄液等の飛沫が付着し、表面張力により膜を形成して、レーザの検出精度を低下される場合があることが判明した。そこで、切り欠き部２ｂの最大径をウェーハＷのノッチ部の深さより大きくすることにより、膜が形成されにくくなって、検出部９、１０、１１によるレーザの検出精度を高めることができるからである。同様の理由により、切り欠き部２ｂの最大径を、透過型レーザのレーザ光径の１．５～２．５倍とすることが好ましい。
図３は、切り欠き２ｂの寸法について説明するための図である。上記の切り欠き部２ｂの大きさは、特には限定されないが、例えば、図示のように、幅ｗ（平面視で、深さに直交する方向の最大長さ）を３．５～６ｍｍ、深さｈ（ウェーハＷの径方向の最大長さ）を３．５～６ｍｍとすることができる。
このような寸法とすることによっても、切り欠き部２ｂに膜が形成されにくくなり、検出部９、１０、１１によるレーザの検出精度を高めることができる。
【0035】
本例では、３つのスレーブローラ２、３、４の全てに、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂを有するサブローラ２ａ、３ａ、４ａを設け、検出部９、１０、１１により、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転（従って、スレーブローラ２、３、４の回転）を検出して、ウェーハＷの回転を検出している。
このような場合には、いずれか１つにおいて、ウェーハＷの回転が停止したものと検出された場合に、ウェーハＷの回転が停止したものと判断することができる。一方で、ウェーハＷが回転しているにも関わらず、ウェーハＷの回転が停止しているとの誤検出を抑制するためには、いずれか複数において、ウェーハＷの回転が停止したものと検出された場合に、ウェーハＷの回転が停止したものと判断することもできる。
このような場合には、いずれか１つにおいて、ウェーハＷの回転が停止したものと検出された場合に、ウェーハＷの回転が停止したものと判断することができる。一方で、ウェーハＷが回転しているにも関わらず、ウェーハＷの回転が停止しているとの誤検出を抑制するためには、いずれか複数において、ウェーハＷの回転が停止したものと検出された場合に、ウェーハＷの回転が停止したものと判断することもできる。
【0036】
なお、切り欠き部が各サブローラに設けられている場合において、各切り欠き部の形状や大きさは、同一とすることもできるが、互いに異ならせることもできる。
【0037】
以上のように、第１の実施形態においては、ウェーハの回転検出システム１００は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１と、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４と、スレーブローラ２、３、４の回転を検出する、検出部９、１０、１１と、を備え、検出部９、１０、１１は、スレーブローラ２、３、４の回転を検出して（照射されたレーザが所定の周期で通過するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
【0038】
＜ウェーハの回転検出方法（第１の実施形態）＞
第１の実施形態においては、ウェーハの回転検出方法は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１により、ウェーハＷを回転させながらウェーハＷを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部９、１０、１１により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（照射されたレーザが所定の周期で通過するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
以下、第１の実施形態の作用効果について説明する。
第１の実施形態においては、ウェーハの回転検出方法は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１により、ウェーハＷを回転させながらウェーハＷを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部９、１０、１１により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（照射されたレーザが所定の周期で通過するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
以下、第１の実施形態の作用効果について説明する。
【0039】
第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムによれば、検出部９、１０、１１は、スレーブローラ２、３、４の回転を検出して（照射されたレーザが所定の周期で通過するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）に基づいて、ウェーハＷの回転を検出することができる。
照射されたレーザがウェーハＷのノッチ部を所定の周期で通過するか否かによりウェーハＷの回転を検出する場合には、ウェーハＷの径が大きいため単位時間当たりの回転数が少なく、また、ノッチ部のサイズが規格等によって定められており通常小さいことから、ノッチ部に液膜が形成されやすく、照射されたレーザがノッチ部を通過するタイミングであっても、検出部がレーザを検出することができない場合があり、ウェーハＷの回転が停止したものと誤検出する場合があった。
これに対し、第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムでは、照射されたレーザが、サブローラ２ａ、３ａ、４ａに設けた切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂを所定の周期で通過するか否かにより、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出している。サブローラ２ａ、３ａ、４ａの径はウェーハＷの径より小さく、単位時間の回転数が多いため、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂに液膜が形成されにくく、上記のような誤検出を抑制して、ウェーハＷの回転を正確に検出することができる。
