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特許7125151基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-08-16
(45)【発行日】2022-08-24
(54)【発明の名称】基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法
(51)【国際特許分類】
G02F 1/13 20060101AFI20220817BHJP
G02F 1/1339 20060101ALI20220817BHJP
【ＦＩ】
G02F1/13 101
G02F1/1339 505
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020072101
(22)【出願日】2020-04-14
(62)【分割の表示】P 2015194197の分割
【原出願日】2015-09-30
(65)【公開番号】P2020112832
(43)【公開日】2020-07-27
【審査請求日】2020-05-12
(73)【特許権者】
【識別番号】316011226
【氏名又は名称】ＡＩメカテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】齊藤 正行
(72)【発明者】
【氏名】海津 拓哉
(72)【発明者】
【氏名】眞鍋 仁志
(72)【発明者】
【氏名】伊藤 正明
(72)【発明者】
【氏名】中澤 良仁
【審査官】岩村 貴
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－３１００４１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－１６５１５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－２６８１１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－２７０６４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－０９１１２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－２２７７８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２００８－００５３０６４（ＫＲ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００９／００６５１５２（ＵＳ，Ａ１）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１５－００４３９８３（ＫＲ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０２Ｆ １／１３
Ｇ０２Ｆ １／１３３９
Ｇ０９Ｆ ９／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
上基板と下基板とを貼り合わせて基板を組み立てる基板組立システムにおいて、基板組立装置の動作を制御する制御装置と、
前記下基板を保持する下テーブルと、
前記上基板を保持する上テーブルと、
前記上基板を粘着保持する複数の粘着ピンと、
前記粘着ピンと前記上テーブルの上方に配置された上フレームを上下動させることで、前記粘着ピンと前記上テーブルとを上下動させる第１駆動機構と、
下面に１つ以上の前記粘着ピンが垂直動作可能に取り付けられている１乃至複数のベース部と、
前記上フレームの下面側に配置され、かつ、それぞれの前記ベース部の各部位を独立して上下動させる複数の第２駆動機構と、を備え、
前記制御装置は、
それぞれの前記第２駆動機構の動作を制御して、それぞれの前記ベース部の各部位の高さを規定する高さ制御部と、
前記第１駆動機構の下降量に応じて測定されるそれぞれの前記第２駆動機構の負荷の変動のタイミングに基づいて、それぞれの前記第２駆動機構の動作量の調整用データを算出する調整用データ算出部と、を有し、
それぞれの前記第２駆動機構は、負荷に応じた電流量の変動の測定が外部に配置された制御装置で行うことが可能なサーボモータ又はステップモータによって構成されている
ことを特徴とする基板組立システム。
【請求項2】
上基板と下基板とを真空環境下で貼り合わせて基板を組み立てる基板組立装置において、前記下基板を保持する下テーブルと、
前記上基板を保持する上テーブルと、
前記上基板を粘着保持する複数の粘着ピンと、
前記粘着ピンと前記上テーブルの上方に配置された上フレームを上下動させることで、前記粘着ピンと前記上テーブルとを上下動させる第１駆動機構と、
下面に１つ以上の前記粘着ピンが垂直動作可能に取り付けられている１乃至複数のベース部と、
前記上フレームの下面側に配置され、かつ、それぞれの前記ベース部の各部位を独立して上下動させる複数の第２駆動機構と、
制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
それぞれの前記第２駆動機構の動作を制御して、前記上基板に対するそれぞれの前記ベース部の各部位の高さを規定する高さ制御部と、
前記第１駆動機構の下降量に応じて測定されるそれぞれの前記第２駆動機構の負荷の変動のタイミングに基づいて、それぞれの前記第２駆動機構の動作量の調整用データを算出する調整用データ算出部と、を有する
ことを特徴とする基板組立装置。
【請求項3】
前記第２駆動機構の負荷を測定して、負荷の変動のタイミングに応じて前記ベース部の各部位の平行状態を判定するモニタリング機能を有する測定部を備えたことを特徴とする請求項２に記載の基板組立装置。
【請求項4】
手動による調整値の入力を受け付けることによって前記ベース部の各部位の動作量の調整を行う手動調整部を有することを特徴とする請求項２に記載の基板組立装置。
【請求項5】
上基板と下基板とを真空環境下で貼り合わせて基板を組み立てる基板組立方法において、前記下基板を保持する下テーブルと、前記上基板を保持する上テーブルと、前記上基板を粘着保持する複数の粘着ピンと、前記粘着ピンと前記上テーブルの上方に配置された上フレームを上下動させることで、前記粘着ピンと前記上テーブルとを上下動させる第１駆動機構と、下面に１つ以上の前記粘着ピンが垂直動作可能に取り付けられている１乃至複数のベース部と、前記上フレームの下面側に配置され、かつ、それぞれの前記ベース部の各部位を独立して上下動させる複数の第２駆動機構と、を備えた基板組立装置に対し、前記下テーブルと前記上テーブルとの間に基板を搬入し、前記粘着ピンで前記基板を粘着保持する基板搬入工程と、
前記基板の周囲を真空環境下にする真空引き工程と、
それぞれの前記第２駆動機構の動作を制御して、それぞれの前記ベース部の各部位の高さを規定した状態で、前記第１駆動機構で前記粘着ピンと前記上テーブルとを下降させることによって、前記基板を前記下テーブル側に加圧するとともに、前記第２駆動機構の負荷を測定する加圧・測定工程と、
それぞれの前記第２駆動機構は、負荷に応じた電流量の変動の測定が外部に配置された制御装置で行うことが可能なサーボモータ又はステップモータによって構成されており、前記第１駆動機構の下降量に応じて測定されるそれぞれの前記第２駆動機構の負荷の変動のタイミングに基づいて、それぞれの前記第２駆動機構の動作量の調整用データを算出する調整用データ算出工程と、を含む
ことを特徴とする基板組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、上基板（ガラス基板）と下基板（ガラス基板）とを真空中で貼り合わせて、液晶パネル等の基板を組み立てる基板組立システムがあった（例えば特許文献１参照）。基板組立システムは、真空チャンバ内で上基板と下基板とを貼り合わせて基板を組み立てる基板組立装置と、基板組立装置の動作を制御する制御装置と、上基板や下基板を基板組立装置の真空チャンバの中に搬入したり、基板組立装置によって組み立てられた基板を真空チャンバの外に搬出したりする搬送装置とを有する構成になっている。
【0003】
基板組立装置は、真空チャンバ内に下テーブルと上テーブルとを有している。基板組立装置は、液晶が滴下された下基板を下テーブル上に保持するとともに、上基板を下基板に対向させて上テーブルに保持する。なお、下基板及び上基板のいずれか一方の基板には接着剤が塗布されている。基板組立装置は、真空チャンバ内を真空にし、上テーブルで上基板と下基板とを加圧することによって、いずれか一方の基板に塗布された接着剤で上基板と下基板とを貼り合わせる。これによって、基板組立システムは、液晶パネル等の基板を組み立てる。このような基板組立システムは、上基板と下基板とを貼り合わせるときに生じる誤差を小さくして、貼り合わせの位置精度を高めるために、真空チャンバ内で上基板と下基板とを略平行に配置する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特許第４３７９４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、従来の基板組立システムは、下基板に対する上基板の平行調整に手間がかかる、という課題があった。
例えば、従来の基板組立システムにおける平行調整は、調整量が不明なため、状態が良好になったこと（平行度が閾値内に収まったこと）が確認されるまで、人手で上基板の傾きを調整する作業を繰り返し行う。そのため、平行調整は、手間がかかっていた。
例えば、従来の基板組立システムにおける平行調整は、調整量が不明なため、状態が良好になったこと（平行度が閾値内に収まったこと）が確認されるまで、人手で上基板の傾きを調整する作業を繰り返し行う。そのため、平行調整は、手間がかかっていた。
【0006】
本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、下基板に対する上基板の平行調整の簡易化を図ることができる基板組立システム、そのシステムに用いる基板組立装置、及び、そのシステムを用いた基板組立方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記目的を達成するため、第１発明は、上基板と下基板とを貼り合わせて基板を組み立てる基板組立システムであって、基板組立装置の動作を制御する制御装置と、前記下基板を保持する下テーブルと、前記上基板を保持する上テーブルと、前記上基板を粘着保持する複数の粘着ピンと、前記粘着ピンと前記上テーブルの上方に配置された上フレームを上下動させることで、前記粘着ピンと前記上テーブルとを上下動させる第１駆動機構と、下面に１つ以上の前記粘着ピンが垂直動作可能に取り付けられている１乃至複数のベース部と、前記上フレームの下面側に配置され、かつ、それぞれの前記ベース部の各部位を独立して上下動させる複数の第２駆動機構と、を備え、前記制御装置は、それぞれの前記第２駆動機構の動作を制御して、それぞれの前記ベース部の各部位の高さを規定する高さ制御部と、前記第１駆動機構の下降量に応じて測定されるそれぞれの前記第２駆動機構の負荷の変動のタイミングに基づいて、それぞれの前記第２駆動機構の動作量の調整用データを算出する調整用データ算出部と、を有し、それぞれの前記第２駆動機構は、負荷に応じた電流量の変動の測定が外部に配置された制御装置で行うことが可能なサーボモータ又はステップモータによって構成されている構成とする。
【0008】
この基板組立システムの調整用データ算出部は、第１駆動機構の下降量に応じて測定される各第２駆動機構の負荷の変動のタイミングに基づいて、各第２駆動機構の動作量の調整用データを算出する。基板組立システムの提供者側のエンジニアや利用者側のオペレータは、算出された調整用データを確認することにより、適切な平行調整を容易に行うことができる。そのため、この基板組立システムは、下基板に対する上基板の平行調整の簡易化を図ることができる。
【0009】
また、第２発明は、上基板と下基板とを真空環境下で貼り合わせて基板を組み立てる基板組立装置であって、前記下基板を保持する下テーブルと、前記上基板を保持する上テーブルと、前記上基板を粘着保持する複数の粘着ピンと、前記粘着ピンと前記上テーブルの上方に配置された上フレームを上下動させることで、前記粘着ピンと前記上テーブルとを上下動させる第１駆動機構と、下面に１つ以上の前記粘着ピンが垂直動作可能に取り付けられている１乃至複数のベース部と、前記上フレームの下面側に配置され、かつ、それぞれの前記ベース部の各部位を独立して上下動させる複数の第２駆動機構と、制御装置と、を備え、前記制御装置は、それぞれの前記第２駆動機構の動作を制御して、前記上基板に対するそれぞれの前記ベース部の各部位の高さを規定する高さ制御部と、前記第１駆動機構の下降量に応じて測定されるそれぞれの前記第２駆動機構の負荷の変動のタイミングに基づいて、それぞれの前記第２駆動機構の動作量の調整用データを算出する調整用データ算出部と、を有する構成とする。
【0010】
また、第３発明は、上基板と下基板とを真空環境下で貼り合わせて基板を組み立てる基板組立方法であって、前記下基板を保持する下テーブルと、前記上基板を保持する上テーブルと、前記上基板を粘着保持する複数の粘着ピンと、前記粘着ピンと前記上テーブルの上方に配置された上フレームを上下動させることで、前記粘着ピンと前記上テーブルとを上下動させる第１駆動機構と、下面に１つ以上の前記粘着ピンが垂直動作可能に取り付けられている１乃至複数のベース部と、前記上フレームの下面側に配置され、かつ、それぞれの前記ベース部の各部位を独立して上下動させる複数の第２駆動機構と、を備えた基板組立装置に対し、前記下テーブルと前記上テーブルとの間に基板を搬入し、前記粘着ピンで前記基板を粘着保持する基板搬入工程と、前記基板の周囲を真空環境下にする真空引き工程と、それぞれの前記第２駆動機構の動作を制御して、それぞれの前記ベース部の各部位の高さを規定した状態で、前記第１駆動機構で前記粘着ピンと前記上テーブルとを下降させることによって、前記基板を前記下テーブル側に加圧するとともに、前記第２駆動機構の負荷を測定する加圧・測定工程と、それぞれの前記第２駆動機構は、負荷に応じた電流量の変動の測定が外部に配置された制御装置で行うことが可能なサーボモータ又はステップモータによって構成されており、前記第１駆動機構の下降量に応じて測定されるそれぞれの前記第２駆動機構の負荷の変動のタイミングに基づいて、それぞれの前記第２駆動機構の動作量の調整用データを算出する調整用データ算出工程と、を含む構成とする。
その他の手段は、後記する。
その他の手段は、後記する。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、下基板に対する上基板の平行調整の簡易化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】実施形態に係る基板組立システムの構成を示す図である。
【図2】実施形態で用いる基板組立装置の吊下げ機構の構成を示す図である。
【図3】実施形態で用いる基板組立装置の吸上げ機構の構成を示す図である。
