特許 7146642 浮遊分子汚染の制御のためのフィルタカートリッジシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-09-26

(45)【発行日】2022-10-04

(54)【発明の名称】浮遊分子汚染の制御のためのフィルタカートリッジシステム

(51)【国際特許分類】

   B01D 46/52 20060101AFI20220927BHJP

   B01D 39/14 20060101ALI20220927BHJP

   B01D 39/16 20060101ALI20220927BHJP

【ＦＩ】

B01D46/52 A

B01D39/14 M

B01D39/16 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2018556870

(86)(22)【出願日】2017-04-28

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2019-06-06

(86)【国際出願番号】 US2017030009

(87)【国際公開番号】W WO2017189940

(87)【国際公開日】2017-11-02

【審査請求日】2018-12-27

【審判番号】

【審判請求日】2021-04-16

(31)【優先権主張番号】62/328,920

(32)【優先日】2016-04-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(74)【代理人】

【識別番号】100142907

【弁理士】

【氏名又は名称】本田 淳

(72)【発明者】

【氏名】ルブラン， トム

(72)【発明者】

【氏名】ワイルドグース， ジョー

(72)【発明者】

【氏名】ベネット， マーク

(72)【発明者】

【氏名】ワーニャーズ， エヴァン

(72)【発明者】

【氏名】ゴードロー， ジョン

【合議体】

【審判長】河本 充雄

【審判官】関根 崇

【審判官】後藤 政博

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－８９９８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１８９７３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２１２７８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－７５８０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－６１２３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平９－１７３７４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２６３３４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

B01D39/

B01D46/

B01D53/

B01J20/

F24F

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

浮遊分子汚染の制御のためのフィルタカートリッジシステムであって、
不織繊維と少なくとも１種の吸着剤とを備えるフィルタカートリッジであって、フィルタカートリッジが実質的に可燃性の材料を含む、フィルタカートリッジと、
フィルタカートリッジのための再利用可能なケースであって、フィルタカートリッジが、廃棄のために、再利用可能なケースから容易に分離可能である、再利用可能なケースと、
取り外しが容易なように、再利用可能なケースに組み付けられた金属スクリーンとを備え、
前記フィルタカートリッジが、単一成分ホットメルト材料の凝固によって形成された四方シールを有するフィルタプリーツパックを含み、
前記フィルタカートリッジが、プラスチックプリーツコームセパレータをさらに備えるフィルタカートリッジシステム。

【請求項2】

フィルタカートリッジが、可燃性の材料のみを含む、請求項１に記載のフィルタカートリッジシステム。

【請求項3】

フィルタカートリッジが、不織繊維を含むフィルタプリーツパック媒体を含み、フィルタプリーツパック媒体が縁部シールを有する、請求項１または２に記載のフィルタカートリッジシステム。

【請求項4】

フィルタカートリッジが、混合吸着剤媒体を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のフィルタカートリッジシステム。

【請求項5】

フィルタカートリッジが、プラスチックサイドパネルをさらに備える、請求項１から４のいずれか一項に記載のフィルタカートリッジシステム。

【請求項6】

フィルタカートリッジが、カーボンフィルタ媒体とイオン交換フィルタ媒体とのうちの少なくとも一方をさらに含む、請求項１から５のいずれか一項に記載のフィルタカートリッジシステム。

【請求項7】

ケースが金属であり、任意選択的に、陽極酸化アルミニウムケースを備える、請求項１から６のいずれか一項に記載のフィルタカートリッジシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本出願は、２０１６年４月２８日に出願された米国特許仮出願第６２／３２８９２０号明細書の利益を主張するものであり、この米国仮特許出願の内容は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。

【背景技術】

【0002】

多くの半導体装置およびクリーンルームは、特に台湾など、製造設備の埋め立てスペースおよび廃棄の費用が高額になる場所にある。利用可能な埋め立てスペースが極めて限られているため、台湾行政院環境保護署（ＥＰＡ）は、埋め立てによって補完される一般廃棄物処理の主要な方法として、焼却を支持する戦略を採用している。したがって、１９９１年を始まりとして、台湾政府はＷＴＥ（廃棄物発電）プラントの建設のための長期計画を立てた。台湾のＷＴＥプラント建設工事プロジェクトによれば、２００５年までに２１基のＷＴＥプラントを政府が建設する予定であった。