さらに、第１の実施形態では、（スレーブローラ２、３、４ではなく）サブローラ２ａ、３ａ、４ａに、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂを設けているため、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂと、レーザの発光位置（本例では透過型レーザ照射装置６の位置）やレーザの受光位置（本例では検出部９、１０、１１の位置）との距離を容易に調整することができ、これによりセンシング距離を近づける（１０ｃｍ以下とすることが好ましく、８ｃｍ以下とすることがより好ましく、６ｃｍ以下とすることがさらに好ましい）等して、検出部９、１０、１１によるレーザの検出精度を高めることができる。
また、本例では、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂの最大径は、ウェーハＷのノッチ部の深さより大きいため、より一層、膜が形成されにくくなっている。
さらに、ウェーハＷのノッチ部の場合と異なり、サブローラ２ａ、３ａ、４ａに設ける切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂは形状や寸法を調整することも容易であり、例えば上記のように、幅ｗを３．５～６ｍｍ、深さｈを３．５～６ｍｍとし、及び／又は、平面視半円状の形状とすることにより、さらに膜が形成されにくくなっている。
以上のように、第１の実施形態のウェーハの回転検出システムによれば、（大掛かりな装置等を必要とせず）簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
照射されたレーザがウェーハＷのノッチ部を所定の周期で通過するか否かによりウェーハＷの回転を検出する場合には、ウェーハＷの径が大きいため単位時間当たりの回転数が少なく、また、ノッチ部のサイズが規格等によって定められており通常小さいことから、ノッチ部に液膜が形成されやすく、照射されたレーザがノッチ部を通過するタイミングであっても、検出部がレーザを検出することができない場合があり、ウェーハＷの回転が停止したものと誤検出する場合があった。
これに対し、第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムでは、照射されたレーザが、サブローラ２ａ、３ａ、４ａに設けた切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂを所定の周期で通過するか否かにより、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出している。サブローラ２ａ、３ａ、４ａの径はウェーハＷの径より小さく、単位時間の回転数が多いため、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂに液膜が形成されにくく、上記のような誤検出を抑制して、ウェーハＷの回転を正確に検出することができる。
さらに、第１の実施形態では、（スレーブローラ２、３、４ではなく）サブローラ２ａ、３ａ、４ａに、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂを設けているため、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂと、レーザの発光位置（本例では透過型レーザ照射装置６の位置）やレーザの受光位置（本例では検出部９、１０、１１の位置）との距離を容易に調整することができ、これによりセンシング距離を近づける（１０ｃｍ以下とすることが好ましく、８ｃｍ以下とすることがより好ましく、６ｃｍ以下とすることがさらに好ましい）等して、検出部９、１０、１１によるレーザの検出精度を高めることができる。
また、本例では、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂの最大径は、ウェーハＷのノッチ部の深さより大きいため、より一層、膜が形成されにくくなっている。
さらに、ウェーハＷのノッチ部の場合と異なり、サブローラ２ａ、３ａ、４ａに設ける切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂは形状や寸法を調整することも容易であり、例えば上記のように、幅ｗを３．５～６ｍｍ、深さｈを３．５～６ｍｍとし、及び／又は、平面視半円状の形状とすることにより、さらに膜が形成されにくくなっている。
以上のように、第１の実施形態のウェーハの回転検出システムによれば、（大掛かりな装置等を必要とせず）簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0040】
第１の実施形態にかかるウェーハの回転検出方法によれば、検出部９、１０、１１により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出する（照射されたレーザが所定の周期で通過するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）に基づいて、ウェーハＷの回転を検出している。
よって同様に、第１の実施形態のウェーハの回転検出方法によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
よって同様に、第１の実施形態のウェーハの回転検出方法によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0041】
＜第１の実施形態の変形例＞
