特許 7157527 拡張装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-12

(45)【発行日】2022-10-20

(54)【発明の名称】拡張装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20221013BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20221013BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/78 W

H01L21/78 N

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2017241715

(22)【出願日】2017-12-18

(65)【公開番号】P2019110188

(43)【公開日】2019-07-04

【審査請求日】2020-10-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤澤 晋一

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０１７２８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－３４５３５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０５９５８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０７３４２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１４３２９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０３４０２６３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平０３－０１１７４９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

シートを拡張する拡張装置であって、
板状物を保持する保持面を有した保持手段と、
ロール状に巻回された帯状シートを該保持手段で保持された板状物に貼着する貼着ローラと、該帯状シートを板状物よりも大きいサイズを有した矩形シートに切り出すカッター手段と、を有した貼着機構と、
該貼着ローラを該保持手段に対して該帯状シートを貼着する貼着方向に相対移動させる移動手段と、
第１方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該貼着機構によって板状物に貼着された該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第１挟持手段と、第２挟持手段と、該第１方向に直交する第２方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第３挟持手段と、第４挟持手段と、該第１挟持手段と該第２挟持手段とを該第１方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第３挟持手段と該第４挟持手段とを該第２方向において互いに離反する向きに移動可能とする挟持手段移動手段と、を有した拡張機構と、
該保持手段で保持され該矩形シートが貼着された板状物を該拡張機構へと受け渡す受渡手段と、を備え、
該保持手段は、該保持面を含み板状物を保持する板状物保持部と、
該板状物保持部の外周で該貼着方向において該保持面を挟んで貼着開始側と貼着終了側とに配置され、該保持面で保持された板状物の被シート貼着面よりも突出したシート被貼着部と、を更に備え、
該貼着機構は、該保持手段で保持された板状物に対面して配設され、ロール状の該帯状シートを送り出す送り出し部と、
該送り出し部で送り出された該帯状シートの一端を該貼着開始側の該シート被貼着部に貼着するシート貼着手段と、を更に備えた拡張装置。

【請求項2】

シートを拡張する拡張装置であって、
板状物を保持する保持面を有した保持手段と、
ロール状に巻回された帯状シートを該保持手段で保持された板状物に貼着する貼着ローラと、該帯状シートを板状物よりも大きいサイズを有した矩形シートに切り出すカッター手段と、を有した貼着機構と、
該貼着ローラを該保持手段に対して該帯状シートを貼着する貼着方向に相対移動させる移動手段と、
第１方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該貼着機構によって板状物に貼着された該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第１挟持手段と、第２挟持手段と、該第１方向に直交する第２方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第３挟持手段と、第４挟持手段と、該第１挟持手段と該第２挟持手段とを該第１方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第３挟持手段と該第４挟持手段とを該第２方向において互いに離反する向きに移動可能とする挟持手段移動手段と、を有した拡張機構と、
該保持手段で保持され該矩形シートが貼着された板状物を該拡張機構へと受け渡す受渡手段と、を備え、
該受渡手段は、該保持手段で保持され該矩形シートが貼着された板状物を該矩形シートを介して保持する受渡手段保持部と、
該受渡手段保持部の外周で該矩形シートの角部をそれぞれ挟持する角部挟持手段と、を備えた拡張装置。

【請求項3】

前記帯状シートは、基材シートと、該基材シート上に配設された糊層と、を含み、
該糊層上に帯状離型フィルムが配設された状態でロール状に巻回されており、
前記貼着機構は、前記送り出し部で送り出された前記帯状シートから該帯状離型フィルムを剥離するピールプレートと、
剥離された該帯状離型フィルムを巻き取る巻き取り部と、
該ピールプレートと該巻き取り部との間で該帯状離型フィルムを押し下げる錘と、を備えた、請求項１に記載の拡張装置。