【図4】実施形態で用いる基板組立装置の粘着保持機構の構成を示す図である。
【図5】上テーブルの上部基板面の構成を示す図である。
【図6】上テーブルの動作を模式的に示す図である。
【図7】上下動機構の構成を模式的に示す図である。
【図8】実施形態で用いる制御装置の構成を示す図である。
【図9】Ｚ軸高さと上下動機構の電動モータの電流値との関係を示すグラフ図である。
【図10】上下動機構の電動モータの動作状態を示す図である。
【図11A】基板組立システムのセットアップ中の動作を示すフローチャート（１）である。
【図11B】基板組立システムのセットアップ中の動作を示すフローチャート（２）である。
【図11C】基板組立システムのセットアップ中の動作を示すフローチャート（３）である。
【図11D】基板組立システムのセットアップ中の動作を示すフローチャート（４）である。
【図12】基板組立システムの停止中の動作を示すフローチャートである。
【図13】基板組立システムの生産中の動作を示すフローチャートである。
【図14A】基板組立システムの加圧・電流測定時の動作を示すフローチャート（１）である。
【図14B】基板組立システムの加圧・電流測定時の動作を示すフローチャート（２）である。
【図15】表示画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」と称する）につき詳細に説明する。なお、各図は、本発明を十分に理解できる程度に、概略的に示してあるに過ぎない。よって、本発明は、図示例のみに限定されるものではない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
【0014】
［実施形態］
＜基板組立システムの構成＞
以下、図１を参照して、本実施形態に係る基板組立システム１０００の構成につき説明する。図１は基板組立システム１０００の構成を示す図である。
図１に示すように、本実施形態に係る基板組立システム１０００は、基板組立装置１と制御装置１００と搬送装置２００とを有する。
＜基板組立システムの構成＞
以下、図１を参照して、本実施形態に係る基板組立システム１０００の構成につき説明する。図１は基板組立システム１０００の構成を示す図である。
図１に示すように、本実施形態に係る基板組立システム１０００は、基板組立装置１と制御装置１００と搬送装置２００とを有する。
【0015】
基板組立装置１は、上基板Ｋ１（ガラス基板）と下基板Ｋ２（ガラス基板）とを真空中で貼り合わせて、液晶パネル等の基板を組み立てる装置である。
制御装置１００は、基板組立装置１の動作を制御する装置である。
搬送装置２００は、上基板Ｋ１（ガラス基板）や下基板Ｋ２（ガラス基板）を基板組立装置１の真空チャンバ５の中に搬入したり、基板組立装置１によって組み立てられた液晶パネル等の基板を真空チャンバ５の外に搬出したりする装置である。
制御装置１００は、基板組立装置１の動作を制御する装置である。
搬送装置２００は、上基板Ｋ１（ガラス基板）や下基板Ｋ２（ガラス基板）を基板組立装置１の真空チャンバ５の中に搬入したり、基板組立装置１によって組み立てられた液晶パネル等の基板を真空チャンバ５の外に搬出したりする装置である。
【0016】
基板組立装置１は、架台１ａと上フレーム２とを有する。架台１ａは設置面（床面等）に載置される。上フレーム２は架台１ａの上方において上下動可能に備わっている。
上フレーム２は、架台１ａに取り付けられる第１駆動機構（Ｚ軸駆動機構２０）にロードセル２０ｄを介して取り付けられている。本実施形態では、基板組立装置１が４つのＺ軸駆動機構２０と４つのロードセル２０ｄとを有しているものとして説明する。
上フレーム２は、架台１ａに取り付けられる第１駆動機構（Ｚ軸駆動機構２０）にロードセル２０ｄを介して取り付けられている。本実施形態では、基板組立装置１が４つのＺ軸駆動機構２０と４つのロードセル２０ｄとを有しているものとして説明する。
【0017】
基板組立装置１には、上テーブル３と下テーブル４とが備わっている。下テーブル４は、ＸＹθ移動ユニット４０を介して架台１ａに取り付けられている。ＸＹθ移動ユニット４０は、架台１ａに対して、互いに直交する２軸（Ｘ軸，Ｙ軸）方向に独立して可動に構成されている。また、ＸＹθ移動ユニット４０は、架台１ａに対してＺ軸周りに回転可能に構成されている。ＸＹθ移動ユニット４０として、Ｚ軸方向には固定されてＸＹ軸方向に自由に移動可能なボールベア等を使用したものが利用できる。
【0018】
なお、本実施形態の基板組立装置１において、架台１ａに対する上フレーム２の方向をＺ軸方向（上下方向）とする。また、Ｚ軸に対して直交する１軸の方向をＸ軸方向（横方向）とし、Ｚ軸及びＸ軸に直交する１軸の方向をＹ軸方向（縦方向）とする。
また、上テーブル３及び下テーブル４は、Ｙ軸方向及びＸ軸方向を縦横方向とする矩形となっている。そして、上テーブル３の平面（上部基板面３ａ）と下テーブル４の平面（下部基板面４ａ）が対向している。
また、上テーブル３及び下テーブル４は、Ｙ軸方向及びＸ軸方向を縦横方向とする矩形となっている。そして、上テーブル３の平面（上部基板面３ａ）と下テーブル４の平面（下部基板面４ａ）が対向している。
【0019】
上フレーム２は、４つのＺ軸駆動機構２０を介して架台１ａに取り付けられている。各Ｚ軸駆動機構２０は、Ｚ軸方向（上下方向）に延設されるボールねじ軸２０ａを上下動させるボールねじ機構２０ｂを有する。ボールねじ軸２０ａは、電動モータ２０ｃで回転し、ボールねじ機構２０ｂによって上下動する。
電動モータ２０ｃは制御装置１００で制御される。また、上フレーム２は制御装置１００の演算に基づいて変位（上下動）する。
電動モータ２０ｃは制御装置１００で制御される。また、上フレーム２は制御装置１００の演算に基づいて変位（上下動）する。
【0020】
上テーブル３は、複数の上シャフト２ａを介して上フレーム２に固定されている。上フレーム２と上テーブル３とは一体に上下動する。上テーブル３の周囲には上チャンバ５ａが配置されている。上チャンバ５ａは、下方（架台１ａの側）が開口した構成になっており、上テーブル３の上方及び側方を覆うように配置されている。
【0021】
上チャンバ５ａは、吊下げ機構６を介して上フレーム２に取り付けられている。
図２は、側面方向から見た吊下げ機構６の構成を示す図である。図２に示すように、吊下げ機構６は、上フレーム２から下方に延設される支持軸６ａと、支持軸６ａの下端部がフランジ状に広がって形成される係止部６ｂとを有する。
また、上チャンバ５ａにはフック６ｃが備わる。フック６ｃは、支持軸６ａの周囲において自在に上下動する。また、フック６ｃは、支持軸６ａの下端において係止部６ｂと係合する。
図２は、側面方向から見た吊下げ機構６の構成を示す図である。図２に示すように、吊下げ機構６は、上フレーム２から下方に延設される支持軸６ａと、支持軸６ａの下端部がフランジ状に広がって形成される係止部６ｂとを有する。
また、上チャンバ５ａにはフック６ｃが備わる。フック６ｃは、支持軸６ａの周囲において自在に上下動する。また、フック６ｃは、支持軸６ａの下端において係止部６ｂと係合する。
【0022】
図１に戻り、上シャフト２ａは上チャンバ５ａを貫通している。上シャフト２ａと上チャンバ５ａの間は真空シール（図示せず）で密封されている。
上フレーム２が上方に移動（上動）すると、フック６ｃが支持軸６ａの係止部６ｂと係合し、それに伴って上チャンバ５ａが上フレーム２とともに上動する。また、上フレーム２が下方に移動（下動）すると、フック６ｃが自重で下動し、それに伴って上チャンバ５ａが下動する。
上フレーム２が上方に移動（上動）すると、フック６ｃが支持軸６ａの係止部６ｂと係合し、それに伴って上チャンバ５ａが上フレーム２とともに上動する。また、上フレーム２が下方に移動（下動）すると、フック６ｃが自重で下動し、それに伴って上チャンバ５ａが下動する。
【0023】
下テーブル４の下部基板面４ａには、図示せぬ複数の吸引孔が開口している。下テーブル４の各吸引孔は真空ポンプＰ３とつながっている。真空ポンプＰ３が駆動すると、下部基板面４ａに載置された下基板Ｋ２が吸着されて下テーブル４（下部基板面４ａ）で保持される。真空ポンプＰ３は制御装置１００で制御される。
また、下テーブル４の周囲には下チャンバ５ｂが配置されている。下チャンバ５ｂは、架台１ａに取り付けられている複数の下シャフト１ｂで支持されている。下シャフト１ｂは下チャンバ５ｂ内に突出している。下チャンバ５ｂと下シャフト１ｂとの間は真空シール（図示せず）で密封されている。
下チャンバ５ｂは、上方（上フレーム２の側）が開口した構成になっており、下テーブル４の下方及び側方を覆うように配置されている。
また、下テーブル４の周囲には下チャンバ５ｂが配置されている。下チャンバ５ｂは、架台１ａに取り付けられている複数の下シャフト１ｂで支持されている。下シャフト１ｂは下チャンバ５ｂ内に突出している。下チャンバ５ｂと下シャフト１ｂとの間は真空シール（図示せず）で密封されている。
下チャンバ５ｂは、上方（上フレーム２の側）が開口した構成になっており、下テーブル４の下方及び側方を覆うように配置されている。
【0024】
ＸＹθ移動ユニット４０は、下チャンバ５ｂ内に突出している下シャフト１ｂに取り付けられて下テーブル４を支持する。
【0025】
上チャンバ５ａと下チャンバ５ｂとは、互いの開口した部分が合わさって真空チャンバ５を形成する。つまり、下動した上チャンバ５ａが下チャンバ５ｂに上方から係合して、下チャンバ５ｂの開口が上チャンバ５ａで塞がれるように構成されている。なお、上チャンバ５ａと下チャンバ５ｂとの接続部はシールリング（図示せず）で密封され、真空チャンバ５の気密性が確保されている。
【0026】
また、上フレーム２は、上チャンバ５ａが下チャンバ５ｂに接する状態よりもさらに下動可能となっている。これによって、上チャンバ５ａの下動が下チャンバ５ｂによって規制された状態から上フレーム２が下動し、吊下げ機構６における係止部６ｂとフック６ｃの係合が解消する。上チャンバ５ａは自重で下チャンバ５ｂに載置した状態になる。そして、真空チャンバ５の内側に上テーブル３と下テーブル４とが配設される。
【0027】
基板組立装置１には真空ポンプ機構Ｐ０が備わっている。真空ポンプ機構Ｐ０は、真空チャンバ５に接続され、真空チャンバ５内の空気を排気して真空チャンバ５内を真空にする。つまり、真空ポンプ機構Ｐ０が駆動すると、真空チャンバ５の内部が真空環境になる。真空ポンプ機構Ｐ０は制御装置１００で制御される。
【0028】
上テーブル３は、真空チャンバ５の内側において下動する上フレーム２とともに下動する。このような上テーブル３の下動によって、上テーブル３に保持される上基板Ｋ１と下テーブル４に保持される下基板Ｋ２とが貼り合わされて、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが加圧される。真空チャンバ５内が真空状態であれば、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが真空で貼り合わせされる。
また、前記したように、上テーブル３は、複数の上シャフト２ａを介して上フレーム２に固定される。このため、上テーブル３によって上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが加圧されるときの荷重がロードセル２０ｄで検出される。ロードセル２０ｄの検出信号は制御装置１００に入力される。制御装置１００は、ロードセル２０ｄで検出された検出値に基づいて、上テーブル３から基板に加わる荷重を特定する。本実施形態では、基板組立装置１は４つのロードセル２０ｄを有しているため、４つのロードセル２０ｄで検出された検出値の合計値が装置全体の合計荷重値となる。つまり、４つのロードセル２０ｄで検出された検出値の合計値が上テーブル３から基板に加わっている全ての荷重の値となる。
また、前記したように、上テーブル３は、複数の上シャフト２ａを介して上フレーム２に固定される。このため、上テーブル３によって上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが加圧されるときの荷重がロードセル２０ｄで検出される。ロードセル２０ｄの検出信号は制御装置１００に入力される。制御装置１００は、ロードセル２０ｄで検出された検出値に基づいて、上テーブル３から基板に加わる荷重を特定する。本実施形態では、基板組立装置１は４つのロードセル２０ｄを有しているため、４つのロードセル２０ｄで検出された検出値の合計値が装置全体の合計荷重値となる。つまり、４つのロードセル２０ｄで検出された検出値の合計値が上テーブル３から基板に加わっている全ての荷重の値となる。
【0029】
なお、基板組立システム１０００は制御装置１００によってＺ軸駆動機構２０で上下動される上テーブル３のＺ軸座標を管理している。ただし、一般的に上基板Ｋ１と下基板Ｋ２は製品毎に厚さに公差を有する。そのため、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との密着状態を上テーブル３の下降量で監視することは困難である。そこで、基板組立システム１０００は４つのロードセル２０ｄによって検出される荷重の値に基づいて上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との密着状態を管理している。
【0030】
（吸上げ機構の構成）
図３は吸上げ機構７の構成を示す図である。吸上げ機構７は、吸上げピン７ａを上下動させたり、吸上げピン７ａによる上基板Ｋ１や後記する図示せぬダミー基板を吸上げたりするための機構である。吸上げ機構７は上フレーム２に取り付けられている。
図３は吸上げ機構７の構成を示す図である。吸上げ機構７は、吸上げピン７ａを上下動させたり、吸上げピン７ａによる上基板Ｋ１や後記する図示せぬダミー基板を吸上げたりするための機構である。吸上げ機構７は上フレーム２に取り付けられている。
【0031】
図３に示すように、吸上げ機構７は、複数の吸上げピン７ａ、１乃至複数の吸上げピンパッド７ｂ、及び、上下動機構７０を備えている。吸上げピン７ａは、上下方向に延設される管状部材であって、上テーブル３とは独立して上下動可能に備わっている。各吸上げピン７ａは、１乃至複数の吸上げピンパッド７ｂに取り付けられている。各吸上げピンパッド７ｂには１つ以上の複数の吸上げピン７ａが取り付けられている。各吸上げピン７ａは、吸上げピンパッド７ｂが上下動することにより、同時に上下動する。吸上げピンパッド７ｂは、上チャンバ５ａと上テーブル３の間に配置される。吸上げピンパッド７ｂは上下動機構７０で上下動する。
【0032】
本実施形態では、上下動機構７０がボールねじ機構によって構成されている場合を想定して説明する。上下動機構７０は、後記する上下動機構８０（図４参照）と同様に、取付部８０ａに回転自在に支持されてＺ軸方向に延設されるボールねじ軸７１と、ボールねじ軸７１を回転させる電動モータ７３と、回転するボールねじ軸７１によって上下動するボールねじ機構７２と、を有する。取付部８０ａは、上フレーム２に固定されており、後記する上下動機構８０のボールねじ軸８１（図４参照）とともに、上下動機構７０のボールねじ軸７１を支持している。ボールねじ軸７１は電動モータ７３で回転し、ボールねじ機構７２を上下動させる。そして、ボールねじ機構７２は吸上げピンパッド７ｂに取り付けられる。ボールねじ軸７１の回転で上下動するボールねじ機構７２と一体に吸上げピンパッド７ｂが上下動する。