上記第１の実施形態は、種々の変形が可能である。一例としては、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けることなく、スレーブローラ２、３、４の周上のいずれかの位置に、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂが設けられ、照射されたレーザがスレーブローラ２、３、４の切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂを所定の周期で通過するか否かに基づいて（スレーブローラ２、３、４の回転を検出することにより）、ウェーハＷの回転を検出することもできる。
この場合でも、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
この場合も、スレーブローラ２、３、４の切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂの最大径は、ウェーハＷのノッチ部の深さより大きいことが好ましい。同様の理由により、切り欠き部２ｂの最大径を、透過型レーザのレーザ光径の１．５～２．５倍とすることが好ましい。
また、この場合も、切り欠き部２ｂの形状は、様々なものとすることができ、上記のように、平面視で略半円状にすることもでき、他にも例えば、平面視で、三角形状、四角形状、他の多角形状、円形状、楕円形状等とすることもできる。
また、一例としては、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂの寸法は、幅ｗを３．５～６ｍｍ、深さｈを３．５～６ｍｍとすることができる。
また、この場合も、検出部９、１０、１１は、透過型レーザセンサとすることが好ましい。
上記第１の実施形態は、種々の変形が可能である。一例としては、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けることなく、スレーブローラ２、３、４の周上のいずれかの位置に、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂが設けられ、照射されたレーザがスレーブローラ２、３、４の切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂを所定の周期で通過するか否かに基づいて（スレーブローラ２、３、４の回転を検出することにより）、ウェーハＷの回転を検出することもできる。
この場合でも、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
この場合も、スレーブローラ２、３、４の切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂの最大径は、ウェーハＷのノッチ部の深さより大きいことが好ましい。同様の理由により、切り欠き部２ｂの最大径を、透過型レーザのレーザ光径の１．５～２．５倍とすることが好ましい。
また、この場合も、切り欠き部２ｂの形状は、様々なものとすることができ、上記のように、平面視で略半円状にすることもでき、他にも例えば、平面視で、三角形状、四角形状、他の多角形状、円形状、楕円形状等とすることもできる。
また、一例としては、切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂの寸法は、幅ｗを３．５～６ｍｍ、深さｈを３．５～６ｍｍとすることができる。
また、この場合も、検出部９、１０、１１は、透過型レーザセンサとすることが好ましい。
【0042】
（第２の実施形態）
＜ウェーハの回転検出システム（第２の実施形態）＞
図４は、本発明の第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。図５は、本発明の第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、エンコーダ、及び検出部を示す、概略図である。図５においては、スレーブローラ２、サブローラ２ａ、エンコーダ１３、及び検出部１６を代表して示している。
図４、５に示すように、このウェーハの回転検出システム２００は、駆動ローラ１と、スレーブローラ２、３、４と、サブローラ２ａ、３ａ、４ａと、抑えローラ５と、エンコーダ１３、１４、１５と、検出部１６、１７、１８と、を備えている。
＜ウェーハの回転検出システム（第２の実施形態）＞
図４は、本発明の第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。図５は、本発明の第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、エンコーダ、及び検出部を示す、概略図である。図５においては、スレーブローラ２、サブローラ２ａ、エンコーダ１３、及び検出部１６を代表して示している。
図４、５に示すように、このウェーハの回転検出システム２００は、駆動ローラ１と、スレーブローラ２、３、４と、サブローラ２ａ、３ａ、４ａと、抑えローラ５と、エンコーダ１３、１４、１５と、検出部１６、１７、１８と、を備えている。
【0043】
駆動ローラ１、スレーブローラ２、３、４、サブローラ２ａ、３ａ、４ｂ、抑えローラ５の構成については（第２の実施形態では、サブローラ２ａ、３ａ、４ａに切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂが設けられていないことを除いて）、図１に示した第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【0044】
エンコーダ１３、１４、１５は、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報をエンコードするものであり、各サブローラ２ａ、３ａ、４ａに設けられている。このエンコーダは、例えば、回転の機械的変位量を電気信号に変換する、ロータリーエンコーダとすることができる。
【0045】