【請求項4】

前記帯状シートは、基材シートと、該基材シート上に配設された糊層と、を含み、
該糊層上に帯状離型フィルムが配設された状態でロール状に巻回されており、
前記貼着機構は、前記保持手段で保持された板状物に対面して配設されロール状の該帯状シートを送り出す送り出し部と、
該送り出し部で送り出された前記帯状シートから該帯状離型フィルムを剥離するピールプレートと、
剥離された該帯状離型フィルムを巻き取る巻き取り部と、
該ピールプレートと該巻き取り部との間で該帯状離型フィルムを押し下げる錘と、を備えた、請求項２に記載の拡張装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シートを拡張する拡張装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウェーハなどの被加工物は、その表面の格子状の分割予定ラインによって区画された領域にそれぞれデバイスが形成されており、分割予定ラインに沿って分割することによって、デバイスを有する個々のチップに分割される。ウェーハを個々のチップに分割する装置として、例えば、シートの４辺を挟持してエキスパンドする拡張装置が用いられている（例えば、下記の特許文献１を参照）。この拡張装置は、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第一挟持手段と第二挟持手段と、第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第三挟持手段と第四挟持手段とを備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－０２２３８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、上記の拡張装置は、被加工物が貼着されたシートを拡張するものであり、通常ロール状で提供されているシートを別途作業者が切断し、切断したシートに被加工物を貼着しなければならなかった。また、作業者が保持テーブルにシートを介して被加工物を載置し、挟持機構でシートの四隅を挟持できるように位置決めして載置する必要があり、手間である上、場合によっては一度保持テーブルに載置した被加工物を置き直す等の必要があった。特に分割起点が形成されている被加工物は破損しやすく、シートの貼着時や保持テーブルに載置する際に被加工物を一度置いて持ち上げる等、ハンドリング時に破損するおそれがあった。

【0005】

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、従来に比べて作業性を向上させるとともに被加工物が破損するおそれを低減しうる拡張装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、シートを拡張する拡張装置であって、板状物を保持する保持面を有した保持手段と、ロール状に巻回された帯状シートを該保持手段で保持された板状物に貼着する貼着ローラと、該帯状シートを板状物よりも大きいサイズを有した矩形シートに切り出すカッター手段と、を有した貼着機構と、該貼着ローラを該保持手段に対して該帯状シートを貼着する貼着方向に相対移動させる移動手段と、第１方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該貼着機構によって板状物に貼着された該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第１挟持手段と、第２挟持手段と、該第１方向に直交する第２方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第３挟持手段と、第４挟持手段と、該第１挟持手段と該第２挟持手段とを該第１方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第３挟持手段と該第４挟持手段とを該第２方向において互いに離反する向きに移動可能とする挟持手段移動手段と、を有した拡張機構と、該保持手段で保持され該矩形シートが貼着された板状物を該拡張機構へと受け渡す受渡手段と、を備え、該保持手段は、該保持面を含み板状物を保持する板状物保持部と、該板状物保持部の外周で該貼着方向において該保持面を挟んで貼着開始側と貼着終了側とに配置され、該保持面で保持された板状物の被シート貼着面よりも突出したシート被貼着部と、を更に備え、該貼着機構は、該保持手段で保持された板状物に対面して配設され、ロール状の該帯状シートを送り出す送り出し部と、該送り出し部で送り出された該帯状シートの一端を該貼着開始側の該シート被貼着部に貼着するシート貼着手段と、を更に備えた。

【0007】

本発明は、シートを拡張する拡張装置であって、板状物を保持する保持面を有した保持手段と、ロール状に巻回された帯状シートを該保持手段で保持された板状物に貼着する貼着ローラと、該帯状シートを板状物よりも大きいサイズを有した矩形シートに切り出すカッター手段と、を有した貼着機構と、該貼着ローラを該保持手段に対して該帯状シートを貼着する貼着方向に相対移動させる移動手段と、第１方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該貼着機構によって板状物に貼着された該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第１挟持手段と、第２挟持手段と、該第１方向に直交する第２方向において該矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、該矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第３挟持手段と、第４挟持手段と、該第１挟持手段と該第２挟持手段とを該第１方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第３挟持手段と該第４挟持手段とを該第２方向において互いに離反する向きに移動可能とする挟持手段移動手段と、を有した拡張機構と、該保持手段で保持され該矩形シートが貼着された板状物を該拡張機構へと受け渡す受渡手段と、を備え、該受渡手段は、該保持手段で保持され該矩形シートが貼着された板状物を該矩形シートを介して保持する受渡手段保持部と、該受渡手段保持部の外周で該矩形シートの角部をそれぞれ挟持する角部挟持手段と、を備えた。

