特許 7138515 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-08

(45)【発行日】2022-09-16

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20180101AFI20220909BHJP

   G01N 23/18 20180101ALI20220909BHJP

【ＦＩ】

G01N23/04

G01N23/18

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2018158656

(22)【出願日】2018-08-27

(65)【公開番号】P2019049545

(43)【公開日】2019-03-28

【審査請求日】2021-07-28

(31)【優先権主張番号】P 2017173486

(32)【優先日】2017-09-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000002093

【氏名又は名称】住友化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100127498

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100146329

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 健太郎

(72)【発明者】

【氏名】加集 功士

(72)【発明者】

【氏名】屋鋪 大三郎

【審査官】井上 徹

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－２４０２１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－０１８４００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１７８２４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１７０４２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平７－２００７９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第１０５５１３２９（ＵＳ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２３／００－２３／２２７６

Ｇ０６Ｔ １／００－５／５０，７／００

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＩＥＥＥ Ｘｐｌｏｒｅ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

外形が円形の面である円形外形面を有している対象物を、当該円形の中心を通り当該円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として回転させながら検査する検査装置であって、
上記対象物に対して上記円形外形面を通過する電磁波を照射する少なくとも１個の電磁波発生源と、
上記対象物を透過した上記電磁波を受け、少なくとも第１電磁波受信領域と第２電磁波受信領域とを含む電磁波受信領域とを備えており、
上記第１電磁波受信領域および上記第２電磁波受信領域のそれぞれは、上記円形外形面の平面視において、上記円形外形面の中心側に照射された上記電磁波が到達する位置から上記外形に照射された上記電磁波が到達する位置まで並べられた複数の第１小領域および複数の第２小領域を含み、
上記第１小領域の一部は、上記円形外形面の平面視において、上記円形の径方向のうち第１方向に沿って配置され、上記第１小領域の他の一部のうち少なくとも一つが、上記第１方向から上記線を軸に上記円形の周方向に角度θだけシフトした位置にある第１シフト領域であり、
上記第２小領域の一部は、上記円形外形面の平面視において、上記円形の径方向のうち上記第１方向と異なる第２方向に沿って配置され、上記第２小領域の他の一部のうち少なくとも一つが、上記第２方向から上記線を軸に上記円形の上記周方向に上記角度θだけシフトした位置にある第２シフト領域であり、
上記第１シフト領域と上記第２シフト領域とは、上記中心からの離間距離が互いに同じである検査装置。

【請求項2】

上記第１小領域または上記第２小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠いほど、上記円形の円周に沿った方向のサイズが大きい請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

上記第１小領域または上記第２小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠いほど、移動の速い被写体の撮影に適している請求項１または２に記載の検査装置。

【請求項4】

上記検査装置は、上記第１小領域のそれぞれおよび上記第２小領域のそれぞれに対応する複数の電磁波発生源を備えており、
複数の上記電磁波発生源は、それぞれ、上記第１小領域のそれぞれおよび上記第２小領域のそれぞれに対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項5】

上記検査装置は、１個の電磁波発生源を備えており、
上記１個の電磁波発生源は、上記円形の中心に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項6】

上記第１電磁波受信領域および上記第２電磁波受信領域の各々は、互いに異なるタイミングで上記円形外形面における同一部分から上記電磁波を受け、
上記検査装置は、上記第１電磁波受信領域および上記第２電磁波受信領域の各々が上記電磁波を受けることによって得られた、上記同一部分の画像を積算して得られた解析用画像を解析することにより、当該同一部分に付着した異物を検出する請求項１から５のいずれか１項に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

リチウムイオン二次電池等の非水電解液二次電池は、パーソナルコンピュータ、携帯電話、携帯情報端末等に用いる電池として広く使用されている。とりわけ、リチウムイオン二次電池は、従前の二次電池と比較して、ＣＯ_２の排出量を削減し、省エネに寄与する電池として、注目されている。

【0003】

従来、非水電解液二次電池用セパレータがコアに対して捲回されてなるセパレータ捲回体の開発が進んでいる。併せて、このセパレータ捲回体に付着した異物を検出する検査が検討されている。