【0033】
上下動機構７０は制御装置１００で制御され、制御装置１００の指令に応じて吸上げピンパッド７ｂと吸上げピン７ａが上下動する。
【0034】
吸上げピン７ａは上テーブル３の平面（上部基板面３ａ）よりも上方に配置され、上テーブル３に対して下動した時に上部基板面３ａから下方に突出する。なお、上部基板面３ａは下テーブル４（図１参照）に対向する平面となる。
【0035】
また、吸上げピン７ａは中空の管状を呈し、その中空部７ａ１は吸上げピンパッド７ｂの中空部７ｂ１と連通する。吸上げピンパッド７ｂの中空部７ｂ１には真空ポンプＰ１が接続される。真空ポンプＰ１が駆動すると中空部７ａ１，７ｂ１が真空になり、上基板Ｋ１が吸上げピン７ａに真空吸着される。真空ポンプＰ１は制御装置１００で制御される。つまり、制御装置１００の指令に応じて真空ポンプＰ１が駆動して吸上げピン７ａに上基板Ｋ１が真空吸着される。
【0036】
（粘着保持機構の構成）
図４は粘着保持機構８の構成を示す図である。粘着保持機構８は、粘着ピン８ａを上下動させたり、粘着ピン８ａによる上基板Ｋ１や図示せぬダミー基板を粘着吸引したりするための機構である。粘着保持機構８は上フレーム２に取り付けられている。
図４は粘着保持機構８の構成を示す図である。粘着保持機構８は、粘着ピン８ａを上下動させたり、粘着ピン８ａによる上基板Ｋ１や図示せぬダミー基板を粘着吸引したりするための機構である。粘着保持機構８は上フレーム２に取り付けられている。
【0037】
図４に示すように、粘着保持機構８は、複数の粘着ピン８ａ、１乃至複数の粘着ピンプレート８ｂ、及び、上下動機構８０を備えている。粘着ピン８ａは、上下方向に延設される管状部材であって、上テーブル３及び吸上げピン７ａとは独立して上下動可能に備わっている。粘着ピン８ａの上下動は、上テーブル３の上部基板面３ａに対する垂直動作になる。粘着ピン８ａは、上テーブル３の上部基板面３ａよりも上方に配置され、上テーブル３に対して下動した時に上部基板面３ａから下方に突出する。また、粘着ピン８ａは上動して上部基板面３ａから引き込まれる。本実施形態では、上部基板面３ａから粘着ピン８ａが突出していない状態、つまり、粘着ピン８ａの突出量がゼロ（又はそれ以下）の状態を、粘着ピン８ａが上部基板面３ａから引き込まれた状態とする。そして、粘着ピン８ａは、下動して上部基板面３ａから突出する。なお、粘着ピン８ａの突出量は、上部基板面３ａからの粘着ピン８ａの突出量を示す（以下、同じ）。
【0038】
各粘着ピン８ａは、１乃至複数の粘着ピンプレート８ｂ（ベース部）に取り付けられている。各粘着ピンプレート８ｂには１つ以上の粘着ピン８ａが取り付けられる。各粘着ピンプレート８ｂは独立して上下動（上部基板面３ａに対する垂直動作）可能になっている。
【0039】
粘着ピン８ａは、先端に、弾性材によって構成され、かつ、粘着性を有する粘着部８ｃを有する。また、粘着ピン８ａは中空の管状を呈し、中心に真空吸着孔８ｄが開口している。真空吸着孔８ｄは粘着ピンプレート８ｂの中空部として形成される負圧室８ｂ１と連通する。粘着ピンプレート８ｂの負圧室８ｂ１には真空ポンプＰ２真空ポンプＰ２が接続される。したがって、粘着ピン８ａの真空吸着孔８ｄには負圧室８ｂ１を介して真空ポンプＰ２が接続される。
【0040】
粘着ピン８ａは、真空ポンプＰ２が駆動して真空吸着孔８ｄが真空状態となったときに上基板Ｋ１を真空吸引し、さらに、真空吸引された上基板Ｋ１を粘着部８ｃに貼りつけて保持（粘着保持）する。粘着ピン８ａは上部基板面３ａから突出した状態のときに上基板Ｋ１を保持する。
真空ポンプＰ２は制御装置１００で制御される。上基板Ｋ１は、制御装置１００の指令に応じて粘着ピン８ａに真空吸引されて粘着部８ｃに貼りつけられる。
真空ポンプＰ２は制御装置１００で制御される。上基板Ｋ１は、制御装置１００の指令に応じて粘着ピン８ａに真空吸引されて粘着部８ｃに貼りつけられる。
【0041】
粘着ピンプレート８ｂの負圧室８ｂ１にはガス供給手段８ｅが接続される。ガス供給手段８ｅは制御装置１００で制御される。ガス供給手段８ｅは制御装置１００の指令に応じて駆動し負圧室８ｂ１に所定のガス（空気や窒素ガスなど）を供給する。ガス供給手段８ｅから供給されるガスによって負圧室８ｂ１と真空吸着孔８ｄが昇圧し、粘着部８ｃに貼りついている上基板Ｋ１が粘着部８ｃから剥離する。
【0042】
各粘着ピンプレート８ｂには第２駆動機構（上下動機構８０）が備わっている。上下動機構８０は、取付部８０ａに回転自在に支持されてＺ軸方向に延設されるボールねじ軸８１と、ボールねじ軸８１を回転させる電動モータ８３と、回転するボールねじ軸８１によって上下動するボールねじ機構８２と、を有する。取付部８０ａは上フレーム２に固定されている。ボールねじ軸８１は、電動モータ８３で回転し、ボールねじ機構８２を上下動させる。そして、ボールねじ機構８２は粘着ピンプレート８ｂに取り付けられる。ボールねじ軸８１の回転で上下動するボールねじ機構８２と一体に粘着ピンプレート８ｂが上下動する。
上下動機構８０は制御装置１００で制御され、制御装置１００の指令に応じて粘着ピンプレート８ｂと粘着ピン８ａが上下動する。
上下動機構８０は制御装置１００で制御され、制御装置１００の指令に応じて粘着ピンプレート８ｂと粘着ピン８ａが上下動する。
【0043】
取付部８０ａは上フレーム２に取り付けられ、上フレーム２と一体に上下動する。また、上テーブル３は上フレーム２と一体に上下動する。上フレーム２はＺ軸駆動機構２０（図１参照）で上下動し、上フレーム２が下動すると、上テーブル３と取付部８０ａとは下動する。その結果、上テーブル３と取付部８０ａとが下テーブル４（図１参照）に向かって進行する。上下動機構８０は取付部８０ａに取り付けられており、取付部８０ａの上下動に応じて粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）が上下動する。したがって、Ｚ軸駆動機構２０（第１駆動機構）は、粘着ピン８ａと上テーブル３を下テーブル４に向かって進行させる機能を有する。
【0044】
なお、本実施形態では、上テーブル３は、バックプレート３０とクッションシート３１とを有する。バックプレート３０はクッションシート３０を支持する板材であり、剛性材によって構成されている。クッションシート３０は弾性材によって構成されたシート材である。バックプレート３０は上シャフト２ａに取り付けられ、上フレーム２と一体に上下動する。バックプレート３０は、下テーブル４の下部基板面４ａ（図１参照）と平行に配置される板状の部材である。また、クッションシート３０は下部基板面４ａと対向している。
【0045】
（上部基板面の構成）
図５は上テーブル３の上部基板面３ａの構成を示す図であり、粘着ピン８ａの配置の一例を示している。
図５に示すように、本実施形態では、８１個の粘着ピン８ａが上テーブル３に設けられた構成になっている。９個の粘着ピン８ａが矩形を呈する１つの粘着ピンプレート８ｂの下面側に取り付けられる。そして、９個の粘着ピンプレート８ｂが１つの上テーブル３の上に配置されている。また、１個の粘着ピンプレート８ｂに４つの上下動機構８０が設けられている。上下動機構８０は、例えば、矩形を呈する各粘着ピンプレート８ｂの４隅に１つずつ合計４つ設けられている。９個の粘着ピンプレート８ｂは上下動機構８０によって、互いに独立して上下動可能になっている。ただし、粘着ピン８ａの個数は、運用に応じて適宜変更することができる。また、粘着ピンプレート８ｂの個数も、運用に応じて適宜変更することができ、例えば１個や４個又は他の個数にすることもできる。
図５は上テーブル３の上部基板面３ａの構成を示す図であり、粘着ピン８ａの配置の一例を示している。
図５に示すように、本実施形態では、８１個の粘着ピン８ａが上テーブル３に設けられた構成になっている。９個の粘着ピン８ａが矩形を呈する１つの粘着ピンプレート８ｂの下面側に取り付けられる。そして、９個の粘着ピンプレート８ｂが１つの上テーブル３の上に配置されている。また、１個の粘着ピンプレート８ｂに４つの上下動機構８０が設けられている。上下動機構８０は、例えば、矩形を呈する各粘着ピンプレート８ｂの４隅に１つずつ合計４つ設けられている。９個の粘着ピンプレート８ｂは上下動機構８０によって、互いに独立して上下動可能になっている。ただし、粘着ピン８ａの個数は、運用に応じて適宜変更することができる。また、粘着ピンプレート８ｂの個数も、運用に応じて適宜変更することができ、例えば１個や４個又は他の個数にすることもできる。
【0046】
このように、本実施形態の上下動機構８０（第２駆動機構）は、複数（９個）の粘着ピンプレート８ｂをそれぞれ独立して上下動（上部基板面３ａに対する垂直動作）させることが可能に構成されている。
【0047】
そして、上下動機構８０は、粘着ピンプレート８ｂごとに設定される突出量で、粘着ピン８ａを上部基板面３ａから突出させることができる。これによって、粘着ピン８ａは、粘着ピンプレート８ｂごとに設定される突出量で上部基板面３ａから突出した状態で上基板Ｋ１（図１参照）を保持可能になっている。
【0048】
（上テーブルの動作）
図６は、上テーブル３の動作を模式的に示す図である。図６（ａ）は、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを貼り合わせる直前の状態を示しており、図６（ｂ）は、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを貼り合わせるときの状態を示している。
図６は、上テーブル３の動作を模式的に示す図である。図６（ａ）は、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを貼り合わせる直前の状態を示しており、図６（ｂ）は、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを貼り合わせるときの状態を示している。
【0049】
図６（ａ）に示すように、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを貼り合わせる直前の状態において、下基板Ｋ２は下テーブル４に載置されている。そして、上基板Ｋ１は、下基板Ｋ２の上方で、上テーブル３を貫通する複数の粘着ピン８ａによって保持されている。
【0050】
図６（ｂ）に示すように、基板組立装置１は、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを貼り合わせるときに、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を下動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を下動させる。これによって基板組立装置１は、上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とで上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを加圧して、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを貼り合わせる。
【0051】
（粘着保持機構の上下動機構の構成）
図７は、粘着保持機構８の上下動機構８０の構成を模式的に示す図である。図７（ａ）は基板組立装置１の全体の上下動機構８０の構成を模式的に示しており、図７（ｂ）は任意の１つの粘着ピンプレート８ｂをプレートＰＬ１とし、プレートＰＬ１における上下動機構８０の構成を模式的に示している。
図７は、粘着保持機構８の上下動機構８０の構成を模式的に示す図である。図７（ａ）は基板組立装置１の全体の上下動機構８０の構成を模式的に示しており、図７（ｂ）は任意の１つの粘着ピンプレート８ｂをプレートＰＬ１とし、プレートＰＬ１における上下動機構８０の構成を模式的に示している。
【0052】
図７（ａ）に示すように、本実施形態では、基板組立装置１は９つの矩形状の粘着ピンプレート８ｂを有している。各粘着ピンプレート８ｂの少なくとも四隅には、粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）を上下動させる４つの上下動機構８０が取り付けられている。
【0053】
ここで、４つの上下動機構８０をそれぞれ軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４（図７（ｂ）参照）と称する。軸Ａｘ１と軸Ａｘ４は矩形の隣り合わない２つの頂点を結ぶ対角線上に配置されている。軸Ａｘ２と軸Ａｘ３は別の２つの頂点を結ぶ対角線上に配置されている。
【0054】
図７（ｂ）に示すように、各上下動機構８０は、ボールねじ軸８１とボールねじ機構８２と電動モータ８３とを有する。ボールねじ機構８２は、粘着ピンプレート８ｂと一体に形成されており、ボールねじ軸８１と螺合している。電動モータ８３は、ボールねじ軸８１を回転駆動させることによって、粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）を上下動させる。
【0055】
電動モータ８３は、アンプ２１１及びプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）２１２を介して制御装置１００に接続されている。本実施形態では、ＰＬＣ２１２を介して制御装置１００で各電動モータ８３の動作量（回転角度）を規定することができるように、電動モータ８３としてサーボモータが用いられている。そのため、制御装置１００は、電動モータ８３の動作量（回転角度）を制御することによって、各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４における上フレーム２から粘着ピンプレート８ｂまでの距離を規定することができる。つまり、制御装置１００は、粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）の高さを規定することができる。
【0056】
【0057】
図８に示すように、制御装置１００は、制御部１１０、ＲＯＭやＲＡＭ、ＨＤＤ等の記憶部１６０、スピーカ１７０、液晶ディスプレイ等の表示部１８０、及び、タッチパネルやテンキー、キーボード等の入力部１９０を有している。
【0058】
制御部１１０は、ＣＰＵによって構成され、記憶部１６０に予め格納された制御プログラムＰｒ１を実行することによって、高さ制御部１１１、移動制御部１１２、真空プロセス制御部１１３、測定部１２１、調整用データ算出部１２２、調整モード選択部１２３、変化監視部１２４、自動調整部１３１、及び、手動調整部１３２として機能する。
【0059】
高さ制御部１１１は、上下動機構７０，８０の動作を制御する機能手段である。高さ制御部１１１は、上下動機構７０，８０を駆動して、吸上げピンパッド７ｂの高さ調整や粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）の高さ調整を制御する。