【0008】

上記帯状シートは、基材シートと、該基材シート上に配設された糊層と、を含み、該糊層上に帯状離型フィルムが配設された状態でロール状に巻回されており、上記貼着機構は、上記送り出し部で送り出された上記帯状シートから該帯状離型フィルムを剥離するピールプレートと、剥離された該帯状離型フィルムを巻き取る巻き取り部と、該ピールプレートと該巻き取り部との間で該帯状離型フィルムを押し下げる錘と、を備えた。

【発明の効果】

【0010】

本発明に係る拡張装置は、ロール状に巻回された帯状シートを保持手段で保持された板状物に貼着する貼着ローラと、帯状シートを板状物よりも大きいサイズを有した矩形シートに切り出すカッター手段とを有した貼着機構と、貼着ローラを保持手段に対して帯状シートを貼着する貼着方向に相対移動させる移動手段と、矩形シートを第１方向および第２方向に拡張する拡張機構と、保持手段で保持され矩形シートが貼着された板状物を拡張機構へと受け渡す受渡手段とを備えたため、ロール状に巻回された帯状シートを保持手段で保持された板状物に貼着した後、カッター手段によって矩形シートに切り出してから、受渡手段により拡張機構へ受け渡し矩形シートを拡張することができる。本発明によれば、ロール状に巻回された帯状シートの状態で拡張装置に供給でき、拡張装置内で帯状シートを板状物に貼着するとともに、板状物よりも大きいサイズの矩形シートに切り出すことが可能となるため、従来に比べて作業性が向上する。
さらに、帯状シートを板状物に貼着する際には、保持手段によって板状物が保持された状態が維持され、矩形シートが板状物に貼着された後拡張機構に受け渡されるまでの間は、受渡手段によって板状物が保持された状態が維持され、板状物が拡張機構に受け渡された後環状のフレームに矩形シートが装着されるまでの間は、常に矩形シートの外縁が第１挟持手段、第２挟持手段、第３挟持手段及び第４挟持手段によって挟持された状態が維持されるため、板状物が破損するおそれを低減しうる。

【0011】

上記保持手段は、上記保持面を含み板状物を保持する板状物保持部と、板状物保持部の外周で上記貼着方向において保持面を挟んで貼着開始側と貼着終了側とに配置され、保持面で保持された板状物の被シート貼着面よりも突出したシート被貼着部と、を更に備え、上記貼着機構は、保持手段で保持された板状物に対面して配設され、ロール状の上記帯状シートを送り出す送り出し部と、送り出し部で送り出された帯状シートの一端を貼着開始側のシート被貼着部に貼着するシート貼着手段と、を更に備えたため、帯状シートに皺を発生させずに、板状物に対して良好に貼着することができる。

【0012】

上記受渡手段は、上記保持手段で保持され上記矩形シートが貼着された板状物を該矩形シートを介して保持する受渡手段保持部と、受渡手段保持部の外周で矩形シートの角部をそれぞれ挟持する角部挟持手段とを備えたため、板状物に貼着された矩形シートの角部を挟持して、上記拡張機構に板状物を破損させず確実に受け渡すことが可能となる。

【0013】

上記帯状シートは、基材シートと、基材シート上に配設された糊層と、を含み、糊層上に帯状離型フィルムが配設された状態でロール状に巻回されており、上記貼着機構は、上記送り出し部で送り出された上記帯状シートから帯状離型フィルムを剥離するピールプレートと、剥離された帯状離型フィルムを巻き取る巻き取り部と、ピールプレートと巻き取り部との間で帯状離型フィルムを押し下げる錘とを備えたため、板状物に基材シートを貼着している間は、帯状シートから剥離された帯状離型フィルムを錘で下方に押し下げておくことにより一定のテンションをかけておくことができ、基材シートに皺が発生するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】拡張装置の一部の構成を示す斜視図である。