【0004】

対象物に付着した異物を検出する検査の一例として、特許文献１に開示されている技術が挙げられる。特許文献１に開示されている技術においては、Ｘ線源から出射されたＸ線をキャピラリレンズによって平行Ｘ線に変換し、この平行Ｘ線を対象物である試料に対して照射し、この試料を透過した平行Ｘ線をＴＤＩ（Time Delay Integration）センサによって受ける。ＴＤＩセンサにおいては、例えば、特許文献２に開示されているような技術が利用されている。

【0005】

ところで、外形が円形の面（セパレータ捲回体の場合、側面）を有する対象物に付着した異物を検出する検査としては、下記の検査方法が考えられる。なお、以下、対象物における外形が円形の面を、円形外形面とも言う。

【0006】

すなわち、円形外形面の外形を構成する円形の中心を通り円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として、対象物を回転させる。そして、円形外形面に対して電磁波を照射する。そして、対象物を透過したこの電磁波をＴＤＩセンサによって受ける。そして、ＴＤＩセンサがこの電磁波を受けることによって得られた画像を解析して、対象物に付着している異物を検出する。これにより、特許文献１に開示されている技術に対して、異物の検出を高効率化することが可能であるため、検査の高速化が可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２０１６－３８３５０号公報（２０１６年３月２２日公開）

【文献】特開昭６１－２２８４１号公報（１９８６年１月３１日公開）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

一般的に、ＴＤＩセンサを構成する複数の画素はマトリクス状に配置されており、かつ各画素における画像の取得は一律に実施される。以下、この一般的な場合を例に、上述した対象物１００を円形外形面２００ｂ（および円形外形面２００ａ）の外形を構成する円形の中心３００を通り円形外形面２００ｂと略垂直な方向に伸びる軸４００上に電磁波発生源２０００を置き、対象物１００を同軸を中心に回転させて行う検査において発生する問題について、図８の（ａ）～（ｃ）を参照して説明する。円形外形面２００ｂの平面視における中心３００からの距離がＷＡで近似可能（以下、単に距離ＷＡと称する）である点を含む画素列Ａを構成する各画素を画素Ａ１～画素Ａｐとし、円形外形面２００ｂのうち、画素Ａ１～画素Ａｐにおける、電磁波発生源２０００からの電磁波２１００の取得対象領域を領域ＥＡ１～領域ＥＡｐとする。中心３００からの距離が距離ＷＡと異なるＷＢで近似可能である点を含む画素列Ｂを構成する各画素を画素Ｂ１～画素Ｂｒとし、円形外形面２００ｂのうち、画素Ｂ１～画素Ｂｒにおける電磁波２１００の取得対象領域を領域ＥＢ１～領域ＥＢｒとする。なお便宜上、画素Ａ１～画素Ａｐおよび画素Ｂ１～画素Ｂｒについては、任意の１つを意味する場合、それぞれ、画素Ａｍおよび画素Ｂｎと称する。同様に便宜上、領域ＥＡ１～領域ＥＡｐおよび領域ＥＢ１～領域ＥＢｒについては、任意の１つを意味する場合、それぞれ、領域ＥＡｍおよび領域ＥＢｎと称する。また、中心３００から電磁波２１００を受ける画素の部分を、点３００´としている。

【0009】

移動する対象物１００に電磁波２１００が照射されると、対象物１００のある特定領域を異なる時間に通過した電磁波２１００が異なる画素で受信される。ＴＤＩセンサにおいては、同一領域を異なる時間に通過した電磁波２１００の情報を積算して解析用画像を得る。

【0010】

上記検査においては、軸４００を軸として回転する対象物１００上のある領域ＥＡｍを通過した電磁波２１００を画素Ａ１～画素Ａｐで受信し、それらの情報を積算して解析用画像片ＡＰＡｍを得る。この操作を領域ＥＡ１～領域ＥＡｐの全てで実施し、解析用画像片ＡＰＡ１～解析用画像片ＡＰＡｐを結合して解析用画像ＡＰＡを得る。

