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特許7153272電気特性測定装置及び電気特性測定方法
発明の名称 電気特性測定装置及び電気特性測定方法
出願人 グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 （識別番号 312007423）
特許公開件数ランキング 1022 位（7件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1152 位（5件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人 熊本大学 （識別番号 504159235）
特許公開件数ランキング 1140 位（8件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1714 位（7件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7153272
公報発行日 2022年10月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7153272
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