【図2】拡張装置の各機構の配置関係を示す説明図である。

【図3】フレームストッカーの一例の構成を示す斜視図である。

【図4】洗浄装置の一例の構成を示す斜視図である。

【図5】保持手段の構成を示す斜視図である。

【図6】貼着機構の構成を示す側面図である。

【図7】カッター手段の構成を示す一部拡大断面図である。

【図8】受渡手段の構成を示す斜視図である。

【図9】受渡手段の構成を断面図である。

【図10】角部挟持手段の構成を示す断面図である。

【図11】剥離機構の構成を示す斜視図である。

【図12】貼着機構において貼着開始側のシート被貼着部に基材シートの貼着する状態を示す断面図である。

【図13】貼着機構において保持手段を水平移動させ貼着ローラで板状物に基材シートを貼着する状態を示す断面図である。

【図14】貼着機構において貼着終了側のシート被貼着部に貼着された基材シートをカッター手段により切断する状態を示す断面図である。

【図15】板状物に矩形シートが貼着された状態を示す断面図である。

【図16】保持手段から受渡手段に矩形シートが貼着された板状物を受け渡す状態を示す斜視図である。

【図17】受渡手段の保持部に板状物が保持されるとともに角部挟持手段によって矩形シートの四隅が挟持された状態を示す斜視図である。

【図18】剥離機構において先端針状部材を板状物に接近させた状態を示す断面図である。

【図19】剥離機構において先端針状部材を板状物に貼着されたテープの周縁側に突き当てた状態を示す断面図である。

【図20】剥離機構において板状物からテープが剥がされた部分に向けてエアーノズルから高圧エアーを噴射した状態を示す断面図である。

【図21】剥離機構において折り曲げローラを移動させてテープに接触させた状態を示す断面図である。

【図22】剥離機構において板状物からテープを完全に剥離させるとともに、保持板の下面にテープを吸引保持させた状態を示す断面図である。

【図23】拡張機構によって矩形シートの四辺を挟持する状態を説明する平面図である。

【図24】第１挟持手段及び第２挟持手段によって矩形シートを第一方向に拡張する状態を示す断面図である。

【図25】第３挟持手段及び第４挟持手段によって矩形シートを第二方向に拡張する状態を示す断面図である。

【図26】拡張後の板状物にフレームの開口を位置づける状態を示す断面図である。

【図27】フレーム貼着用ローラによってフレームに矩形シートを貼着する状態を示す断面図である。

【図28】フレーム貼着用カッターによってフレームに沿って矩形シートを切断する状態を示す断面図である。

【図29】フレームユニットを搬送する状態を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

図１は、板状物に貼着されるシートを挟持して引っ張ることができる拡張装置１の一部の構成を模式的に示している。拡張装置１は、第１方向に延在する第１装置ベース１０と、第１装置ベース１０の第１方向後部の上方側に複数の支持柱１４により支持された第２装置ベース１１とを有している。第１装置ベース１０には、板状物を保持する保持面２１ａを有した保持手段２０と、帯状シートを保持手段２０で保持された板状物に貼着するとともに帯状シートを板状物よりも大きいサイズを有した矩形シートに切り出す貼着機構３０と、貼着機構３０の貼着ローラを保持手段２０に対して帯状シートを貼着する貼着方向（図示の例では第１方向）に相対移動させる移動手段４０と、保持手段２０で保持され矩形シートが貼着された板状物を受け取り、後述する拡張機構８０へと受け渡す受渡手段５０と、受渡手段５０を第１方向に移動させる受渡移動手段６０と、受渡手段５０で保持された板状物の一方の面に貼着されたテープを剥離する剥離機構７０とを備えている。