【0011】

同様に、軸４００を軸として回転する対象物１００上のある領域ＥＢｎを通過した電磁波２１００を画素Ｂ１～画素Ｂｒで受信し、それらの情報を積算して解析用画像片ＡＰＢｎを得る。ここで、円形外形面２００ｂの平面視において、領域ＥＡｍと領域ＥＢｎとの、中心３００からの距離が異なるため、領域ＥＢｎを通過した電磁波２１００を受信する画素Ｂ１～画素Ｂｒの個数は、領域ＥＡｍを通過した電磁波２１００を受信する画素Ａ１～画素Ａｐの個数と異なる。この結果、画素Ａ１～画素Ａｐの画素の間隔に応じて画素Ｂ１～画素Ｂｒの受信情報を積算しようとすると、領域ＥＢｎとは異なる領域ＥＢｏを通過した電磁波２１００の情報が積算されてしまうため、得られる解析用画像片ＡＰＢｎの像が不鮮明となってしまう。逆もまた然りである。

【0012】

つまり、上述した対象物を回転させて行う検査においては、検査領域全面において同時に鮮明な画像を得ることができないため、検査の精度が低くなるという問題が発生するということを、本願発明者らは見出した。

【0013】

本発明の一態様は、対象物の検査を高精度かつ高速に行うことを可能とする検査装置を実現することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査装置は、外形が円形の面である円形外形面を有している対象物を、当該円形の中心を通り当該円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として回転させながら検査する検査装置であって、検査に供されている状態の上記対象物に関し、ｍおよびｎをそれぞれ２以上の自然数とすると、上記対象物に対して上記円形外形面を通過する電磁波を照射する少なくとも１個の電磁波発生源と、上記対象物を透過した上記電磁波を受ける、それぞれｍ個の小領域を有しているｎ個の電磁波受信領域とを備えており、上記ｍ×ｎ個の小領域の各々は、下記（１）および（２）のいずれかを満たすように配置されている。

【0015】

（１）上記ｎ個の電磁波受信領域毎に、上記円形外形面の平面視において上記円形の直径上に並べられている。

【0016】

（２）上記（１）に対して、上記円形の中心からの離間距離が互いに同じであるｎ個の上記小領域の組のうち少なくとも１組が、上記線を軸として回転された配置である。

【0017】

上記の構成によれば、円形外形面の中心から離れた位置ほど円形外形面の（ひいては対象物の）回転速度が速いことを相殺するように、ｎ個の電磁波受信領域のｍ個の小領域の各々が配置されている。これにより、上述した領域ＥＢｎを通過した電磁波を受信する画素の個数と、上述した領域ＥＡｍを通過した電磁波を受信する画素の個数とが異なることを防ぐことができる。結果、検査領域全面において同時に鮮明な画像を得ることが可能となる。従って、上述した対象物を回転させて行う検査（高速）において、高精度の検査を行うことができる。

【0018】

また、本発明の一態様に係る検査装置は、上記ｎ個の電磁波受信領域の少なくとも１個に関し、上記ｍ個の小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠い小領域ほど、上記円形の円周に沿った方向のサイズが大きいことが好ましい。

【0019】

上記の構成によれば、円形外形面の平面視において円形の中心から遠い小領域において、電磁波を受ける量を増やすことができるため、受けた電磁波から得られた画像が暗くなる虞を低減することができる。

【0020】

また、本発明の一態様に係る検査装置は、上記ｎ個の電磁波受信領域の少なくとも１個に関し、上記ｍ個の小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠い小領域ほど、移動の速い被写体の撮影に適していることが好ましい。

【0021】

上記の構成によれば、円形外形面の平面視において円形の中心から遠い小領域において、回転速度が速いことに起因して、受けた電磁波から得られた画像がボケる虞を低減することができる。

【0022】

また、本発明の一態様に係る検査装置は、ｍ×ｎ個の電磁波発生源を備えており、上記ｍ×ｎ個の電磁波発生源は、それぞれ、上記ｎ個の電磁波受信領域の上記ｍ個の小領域に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されていることが好ましい。

【0023】

ある小領域に対する電磁波の入射方向が、円形外形面と略垂直な方向から傾いている場合、円形外形面と略垂直な方向における対象物の寸法（以下、対象物の厚みとも言う）に依存して、当該小領域と当該電磁波との間にズレが生じる虞がある。そして当該小領域と当該電磁波との間でのズレが、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレの要因となり得る。上記の構成によれば、当該小領域と当該電磁波との間でのズレを抑制することができるので、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレが生じる虞を低減することができる。