【0003】

プラスチックは非常に高い発熱量を持つため、埋め立て地に埋めるのは非常に不経済である。しかし、一般に、半導体装置およびクリーンルームの用途に使用される浮遊分子汚染（Ａｉｒｂｏｒｎｅ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ、ＡＭＣ）フィルタは、典型的には、金属ハウジングに永久的に結合された吸収媒体から構成されているため、このようなフィルタを廃棄、リサイクルまたは再利用することは困難である。従来、このようなフィルタの金属ケースを、接着で組み付けられたフィルタ媒体から分離するのに労力が費やされている。

【0004】

一部のフィルタ設計は、固定されていない粒状吸着剤を使用することによって、再利用の必要性に対処しようとしており、この粒状吸着剤は、再利用される金属ハウジングから粒状吸着剤を注ぎ出し、新たな吸着剤を注ぎ込むことによって再利用される。他の試みは、フィルタ媒体を再生することであった。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、半導体装置およびクリーンルームの用途のためのＡＭＣフィルタの廃棄に関わる懸念に対処し、コストを削減する必要が継続している。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示は、浮遊分子汚染（ＡＭＣ）を制御するために、半導体装置およびクリーンルームの用途で使用するのに適したフィルタに関する。フィルタカートリッジシステムは、不織繊維と少なくとも１種の吸着剤とを有するフィルタカートリッジを備える。一部の実施形態では、フィルタカートリッジは、その使用終了時の破壊をサポートするために実質的に可燃性の材料から構成される。

【0007】

実質的に可燃性のフィルタカートリッジを、再利用可能なケース内に配置して、フィルタカートリッジシステムを完成させる。再利用可能なケースを設計する際に考慮される非限定的な要素には、とりわけ、重量、耐久性、形状保持性、取り扱い性、および難燃性が含まれる。一実施形態では、フィルタカートリッジの同様に再利用可能なケースは、金属である。適用および使用において、フィルタカートリッジは、廃棄のために、再利用可能なケースから容易に分離可能である。

【0008】

上記の概要は、本開示に固有の革新的な特徴の一部の理解を容易にするために提供されており、完全な説明であることは意図されていない。本明細書、特許請求の範囲、図面、および要約書の全体を全体として捉えれば、本開示を完全に理解できる。

【0009】

本開示は、添付の図面に関連する様々な例示的実施形態の以下の説明を考慮すれば、より完全に理解されよう。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本開示の一実施形態の斜視図である。

【図2】金属フレームの一実施形態の図である。

【図3】フィルタカートリッジの一実施形態の分解図である。

【図4】フィルタカートリッジのポッティングを例証する図である。

【図5A】アライメント固定具の部分図である。

【図5B】アライメント固定具の部分図である。

【図6】スクリーンの一実施形態の図である。

【図7A】サイドフラップ取り付け機構を示す図である。

【図7B】サイドフラップ取り付け機構を示す図である。

【図7C】図７Ａ及び図７Ｂに関連する図である。

【図8】本開示のフィルタカートリッジシステムの断面図である。

【図9】本開示のサイドパネルの部分斜視図である。

【図10】本開示のＡＭＣフィルタの適用を実施する概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の例示的な実施形態を説明する。

【0012】

半導体装置およびクリーンルームの用途で使用される分子状汚染物質のための従来のフィルタは、通常、金属ハウジングに接合された吸着媒体から構成されている。このために、金属およびプラスチック媒体のリサイクルが高価または不可能になる。また、金属ハウジングが再利用されないため、フィルタのコストが高い。

【0013】

本発明の一変形によれば、再利用可能なハウジング、好ましくは金属ハウジングとともに使用される、実質的に可燃性の材料で作られたＡＭＣフィルタが提供される。このようなフィルタシステムは、例えば、金属ハウジングを再利用できると同時に、燃焼によって実質的に可燃性のフィルタを廃棄することを可能にするという利点を提供する。さらなる利点としては、例えば、フィルタシステムが、所有コストを低減し、フィルタアセンブリに必要な部品点数を削減し、廃棄に伴う労力を軽減し、環境への影響を緩和できることを挙げることができる。