【0016】

第２装置ベース１１には、第１方向において矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、貼着機構３０によって板状物に貼着された矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第１挟持手段８０Ａと、第２挟持手段８０Ｂと、第１方向に直交する第２方向において矩形シートに貼着された板状物を挟んで互いに対向して配置され、矩形シートの外縁をそれぞれ挟持する第３挟持手段８０Ｃと、第４挟持手段８０Ｄと、第１挟持手段８０Ａと第２挟持手段８０Ｂとを第１方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに第３挟持手段８０Ｃと第４挟持手段８０Ｄとを第２方向において互いに離反する向きに移動可能とする挟持手段移動手段とを有した拡張機構８０を備えている。

【0017】

図２に示すように、拡張装置１は、板状物を搬入するための搬入口１２を有している。搬入口１２の隣接した位置には、拡張装置１に加工条件等を入力するとともに、入力内容等が表示される表示手段兼入力手段１３を備えている。表示手段兼入力手段１３は、例えばタッチパネルにより構成されている。搬入口１２に連通した領域が図１に示した貼着機構３０によって矩形シートが板状物に貼着される貼着領域である。貼着領域には保持手段２０から受渡手段５０へ板状物が受け渡される受渡領域が含まれる。また、受渡領域に隣接した領域は剥離機構７０が稼働する剥離領域であり、剥離領域に隣接した領域は拡張機構８０が稼働する拡張領域である。

【0018】

拡張装置１は、図３に示すフレーム５が複数収容されたフレームストッカー１７と、フレーム５を所定の搬送先に搬送する第１搬送手段１６ａ及び第２搬送手段１６ｂ（図１を参照）と、拡張機構８０によって拡張された板状物を洗浄するための図４に示す洗浄装置１８と、拡張機構８０によって拡張された矩形シートに紫外線を照射する紫外線照射装置（不図示）とを備えている。図２に示すように、フレームストッカー１７に隣接した領域は洗浄装置１８が稼働する洗浄領域であり、洗浄領域に隣接した領域は紫外線照射装置が稼働する紫外線照射領域である。

【0019】

図１に示す拡張機構８０の構成について説明する。第１挟持手段８０Ａ及び第２挟持手段８０Ｂは、第２方向に延在する直方体の下側挟持部８１ａと、一端が下側挟持部８１ａに連結された断面略Ｌ字形のアーム部８２ａと、下側挟持部８１ａと平行に延在する上側挟持部８１ｂと、一端が上側挟持部８１ｂに連結された断面略Ｌ字形のアーム部８２ｂと、第２装置ベース１１の上面に形成された凹部１１０に沿って移動可能に配設された可動基台８７ａとをそれぞれ備えている。下側挟持部８１ａの上面側には、複数のローラ８３が第２方向と平行な方向に整列して配設されている。複数のローラ８３は、第１方向と平行な回転軸を中心として回転可能であり、下側挟持部８１ａの上面から外周面の半分程度が突出して装着されている。また、第１挟持手段８０Ａ及び第２挟持手段８０Ｂの上側挟持部８１ｂの下面側には、複数のローラ（図示せず）が第２方向と平行な方向に整列して配設されている。上側挟持部８１ｂの下面側に配設された複数のローラは、第１方向と平行な回転軸を中心として回転可能であり、上側挟持部８１ｂの下面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

【0020】

第３挟持手段８０Ｃ及び第４挟持手段８０Ｄは、第１方向に延在する直方体の下側挟持部８４ａと、一端が下側挟持部８４ａに連結されたアーム部８５ａと、下側挟持部８４ａと平行に延在する上側挟持部８４ｂと、一端が上側挟持部８４ｂに連結されたアーム部８５ｂと、第２装置ベース１１の上面に形成された凹部１１１に沿って移動可能に配設された可動基台８７ｂとをそれぞれ備えている。下側挟持部８４ａの上面側には、複数のローラ８６が第１方向と平行な方向に整列して配設されている。複数のローラ８６は、第２方向と平行な回転軸を中心として回転可能であり、下側挟持部８４ａの上面から外周面の半分程度が突出して装着されている。また、第３挟持手段８０Ｃ及び第４挟持手段８０Ｄの上側挟持部８４ｂの下面側には、複数のローラ（図示せず）が第１方向と平行な方向に整列して配設されている。上側挟持部８４ｂの下面側に配設された複数のローラは、第２方向と平行な回転軸を中心として回転可能であり、上側挟持部８４ｂの下面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