【0024】

また、本発明の一態様に係る検査装置は、１個の電磁波発生源を備えており、上記１個の電磁波発生源は、上記円形の中心に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されていることが好ましい。

【0025】

上記の構成によれば、各小領域に対してムラ無く電磁波を照射することができるため、特定の小領域が受けた電磁波から得られた画像が暗くなる虞を低減することができる。

【0026】

また、本発明の一態様に係る検査装置において、上記ｎ個の電磁波受信領域の各々は、互いに異なるタイミングで上記円形外形面における同一部分から上記電磁波を受け、上記検査装置は、上記ｎ個の電磁波受信領域の各々が上記電磁波を受けることによって得られた、ｎ個の上記同一部分の画像を積算して得られた解析用画像を解析することにより、当該同一部分に付着した異物を検出することが好ましい。

【0027】

上記の構成によれば、ＴＤＩセンサの要領で、複数の同一部分の画像を積算することにより、検査の精度を向上させることが可能となる。

【発明の効果】

【0028】

本発明の一態様によれば、対象物の検査を高精度かつ高速に行うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本発明の実施の形態１および実施の形態２に係る検査装置を示す概略図である。

【図2】対象物を回転させている状態を示す図であり、（ａ）は円形外形面の平面視を示しており、（ｂ）は対象物を横から見た状態を示している。

【図3】本発明の実施の形態１に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。

【図4】本発明の実施の形態２に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。

【図5】本発明の実施の形態１に係るｎ個の電磁波受信領域を用いた検査の具体例を示しており、（ａ）は円形外形面における各画像取得対象領域を示しており、（ｂ）は各画像取得対象領域と各電磁波受信領域との経過時間毎の対応関係を示している。

【図6】本発明の第１変形例に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。

【図7】本発明の第２変形例に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。

【図8】（ａ）～（ｃ）は、従来技術の問題について説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

本発明を実施するための形態について、図１～図７を参照して説明する。

【0031】

図１は、本発明の実施の形態１および実施の形態２に係る検査装置１０を示す概略図である。検査装置１０は、対象物１を検査する、具体的には、対象物１に付着している異物を検出するものである。検査装置１０は、電磁波発生源２０、およびセンサ３０を備えている。

【0032】

対象物１は、外形が円形の面である円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂを有している。図１においては、円形外形面２ａが電磁波発生源２０側に位置しており、円形外形面２ｂがセンサ３０側に位置している。対象物１の形状としては、ドーナツ状、円盤状、円筒状（図２の（ａ）参照）、および円柱状等が挙げられる。対象物１の具体例として、非水電解液二次電池用セパレータがコアに対して捲回されてなるセパレータ捲回体、および非水電解液二次電池用セパレータが捲回されるコア等が挙げられる。

【0033】

図２は、対象物１を回転させている状態を示す図である。図２の（ａ）は、円形外形面２ｂの平面視を示している。また、図２の（ｂ）は、対象物１を横から見た状態を示している。具体的に、図２の（ｂ）においては、電磁波発生源２０側を左側とし、センサ３０側を右側として見た状態を示している。

【0034】

なお、図１～図７においては、互いに垂直な３方向である、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向を規定している。Ｘ方向は対象物１の幅方向、Ｙ方向は対象物１の高さ方向、Ｚ方向はＸ方向およびＹ方向の両方と垂直であり円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂを垂直に貫く方向を示している。

【0035】

対象物１が検査装置１０による検査に供されている状態において、対象物１は、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の中心３を通り円形外形面２ｂと略垂直な方向（Ｚ方向と平行な方向）に伸びる線を軸４として回転される。対象物１と円形外形面２ａとの間においても、同様の関係が成立する。回転の方向は、円形外形面２ｂの平面視において時計回りとしているが、円形外形面２ｂの平面視において反時計回りであっても構わない。

【0036】

電磁波発生源２０は、対象物１に対して、円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂを通過する電磁波２１を照射するものである。電磁波発生源２０は、中心３に対して円形外形面２ｂと略垂直な方向に配置されている。電磁波２１の一例としては、Ｘ線が挙げられる。電磁波２１は、円形外形面２ａに対して照射され、対象物１を透過し、円形外形面２ｂから出る。

