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エムケーエス インストゥルメンツ,インコーポレイテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7926555 遠隔プラズマ生成のための電力送達システムにおけるインピーダンス整合の方法及び装置 2026年 9月29日
特許 7910998 ロードロックゲージ 2026年 8月25日
特許 7883569 溶存キャリアガス及び酸素含有量が低減されたアンモニア溶液を生成するためのシステムおよび方法 2026年 7月 1日
特許 7879862 質量分析法を使用したラジカル粒子濃度のモニタリング 2026年 6月24日
特許 7866604 パルスガス供給方法および装置 2026年 5月27日
特許 7863251 イオンエネルギーセンサを備えるマルチ電極システムのプラズマプロセス制御 2026年 5月20日
特許 7853975 質量流量コントローラ及びシステム 2026年 4月30日
特許 7833096 オンラインパラメータ調整を伴う極値探索制御装置および方法 2026年 3月18日

8 件中 1-8 件を表示

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7926555 7910998 7883569 7879862 7866604 7863251 7853975 7833096

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