【0014】

図１は、本発明の一変形によるフィルタカートリッジシステム１００の図であり、本フィルタカートリッジシステム１００は、再利用可能な金属フレーム２０２（図２に示す）に嵌め込むことができる使い捨てフィルタカートリッジ１０１を提供する。

【0015】

図２は、本発明の一変形による、使い捨てフィルタカートリッジ１０１（図１参照）とともに使用され得る再利用可能な金属フレーム２０２を示す図である。図２は、下部金属スクリーン２０３の配置を示しており、本発明の一変形によれば、下部金属スクリーン２０３は、金属フレーム２０２内でフィルタプリーツパックの下で使用され得る。フィルタプリーツパックの上に上部金属スクリーン２０４を使用することもでき、図２に示すように、金属フレーム２０２の上部内へスライドすることができる。図２の金属スクリーン２０３、２０４は、金属スクリーン上にスクリム材の薄層を備えることができ、スクリーンの縁部の周りに独立気泡ポリエチレンフォームを備えることができる。金属フレーム２０２は、例えば、半導体製造の仕様を満たすことができ、例えば、陽極酸化アルミニウムフレームを含むことができる。本発明による別の変形では、フィルタカートリッジ１０１は、フィルタカートリッジ１０１の接着土台の対応する凹部と併せて使用できる、トグルクランプなどのクランプを用いて、金属フレーム２０２内に固定することができる。

【0016】

図３は、本発明の一変形によるフィルタカートリッジシステムの分解図である。フィルタカートリッジシステムは、フィルタプリーツパック３０５と、フィルタプリーツコームセパレータ３０６と、サイドパネル３０７と、ホットメルト接着剤３０８と、スクリーン３０９と、を備える。フィルタプリーツコームセパレータ３０６は、例えば、レーザカットポリプロピレンなどのプラスチックで作ることができる。

【0017】

図４は、本発明の一変形によるフィルタカートリッジをポッティング（またはキャスティング）するためのプロセスを示す図である。フィルタは、余分な構成要素を持たない型内において、構造について接着土台自体に依拠し、注型封入される。型は、ＰＴＦＥコーティングされたアルミニウムシート４１０を基部として使用し、アルミニウムシート４１０は、硬化後に型からフィルタを取り外すのを助けるために、ヒンジ４１１を備える。ＰＴＦＥコーティングは、表面を滑らかにし、型に耐久性を与える。アライメント固定具４１２も使用され、アライメント固定具４１２は、フィルタプリーツパックを空間に吊り下げて、最終的な形状に嵌め込まれるようにし、反対側で注型封入されたときにフィルタが正方形となることを確保する。本発明の一変形によれば、ポッティング材料は、窒素ガス発泡ポリエチレンなどのホットメルトポリエチレン（ＨＭＧＥ）であってもよいが、他の種類のホットメルト接着剤を使用してもよい。接着剤は、例えば、テフロン（登録商標）強化ガラス繊維布および棒鋼でライニングされた皿に注がれる。接着剤が冷えて硬化すると、フィルタは型から剥がされる。

【0018】

図５Ａおよび図５Ｂは、本発明の一変形によるフィルタカートリッジをポッティング（またはキャスティング）する際のアライメント固定具５１２の使用法を示す図である。第１の側をポッティングするための接着土台５１３は、フレームの位置決めピン５１４と位置合わせされる。次いで、フレームは、位置決めピン５１５を使用してジグと位置合わせされる。

【0019】

本発明の一変形によれば、スクリーン６１６（図６参照）などの膜を使用して、フィルタプリーツパックを型の外側から分離する。主な目的は、見た目を良くする目的のために、フィルタプリーツパックの露出したカーボンを隠すこと、ポッティング土台からはみ出したあらゆるカーボンを収容すること、および難燃性要件を満たすのを助けることである。図６は、本発明の一変形によるこのような膜として使用されるスクリーン６１６の図である。スクリーン６１６は、フィルタプリーツパックの露出したカーボンをカートリッジの縁部からずらし、プリーツパックを隠す。例えば、約０．５６ｃｍなどの約０．６４ｃｍ未満のスクリーンメッシュ開口サイズ、および約０．３２ｃｍ未満のスクリーン厚さを使用できる。フィルタプリーツパックにスクリーン６１６を固定するために、接着剤が注がれた後、プリーツパックで接着剤を介してスクリーンを押すことを使用でき、図６に示すような結果が得られる。