【0037】

センサ３０は、電磁波受信部３１を有している。センサ３０は、対象物１を透過した電磁波２１を電磁波受信部３１にて受けることによって、円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂにおける電磁波２１が通過した部分の画像を取得することができるものである。電磁波受信部３１の具体的な構成については後述するが、電磁波受信部３１を覆う少なくとも１つのレンズが設けられていてもよい。

【0038】

以下の実施の形態１および実施の形態２では、それぞれ、電磁波受信部３１の具体的な構成例としての、電磁波受信部３１ａおよび電磁波受信部３１ｂについて説明を行う。

【0039】

〔実施の形態１〕
図３は、本発明の実施の形態１に係る電磁波受信部３１ａ（ｎ個の電磁波受信領域）の構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。電磁波受信部３１ａは、３個の電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３を有している。

【0040】

電磁波受信領域３２１は、小領域３２１１、小領域３２１２、・・・、小領域３２１（ｍ－１）、および小領域３２１ｍからなる、ｍ個の小領域を有している。そして、小領域３２１１、小領域３２１２、・・・、小領域３２１（ｍ－１）、および小領域３２１ｍは、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径３３１上に、中心３側から当該円形の縁側に向けてこの順に並んで配置されている。

【0041】

電磁波受信領域３２２は、小領域３２２１、小領域３２２２、・・・、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２２ｍからなる、ｍ個の小領域を有している。そして、小領域３２２１、小領域３２２２、・・・、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２２ｍは、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径３３２上に、中心３側から当該円形の縁側に向けてこの順に並んで配置されている。

【0042】

電磁波受信領域３２３は、小領域３２３１、小領域３２３２、・・・、小領域３２３（ｍ－１）、および小領域３２３ｍからなる、ｍ個の小領域を有している。そして、小領域３２３１、小領域３２３２、・・・、小領域３２３（ｍ－１）、および小領域３２３ｍは、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径３３３上に、中心３側から当該円形の縁側に向けてこの順に並んで配置されている。

【0043】

つまり、３個の電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々は、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径（それぞれ、直径３３１～直径３３３）上に並べられたｍ個の小領域を有している。これらの小領域の各々は、電磁波受信部３１ａを、機能的に、３×ｍ（ｎ×ｍ）個に分割したものの１単位に該当し、少なくとも１画素を含む。

【0044】

電磁波受信部３１ａによれば、中心３から離れた位置ほど円形外形面２ｂの（ひいては対象物１の）回転速度が速いことを相殺するように、３個の電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のｍ個の小領域の各々が配置されている。これにより、上述した領域ＥＢｎを通過した電磁波２１を受信する小領域（具体例：画素）の個数と、上述した領域ＥＡｍを通過した電磁波２１を受信する小領域の個数とが異なることを防ぐことができる。結果、検査領域全面において同時に鮮明な画像を得ることが可能となる。従って、上述した対象物１を回転させて行う検査（高速）において、高精度の検査を行うことができる。

【0045】

また、電磁波受信領域３２１において、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域ほど、すなわち、小領域３２１１から小領域３２１ｍに向かうほど、移動の速い被写体の撮影に適している構成であることが好ましい。当該構成を実現する方法の一例として、小領域３２１１から小領域３２１ｍに向かうほど、対応する少なくとも１画素が適切に電磁波２１を受けるためのシャッター速度を速める方法が挙げられる。これにより、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域において、回転速度が速いことに起因して、受けた電磁波２１から得られた画像がボケる虞を低減することができる。電磁波受信領域３２２および電磁波受信領域３２３においても同様であり、このような構成は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の少なくとも１つにおいて実現されていてもよい。

【0046】

〔実施の形態２〕
図４は、本発明の実施の形態２に係る電磁波受信部３１ｂ（ｎ個の電磁波受信領域）の構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。

【0047】

電磁波受信部３１ｂは、以下に説明する点を除けば、電磁波受信部３１ａと同様の構成である。なお、以下「円周方向」とは、円形外形面２ｂ（および円形外形面２ａ）の外形を構成する円形の円周に沿った方向を意味する。

【0048】

電磁波受信領域３２１において、小領域３２１２の円周方向のサイズは小領域３２１１の円周方向のサイズより大きくなっており、・・・、小領域３２１ｍの円周方向のサイズは小領域３２１（ｍ－１）の円周方向のサイズより大きくなっている。