本例では、検出部１６、１７、１８は、エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされたサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報を受信する受信部（不図示）と、受信部により受信した情報をデコードするデコーダ（不図示）と、を備える。
【0046】
以上のように、第２の実施形態においては、ウェーハの回転検出システム２００は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１と、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４と、スレーブローラ２、３、４の回転を検出する、検出部９、１０、１１と、を備え、検出部１６、１７、１８は、スレーブローラ２、３、４の回転を検出して（エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされた、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報を受信部により受信し、デコーダによりデコードして、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
【0047】
＜ウェーハの回転検出方法（第２の実施形態）＞
第２の実施形態においては、ウェーハの回転検出方法は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１により、ウェーハＷを回転させながらウェーハＷを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部１６、１７、１８により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされた、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報を受信部により受信し、デコーダによりデコードして、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
以下、第２の実施形態の作用効果について説明する。
第２の実施形態においては、ウェーハの回転検出方法は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１により、ウェーハＷを回転させながらウェーハＷを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部１６、１７、１８により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされた、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報を受信部により受信し、デコーダによりデコードして、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
以下、第２の実施形態の作用効果について説明する。
【0048】
第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムによれば、検出部１６、１７、１８は、スレーブローラ２、３、４の回転を検出して（エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされた、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報を受信部により受信し、デコーダによりデコードして、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出することができる。
照射されたレーザがウェーハＷのノッチ部を所定の周期で通過するか否かによりウェーハＷの回転を検出する場合には、上述した原因により、ウェーハＷの回転が停止したものと誤検出する場合があった。
これに対し、第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムでは、ノッチ部や切り欠き部ではなく、エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされた、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報に基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転（従って、スレーブローラ２、３、４の回転）を検出しているため、上記のような原因による誤検出を生じさせることなく、ウェーハＷの回転を正確に検出することができる。
以上のように、第２の実施形態のウェーハの回転検出システムによっても、（大掛かりな装置等を用いることなく）簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
照射されたレーザがウェーハＷのノッチ部を所定の周期で通過するか否かによりウェーハＷの回転を検出する場合には、上述した原因により、ウェーハＷの回転が停止したものと誤検出する場合があった。
これに対し、第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムでは、ノッチ部や切り欠き部ではなく、エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされた、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報に基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転（従って、スレーブローラ２、３、４の回転）を検出しているため、上記のような原因による誤検出を生じさせることなく、ウェーハＷの回転を正確に検出することができる。
以上のように、第２の実施形態のウェーハの回転検出システムによっても、（大掛かりな装置等を用いることなく）簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0049】