【0020】

本発明の一変形によれば、フィルタプリーツパック媒体の縁部をシールすることが使用されてもよく、例えば、プリーツパックのプリーツ縁部上のスクリム材の縁部をシールすることが使用されてもよい。これにより、フィルタプリーツパックに粒子スクリーンバリアが使用されていないフィルタ媒体におけるカーボンの保持が可能になる。プリーツパックは、１層以上の嵩高部を取り囲む、１層以上のスクリム部を備えることができる。スクリム部および嵩高部は共に、ポリエステル繊維などの不織布材料とバインダとを含むことができる。嵩高材は、カーボンまたはイオン交換吸着剤などの吸着剤を含むことができ、混合吸着剤を含むことができる。本明細書で使用される場合、フィルタプリーツパック媒体の「縁部をシールすること」は、不織繊維材料のプリーツ縁部をシールすることを含む。このような「縁部をシールすること」は、本明細書および以下で言及する「四方シール」とは異なり、後者の用語は、例えば単一成分ホットメルト材料を使用して形成されたフィルタプリーツパックの周囲のエアシールを指す。

【0021】

本明細書で使用する場合、「実質的に可燃性の材料」は、例えば、約９０重量％を超える可燃性の材料、または約９５重量％を超える可燃性の材料、または約９８重量％を超える可燃性の材料、約９９重量％を超える可燃性の材料、または約９９．９重量％を超える可燃性の材料、または約９９．９９重量％を超える可燃性の材料、または可燃性の材料のみを含み得る。

【0022】

本発明の一変形によれば、フィルタプリーツパックに使用される不織材料は、様々な異なる可能な材料の種類、繊維のサイズおよび結合材料のいずれかであり得る。エチルビニルクロライドをバインダとして使用する、様々なサイズのポリエステル繊維を使用できる。このポリエステル繊維は、例えばカーディングされる（ｃａｒｄｅｄ）ことによって、ランダムに配向されていても機械的に配向されていてもよい。ポリエチレン鞘とポリエステル芯とを含む二成分繊維など二成分繊維を含む他の種類の繊維を使用することができる。二成分繊維は、バインダなしで使用することができる。

【0023】

本発明の一変形によれば、フィルタプリーツパックに使用される吸着剤は、例えば、単一粒状材料タイプ、または異なるタイプの粒状材料タイプの混合物とすることができる。例えば、イオン交換体と混合した活性炭を用いることができる。活性炭は、それぞれが異なる汚染物質を標的とする、様々な異なる可能な化学物質で処理することができる。使用可能な混合比の例は、粒状活性炭８７％対イオン交換樹脂１３％であり得る。
使用可能な別の混合比は、塩基処理粒状活性炭６０％対イオン交換体４０％であり得る。

【0024】

本発明の一変形によれば、フィルタカートリッジの壁は、型内のホットメルト材料を用いて形成することができる。他の接着剤を使用することもできる。ホットメルト接着剤は、例えば、ポリエチレンなどの単一材料の低温溶融接着剤であり得る。使用される他のホットメルト材料は、他の種類のポリオレフィンであってもよい。本発明の一変形によれば、材料は、純粋な空気での用途のために低ガス放出でなければならない。ホットメルト接着剤は、重量およびコストを減らすために、窒素ガスを注入して発泡させることができる。ホットメルト接着剤は、最小限の時間で凝固するという利点を提供することができる。本発明の一変形によれば、ホットメルト材料はテフロン（登録商標）に付着しないので、成形部品は型から容易に取り外すことができる。

【0025】

本発明の一変形によれば、フィルタカートリッジは、Ｋｉｓｈｋｏｖｉｃｈらの米国特許第６７４０１４７号明細書に教示されている材料のいずれかを含むことができ、ここで、この米国特許の教示のすべてが、参照により本明細書に組み込まれ、例えば、特に、フィルタカートリッジは、この米国特許で教示されている不織材料および吸着剤を含むことができる。