移動制御部１１２は、Ｚ軸駆動機構２０及びＸＹθ移動ユニット４０の動作を制御する機能手段である。移動制御部１１２は、Ｚ軸駆動機構２０の電動モータ２０ｃを駆動して、上フレーム２を上下動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を上下動させる。また移動制御部１１２は、ＸＹθ移動ユニット４０の移動機構４１を駆動して、下テーブル４を変位させて、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との貼り合せ位置を決める。
移動制御部１１２は、Ｚ軸駆動機構２０及びＸＹθ移動ユニット４０の動作を制御する機能手段である。移動制御部１１２は、Ｚ軸駆動機構２０の電動モータ２０ｃを駆動して、上フレーム２を上下動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を上下動させる。また移動制御部１１２は、ＸＹθ移動ユニット４０の移動機構４１を駆動して、下テーブル４を変位させて、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との貼り合せ位置を決める。
【0060】
真空プロセス制御部１１３は、上チャンバ５ａ、真空ポンプ機構Ｐ０、真空ポンプＰ１，Ｐ２，Ｐ３の動作を制御する機能手段である。
測定部１２１は、各上下動機構８０の負荷（本実施形態では、各電動モータ８３に流れる保持電流の電流値（保持電流値））を測定する機能手段である。測定部１２１は、測定データＤ２として、電動モータ８３の保持電流値の変動したタイミングデータと粘着ピンプレート８ｂの高さデータとを同時に記憶部１６０に記録する。測定部１２１は、各上下動機構８０の負荷の変動のタイミングに応じて各粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）の平行状態を判定するモニタリング機能を有する。
測定部１２１は、各上下動機構８０の負荷（本実施形態では、各電動モータ８３に流れる保持電流の電流値（保持電流値））を測定する機能手段である。測定部１２１は、測定データＤ２として、電動モータ８３の保持電流値の変動したタイミングデータと粘着ピンプレート８ｂの高さデータとを同時に記憶部１６０に記録する。測定部１２１は、各上下動機構８０の負荷の変動のタイミングに応じて各粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）の平行状態を判定するモニタリング機能を有する。
【0061】
調整用データ算出部１２２は、後記する調整用データＤ３を算出する機能手段である。
調整モード選択部１２３は、自動調整モードや手動調整モード等の調整モードを選択的に受け付ける機能手段である。
変化監視部１２４は、経年変化やその他の要因による粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）の高さ（平行度）や各電動モータ８３の保持電流値等の変化の大きさを監視する機能手段である。
調整モード選択部１２３は、自動調整モードや手動調整モード等の調整モードを選択的に受け付ける機能手段である。
変化監視部１２４は、経年変化やその他の要因による粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）の高さ（平行度）や各電動モータ８３の保持電流値等の変化の大きさを監視する機能手段である。
【0062】
自動調整部１３１は、自動調整モードを実行する機能手段である。自動調整モードは、調整用データ算出部１２２によって算出された調整用データＤ３に基づいて制御装置１００が平行調整を自動的に行うモードである。
手動調整部１３２は、手動調整モードを実行する機能手段である。手動調整モードは、エンジニアやオペレータの手動による調整値の入力を受け付けることによって平行調整を行うモードである。ここで、エンジニアは、基板組立システム１０００の提供者側の人物である。また、オペレータは、基板組立システム１０００の利用者側の人物である。手動調整モードは、エンジニアやオペレータが各基板の平行調整の状態を個々に確認しながら、製品を生産する場合に適している。
手動調整部１３２は、手動調整モードを実行する機能手段である。手動調整モードは、エンジニアやオペレータの手動による調整値の入力を受け付けることによって平行調整を行うモードである。ここで、エンジニアは、基板組立システム１０００の提供者側の人物である。また、オペレータは、基板組立システム１０００の利用者側の人物である。手動調整モードは、エンジニアやオペレータが各基板の平行調整の状態を個々に確認しながら、製品を生産する場合に適している。
【0063】
記憶部１６０は、例えば、制御プログラムＰｒ１、設定データＤ１、測定データＤ２、調整用データＤ３、蓄積測定データＤ４等を記憶する。
制御プログラムＰｒ１は、制御装置１００の動作を規定するプログラムである。
設定データＤ１は、基板組立装置１の動作の設定値を表すデータである。
測定データＤ２は、各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定結果を表すデータである。
調整用データＤ３は、各上下動機構８０の各電動モータ８３の動作量（回転角度）の調整値を表すデータである。調整用データＤ３の詳細については後記する。
蓄積測定データＤ４は、過去に測定された各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定結果を表すデータである。
制御プログラムＰｒ１は、制御装置１００の動作を規定するプログラムである。
設定データＤ１は、基板組立装置１の動作の設定値を表すデータである。
測定データＤ２は、各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定結果を表すデータである。
調整用データＤ３は、各上下動機構８０の各電動モータ８３の動作量（回転角度）の調整値を表すデータである。調整用データＤ３の詳細については後記する。
蓄積測定データＤ４は、過去に測定された各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定結果を表すデータである。
【0064】
＜電動モータの電流値の変化例＞
以下、図９を参照して、電動モータ８３の電流値の変化例につき説明する。なお、本実施形態において「平行調整」とは、粘着保持機構８の上下動機構８０の電動モータ８３を駆動して、粘着ピンプレート８ｂの各部位（具体的には、粘着ピンプレート８ｂの四隅に配置された各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４（図７（ｂ）参照））の高さを調整することによって、上テーブル３の上部基板面３ａから下方に突出する粘着ピン８ａの突出量を調整する動作を意味している。
以下、図９を参照して、電動モータ８３の電流値の変化例につき説明する。なお、本実施形態において「平行調整」とは、粘着保持機構８の上下動機構８０の電動モータ８３を駆動して、粘着ピンプレート８ｂの各部位（具体的には、粘着ピンプレート８ｂの四隅に配置された各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４（図７（ｂ）参照））の高さを調整することによって、上テーブル３の上部基板面３ａから下方に突出する粘着ピン８ａの突出量を調整する動作を意味している。
【0065】
図９は、Ｚ軸高さと上下動機構８０の電動モータ８３の電流値との関係を示すグラフ図である。図９（ａ）は平行調整を行う前の状態を示している。また、図９（ｂ）及び図９（ｂ）は平行調整を行った後の状態を示している。
【0066】
図９において、横軸はＺ軸高さを表しており、縦軸は各電動モータ８３に流れる保持電流の電流値（保持電流値）を表している。横軸の値は左側から右側に進むにつれて小さくなり、一方、縦軸の値は下側から上側に進むにつれて大きくなっている。
【0067】
ここで、Ｚ軸高さとは、下テーブル４の下部基板面４ａから上テーブル３の上部基板面３ａまでの高さ（上フレーム２の上下軸の高さ）を表している。Ｚ軸駆動機構２０によって上フレーム２が上動すると、Ｚ軸高さの値が大きくなり、Ｚ軸駆動機構２０によって上フレーム２が下動すると、Ｚ軸高さの値が小さくなる。
保持電流値は、例えば制御装置１００の測定部１２１（図８参照）によって測定される。
保持電流値は、例えば制御装置１００の測定部１２１（図８参照）によって測定される。
【0068】
Ａｘ１ａは軸Ａｘ１の電動モータ８３における電流値の減少の開始ポイントを表している。Ａｘ１ｂは軸Ａｘ１の電動モータ８３における電流値の減少中の区間を表している。Ａｘ１ｃは軸Ａｘ１の電動モータ８３における電流値の減少の終了ポイントを表している。Ａｘ２ａ，Ａｘ３ａ，Ａｘ４ａは、それぞれ、軸Ａｘ２ａ，Ａｘ３ａ，Ａｘ４ａの電動モータ８３における電流値の減少の開始ポイントを表している。
【0069】
ここで、電流値の減少の開始ポイント（点Ａｘ１ａ，Ａｘ２ａ，Ａｘ３ａ，Ａｘ４ａ）とは、それぞれ、粘着ピン８ａによって保持された基板（例えば、上基板Ｋ１や後記する図示せぬダミー基板）が下側の部材（例えば、下基板Ｋ２や下テーブル４）に接触したポイントを表している。
【0070】
前記した通り、４つのロードセル２０ｄで検出される検出値の合計値が装置全体の合計荷重値となる。制御装置１００は、Ｚ軸高さと４つのロードセル２０ｄの検出値の変化とを監視することによって、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが当接しているか否かを監視している。基板組立装置１は、吊下げ機構６によって上テーブル３を上フレーム２から吊り下げた構造になっている。そして、基板組立装置１は、粘着ピン８ａの粘着部８ｃが潰れてしまうと、負荷が粘着保持機構８にかからずに上テーブル３にかかる構造になっている。そのため、基板組立装置１では、粘着部８ｃがある程度潰れると、そこから先は電動モータ８３の保持電流値の変動がなくなり、保持電流値が一定な状態になる。
【0071】
図１０に、その過程における粘着ピン８ａの状態を示す。図１０は、第２駆動機構である上下動機構８０の電動モータ８３の動作状態を模式的に示す図である。図９（ａ）に示す点Ａｘ１ａでは、粘着ピン８ａは、図１０（ａ）に示す状態になっている。また、図９（ａ）に示す区間Ａｘ１ｂでは、粘着ピン８ａは、図１０（ｂ）に示す状態になっている。また、図９（ａ）に示す点Ａｘ１ｃでは、粘着ピン８ａは、図１０（ｃ）に示す状態になっている。
【0072】
図１０（ａ）に示すように、電流値の減少の開始ポイントである点Ａｘ１ａでは、粘着ピン８ａによって保持されている基板（例えば上基板Ｋ１や後記する図示せぬダミー基板）が下側の部材（例えば下基板Ｋ２や下テーブル４）に接触した状態になっている。ここでは、粘着ピン８ａによって保持されている基板が上基板Ｋ１であり、上基板Ｋ１の下側の部材が下基板Ｋ２である場合を想定して説明する（以下、同様）。このとき、粘着ピン８ａの粘着部８ｃは潰れていない状態になっており、電動モータ８３の保持電流値として、設定値通りの電流値Ｉ１ａが測定される。
【0073】
図１０（ｂ）に示すように、電流値の減少中の区間Ａｘ１ｂでは、上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とによって上基板Ｋ１が加圧された状態になっている。このとき、粘着ピン８ａの粘着部８ｃは潰れた状態になっており、電動モータ８３の保持電流値として、電流値Ｉ１ａよりも小さな値の電流値Ｉ１ｂが測定される。
【0074】
図１０（ｃ）に示すように、電流値の減少の終了ポイントである点Ａｘ１ｃでは、上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とによって上基板Ｋ１と上テーブル３のクッションシート３１とが加圧された状態になっている。このとき、粘着ピン８ａの粘着部８ｃと上テーブル３のクッションシート３１とが潰れた状態になっており、電動モータ８３の保持電流値として、電流値Ｉ１ｂよりもさらに小さな値の電流値Ｉ１ｃが測定される。
【0075】
図９（ａ）に戻り、ΔＡｘ１２は点Ａｘ１ａから点Ａｘ２ａまでの差分を表している。ΔＡｘ１３は点Ａｘ１ａから点Ａｘ３ａまでの差分を表している。ΔＡｘ１４は点Ａｘ１ａから点Ａｘ４ａまでの差分を表している。ここで、差分ΔＡｘ１２とは、最初の電流値の減少開始ポイント（点Ａｘ１ａ）から２番目の電流値の減少開始ポイント（点Ａｘ２ａ）までの差分を表している（他の、差分ΔＡｘ１３，ΔＡｘ１４も同様）。
【0076】
本実施形態では、一例として、例えば「Ｎ（μｍ）」を閾値とし、「－Ｎμｍ＜（ΔＡｘ１４－ΔＡｘ１２）＜＋Ｎμｍ」のときに、粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａによって保持された基板）が下側の部材（例えば、下基板Ｋ２や下テーブル４）に対して平行状態であると判定することによって、平行調整が行われるものとする。
【0077】
図９（ａ）に示す例では、点Ａｘ１ａ，Ａｘ２ａ，Ａｘ３ａ，Ａｘ４ａのＺ軸高さの値は、値の大きいものから点Ａｘ１ａ，Ａｘ２ａ，Ａｘ３ａ，Ａｘ４ａの順番になっている。このことは、軸Ａｘ１が一番低く、軸Ａｘ２が二番目に低く、軸Ａｘ３が三番目に低く、軸Ａｘ４が四番目に低く（すなわち、一番高く）なるように、粘着ピンプレート８ｂが傾いていることを表している。基板組立システム１０００は、保持電流値の減少開始のタイミングを調整することによって、例えば図９（ｂ）や図９（ｃ）に示すように平行調整を行うことができる。
【0078】
図９（ｂ）は、全ての軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４で保持電流値の減少開始のタイミングが一致するように平行調整を行った場合の例を示している。この場合とは、下側の部材（例えば、下基板Ｋ２や下テーブル４）に対して粘着ピンプレート８ｂの全面が平行になるように平行調整を行った場合を意味している。
【0079】
一方、図９（ｃ）は、各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４で保持電流値の減少開始のタイミングが適度にずれるように平行調整を行った場合の例を示している。この場合とは、下側の部材（例えば、下基板Ｋ２や下テーブル４）に対して粘着ピンプレート８ｂの各部位を意図的に設定したズレ量をもって略平行に配置するように平行調整を行った場合を意味している。
【0080】
＜設定用データの詳細＞
以下、調整用データＤ３（図８参照）の詳細につき説明する。