【0049】

電磁波受信領域３２２において、小領域３２２２の円周方向のサイズは小領域３２２１の円周方向のサイズより大きくなっており、・・・、小領域３２２ｍの円周方向のサイズは小領域３２２（ｍ－１）の円周方向のサイズより大きくなっている。

【0050】

電磁波受信領域３２３において、小領域３２３２の円周方向のサイズは小領域３２３１の円周方向のサイズより大きくなっており、・・・、小領域３２３ｍの円周方向のサイズは小領域３２３（ｍ－１）の円周方向のサイズより大きくなっている。

【0051】

つまり、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のそれぞれに関し、ｍ個の小領域は、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域ほど、円周方向のサイズが大きい。これにより、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域において、電磁波２１を受ける量を増やすことができるため、受けた電磁波２１から得られた画像が暗くなる虞を低減することができる。以上の構成は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の少なくとも１つにおいて実現されていてもよい。

【0052】

また、以上の構成に伴い、電磁波受信部３１ｂは、概略的に、円形外形面２ｂの外側（円形の縁側）端部を円弧とする扇形から、円形外形面２ｂの内側（中心３側）端部を円弧とする扇形を減じた形状となっている。

【0053】

（付記事項）
以上の実施の形態１および実施の形態２においては、電磁波受信領域の個数が３個（すなわち、ｎ＝３）である場合の例を示した。但し、電磁波受信領域の個数は２以上であればいくつであってもよい。換言すれば、電磁波受信領域の個数を示すｎは、２以上の自然数であればよい。

【0054】

以上の実施の形態１および実施の形態２においては、各電磁波受信領域における小領域の個数が少なくとも４個（すなわち、４≦ｍ）である場合の例を示した。但し、各電磁波受信領域における小領域の個数は２以上であればいくつであってもよい。換言すれば、各電磁波受信領域における小領域の個数を示すｍは、２以上の自然数であればよい。

【0055】

また、検査装置１０は、以下の構成であることが好ましい。すなわち、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々は、互いに異なるタイミングで円形外形面２ｂにおける同一部分から電磁波２１を受ける。そして、当該検査装置１０は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々が電磁波２１を受けることによって得られた、３個（ｎ個）の上記同一部分の画像を積算して得られた解析用画像を解析することにより、当該同一部分に付着した異物を検出する。当該検査装置１０のセンサ３０の一例として、ＴＤＩセンサが挙げられる。

【0056】

図５は、電磁波受信部３１ａを用いた検査の具体例を示している。図５の（ａ）は、円形外形面２ｂにおける各画像取得対象領域である領域Ｅ１～領域Ｅ５を示している。図５の（ｂ）は、領域Ｅ１～領域Ｅ５の各々と電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々との経過時間毎の対応関係を示している。

【0057】

時刻ｔ１において、電磁波受信領域３２１は領域Ｅ２の画像を、電磁波受信領域３２２は領域Ｅ１の画像を、電磁波受信領域３２３は領域Ｅ３の画像を、それぞれ取得する。

【0058】

時刻ｔ１より後の時刻ｔ２においては、対象物１の回転に従って、電磁波受信領域３２１は領域Ｅ３の画像を、電磁波受信領域３２２は領域Ｅ２の画像を、電磁波受信領域３２３は領域Ｅ４の画像を、それぞれ取得する。

【0059】

時刻ｔ２より後の時刻ｔ３においては、対象物１の回転に従って、電磁波受信領域３２１は領域Ｅ４の画像を、電磁波受信領域３２２は領域Ｅ３の画像を、電磁波受信領域３２３は領域Ｅ５の画像を、それぞれ取得する。

【0060】

これにより、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のそれぞれにおいて、領域Ｅ３の画像が得られる。そして、検査装置１０は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のそれぞれにおいて得られた領域Ｅ３の画像を積算して、解析用の領域Ｅ３の画像を作成する。こうして、当該検査装置１０は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のいずれか１つのみにおいて得られた領域Ｅ３の画像より鮮明な、解析用の領域Ｅ３の画像を得る。