【0026】

本発明の一変形によれば、サイドパネルが、フィルタの全周囲に沿ってガスケット圧を維持するのに十分な剛性を提供するために使用される。約０．３２ｃｍの波形ポリプロピレンパネルなどの、強くて軽量で安価な材料をサイドパネルに使用することができる。

【0027】

図７Ａは、本発明の一変形によるサイドパネル７１７を取り付ける技法を示す。サイドパネル７１７は、ビードフラップを敷設する間に取り付けられる。これは、角部を滑らかにし、接着土台への直接取り付けを使用しない。図７Ｂおよび図７Ｃは、ビード７１８にプリーツセパレータ７０６の端部を埋め込むことによって、持ち上げ力に対応するためにサイドパネルを補強する技法を示す図であり、このことは、フィルタカートリッジに著しい強度を加えることが判明している。図７Ｃでは、プリーツセパレータコーム７０６は、接着剤ビード７１８を把持する形体を含むことが分かる。

【0028】

図８は、本発明の一変形によるフィルタカートリッジシステムの断面図であり、フィルタのサイドパネルに対するフィルタビードフラップ側コームのポッティングを示す。接着剤８１８の浸漬充填が、フィルタビードフラップ８１９の両側で使用される。このことは、大きな接着面領域がフィルタに接続されるようにし、パネルの剛性を高め、ガスケットの圧力分散を改善するのに役立つ。加えて、例えば、フィルタプリーツパックの周りに四方シールを形成するために、ホットメルトの凝固浴中のフィルタプリーツパックの浸漬充填を使用することができる。本発明の一変形によれば、フィルタプリーツパックの周囲に四方シールを形成する他の技法を使用することができ、これは、例えば、単一成分ホットメルト材料で四方シールを形成すること、または四方シールを形成するために多成分接着剤または他の接着剤を使用することを含む。

【0029】

本発明の一変形によれば、フィルタカートリッジを成形および封止する１つ以上のステップは、例えば、異なる順序で、例えばフィルタカートリッジの少なくとも一部分を成形する前に四方シールの少なくとも一部を形成することによって行うことができる。一例では、フィルタカートリッジは、四方シールを形成する前に成形される。

【0030】

図９は、本発明の一変形による、フィルタカートリッジのサイドパネル９１７のためのハンドル９２０を示す図である。上部に配置されたブラインドハンドル９２０は、ダイカットされ、波状のサイドパネル９１７から打ち抜かれる。このようなハンドルは、量が多い場合に、低コストで簡素な設計を提供し、その際、輪郭の大きいエルゴノミクス設計を有する。サイドパネル９１７は、接着剤およびフィルタプリーツセパレータコーム９０６によって補強され、これは、プリーツパック９０５の長さに沿ってフィルタカートリッジの反対側のサイドパネル（図示せず）まで延び、それによって、サイドパネル９１７をフィルタプリーツパックに拘束し、カートリッジのための構造部材として作用する。ハンドル９２０を製造するために、ハンドル９２０は、例えば、上方に折り畳まれるフラップを形成するように、ダイカットされ得る。サイドパネル９１７はポッティング固定具上に置かれ、スチールダイがハンドルを正しい形状にする。プリーツセパレータ９０６は、接着ストリップ上に接着される（図３参照）。

【0031】

本発明の一変形によれば、フィルタカートリッジは、例えば浮遊分子汚染（ＡＭＣ）の低減などの用途における使用に関して優れたガス放出および粒子放出結果を達成するフィルタカートリッジである。例えば、フィルタカートリッジシステムは、粒子放出数に関するクラス５、クラス４、クラス３、クラス２またはさらにはクラス１レベルにおける国際標準化機構（ＩＳＯ）１４６４４－１クリーンルーム規格に合格するものであってもよい。ＩＳＯ１４６４４－１クリーンルーム規格の教示全体は、クラス１、クラス２、クラス３、クラス４およびクラス５レベルにおける粒子放出基準を特に含み、参照により本明細書に組み込まれる。下記の表（表１）は、フィルタカートリッジシステムによって満たされ得る粒子放出要件を示している。