本実施形態では、調整用データＤ３は、粘着ピンプレート８ｂの各部位（例えば各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４（図７（ｂ）参照）付近）の平行調整量（各上下動機構８０の動作の調整量）を表すデータを意味している。調整用データＤ３は、Ｚ軸高さの差分ΔＡＸ１２，ΔＡＸ１３，ΔＡＸ１４（図９（ａ）参照）に基づいて算出される。例えば、基板組立システム１０００は、上テーブル３の上部基板面３ａに対して傾斜した状態になっている粘着ピンプレート８ｂを上部基板面３ａに対して平行な状態に調整することができる。すなわち、基板組立システム１０００は、図９（ａ）に示す状態から図９（ｂ）に示す状態になるように平行調整を行うことができる。この場合の各軸Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４の平行調整量は、ΔＡＸ１２，ΔＡＸ１３，ΔＡＸ１４となる。調整用データＤ３は、その値を表している。
以下、調整用データＤ３（図８参照）の詳細につき説明する。
本実施形態では、調整用データＤ３は、粘着ピンプレート８ｂの各部位（例えば各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４（図７（ｂ）参照）付近）の平行調整量（各上下動機構８０の動作の調整量）を表すデータを意味している。調整用データＤ３は、Ｚ軸高さの差分ΔＡＸ１２，ΔＡＸ１３，ΔＡＸ１４（図９（ａ）参照）に基づいて算出される。例えば、基板組立システム１０００は、上テーブル３の上部基板面３ａに対して傾斜した状態になっている粘着ピンプレート８ｂを上部基板面３ａに対して平行な状態に調整することができる。すなわち、基板組立システム１０００は、図９（ａ）に示す状態から図９（ｂ）に示す状態になるように平行調整を行うことができる。この場合の各軸Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４の平行調整量は、ΔＡＸ１２，ΔＡＸ１３，ΔＡＸ１４となる。調整用データＤ３は、その値を表している。
【0081】
なお、基板組立システム１０００は、粘着ピンプレート８ｂの各部位を意図的に設定した変位量だけ歪ませるように調整することができる。すなわち、基板組立システム１０００は、例えば図９（ａ）に示す状態から図９（ｃ）に示す状態になるように平行調整を行うことができる。この場合の各軸Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４の平行調整量は、各部位の意図的に歪ませる変位量に応じて変更することができる。したがって、この場合の調整用データＤ３の値は、変位量に応じて変動する。
【0082】
＜基板組立システムの動作＞
基板組立システム１０００は、下基板Ｋ２に対する上基板Ｋ１の平行調整の簡易化を図ることを可能にしている。平行調整は、第２駆動機構である粘着保持機構８の上下動機構８０の動作を制御して、粘着保持機構８のベース部である粘着ピンプレート８ｂの各部位の高さを規定する調整を実行すること（図１１ＡのＳ１４０参照）により、行われる。
基板組立システム１０００は、下基板Ｋ２に対する上基板Ｋ１の平行調整の簡易化を図ることを可能にしている。平行調整は、第２駆動機構である粘着保持機構８の上下動機構８０の動作を制御して、粘着保持機構８のベース部である粘着ピンプレート８ｂの各部位の高さを規定する調整を実行すること（図１１ＡのＳ１４０参照）により、行われる。
【0083】
以下、図１１Ａ～図１１Ｄ、図１２、図１３、図１４Ａ～図１４Ｂ、図１５を参照して、基板組立システム１０００の動作につき説明する。図１１Ａ～図１１Ｄは、それぞれ、基板組立システム１０００のセットアップ中の動作を示すフローチャートである。図１２は、基板組立システム１０００の停止中の動作を示すフローチャートである。図１３は、基板組立システム１０００の生産中の動作を示すフローチャートである。図１４Ａ～図１４Ｂは、基板組立システム１０００の加圧・電流測定時の動作を示すフローチャートである。また、図１５は、表示部１８０（図８参照）に表示させる表示画面ＰＩ１の一例を示す図である。
【0084】
なお、基板組立装置１は図示せぬタイマによって計測された時間に基づいて動作する。また、基板組立装置１の一連の動作は図示せぬ記憶部に読み出し自在に予め格納されたプログラムによって規定されている。また、各情報は、記憶部に読み出し自在に一旦格納されてから、その後の処理を行う所要の構成要素に出力される。以下、これらの点については、情報処理では常套手段であるので、その詳細な説明を省略する。
【0085】
（セットアップ中の動作）
まず、図１１Ａ～図１１Ｄを参照して、基板組立システム１０００のセットアップ中の動作につき説明する。セットアップ中の動作は、基板組立システム１０００の提供者側のエンジニアの操作に基づいて行われる。エンジニアは、制御装置１００を操作して、各種の設定値を基板組立システム１０００に登録するための登録画面（図示せず）を表示部１８０に表示させる。これにより、基板組立システム１０００はセットアップ中の動作を開始する。
まず、図１１Ａ～図１１Ｄを参照して、基板組立システム１０００のセットアップ中の動作につき説明する。セットアップ中の動作は、基板組立システム１０００の提供者側のエンジニアの操作に基づいて行われる。エンジニアは、制御装置１００を操作して、各種の設定値を基板組立システム１０００に登録するための登録画面（図示せず）を表示部１８０に表示させる。これにより、基板組立システム１０００はセットアップ中の動作を開始する。
【0086】
図１１Ａに示すように、エンジニアが図示せぬ登録画面から各種の設定値を入力すると、制御装置１００が入力された設定値の登録の受付を行う（Ｓ１０５）。
そして、エンジニアがセットアップの開始を指示する操作を行うと、制御装置１００は、基板組立装置１に図示せぬダミー基板の真空チャンバ５内への搬入を行わせる（Ｓ１１０）。具体的には、制御装置１００は、基板組立装置１のＺ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を上動することによって、上テーブル３を上動させるとともに、上チャンバ５ａを上動させる。これによって真空チャンバ５が開く。次に制御装置１００は、搬送装置２００を駆動して、図示せぬダミー基板を真空チャンバ５内の上テーブル３と下テーブル４の間に搬入する。ダミー基板は、粘着ピンプレート８ｂの各部位（例えば各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４（図７（ｂ）参照）付近）の平行調整量（各上下動機構８０の動作の調整量）の確認用の基板である。ダミー基板は、全面で均一な厚さに形成されている。
そして、エンジニアがセットアップの開始を指示する操作を行うと、制御装置１００は、基板組立装置１に図示せぬダミー基板の真空チャンバ５内への搬入を行わせる（Ｓ１１０）。具体的には、制御装置１００は、基板組立装置１のＺ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を上動することによって、上テーブル３を上動させるとともに、上チャンバ５ａを上動させる。これによって真空チャンバ５が開く。次に制御装置１００は、搬送装置２００を駆動して、図示せぬダミー基板を真空チャンバ５内の上テーブル３と下テーブル４の間に搬入する。ダミー基板は、粘着ピンプレート８ｂの各部位（例えば各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４（図７（ｂ）参照）付近）の平行調整量（各上下動機構８０の動作の調整量）の確認用の基板である。ダミー基板は、全面で均一な厚さに形成されている。
【0087】
ダミー基板が上テーブル３と下テーブル４の間に搬入されると、制御装置１００は、上下動機構７０に指令を与えて、ダミー基板に当たるまで吸上げピン７ａを下動させるとともに、真空ポンプＰ１を駆動する。これによってダミー基板が吸上げピン７ａに真空吸引される。
この後、制御装置１００は、搬送装置２００を真空チャンバ５の外部に退出させ、吸上げピン７ａを上動させてダミー基板を上テーブル３の上部基板面３ａに密着させる。上部基板面３ａは平面であるので、ダミー基板における撓み等の変形が補正される（撓み等の変形が除去される）。
この後、制御装置１００は、搬送装置２００を真空チャンバ５の外部に退出させ、吸上げピン７ａを上動させてダミー基板を上テーブル３の上部基板面３ａに密着させる。上部基板面３ａは平面であるので、ダミー基板における撓み等の変形が補正される（撓み等の変形が除去される）。
【0088】
そして制御装置１００は、上下動機構８０に指令を与えて、粘着ピンプレート８ｂを下動させるとともに、真空ポンプＰ２を駆動する。ダミー基板は、粘着ピンプレート８ｂとともに下動する粘着ピン８ａに真空吸引される。このとき、粘着ピン８ａの先端の粘着部８ｃがダミー基板に貼りつく。その後、制御装置１００は、粘着ピン８ａの粘着部８ｃにダミー基板が貼りついた状態の粘着ピンプレート８ｂを下動し、ダミー基板を上部基板面３ａから離反させる。
【0089】
このとき、制御装置１００は、各粘着ピン８ａの突出量が粘着ピンプレート８ｂの各部位ごとに設定されている突出量となるように、各上下動機構８０の動作（具体的には、各上下動機構８０の各電動モータ８３の動作）を制御して、各粘着ピンプレート８ｂを下動する。これにより、制御装置１００は各粘着ピンプレート８ｂの各部位の高さを規定する。本実施形態では、電動モータ８３は、サーボモータで構成されており、ＰＬＣ２１２によって制御されている。ＰＬＣ２１２（図７（ｂ）参照）は、一定値の電流を電動モータ８３に流し続けることによって、電動モータ８３の動作量（回転角度）を制御装置１００の指令で規定された動作量に維持し続ける。
【0090】
その後、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を下動することによって、上テーブル３を下動させるとともに、上チャンバ５ａを下動させる。これによって、上チャンバ５ａと下チャンバ５ｂとが係合して、真空チャンバ５が閉じる。このとき、真空チャンバ５の内側には、上テーブル３と下テーブル４と吸上げピン７ａと粘着ピン８ａとが配置されている。
Ｓ１１０の処理は、以上のようにして行われる。
Ｓ１１０の処理は、以上のようにして行われる。
【0091】
Ｓ１１０の後、制御装置１００は基板組立装置１に真空引きを行わせる（Ｓ１１５）。具体的には、真空チャンバ５が閉じると、制御装置１００は、真空ポンプＰ０を駆動して真空チャンバ５内を真空にする。その結果、真空チャンバ５は、真空環境下で上テーブル３と下テーブル４と吸上げピン７ａと粘着ピン８ａとを収納した状態になる。
【0092】
Ｓ１１５の後、制御装置１００は基板組立装置１に加圧・電流測定を行わせる（Ｓ１２５）。Ｓ１２５の処理は、以下のようにして行われる。
まず、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を下動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を下動させる。これによって基板組立装置１は上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とでダミー基板を加圧する。同時に制御装置１００は各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定を開始する。
まず、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を下動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を下動させる。これによって基板組立装置１は上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とでダミー基板を加圧する。同時に制御装置１００は各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定を開始する。
【0093】
制御装置１００は、各電動モータ８３の電流値の測定を開始してから終了するまでの間に測定される各電動モータ８３の保持電流値の測定結果を、Ｚ軸高さと対応付けて、測定データＤ２として記憶部１６０に記憶する。具体的には、制御装置１００の測定部１２１は、例えば、Ｚ軸高さを表す粘着ピンプレート８ｂの高さデータと各電動モータ８３の保持電流値の測定結果を表す電動モータ８３の保持電流値の変動したタイミングデータとを、測定データＤ２として、記憶部１６０に記録する。
【0094】
粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）が下動すると、粘着ピン８ａで保持されているダミー基板の下面が下テーブル４の下部基板面４ａに密着した状態になる。制御装置１００は、ロードセル２０ｄから入力される検出信号によって、ダミー基板の下面が下テーブル４の下部基板面４ａに密着したことを検知する。すると、制御装置１００は、その時点で各上下動機構８０を駆動して、各粘着ピン８ａを上部基板面３ａから引き込む。このとき、制御装置１００は、真空ポンプＰ２を停止するとともに、ガス供給手段８ｅを駆動して真空吸着孔８ｄにガスを供給し、ダミー基板を粘着部８ｃから剥離させる。
【0095】
粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）がさらに下動すると、粘着ピン８ａの粘着部８ｃが潰れた状態になる。その後、ダミー基板の上面が上テーブル３の上部基板面３ａに密着した状態になり、上フレーム２及び上テーブル３でダミー基板をさらに加圧した状態になる。制御装置１００は、ロードセル２０ｄから入力される検出信号によって、上テーブル３と下テーブル４の間に所定の設定荷重が生じたと判定したときに上フレーム２の下動を停止する。また、制御装置１００は各電動モータ８３の電流値の測定を終了する。このとき、ダミー基板は真空チャンバ５内の真空環境下において所定の設定荷重がかかった状態になっている。
Ｓ１２５の処理は、以上のようにして行われる。なお、Ｓ１２５の「加圧・電流測定」処理の詳細については、図１４Ａ及び図１４Ｂを参照して、後述する。
Ｓ１２５の処理は、以上のようにして行われる。なお、Ｓ１２５の「加圧・電流測定」処理の詳細については、図１４Ａ及び図１４Ｂを参照して、後述する。
【0096】
Ｓ１２５の後、制御装置１００は、Ｓ１２５で記憶部１６０に記憶された各電動モータ８３の電流値の測定データＤ２を参照して、測定結果を表す表示画面（例えば、図１５に示す表示画面ＰＩ１）を作成し、その表示画面を表示部１８０（図８参照）に表示する（Ｓ１３０）。
【0097】
図１５は、表示画面ＰＩ１の一例を示す図である。図１５に示す例では、表示画面ＰＩ１は、旧測定結果と最新測定結果とを対比して示す構成になっている。表示画面ＰＩ１は、測定された各電動モータ８３の電流値の変動状態を表すグラフ図や、各種の参照情報、自動調整ボタンＢ１ａ，Ｂ２ａ、手動調整ボタンＢ１ｂ，Ｂ２ｂ、調整不要ボタンＢ３を含む構成になっている。自動調整ボタンＢ１ａ，Ｂ２ａは、平行調整（すなわち、粘着ピンプレート８ｂの各部位の高さを規定する調整）を自動的に実行すること（自動調整モードの実行）を制御装置１００に指示するボタンである。手動調整ボタンＢ１ｂ，Ｂ２ｂは、平行調整を手動で実行すること（手動調整モードの実行）を制御装置１００に指示するボタンである。調整不要ボタンＢ３は、平行調整を実行しないことを制御装置１００に指示するボタンである。