【0061】

上記の構成によれば、複数の領域Ｅ３の画像を積算することにより、領域Ｅ３に対する検査の精度を向上させることが可能となる。領域Ｅ１、領域Ｅ２、領域Ｅ４、および領域Ｅ５についても同様である。

【0062】

なお、図５においては、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３が画像を取得する領域（換言すれば、検査対象領域）として、領域Ｅ１～領域Ｅ５を示した。但し、円形外形面２ｂの全部または任意の一部の画像を取得する（検査対象領域とする）ことができる。

【0063】

さらに、検査装置１０は、電磁波発生源２０に代えて、ｍ×ｎ個の電磁波発生源を備えており、これらのｍ×ｎ個の電磁波発生源は、それぞれ、ｎ個の電磁波受信領域のｍ個の小領域に対して円形外形面２ｂと略垂直な方向に配置されていてもよい。すなわち、ｍ×ｎ個の電磁波発生源と全小領域とが、１対１の対応関係で配置されていてもよい。また、検査装置１０は、電磁波発生源２０に代えて、ｍ×ｎ個未満の個数の電磁波発生源と、各電磁波発生源から発生する電磁波を反射または屈折により小領域３２１１～３２３ｍに略垂直な方向に導く機構（図示しない）を有していてもよい。

【0064】

ある小領域に対する電磁波２１の入射方向が、円形外形面２ｂと略垂直な方向から傾いている場合、対象物１の厚みに依存して、当該小領域と電磁波２１との間にズレが生じる虞がある。そして当該小領域と電磁波２１との間でのズレが、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレの要因となり得る。上記の構成によれば、当該小領域と電磁波２１との間でのズレを抑制することができるので、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレが生じる虞を低減することができる。

【0065】

〔変形例〕
図６は、電磁波受信部３１ａの第１変形例に係る電磁波受信部３１ａａの構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。

【0066】

電磁波受信部３１ａａは、電磁波受信部３１ａと、下記の点が異なる。すなわち、電磁波受信部３１ａａは、電磁波受信部３１ａに対して、小領域３２１２、小領域３２２２、および小領域３２３２が、中心３を中心とする円周Ｃ２に沿って、換言すれば軸４（図１参照）を軸として、回転された配置となっている。当該回転の角度は特に限定されない。

【0067】

図７は、電磁波受信部３１ａの第２変形例に係る電磁波受信部３１ａｂの構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。

【0068】

電磁波受信部３１ａｂは、電磁波受信部３１ａと、下記の点が異なる。すなわち、電磁波受信部３１ａｂは、電磁波受信部３１ａに対して、小領域３２１２、小領域３２２２、および小領域３２３２が、中心３を中心とする円周Ｃ２に沿って、換言すれば軸４を軸として、回転された配置となっている。さらに、電磁波受信部３１ａｂは、電磁波受信部３１ａに対して、小領域３２１（ｍ－１）、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２３（ｍ－１）が、中心３を中心とする円周Ｃ（ｍ－１）に沿って、換言すれば軸４を軸として、回転された配置となっている。なお、電磁波受信部３１ａｂにおけるこれらの回転の角度は互いに異なっているが、これらの回転の角度は互いに同じであってもよい。

【0069】

電磁波受信部３１ａａおよび電磁波受信部３１ａｂはいずれも、電磁波受信部３１ａに対して、中心３からの離間距離が互いに同じである３個の小領域の組のうち少なくとも１組が、軸４を軸として回転された配置であると言える。電磁波受信部３１ａにおいて、ここで言う「３個の小領域の組」とは、小領域３２１１、小領域３２２１、および小領域３２３１の組、小領域３２１２、小領域３２２２、および小領域３２３２の組、・・・、小領域３２１（ｍ－１）、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２３（ｍ－１）の組、ならびに、小領域３２１ｍ、小領域３２２ｍ、および小領域３２３ｍの組の計ｍ個の組である。

【0070】

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0071】

１ 対象物
２ａ、２ｂ 円形外形面
３ 中心
４ 軸
１０ 検査装置
２０ 電磁波発生源
２１ 電磁波
３０ センサ
３１、３１ａ、３１ａａ、３１ａｂ、３１ｂ 電磁波受信部
３２１～３２３ 電磁波受信領域
３２１１～３２３ｍ 小領域
３３１～３３３ 直径

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】