【0032】

【0033】

表１：ＩＳＯクラス１４６４４－１による粒子放出数要件

【0034】

例えば、ＩＳＯクラス５の場合、フィルタカートリッジシステムは、約０．１ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約１００，０００個未満の粒子、約０．２ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約２３，７００個未満の粒子、約０．３ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約１０，２００個未満の粒子、約０．５ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約３，５２０個未満の粒子、約１ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約８３２個未満の粒子、および約５ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約２９個未満の粒子を放出する。ＩＳＯクラス４の場合、フィルタカートリッジシステムは、約０．１ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約１０，０００個未満の粒子、約０．２ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約２，３７０個未満の粒子、約０．３ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約１，０２０個未満の粒子、約０．５ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約３５２個未満の粒子、約１ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約８３個未満の粒子、および約５ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約２．９個未満の粒子を放出する。ＩＳＯクラス３の場合、フィルタカートリッジシステムは、約０．１ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約１，０００個未満の粒子、約０．２ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約２３７個未満の粒子、約０．３ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約１０２個未満の粒子、約０．５ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約３５個未満の粒子、約１ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約８．３個未満の粒子、および約５ミクロン以上の粒子サイズで、１立方メートル当たり約０．２９個未満の粒子を放出する。表１によれば、各クラスについて表１に示されている、表１の列に示すおよその粒子サイズ以上の粒子サイズで、１立方メートル当たりのおよその粒子数未満のフィルタ放出数を有することによって、他のＩＳＯクラスを満たす場合もある。加えて、フィルタカートリッジは、フィルタカートリッジシステムの上流における約１０から約５０ｐｐｂの総浮遊分子状汚染物質濃度を、フィルタカートリッジシステムの下流において約１ｐｐｂから約５ｐｐｂ未満に減少させ得る。さらに、フィルタカートリッジは、指定された汚染物質に関して約９９．９％以上などの最大約５０ｐｐｂの入口汚染物質濃度で少なくとも約９０％以上の除去効率を達成し得る。

【0035】

図１０は、本発明の一変形によるＡＭＣフィルタシステムが使用され得る状況を示す概略図である。フィルタシステムは、半導体製造およびクリーンルームの状況で使用することができ、プレナム１０２１においてクリーンルームの天井の化学エアフィルタ１０２２として、および製造レベルの装置レベルＡＭＣフィルタ１０２３としての両方で使用することができ、任意の装置（ベーキング装置、エッチング装置など）に使用することができる。

【0036】

本発明の一変形によれば、達成され得る１つの利点は、高価な射出成形金型を製造する必要がないことである。これにより、他のフィルタサイズや用途に汎用の型固定具を使用する可能性が備わる。別の利点は、耐久性のある金属ハウジングを再利用できるため、コストを削減できることである。所望に応じて、それほど厳密さを要求されない用途では、再利用可能な金属ケースを使用せずにカートリッジを使用することができ、このことは、厳密さを要求される装置の用途と一般的なクリーンルームの用途との両方で、同じカートリッジ要素を使用できることを意味する。再利用可能な金属ハウジングにより、防火規則などの難燃性要件を満たすことができる。全体として、フィルタカートリッジシステムは、従来のフィルタよりも環境に与える影響を少なくしながら、ユーザのコストを削減することができる。

【0037】

本発明の一変形によれば、カートリッジフィルタは、実質的に可燃性の材料、例えば可燃性の材料のみから作ることができ、耐久性、粒子放出数、美観、耐火性能の仕様を維持しながら、費用を節約するために再利用可能な金属ハウジングとともに使用される。

【0038】

本発明の一変形によれば、可燃性材料のみであってもよい実質的に可燃性の材料で作られたフィルタ要素が、再利用可能な金属ハウジングとともに使用される。カートリッジ内の材料は、プラスチックおよびカーボンおよび樹脂などの実質的に可燃性の媒体である。このカートリッジ筐体は、低コストのオープンモールドで成形される、低コストのホットメルト接着剤を用いて成形される。構造的完全性を維持するために、プラスチックプリーツセパレータがホットメルトに接合され、波形プラスチックサイドパネルに接合される。媒体の露出を防ぐために、プラスチックスクリーンメッシュが、ホットメルト接着剤の内部に媒体を保持するセパレータとして使用される。美的価値および媒体を被包するために、貼り付け式プラスチック膜を使用することができる。