【0021】

挟持手段移動手段は、第１挟持手段８０Ａ及び第２挟持手段８０Ｂにそれぞれ接続された第１方向移動手段８８ａと第３挟持手段８０Ｃ及び第４挟持手段８０Ｄにそれぞれ接続された第２方向移動手段８８ｂとを備えている。第１方向移動手段８８ａは、第１方向に延在するボールネジ８８０と、それぞれのボールネジ８８０の一端を回転可能に支持する軸受部８８１と、それぞれのボールネジ８８０の他端に接続されたモータ８８２とを備え、第２装置ベース１１にそれぞれ配設されている。第１方向移動手段８８ａは、第１挟持手段８０Ａと第２挟持手段８０Ｂとを第１方向において互いに離反する向きに移動させることができる。第２方向移動手段８８ｂは、第２方向に延在するボールネジ８８３と、それぞれのボールネジ８８３の一端を回転可能に支持する軸受部８８４と、それぞれのボールネジ８８３の他端に接続されたモータ８８５とを備え、第２装置ベース１１にそれぞれ配設されている。第２方向移動手段８８ｂは、第３挟持手段８０Ｃと第４挟持手段８０Ｄとを第２方向において互いに離反する向きに移動させることができる。

【0022】

第１搬送手段１６ａ及び第２搬送手段１６ｂは、略Ｈ形状の搬送プレート１６０と、搬送プレート１６０の下端隅部に配設されフレームの一方の面を吸引保持する複数（図示の例では４つ）のフレーム保持部１６１とを少なくとも備えている。本実施形態に示す第１搬送手段１６ａは、図２に示すように、拡張領域とフレームストッカー１７との間を移動領域としている。また、第２搬送手段１６ｂは、フレームストッカー１７から紫外線照射領域までを移動領域としている。

【0023】

図３に示すように、フレームストッカー１７は、中央に開口６を有するリング状のフレーム５を積み重ねてストックするフレームストッカーの一例である。フレームストッカー１７には、フレーム５の内周面に接触する円柱部材１７０がほぼ均等間隔に複数配設されている。円柱部材１７０の本数は、図示の例では４本となっているが、この本数に限定されない。なお、フレーム５の材質は、例えば、ステンレスなどの金属によって構成されている。

【0024】

図４に示すように、洗浄装置１８は、筒状のカバー部材１８０を有し、カバー部材１８０の内側に、板状物を保持する保持面１８１ａを有するスピンナーテーブル１８１と、スピンナーテーブル１８１を回転させる回転軸１８２と、スピンナーテーブル１８１の外周側に図３に示したフレーム５を固定する複数（図示の例では４つ）のクランプ機構１８３と、板状物に洗浄水を供給する洗浄水ノズル１８４と、洗浄後の板状物を乾燥させるエアーノズル１８５と、スピンナーテーブル１８１を鉛直方向に昇降させるためのエアシリンダとピストンとからなる昇降機構１８６とを備えている。

【0025】

図５（ａ）に示すように、保持手段２０は、保持面２１ａを含み板状物を保持する板状物保持部２１と、板状物保持部２１の下部に固定された固定台２２と、板状物保持部２１及び固定台２２を下方から支持するベース２３と、ベース２３に軸通され板状物保持部２１の保持面２１ａを反転させる回転軸２４と、回転軸２４の端部が回転可能に支持された門型の支持部２５とを備えている。図５（ｂ）に示すように、支持部２５には、例えばエアシリンダとピストンとにより構成された昇降機構２７が接続されており、保持手段２０の全体を鉛直方向に昇降させることができる。