第２の実施形態にかかるウェーハの回転検出方法によれば、検出部１６、１７、１８により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（エンコーダ１３、１４、１５によりエンコードされた、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転状態の情報を受信部により受信し、デコーダによりデコードして、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出している。
よって同様に、第２の実施形態のウェーハの回転検出方法によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
よって同様に、第２の実施形態のウェーハの回転検出方法によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0050】
＜第２の実施形態の変形例＞
上記第２の実施形態は、種々の変形が可能である。一例としては、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けることなく、スレーブローラ２、３、４が、スレーブローラ２、３、４の回転状態の情報をエンコードするエンコーダを備え、エンコーダによりエンコードされたスレーブローラ２、３、４の回転を検出して、ウェーハＷの回転を検出するように構成することもできる。
この場合、検出部は、エンコーダによりエンコードされたスレーブローラ２、３、４の回転状態の情報を受信する受信部と、受信部により受信した情報をデコードするデコーダと、を備えることが好ましい。
この場合でも、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
上記第２の実施形態は、種々の変形が可能である。一例としては、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けることなく、スレーブローラ２、３、４が、スレーブローラ２、３、４の回転状態の情報をエンコードするエンコーダを備え、エンコーダによりエンコードされたスレーブローラ２、３、４の回転を検出して、ウェーハＷの回転を検出するように構成することもできる。
この場合、検出部は、エンコーダによりエンコードされたスレーブローラ２、３、４の回転状態の情報を受信する受信部と、受信部により受信した情報をデコードするデコーダと、を備えることが好ましい。
この場合でも、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0051】
（第３の実施形態）
＜ウェーハの回転検出システム（第３の実施形態）＞
図６は、本発明の第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。図７は、本発明の第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、光照射装置、反射部、及び検出部を示す、概略図である。図７においては、スレーブローラ２、サブローラ２ａ、光照射装置１９、反射部２２、及び検出部２７を代表して示している。
図６、７に示すように、このウェーハの回転検出システム３００は、駆動ローラ１と、スレーブローラ２、３、４と、サブローラ２ａ、３ａ、４ａと、抑えローラ５と、光照射装置１９、２０、２１と、反射部２２、２３、２４と、検出部２５、２６、２７と、を備えている。
＜ウェーハの回転検出システム（第３の実施形態）＞
図６は、本発明の第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムの概要図である。図７は、本発明の第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムに用いられる、スレーブローラ、サブローラ、光照射装置、反射部、及び検出部を示す、概略図である。図７においては、スレーブローラ２、サブローラ２ａ、光照射装置１９、反射部２２、及び検出部２７を代表して示している。
図６、７に示すように、このウェーハの回転検出システム３００は、駆動ローラ１と、スレーブローラ２、３、４と、サブローラ２ａ、３ａ、４ａと、抑えローラ５と、光照射装置１９、２０、２１と、反射部２２、２３、２４と、検出部２５、２６、２７と、を備えている。
【0052】
駆動ローラ１、スレーブローラ２、３、４、サブローラ２ａ、３ａ、４ｂ、抑えローラ５の構成については（第３の実施形態においては、サブローラ２ａ、３ａ、４ａに切り欠き部２ｂ、３ｂ、４ｂが設けられていないことを除いて）、図１に示した第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【0053】
光照射装置１９、２０、２１は、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの周上の所定の位置に光を照射するものであり、光を照射する任意の既知の装置とすることができる。
【0054】
反射部２２、２３、２４は、それぞれ、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの周上のいずれかの位置に設けられ、光照射装置１９、２０、２１から照射された光を反射することができるものである。反射部２２、２３、２４は、任意の既知のミラーとすることができる。
【0055】
検出部２５、２６、２７は、反射部２２、２３、２４により反射された光を検出するものである。検出部２５、２６、２７は、光を検出することのできる任意の既知のユニットとすることができる。
光照射装置１９、２０、２１、反射部２２、２３、２４、及び検出部２５、２６、２７は、反射部２２、２３、２４に照射された光が、検出部２５、２６、２７により受光することができるような位置関係とすれば良く、様々な配置とすることができる。
光照射装置１９、２０、２１、反射部２２、２３、２４、及び検出部２５、２６、２７は、反射部２２、２３、２４に照射された光が、検出部２５、２６、２７により受光することができるような位置関係とすれば良く、様々な配置とすることができる。
