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公報発行日 2022年8月24
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本発明によれば、解砕工程によって全体の製造時間が長時間化し、解砕工程を長時間行わないと、粒度分布が広く、微細粒子や粒径が1μmを超える粗大粒子が生成し易かった従来の酸化ルテニウム粉の製造方法とは異なり、解砕工程によらずに、生成する酸化ルテニウム粉の粒径を近年の電子素子の小型化に伴い要求される、より微細でばらつきの小さな大きさに制御し、特に電気特性悪化の要因となる粒径が1μmを超える粗大粒子の生成を抑制し、粒径の揃った酸化ルテニウム粉を簡便に製造することができ、全体の製造時間の長時間化を抑えて、生産性を向上可能な酸化ルテニウム粉の製造方法及び酸化ルテニウム粉、並びに酸化ルテニウム粉を有する厚膜抵抗ペーストが得られる。
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