【0039】

本発明の一変形によれば、フィルタカートリッジは、再利用可能な金属ケースとともに使用されるが、使用されない場合もある。再利用可能な金属ケースは、美観、粒子放出数、コスト、および耐久性の要件に役立つ。コストをさらに低減するために、媒体保護金属スクリーンは、取り外しが容易なように、金属ケースのスロットおよびフランジを介して緩く組み付けることができる。

【0040】

様々な組成物および方法が記載されているが、本発明は、記載された特定の組成物、設計、方法論またはプロトコルに限定されないことを理解されたい。本明細書で使用する用語は、特定の変形または変形のみを説明する目的のためのものであり、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される本発明の範囲を限定することを意図するものではないことも理解されたい。

【0041】

本明細書および添付の特許請求の範囲において使用されているように、単数形「ａ」、「ａｎ」、および「ｔｈｅ」は、文脈上が明らかに他の意味に解すべき場合でない限り、複数形による言及を含むことにも留意する必要がある。よって、例えば、「フィルタプリーツパック」への言及は、１つ以上のフィルタプリーツパックおよび当業者に既知であるその等価物などへの言及である。別段の定義のない限り、本明細書で使用されるすべての技術用語および科学用語は、当業者によって一般的に理解されるのと同じ意味を有する。本明細書に記載されているものと類似または均等の方法および材料を、本発明の変形の実施または試験において使用することができる。本明細書で言及されるすべての刊行物は、その全体が参照により組み込まれる。本明細書中のいかなるものも、先行発明によって、本発明がそのような開示に先行する資格がないことを認めるものとして解釈されるべきではない。「任意の」または「場合により」は、その後に記載される事象または状況が起こっても起こらなくてもよいことと、その記載は、事象が起こる例および起こらない例を含むことと、を意味する。本明細書中のすべての数値は、明示的に示されているか否かに関わらず、用語「約」によって修飾され得る。用語「約」は、一般に、当業者が列挙された値と均等である（すなわち、同じ機能または結果を有する）と考える数の範囲を指す。一部の変形では、用語「約」は記載された値の±１０％を指し、他の変形では、用語「約」は記載された値の±２％を指す。組成物および方法は、様々な成分またはステップを「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」（「含むがこれに限定されない（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ，ｂｕｔ ｎｏｔ ｌｉｍｉｔｅｄ ｔｏ）」を意味すると解釈される）という観点から記載されているが、組成物および方法は、様々な成分およびステップ「から本質的に構成される（ｃｏｎｓｉｓｔ ｅｓｓｅｎｔｉａｌｌｙ ｏｆ）」または「から構成される（ｃｏｎｓｉｓｔ ｏｆ）」こともでき、そのような用語は、本質的に排他的な構成要素群を定義するものとして解釈されるべきである。

【0042】

本発明を１つ以上の実施形態に関連して図示および説明してきたが、本明細書および添付の図面の読解および理解に基づけば、当業者には均等の変更および修正が想到されるはずである。本発明は、そのような修正および変更のすべてを含み、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。加えて、本発明の特定の特徴または実施態様は、いくつかの実施形態のうちの１つのみに関して開示されているかもしれないが、そのような特徴または実施態様は、任意の所与または特定の用途のために望ましいおよび有利であり得るような他の実施形態の１つ以上の他の特徴または実施態様と組み合わされてもよい。さらに、用語「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、「有する（ｈａｓ）」、「有する（ｗｉｔｈ）」、またはこれらの変形が、詳細な説明または特許請求の範囲において使用される限り、このような用語は、用語「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」と同様に包括的であると意図されている。また、「例示的」という用語は、最良ではなく一例を意味することを意図されているに過ぎない。本明細書に示される特徴および／または要素は、簡潔のため、および理解を容易にするために、特定の寸法および／または互いに対する向きで示されていることと、実際の寸法および／または向きは、本明細書に示されているものとは実質的に異なり得ることも理解されたい。

【0043】

本発明を、その特定の変形に関連してかなり詳細に記載してきたが、他の変形も可能である。したがって、添付の特許請求の範囲の趣旨および範囲は、本明細書に含まれる説明および変形に限定されるべきではない。

【0044】

本明細書で引用したすべての特許、公開された出願および参考文献の教示は、その全体が参照により組み込まれる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図8】

【図9】

【図10】