【0056】
光照射装置１９、２０、２１から照射された光は、反射部２２、２３、２４がサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転によって周上の所定の箇所に位置した際（図７の状態）に、反射部２２、２３、２４により反射される。従って、ウェーハＷが回転している場合（スレーブローラ２、３，４及びサブローラ２ａ、３ａ、４ａも回転している）には、検出部２５、２６、２７は、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転による所定の周期で、（光照射装置１９、２０、２１から照射され）反射部２２、２３、２４により反射された光を受光することになる。一方で、ウェーハＷの回転が停止した場合（スレーブローラ２、３，４及びサブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転も停止している）には、検出部９は、光を（上記所定の周期超の期間にわたって）受光しないこととなる（なお、偶々、反射部２２、２３、２４が、光照射装置１９、２０、２１が照射する光の通過位置で停止した場合には、検出部９は、光を連続的に受光することになる）。
【0057】
以上のように、第３の実施形態においては、ウェーハの回転検出システム３００は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１と、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４と、スレーブローラ２、３、４の回転を検出する、検出部２５、２６、２７と、を備え、検出部２５、２６、２７は、スレーブローラ２、３、４の回転を検出して（反射部２２、２３、２４により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
【0058】
＜ウェーハの回転検出方法（第３の実施形態）＞
第３の実施形態においては、ウェーハの回転検出方法は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１により、ウェーハＷを回転させながらウェーハＷを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部２５、２６、２７により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（反射部２２、２３、２４により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
以下、第３実施形態の作用効果について説明する。
第３の実施形態においては、ウェーハの回転検出方法は、ウェーハＷを回転させる駆動ローラ１により、ウェーハＷを回転させながらウェーハＷを洗浄する、ウェーハ洗浄工程において、検出部２５、２６、２７により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（反射部２２、２３、２４により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出する。
以下、第３実施形態の作用効果について説明する。
【0059】
第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムによれば、検出部２５、２６、２７は、スレーブローラ２、３、４の回転を検出して（反射部２２、２３、２４により反射された光を受光するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）に基づいて、ウェーハＷの回転を検出することができる。
照射されたレーザがウェーハＷのノッチ部を所定の周期で通過するか否かによりウェーハＷの回転を検出する場合には、上述した原因により、ウェーハＷの回転が停止したものと誤検出する場合があった。
これに対し、第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムでは、ノッチ部や切り欠き部ではなく、反射部２２、２３、２４により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出している（従ってスレーブローラ２、３、４の回転を検出している）ため、上記のような膜が形成されることによる誤検出を生じさせることなく、ウェーハＷの回転を正確に検出することができる。
以上のように、第３の実施形態のウェーハの回転検出システムによれば、（大掛かりな装置等を用いることなく）簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
照射されたレーザがウェーハＷのノッチ部を所定の周期で通過するか否かによりウェーハＷの回転を検出する場合には、上述した原因により、ウェーハＷの回転が停止したものと誤検出する場合があった。
これに対し、第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出システムでは、ノッチ部や切り欠き部ではなく、反射部２２、２３、２４により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出している（従ってスレーブローラ２、３、４の回転を検出している）ため、上記のような膜が形成されることによる誤検出を生じさせることなく、ウェーハＷの回転を正確に検出することができる。
以上のように、第３の実施形態のウェーハの回転検出システムによれば、（大掛かりな装置等を用いることなく）簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0060】
第３の実施形態にかかるウェーハの回転検出方法によれば、検出部２５、２６、２７により、ウェーハＷの回転に追従して回転するスレーブローラ２、３、４の回転を検出して（反射部２２、２３、２４により反射された光を受光するか否かに基づいて、サブローラ２ａ、３ａ、４ａの回転を検出することによる）、ウェーハＷの回転を検出している。