【0098】
図１１Ａに戻り、Ｓ１３０の後、平行調整が必要であるか否かがエンジニアによって判定される（Ｓ１３５）。平行調整が必要である場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、例えばエンジニアによって自動調整ボタンＢ１ａ（図１５参照）又は手動調整ボタンＢ１ｂ（図１５参照）が押下される。制御装置１００は、自動調整ボタンＢ１ａ（図１５参照）又は手動調整ボタンＢ１ｂの押下を検出すると、平行調整を実行する（Ｓ１４０）。一方、平行調整が不要である場合（“Ｎｏ”の場合）に、例えばエンジニアによって調整不要ボタンＢ３（図１５参照）が押下される。制御装置１００は、調整不要ボタンＢ３の押下を検出すると、一連のルーチンの処理を終了する。
【0099】
（「調整実行」処理の詳細）
以下、図１１Ｂを参照して、Ｓ１４０の「調整実行」処理（図１１Ａ参照）の詳細につき説明する。
図１１Ｂに示すように、Ｓ１４０の「調整実行」処理では、まず制御装置１００は調整モードの受付を行う（Ｓ１４０ａ）。調整モードの受付は、例えば表示画面ＰＩ１（図１５参照）に表示された自動調整ボタンＢ１ａ，Ｂ２ａや、手動調整ボタンＢ１ｂ，Ｂ２ｂの押下を検出することによって行われる。次に制御装置１００は受け付けられた調整モードが自動調整モードであるか否かを判定する（Ｓ１４０ｂ）。
以下、図１１Ｂを参照して、Ｓ１４０の「調整実行」処理（図１１Ａ参照）の詳細につき説明する。
図１１Ｂに示すように、Ｓ１４０の「調整実行」処理では、まず制御装置１００は調整モードの受付を行う（Ｓ１４０ａ）。調整モードの受付は、例えば表示画面ＰＩ１（図１５参照）に表示された自動調整ボタンＢ１ａ，Ｂ２ａや、手動調整ボタンＢ１ｂ，Ｂ２ｂの押下を検出することによって行われる。次に制御装置１００は受け付けられた調整モードが自動調整モードであるか否かを判定する（Ｓ１４０ｂ）。
【0100】
Ｓ１４０ｂの判定で、受け付けられた調整モードが自動調整モードであると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、制御装置１００は調整用データＤ３（図８参照）を算出し（Ｓ１４０ｃ）、平行調整の自動調整を実行する（Ｓ１４０ｄ）。これによって制御装置１００はＳ１４０の「調整実行」処理を終了する。なお、Ｓ１４０ｄの「自動調整実行」処理の詳細については、図１１Ｃを参照して、後述する。
【0101】
一方、Ｓ１４０ｂの判定で、受け付けられた調整モードが自動調整モードでないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、制御装置１００の調整用データ算出部１２２（図８参照）は調整用データＤ３（図８参照）を算出し（Ｓ１４０ｅ）、調整用データを表示部１８０（図８参照）に表示し（Ｓ１４０ｆ）、平行調整の手動調整を実行する（Ｓ１４０ｇ）。これによって制御装置１００はＳ１４０の「調整実行」処理を終了する。なお、Ｓ１４０ｇの「手動調整実行」処理の詳細については、図１１Ｄを参照して、後述する。
【0102】
（「自動調整実行」処理の詳細）
以下、図１１Ｃを参照して、Ｓ１４０ｄの「自動調整実行」処理（図１１Ｂ参照）の詳細につき説明する。
図１１Ｃに示すように、Ｓ１４０ｄの処理では、まず制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を上動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を上動させて、ダミー基板への加圧を解除する（Ｓ１４１ａ）。
次に制御装置１００はＳ１４０ｃ（図１１Ｂ参照）で算出された調整用データに基づいて平行調整用の各上下動機構８０（各電動モータ８３）の動作量の設定値を自動更新する（Ｓ１４１ｂ）。
以下、図１１Ｃを参照して、Ｓ１４０ｄの「自動調整実行」処理（図１１Ｂ参照）の詳細につき説明する。
図１１Ｃに示すように、Ｓ１４０ｄの処理では、まず制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を上動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を上動させて、ダミー基板への加圧を解除する（Ｓ１４１ａ）。
次に制御装置１００はＳ１４０ｃ（図１１Ｂ参照）で算出された調整用データに基づいて平行調整用の各上下動機構８０（各電動モータ８３）の動作量の設定値を自動更新する（Ｓ１４１ｂ）。
【0103】
Ｓ１４１ｂの後、制御装置１００は、Ｓ１２５（図１１Ａ参照）の処理と同様に、基板組立装置１に加圧・電流測定を行わせる（Ｓ１４１ｃ）。そして、制御装置１００はＳ１４１ｃの測定結果に基づいて各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の変動のタイミングの差分が予め設定された閾値内であるか否かを判定する（Ｓ１４１ｄ）。Ｓ１４１ｄの判定で、差分が予め設定された閾値内であると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、制御装置１００はＳ１４０ｄの「自動調整実行」処理を終了する。一方、Ｓ１４１ｄの判定で、差分が予め設定された閾値内でないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、制御装置１００はＳ１４１ｃの測定結果に基づいて調整用データを算出する（Ｓ１４１ｅ）。この後、処理はＳ１４１ａに戻る。
【0104】
（「手動調整実行」処理の詳細）
以下、図１１Ｄを参照して、Ｓ１４０ｇの「手動調整実行」処理（図１１Ｂ参照）の詳細につき説明する。
図１１Ｄに示すように、Ｓ１４０ｇの「手動調整実行」処理では、まず制御装置１００はＳ１４１ａの処理（図１１Ｃ参照）と同様にダミー基板への加圧を解除する（Ｓ１４２ａ）。
次に制御装置１００は、平行調整用の各上下動機構８０（各電動モータ８３）の動作量の設定値のエンジニアによる手動入力を受け付け、動作量の設定値を受け付けた値に更新する（Ｓ１４２ｂ）。
以下、図１１Ｄを参照して、Ｓ１４０ｇの「手動調整実行」処理（図１１Ｂ参照）の詳細につき説明する。
図１１Ｄに示すように、Ｓ１４０ｇの「手動調整実行」処理では、まず制御装置１００はＳ１４１ａの処理（図１１Ｃ参照）と同様にダミー基板への加圧を解除する（Ｓ１４２ａ）。
次に制御装置１００は、平行調整用の各上下動機構８０（各電動モータ８３）の動作量の設定値のエンジニアによる手動入力を受け付け、動作量の設定値を受け付けた値に更新する（Ｓ１４２ｂ）。
【0105】
Ｓ１４２ｂの後、制御装置１００は、Ｓ１２５の処理（図１１Ａ参照）と同様に、基板組立装置１に加圧・電流測定を行わせる（Ｓ１４２ｃ）。次に、制御装置１００は、Ｓ１３０の処理（図１１Ａ参照）と同様に、測定結果を表す表示画面（例えば、図１５に示す表示画面ＰＩ１）を作成し、その表示画面を表示部１８０（図８参照）に表示する（Ｓ１４２ｄ）。
【0106】
Ｓ１４２ｄの後、再調整（平行調整）が必要であるか否かがエンジニアによって判定される（Ｓ１４２ｅ）。再調整（平行調整）が必要である場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、例えばエンジニアによって手動調整ボタンＢ１ｂ（図１５参照）が押下される。制御装置１００は、手動調整ボタンＢ１ｂの押下を検出すると、Ｓ１４２ｃの測定結果に基づいて調整用データを算出する（Ｓ１４２ｆ）。この後、処理はＳ１４２ａに戻る。一方、再調整（平行調整）が不要である場合（“Ｎｏ”の場合）に、例えばエンジニアによって調整不要ボタンＢ３（図１５参照）が押下される。制御装置１００は、調整不要ボタンＢ３の押下を検出すると、Ｓ１４０ｇの「手動調整実行」処理を終了する。
【0107】
（基板の生産停止中の動作）
次、図１２を参照して、基板組立システム１０００の基板の生産停止中の動作につき説明する。基板の生産停止中の動作は、基板組立システム１０００の利用者側のオペレータの操作に基づいて行われる。
次、図１２を参照して、基板組立システム１０００の基板の生産停止中の動作につき説明する。基板の生産停止中の動作は、基板組立システム１０００の利用者側のオペレータの操作に基づいて行われる。
【0108】
図１１Ａに示すように、オペレータは、制御装置１００を操作して、蓄積測定データＤ４（図８参照）を確認するための確認画面（図示せず）を表示部１８０に表示させる（Ｓ２０５）。図示せぬ確認画面が表示されると、平行調整が必要であるか否かがオペレータによって判定される（Ｓ２１０）。
【0109】
平行調整が必要である場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、例えばオペレータによって図示せぬ確認画面に含まれている図示せぬ自動調整ボタン又は手動調整ボタンが押下される。制御装置１００は、図示せぬ自動調整ボタン又は手動調整ボタンの押下を検出すると、平行調整を実行する（Ｓ１４０）。一方、平行調整が不要である場合（“Ｎｏ”の場合）に、例えばオペレータによって図示せぬ確認画面に含まれている図示せぬ調整不要ボタンが押下される。制御装置１００は、図示せぬ調整不要ボタンの押下を検出すると、一連のルーチンの処理を終了する。
【0110】
（基板の生産中の動作）
次に、図１３を参照して、基板組立システム１０００の基板の生産中の動作につき説明する。基板の生産中の動作は、基板組立システム１０００の利用者側のオペレータの操作に基づいて行われる。オペレータは、制御装置１００を操作して、基板の生産を指示するための生産指示画面（図示せず）を表示部１８０に表示させる。これにより、基板組立システム１０００は基板の生産中の動作を開始する。
次に、図１３を参照して、基板組立システム１０００の基板の生産中の動作につき説明する。基板の生産中の動作は、基板組立システム１０００の利用者側のオペレータの操作に基づいて行われる。オペレータは、制御装置１００を操作して、基板の生産を指示するための生産指示画面（図示せず）を表示部１８０に表示させる。これにより、基板組立システム１０００は基板の生産中の動作を開始する。
【0111】
図１３に示すように、オペレータが図示せぬ生産指示画面から生産枚数等の各種の設定値を入力して生産開始を指示する操作を行うと、制御装置１００は、基板組立装置１に上基板Ｋ１及び下基板Ｋ２の真空チャンバ５内への搬入を行わせる（Ｓ３０５）。Ｓ３０５の処理は、以下のようにして行われる。
【0112】
まず、制御装置１００は、基板組立装置１のＺ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を上動することによって、上テーブル３を上動させるとともに、上チャンバ５ａを上動させる。これによって真空チャンバ５が開く。次に制御装置１００は、搬送装置２００を駆動して、上基板Ｋ１を真空チャンバ５内の上テーブル３と下テーブル４の間に搬入する。
【0113】
上基板Ｋ１が上テーブル３と下テーブル４の間に搬送されると、制御装置１００は、上下動機構７０に指令を与えて、上基板Ｋ１に当たるまで吸上げピン７ａを下動させるとともに、真空ポンプＰ１を駆動する。これによって上基板Ｋ１が吸上げピン７ａに真空吸引される。
【0114】
この後、制御装置１００は、搬送装置２００を真空チャンバ５の外部に退出させ、吸上げピン７ａを上動させて上基板Ｋ１を上テーブル３の上部基板面３ａに密着させる。上部基板面３ａは平面であるので、上基板Ｋ１における撓み等の変形が補正される（撓み等の変形が除去される）。
【0115】
そして制御装置１００は、上下動機構８０に指令を与えて、粘着ピンプレート８ｂを下動させるとともに、真空ポンプＰ２を駆動する。上基板Ｋ１は、粘着ピンプレート８ｂとともに下動する粘着ピン８ａに真空吸引される。このとき、粘着ピン８ａの先端の粘着部８ｃが上基板Ｋ１に貼りつく。その後、制御装置１００は、粘着ピン８ａに上基板Ｋ１が貼りついた状態の粘着ピンプレート８ｂを下動し、上基板Ｋ１を上部基板面３ａから離反させる。
【0116】
このとき、制御装置１００は、各粘着ピン８ａの突出量が粘着ピンプレート８ｂの各部位ごとに設定されている突出量となるように、上下動機構８０の動作（具体的には、各上下動機構８０の各電動モータ８３の動作）を制御して、各粘着ピンプレート８ｂを下動する。これにより、制御装置１００は各粘着ピンプレート８ｂの各部位の高さを規定する。
【0117】
次に制御装置１００は、搬送装置２００を駆動して、下基板Ｋ２を真空チャンバ５内の上基板Ｋ１と下テーブル４の間に搬入し、下基板Ｋ２を下テーブル４の下部基板面４ａに載置する。この後、制御装置１００は、搬送装置２００を真空チャンバ５の外部に退出させる。また、制御装置１００は真空ポンプＰ３を駆動して下基板Ｋ２を下テーブル４の下部基板面４ａに吸着させて保持する。
【0118】
その後、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を下動することによって、上テーブル３を下動させるとともに、上チャンバ５ａを下動させる。これによって、上チャンバ５ａと下チャンバ５ｂとが係合して、真空チャンバ５が閉じる。このとき、真空チャンバ５の内側には、上テーブル３と下テーブル４と吸上げピン７ａと粘着ピン８ａとが配置されている。
Ｓ３０５の処理は、以上のようにして行われる。
Ｓ３０５の処理は、以上のようにして行われる。
【0119】
Ｓ３０５の後、制御装置１００は、Ｓ１１５の処理（図１１Ａ参照）と同様に、基板組立装置１に真空引きを行わせる（Ｓ３１０）。これによって真空チャンバ５は、真空環境下で上テーブル３と下テーブル４と吸上げピン７ａと粘着ピン８ａとを収納した状態になる。なお、下基板Ｋ２は、基板組立装置１（上テーブル３と下テーブル４の間）に搬入される前に、別の工程でシール剤、液晶、スペーサ、ペースト材などの必要な物質が塗布されている。
【0120】
Ｓ３１０の後、制御装置１００は、ＸＹθ移動ユニット４０の移動機構４１を駆動して下テーブル４を変位させて、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との貼り合せ位置を決める（Ｓ３１５）。
【0121】
Ｓ３１５の後、制御装置１００は、基板組立装置１に加圧・電流測定処理を行わせる（Ｓ３２０）。Ｓ３２０の処理は、以下のようにして行われる。
まず、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を下動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を下動させて、上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とで上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを加圧する。これによって、粘着ピン８ａで保持されている上基板Ｋ１と下テーブル４で保持されている下基板Ｋ２とが貼り合わされる。同時に制御装置１００は各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定を開始する。制御装置１００は、各電動モータ８３の電流値の測定を開始してから終了するまでの間に測定される各電動モータ８３の電流値の測定結果を、Ｚ軸高さと対応付けて、測定データＤ２として記憶部１６０に記憶する。
