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特許 7126973出願番号 特願 2019-49324
タングステン含有金属およびＴｉＮ含有材料の両方に好適なエッチング溶液
出願人 バーサム マテリアルズ ユーエス，リミティド ライアビリティ カンパニー（識別番号 517114182）
2026年 特許公開件数ランキング 718位 25件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 1014位 14件（※）
公報発行日 2022年8月29
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7126973 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
関連出願の相互参照
本願は、２０１８年３月１６日出願の米国特許仮出願第62/644,131号および２０１８年４月１１日出願の米国特許仮出願第62/655,856号に対して、合衆国法典第３５巻第１１９条ｅ項に基づく優先権を主張するものであり、その全体を引用することによって本明細書の内容とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
ここに記載されているのは、タングステン含有および窒化チタン含有材料のためのエッチング溶液である。より具体的には、ここに記載されているのは、タングステン含有および窒化チタン含有材料の、他の金属および／またはマイクロエレクトロニクス装置の製造の間の材料に対する選択的なエッチング特性を備えたエッチング溶液である。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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