よって同様に、第３の実施形態のウェーハの回転検出方法によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
よって同様に、第３の実施形態のウェーハの回転検出方法によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0061】
＜第３の実施形態の変形例＞
上記第３の実施形態は、種々の変形が可能である。一例としては、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けることなく、スレーブローラ２、３、４の周上のいずれかの位置に、反射部２２、２３、２４を設け、スレーブローラ２、３、４の反射部２２、２３、２４により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、ウェーハＷの回転を検出するように構成することもできる。
この場合も、光照射装置１９、２０、２１、反射部２２、２３、２４、及び検出部２５、２６、２７は、反射部２２、２３、２４に照射された光が、検出部２５、２６、２７により受光することができるような位置関係とすれば良く、様々な配置とすることができる。
この場合でも、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
上記第３の実施形態は、種々の変形が可能である。一例としては、サブローラ２ａ、３ａ、４ａを設けることなく、スレーブローラ２、３、４の周上のいずれかの位置に、反射部２２、２３、２４を設け、スレーブローラ２、３、４の反射部２２、２３、２４により反射された光を所定の周期で受光するか否かに基づいて、ウェーハＷの回転を検出するように構成することもできる。
この場合も、光照射装置１９、２０、２１、反射部２２、２３、２４、及び検出部２５、２６、２７は、反射部２２、２３、２４に照射された光が、検出部２５、２６、２７により受光することができるような位置関係とすれば良く、様々な配置とすることができる。
この場合でも、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができる。
【0062】
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明は、以下の実施例には何ら限定されるものではない。
【実施例】
【0063】
本発明の効果を確かめるため、ウェーハの洗浄工程において、ウェーハの回転を発明例及び比較例にかかる手法で検出し、ウェーハが回転していないものと検出されてアラームが発報された際に、ウェーハの実際の回転を目視確認した。アラームが発報された際に、ウェーハが回転していた場合に誤検出とした。３５０００枚のウェーハに対して、上記の試験を行った。
【0064】
＜発明例＞
径３００ｍｍのウェーハを３５０００枚用意した。
図１に示したように、３つのスレーブローラのそれぞれにサブローラを設けた。そして、１つのサブローラに、幅４ｍｍ、深さ４ｍｍの切り欠き部を設け、１つの透過型レーザ照射装置（キーエンス社製ＬＶ－Ｓ７２）により照射されたレーザが、透過型レーザセンサにより所定の期間検出されない場合にアラームを発報するように設定した。センシング距離を７ｃｍとした。
径３００ｍｍのウェーハを３５０００枚用意した。
図１に示したように、３つのスレーブローラのそれぞれにサブローラを設けた。そして、１つのサブローラに、幅４ｍｍ、深さ４ｍｍの切り欠き部を設け、１つの透過型レーザ照射装置（キーエンス社製ＬＶ－Ｓ７２）により照射されたレーザが、透過型レーザセンサにより所定の期間検出されない場合にアラームを発報するように設定した。センシング距離を７ｃｍとした。
【0065】
＜比較例＞
径３００ｍｍのウェーハを３５０００枚用意した。
幅３ｍｍ、深さ１ｍｍのノッチ部に対し、１つの透過型レーザ照射装置（キーエンス社製ＬＶ－ＮＨ１１０）により照射されたレーザが、透過型レーザセンサにより所定の期間検出されない場合にアラームを発報するように設定した。センシング距離を１５ｃｍとした。
以下の表１に評価結果を示している。
径３００ｍｍのウェーハを３５０００枚用意した。
幅３ｍｍ、深さ１ｍｍのノッチ部に対し、１つの透過型レーザ照射装置（キーエンス社製ＬＶ－ＮＨ１１０）により照射されたレーザが、透過型レーザセンサにより所定の期間検出されない場合にアラームを発報するように設定した。センシング距離を１５ｃｍとした。
以下の表１に評価結果を示している。
【0066】
【表1】
【0067】
表１に示すように、比較例では０．０１％の誤検出率であったのに対し、発明例では、誤検出は発生しなかった。このことから、発明例によれば、簡易な手法で、洗浄工程において、ウェーハの回転を正確に検出することができたことがわかる。
【符号の説明】
【0068】
１００：ウェーハの回転検出システム、
１：駆動ローラ、
２、３、４：スレーブローラ、
２ａ、３ａ、４ａ：サブローラ、
２ｂ、３ｂ、４ｂ：切り欠き部、
５：抑えローラ、
６、７、８：透過型レーザ照射装置、
９、１０、１１：検出部、
１２：保持台、
２００：ウェーハの回転検出システム、
１３、１４、１５：エンコーダ、
１６、１７、１８：検出部、
３００：ウェーハの回転検出システム、
１９、２０、２１：光照射装置、
２２、２３、２４：反射部、
２５、２６、２７：検出部、
Ｗ：ウェーハ、
１：駆動ローラ、
２、３、４：スレーブローラ、
２ａ、３ａ、４ａ：サブローラ、
２ｂ、３ｂ、４ｂ：切り欠き部、
５：抑えローラ、
６、７、８：透過型レーザ照射装置、
９、１０、１１：検出部、
１２：保持台、
２００：ウェーハの回転検出システム、
１３、１４、１５：エンコーダ、
１６、１７、１８：検出部、
３００：ウェーハの回転検出システム、
１９、２０、２１：光照射装置、
２２、２３、２４：反射部、
２５、２６、２７：検出部、
Ｗ：ウェーハ、
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】