特許7152537連続的およびパルスモード動作のための一体化されたＲＦ電力供給単一入力複数出力制御

発明の名称　連続的およびパルスモード動作のための一体化されたＲＦ電力供給単一入力複数出力制御

出願人　エムケーエス　インストゥルメンツ，インコーポレイテッド　（識別番号 508240030）

　　　　特許公開件数ランキング 880 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4182 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7152537

公報発行日　2022年10月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7152537

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