まず、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２を下動することによって、上テーブル３とともに各粘着ピンプレート８ｂ（粘着ピン８ａ）を下動させて、上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とで上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを加圧する。これによって、粘着ピン８ａで保持されている上基板Ｋ１と下テーブル４で保持されている下基板Ｋ２とが貼り合わされる。同時に制御装置１００は各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の測定を開始する。制御装置１００は、各電動モータ８３の電流値の測定を開始してから終了するまでの間に測定される各電動モータ８３の電流値の測定結果を、Ｚ軸高さと対応付けて、測定データＤ２として記憶部１６０に記憶する。
【0122】
制御装置１００は、ロードセル２０ｄから入力される検出信号によって、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが貼り合わさったことを検知する。すると、制御装置１００は、その時点で各上下動機構８０を駆動して、粘着ピン８ａを上部基板面３ａから引き込む。このとき、制御装置１００は、真空ポンプＰ２を停止するとともに、ガス供給手段８ｅを駆動して真空吸着孔８ｄにガスを供給し、上基板Ｋ１を粘着部８ｃから剥離させる。
【0123】
そして、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上フレーム２をさらに下動することによって、上フレーム２及び上テーブル３と下テーブル４とで上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とをさらに加圧する。制御装置１００は、ロードセル２０ｄから入力される検出信号によって、上テーブル３と下テーブル４との間に所定の設定荷重が生じたと判定したときに上フレーム２の下動を停止する。また、制御装置１００は各電動モータ８３の電流値の測定を終了する。このとき、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とは真空チャンバ５内の真空環境下において所定の設定荷重で貼り合わされる。また、このときの加圧によって、下基板Ｋ２にあらかじめ塗布されているシール剤が適宜押圧され、シール剤で囲まれた枠内に塗布される液晶部分の真空が保持される。
その後、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２の位置がずれないように、図示せぬＵＶ（紫外線）照射装置から照射される紫外線でシール剤が仮硬化される。
Ｓ３２０の処理は、以上のようにして行われる。
その後、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２の位置がずれないように、図示せぬＵＶ（紫外線）照射装置から照射される紫外線でシール剤が仮硬化される。
Ｓ３２０の処理は、以上のようにして行われる。
【0124】
Ｓ３２０の後、制御装置１００はＳ３２０の測定結果に基づいて各上下動機構８０の各電動モータ８３の保持電流値の変動のタイミングの差分が予め設定された閾値内であるか否かを判定する（Ｓ３２５）。
Ｓ３２５の判定で、差分が予め設定された閾値内であると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、制御装置１００は基板組立装置１に大気開放を行わせる（Ｓ３３０）。具体的には、制御装置１００は、真空状態にある真空チャンバ５の内部に窒素ガスなどの気体を注入して真空チャンバ５内を大気圧まで昇圧する。真空チャンバ５の内部が大気圧まで昇圧することによって、予め基板（下基板Ｋ２）に塗布されているスペーサや液晶の量によって決定されるギャップ（セルギャップ）になるまで、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが均一に押圧（加圧プレス）される。制御装置１００は、ガス供給手段８ｅを駆動して、真空吸着孔８ｄにガスを供給する。この時点で粘着ピン８ａは上基板Ｋ１を保持していないので、真空吸着孔８ｄに供給されたガスは真空チャンバ５内に供給される。制御装置１００は、図示しない気圧センサで真空チャンバ５内の気圧を計測し、真空チャンバ５内の気圧が大気圧まで昇圧した時点でガス供給手段８ｅを停止する。そして、制御装置１００は上フレーム２を上動する。これによって真空チャンバ５が開放される。
Ｓ３２５の判定で、差分が予め設定された閾値内であると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、制御装置１００は基板組立装置１に大気開放を行わせる（Ｓ３３０）。具体的には、制御装置１００は、真空状態にある真空チャンバ５の内部に窒素ガスなどの気体を注入して真空チャンバ５内を大気圧まで昇圧する。真空チャンバ５の内部が大気圧まで昇圧することによって、予め基板（下基板Ｋ２）に塗布されているスペーサや液晶の量によって決定されるギャップ（セルギャップ）になるまで、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが均一に押圧（加圧プレス）される。制御装置１００は、ガス供給手段８ｅを駆動して、真空吸着孔８ｄにガスを供給する。この時点で粘着ピン８ａは上基板Ｋ１を保持していないので、真空吸着孔８ｄに供給されたガスは真空チャンバ５内に供給される。制御装置１００は、図示しない気圧センサで真空チャンバ５内の気圧を計測し、真空チャンバ５内の気圧が大気圧まで昇圧した時点でガス供給手段８ｅを停止する。そして、制御装置１００は上フレーム２を上動する。これによって真空チャンバ５が開放される。
【0125】
Ｓ３２５の後、制御装置１００は、搬送装置２００を駆動して、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが貼り合わされた基板を真空チャンバ５の外部に搬出する（Ｓ３３５）。
Ｓ３３５の後、制御装置１００は、設定枚数分の生産が終了したか否かを判定する（Ｓ３４０）。Ｓ３４０の判定で、設定枚数分の生産が終了していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、処理はＳ３０５に戻る。一方、Ｓ３４０の判定で、設定枚数分の生産が終了したと判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、一連のルーチンの処理は終了する。
Ｓ３３５の後、制御装置１００は、設定枚数分の生産が終了したか否かを判定する（Ｓ３４０）。Ｓ３４０の判定で、設定枚数分の生産が終了していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、処理はＳ３０５に戻る。一方、Ｓ３４０の判定で、設定枚数分の生産が終了したと判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、一連のルーチンの処理は終了する。
【0126】
また、Ｓ３２５の判定で、差分が予め設定された閾値内でないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、制御装置１００は、オペレータに測定結果を確認させるために、スピーカ１７０で警報を発報するとともに（Ｓ３５０）、Ｓ３２０で記憶部１６０に記憶された各電動モータ８３の電流値の測定データＤ２を参照して、測定結果を表す表示画面（例えば、図１５に示す表示画面ＰＩ１）を作成し、その表示画面を表示部１８０（図８参照）に表示する（Ｓ３５５）。
【0127】
Ｓ３５５の後、平行調整が必要であるか否かがオペレータによって判定される（Ｓ３６０）。平行調整が必要である場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、例えばオペレータによって自動調整ボタンＢ１ａ（図１５参照）又は手動調整ボタンＢ１ｂ（図１５参照）が押下される。制御装置１００は、自動調整ボタンＢ１ａ（図１５参照）又は手動調整ボタンＢ１ｂの押下を検出すると、搬送装置２００を駆動して、生産中の基板を真空チャンバ５の外部に搬出する（Ｓ３６５）。そして、制御装置１００は、平行調整を実行する（Ｓ１４０）。この後、処理は符号ＳＡ１を介してＳ３０５に戻る。一方、Ｓ３６０で、平行調整が不要である場合（“Ｎｏ”の場合）に、例えばオペレータによって調整不要ボタンＢ３（図１５参照）が押下される。この場合に、処理は符号ＳＡ２を介してＳ３３０に進む。
【0128】
なお、本実施形態では、Ｓ３３０の処理において、基板組立装置１に大気開放を行わせている。これは以下の動作を実現するためである。
すなわち、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との間にガスが侵入する隙間があると、好ましくない。そのため、基板組立装置１は、粘着ピン８ａの粘着部８ｃが潰れる程度に上基板Ｋ１を下基板Ｋ２に押し付けて、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを部分的に貼り合わせる。そして、基板組立装置１は、大気に開放することにより、大気圧で上基板Ｋ１を加圧して、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを密着させて全体的に貼り合わせる。
すなわち、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との間にガスが侵入する隙間があると、好ましくない。そのため、基板組立装置１は、粘着ピン８ａの粘着部８ｃが潰れる程度に上基板Ｋ１を下基板Ｋ２に押し付けて、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを部分的に貼り合わせる。そして、基板組立装置１は、大気に開放することにより、大気圧で上基板Ｋ１を加圧して、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを密着させて全体的に貼り合わせる。
【0129】
（「加圧・電流測定」処理の詳細）
以下、図１４Ａ及び図１４Ｂを参照して、Ｓ１４０ｇ，Ｓ１４１ｃ，Ｓ１４２ｃ，Ｓ３２０の「加圧・電流測定」処理（図１１Ａ、図１１Ｂ、図１１Ｄ、図１３参照）の詳細につき説明する。ここでは、上テーブル３の下降量が第１下降量～第４下降量の４段階で設定されている場合を想定して説明する。ただし、上テーブル３の下降量は４段階以外の多段階で設定することもできる。また、上テーブル３の下降量を設定するか否かの条件として用いる目標荷重が第１目標荷重～第３目標荷重の３段階で設定されている場合を想定して説明する。ただし、目標荷重は３段階以外の多段階で設定することもできる。
以下、図１４Ａ及び図１４Ｂを参照して、Ｓ１４０ｇ，Ｓ１４１ｃ，Ｓ１４２ｃ，Ｓ３２０の「加圧・電流測定」処理（図１１Ａ、図１１Ｂ、図１１Ｄ、図１３参照）の詳細につき説明する。ここでは、上テーブル３の下降量が第１下降量～第４下降量の４段階で設定されている場合を想定して説明する。ただし、上テーブル３の下降量は４段階以外の多段階で設定することもできる。また、上テーブル３の下降量を設定するか否かの条件として用いる目標荷重が第１目標荷重～第３目標荷重の３段階で設定されている場合を想定して説明する。ただし、目標荷重は３段階以外の多段階で設定することもできる。
【0130】
図１４Ａに示すように、Ｓ１４０ｇ，Ｓ１４１ｃ，Ｓ１４２ｃ，Ｓ３２０の「加圧・電流測定」処理では、まず制御装置１００は各粘着ピンプレート８ｂを加圧開始用高さにセットする（Ｓ４０５）。加圧開始用高さは、加圧開始用に予め設定された高さであり、真空チャンバ５内に配置されている基板の厚さ（具体的には、ダミー基板の厚さ、又は、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との合計の厚さ）よりも大きな値に設定されている。次に制御装置１００は電流測定を開始する（Ｓ４１０）。そして制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上テーブル３を加圧開始高さに下降させる（Ｓ４１５）。
【0131】
Ｓ４１５の後、制御装置１００は上テーブル３の下降量を第１下降量に設定する（Ｓ４２０）。第１下降量は、上部基板面３ａからの粘着ピン８ａの粘着部８ｃの突出量として予め設定された設定値（以下、「設定突出量」と称する）と同程度の値又は設定突出量よりも小さな値に設定されている。次に制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上テーブル３を第１下降量分だけ下降させる（Ｓ４２５）。
【0132】
Ｓ４２５の後、制御装置１００は、４つのロードセル２０ｄによって測定された荷重（以下、「測定荷重」と称する）が最終荷重に到達したか否かを判定する（Ｓ４３０）。最終荷重は、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とを実際に貼り合わせるときの設定荷重である。
【0133】
Ｓ４３０の判定で、測定荷重が最終荷重に到達したと判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２とが貼り合わされた状態になっている。この場合に、制御装置１００は、設定時間分だけ待機し（Ｓ４３５）、その後に、電流測定を終了し（Ｓ４４０）、測定結果を測定データＤ２として記憶部１６０に記憶する（Ｓ４４５）。そして制御装置１００は、「加圧・電流測定」の処理を終了する。
【0134】
一方、Ｓ４３０の判定で、測定荷重が最終荷重に到達していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、処理は符号ＳＢ１を介して図１４Ｂに示すＳ５０５に進む。
【0135】
Ｓ４３０の判定で、測定荷重が最終荷重に到達していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、図１４Ｂに示すように、制御装置１００は、測定荷重が第１目標荷重に到達したか否かを判定する（Ｓ５０５）。第１目標荷重は、上テーブル３の下降量として第２下降量を設定するか否かの条件として用いる目標荷重であり、最終荷重よりも小さな値に設定されている。
【0136】
Ｓ５０５の判定で、測定荷重が第１目標荷重に到達していると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、制御装置１００は、上テーブル３の下降量を第２下降量に設定する（Ｓ５１０）。第２下降量は第１下降量よりも小さな値に設定されている。
【0137】
次に制御装置１００は電流測定を一時停止する（Ｓ５１５）。そして制御装置１００は、ＸＹθ移動ユニット４０の移動機構４１を駆動して下テーブル４を変位させて、上基板Ｋ１と下基板Ｋ２との貼り合せ位置を決める（Ｓ５２０）。この後、制御装置１００は電流測定を再開する（Ｓ５２５）。
【0138】
一方、Ｓ５０５の判定で、測定荷重が第１目標荷重に到達していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、制御装置１００は、測定荷重が第２目標荷重に到達したか否かを判定する（Ｓ５３０）。第２目標荷重は第１目標荷重よりも小さな値に設定されている。Ｓ５３０の判定で、測定荷重が第２目標荷重に到達していると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、制御装置１００は、上テーブル３の下降量を第３下降量に設定する（Ｓ５３５）。第３下降量は第２下降量よりも小さな値に設定されている。
【0139】
一方、Ｓ５３０の判定で、測定荷重が第２目標荷重に到達していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、制御装置１００は、測定荷重が第３目標荷重に到達したか否かを判定する（Ｓ５４０）。第３目標荷重は第２目標荷重よりも小さな値に設定されている。Ｓ５４０の判定で、測定荷重が第３目標荷重に到達していると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、制御装置１００は、上テーブル３の下降量を第４下降量に設定する（Ｓ５４５）。第４下降量は第３下降量よりも小さな値に設定されている。一方、Ｓ５４０の判定で、測定荷重が第３目標荷重に到達していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、処理はＳ５５０に進む。
【0140】
Ｓ５２５とＳ５３５とＳ５４５とのいずれかの処理の後、又は、Ｓ５４０の判定で、測定荷重が第３目標荷重に到達していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）の後に、制御装置１００は、Ｚ軸駆動機構２０を駆動して、上テーブル３を設定された下降量分だけ下降させる（Ｓ５５０）。その結果、処理がＳ５２５の後の場合に、上テーブル３が第２下降量分だけ下降する。また、処理がＳ５３５の後の場合に、上テーブル３が第３下降量分だけ下降する。また、処理がＳ５４５の後の場合に、上テーブル３が第４下降量分だけ下降する。また、処理がＳ５４０の判定で、測定荷重が第３目標荷重に到達していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）の後に、上テーブル３が第３下降量分だけ下降する。
Ｓ５５０の後、処理は符号ＳＢ２を介して図１４Ａに示すＳ４３０に戻る。
Ｓ５５０の後、処理は符号ＳＢ２を介して図１４Ａに示すＳ４３０に戻る。
【0141】
＜基板組立システムの主な特徴＞
（１）基板組立システム１０００は調整用データ算出部１２２（図８参照）を有している。調整用データ算出部１２２は、Ｚ軸駆動機構２０の下降量に応じて測定される各上下動機構８０の負荷（本実施形態では、電動モータ８３の保持電流値）の変動のタイミングに基づいて、各上下動機構８０の動作量（電動モータ８３の回転角度）の調整用データＤ３を算出する。基板組立システム１０００の提供者側のエンジニアや利用者側のオペレータは、算出された調整用データＤ３を確認することにより、適切な平行調整を容易に行うことができる。そのため、基板組立システム１０００は、下基板Ｋ２に対する上基板Ｋ１の平行調整の簡易化を図ることができる。
（１）基板組立システム１０００は調整用データ算出部１２２（図８参照）を有している。調整用データ算出部１２２は、Ｚ軸駆動機構２０の下降量に応じて測定される各上下動機構８０の負荷（本実施形態では、電動モータ８３の保持電流値）の変動のタイミングに基づいて、各上下動機構８０の動作量（電動モータ８３の回転角度）の調整用データＤ３を算出する。基板組立システム１０００の提供者側のエンジニアや利用者側のオペレータは、算出された調整用データＤ３を確認することにより、適切な平行調整を容易に行うことができる。そのため、基板組立システム１０００は、下基板Ｋ２に対する上基板Ｋ１の平行調整の簡易化を図ることができる。
【0142】
特に、近年では、１枚の基板から多数の製品を切り出して取得することが要望されている。この要望を満たそうとする場合に、基板の各部位に合わせて平行調整量の細かな設定を行うことが望ましい。基板組立システム１０００は、基板の各部位に合わせて平行調整量の細かな設定を行うことができるため、このような要望を満たすことができる。
【0143】
（２）基板組立システム１０００は測定部１２１（図８参照）を有している。測定部１２１は各上下動機構８０の負荷（電動モータ８３の保持電流値）を測定して、負荷の変動のタイミングに応じて粘着ピンプレート８ｂの各部位（四隅）の平行状態を判定するモニタリング機能を有する。そのため、基板組立システム１０００は、例えば粘着ピンプレート８ｂの各部位の高さが予め設定された閾値を超えた位置にある場合に、警報を発報して平行調整の異常をエンジニアやオペレータに通知することができる。
【0144】
（３）制御装置１００は手動調整モードと自動調整モードとを選択可能に表示する表示画面ＰＩ１（図１５参照）を表示部１８０（図８参照）に表示する。これによってエンジニアやオペレータは運用に応じて好ましいモードを選択することができる。例えば、エンジニアやオペレータは手動調整モードを選択することにより、図９（ｃ）に示すような、意図的に設定したズレ量を含む平行調整を行うことができる。また、エンジニアやオペレータは自動調整モードを選択することにより、図９（ｂ）に示すような、粘着ピンプレート８ｂの全面を下側の部材（例えば、下基板Ｋ２や下テーブル４）と平行にさせる平行調整を行うことができる。ただし、自動調整モードであっても、ズレ量を含む設定データＤ１（図８参照）を予め設定しておくことにより、図９（ｃ）に示すような、意図的に設定したズレ量を含む平行調整を行うこともできる。
【0145】
（４）基板組立システム１０００は監視部１２４（図８参照）を有している。監視部１２４は、測定部１２１によって測定された上下動機構８０の負荷（電動モータ８３の保持電流値）を表す測定データＤ２に対し、過去に測定された測定負荷又はサンプル値として任意に予め設定された設定負荷からの変化の大きさを監視する。このような基板組立システム１０００は、基板を製造する度に平行調整の状態をフィードバックして監視し、以前と平行調整の状態が変わったときに、警報を発報したり、自動調整したりすることができる。具体的には、制御装置１００は、過去に測定された測定負荷を表すデータとして、過去数カ月分の測定データを蓄積測定データＤ４として記録部１６０に記録する。監視部１２４は、測定データＤ２と蓄積測定データＤ４とを比較して、測定データＤ２が蓄積測定データＤ４から予め設定された閾値を超えて変化しているか否かを監視する。そして測定データＤ２が蓄積測定データＤ４から予め設定された閾値を超えて変化している場合に、基板組立システム１０００は、警報を発報して平行調整の異常をエンジニアやオペレータに通知したり、又は、平行調整を自動的に行うようにしたりすることができる。
【0146】
（５）制御装置１００は測定部１２１によって測定された上下動機構８０の負荷（電動モータ８３の保持電流値）の変動の過程を表すグラフ図を含む表示画面ＰＩ１（図１５参照）を表示部１８０（図８参照）に表示する。これによって基板組立システム１０００は各軸Ａｘ１，Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４における負荷（電動モータ８３の保持電流値）の変動のタイミングのズレ量をエンジニアやオペレータに一目で直感的に識別させることができる。
【0147】
（６）上下動機構８０の電動モータ８３は、負荷に応じた保持電流値の変動の測定が制御装置１００で行うことが可能なサーボモータによって構成されている。ただし、電動モータ８３は、ステップモータで構成することもできる。
【0148】
以上の通り、本実施形態に係る基板組立装置１によれば、下基板Ｋ２に対する上基板Ｋ１の平行調整の簡易化を図ることができる。
【0149】
本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は、本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【0150】
例えば、前記した実施形態では、基板組立装置１は８１個の粘着ピン８ａと９個の粘着ピンプレート８ｂと有している。しかしながら、粘着ピン８ａの個数は、運用に応じて適宜変更することができる。また、粘着ピンプレート８ｂの個数も、運用に応じて適宜変更することができる。
また、例えば、前記した実施形態では、基板組立装置１は４つの上下動機構８０で１個の粘着ピンプレート８ｂを上下動させる構成になっている。しかしながら、基板組立装置１は４つ以上の個数の上下動機構８０で１個の粘着ピンプレート８ｂを上下動させる構成にしてもよい。
また、例えば、前記した実施形態では、基板組立装置１は４つの上下動機構８０で１個の粘着ピンプレート８ｂを上下動させる構成になっている。しかしながら、基板組立装置１は４つ以上の個数の上下動機構８０で１個の粘着ピンプレート８ｂを上下動させる構成にしてもよい。
【0151】
また、例えば、測定部１２１及び調整用データ算出部１２２は以下のように動作させるようにしてもよい。すなわち、測定部１２１は、電動モータ８３の保持電流値の測定に際して、上テーブル２の下降を開始すると、測定結果を測定データＤ２としてＮ秒間記憶部１６０に記録し続ける。そして、測定部１２１（又は調整用データ算出部１２２）は、電動モータ８３の保持電流値が変動している区間を検出して、測定データＤ２からその区間のデータを切り出し、切り出されたデータを算出用データとして記憶部１６０に格納する。調整用データ算出部１２２は、算出用データに基づいて調整用データＤ３を算出する。
【0152】
また、例えば、基板組立システム１０００は、各基板の平行調整の状態を、ネットワークを介して遠隔値で判断できるように構成してもよい。
【0153】
また、例えば、基板組立システム１０００は、平行調整を１度行って、そのときの調整値を記憶部１６０に記憶し、その調整値を用いて多数の基板を連続して生産するようにしてもよい。このような平行調整は、調整の精度が比較的緩い製品（例えば１枚の基板から１枚の製品を取得する１面取りの製品）の生産に適している。
また、例えば、基板組立システム１０００は、毎回毎回平行調整を行いながら基板を１枚ずつ生産するようにしてもよい。このような平行調整は、調整の精度が比較的厳しい製品（例えば１枚の基板から多数の製品を取得する多面取りの製品）の生産に適している。
また、例えば、基板組立システム１０００は、毎回毎回平行調整を行いながら基板を１枚ずつ生産するようにしてもよい。このような平行調整は、調整の精度が比較的厳しい製品（例えば１枚の基板から多数の製品を取得する多面取りの製品）の生産に適している。
【符号の説明】
【0154】
１ 基板組立装置
１ａ 架台
１ｂ 下シャフト
２ 上フレーム
２ａ 上シャフト
３ 上テーブル
３ａ 上部基板面
４ 下テーブル
４ａ 下部基板面
５ 真空チャンバ
５ａ 上チャンバ
５ｂ 下チャンバ
６ 吊下げ機構
６ａ 支持軸
６ｂ 係止部
６ｃ フック
７ 吸上げ機構
７ａ 吸上げピン
７ｂ 吸上げピンパッド
７ａ１，７ｂ１ 中空部
８ 粘着保持機構
８ａ 粘着ピン
８ｂ 粘着ピンプレート（ベース部）
８ｂ１ 負圧室
８ｃ 粘着部
８ｄ 真空吸着孔
８ｅ ガス供給手段
２０ Ｚ軸駆動機構（第１駆動機構）
２０ａ ボールねじ軸
２０ｂ ボールねじ機構
２０ｃ 電動モータ
２０ｄ ロードセル
３０ バックプレート
３１ クッションシート
４０ ＸＹθ移動ユニット
７０ 上下動機構
７１，８１ ボールねじ軸
７２，８２ ボールねじ機構
７３，８３ 電動モータ
８０ 上下動機構（第２駆動機構）
８０ａ 取付部
１１０ 制御部
１１１ 高さ制御部
１１２ 移動制御部
１１３ 真空プロセス制御部
１２１ 測定部
１２２ 調整用データ算出部
１２３ 調整モード選択部
１２４ 変化監視部
１３１ 自動調整部
１３２ 手動調整部
１６０ 記憶部
１７０ スピーカ
１８０ 表示部
１９０ 入力部
２１１ アンプ
２１２ プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）
２００ 搬送装置
１０００ 基板組立システム
Ａｘ１、Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４ 軸
Ｄ１ 設定データ
Ｄ２ 測定データ
Ｄ３ 調整用データ
Ｄ４ 蓄積測定データ
Ｋ１ 上基板
Ｋ２ 下基板
Ｐ０ 真空ポンプ機構
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３ 真空ポンプ
Ｐｒ１ 制御プログラム
１ａ 架台
１ｂ 下シャフト
２ 上フレーム
２ａ 上シャフト
３ 上テーブル
３ａ 上部基板面
４ 下テーブル
４ａ 下部基板面
５ 真空チャンバ
５ａ 上チャンバ
５ｂ 下チャンバ
６ 吊下げ機構
６ａ 支持軸
６ｂ 係止部
６ｃ フック
７ 吸上げ機構
７ａ 吸上げピン
７ｂ 吸上げピンパッド
７ａ１，７ｂ１ 中空部
８ 粘着保持機構
８ａ 粘着ピン
８ｂ 粘着ピンプレート（ベース部）
８ｂ１ 負圧室
８ｃ 粘着部
８ｄ 真空吸着孔
８ｅ ガス供給手段
２０ Ｚ軸駆動機構（第１駆動機構）
２０ａ ボールねじ軸
２０ｂ ボールねじ機構
２０ｃ 電動モータ
２０ｄ ロードセル
３０ バックプレート
３１ クッションシート
４０ ＸＹθ移動ユニット
７０ 上下動機構
７１，８１ ボールねじ軸
７２，８２ ボールねじ機構
７３，８３ 電動モータ
８０ 上下動機構（第２駆動機構）
８０ａ 取付部
１１０ 制御部
１１１ 高さ制御部
１１２ 移動制御部
１１３ 真空プロセス制御部
１２１ 測定部
１２２ 調整用データ算出部
１２３ 調整モード選択部
１２４ 変化監視部
１３１ 自動調整部
１３２ 手動調整部
１６０ 記憶部
１７０ スピーカ
１８０ 表示部
１９０ 入力部
２１１ アンプ
２１２ プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）
２００ 搬送装置
１０００ 基板組立システム
Ａｘ１、Ａｘ２，Ａｘ３，Ａｘ４ 軸
Ｄ１ 設定データ
Ｄ２ 測定データ
Ｄ３ 調整用データ
Ｄ４ 蓄積測定データ
Ｋ１ 上基板
Ｋ２ 下基板
Ｐ０ 真空ポンプ機構
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３ 真空ポンプ
Ｐｒ１ 制御プログラム
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図11D】
【図12】
【図13】
【図14A】
【図14B】
【図15】