【0026】

保持手段２０は、板状物保持部２１の下方側に矩形板状のシート貼着プレート２６を備えている。シート貼着プレート２６の中央には、上下面（上面２６ａ及び下面２６ｂ）を貫通した円形の開口２６０を有している。開口２６０の径は、板状物保持部２１よりも大径となっている。支持部２５において回転軸２４が回転し、板状物保持部２１の保持面２１ａを反転させると、保持面２１ａと開口２６０とを対向させることができる。この状態において、昇降機構２７によって板状物保持部２１を下降させることにより、板状物保持部２１を開口２６０に進入させることができる。

【0027】

図５（ｃ）に示すように、シート貼着プレート２６の下面２６ｂには、板状物保持部２１の外周で貼着方向（図示の例では第１方向）において保持面２１ａを挟んで貼着開始側と貼着終了側とに配置され、保持面２１ａで保持された板状物の被シート貼着面よりも突出したシート被貼着部２８と、板状物保持部２１の保持面２１ａを挟んでシート被貼着部２８と直交する第１方向に延在するローラ用ガイド２９とを更に備えている。本実施形態に示すシート被貼着部２８は、例えばバー状の部材からなる。シート被貼着部２８は、第２方向と平行に向いており、開口２６０を挟んだ第１方向の外縁側にそれぞれ対向して配設されている。２つのシート被貼着部２８にかけわたすように帯状シートを貼着するとともに、開口２６０から露出した保持面２１ａに保持された板状物に帯状シートを貼着することで、帯状シートに皺が発生するのを防止することができる。ローラ用ガイド２９は、例えば断面略Ｌ字形状に形成されている。ローラ用ガイド２９は、第１方向と平行に向いており、開口２６０を挟んだ第２方向の外縁側にそれぞれ対向して配設されている。

【0028】

図１に示す移動手段４０は、第１方向に延在する支持板４００に配設されたボールネジ４１と、ボールネジ４１の一端に接続されたモータ４２と、ボールネジ４１と平行に延在する一対のガイドレール４３と、第１方向に水平に移動可能な移動基台４４とを備えている。移動基台４４の一方の面には、シート貼着プレート２６が連結されている。移動基台４４の他方の面には、一対のガイドレール４３が摺接し、移動基台４４の中央に形成されたナットにはボールネジ４１が螺合している。モータ４２によって駆動されてボールネジ４１が回動することにより、移動基台４４とともに保持手段２０をガイドレール４３に沿って第１方向に移動させることができる。移動手段４０により、保持手段２０が図２に示した貼着領域内を移動することができる。

【0029】

貼着機構３０は、図１の点線で示すユニット本体３００を有している。ユニット本体３００は、保持手段２０の下方側に位置しており、保持手段２０で保持された板状物に対面して配設されている。貼着機構３０の各機構は、ユニット本体３００内に収容されている。図示の例では、第１装置ベース１０の第１方向前部に配設された第２方向に延在する一対のガイド１５に沿ってユニット本体３００をスライド移動させることができる。これにより、貼着機構３０のメンテナンスや各機構の交換作業時、ロール状の帯状シートの供給時等に拡張装置１の外側へユニット本体３００を引き出したり、作業完了後にユニット本体３００を拡張装置１の貼着領域に設置したりすることができる。

【0030】

図６に示すように、貼着機構３０は、リール３３と、リール３３にロール状に巻回された帯状シート２（シートロール２Ａ）を図５で示した保持手段２０で保持された板状物に貼着する貼着ローラ３１と、帯状シート２を板状物よりも大きいサイズを有した矩形シートに切り出す図７に示すカッター手段３２と、リール３３の上側に配置され帯状シート２を送り出す送り出し部となる送り出しローラ３４ａと、送り出しローラ３４ａと対向して配置された挟み込みローラ３４ｂと、貼着ローラ３１と対向して配置された撓み防止ローラ３５と、送り出しローラ３４ａにより送り出された帯状シート２の一端を貼着開始側のシート被貼着部２８に貼着するシート貼着手段３６とを備えている。

【0031】

本実施形態に示す帯状シート２は、基材シートと、基材シート上に配設された糊層と、から少なくともなるシート本体３と、シート本体３の糊層上に配設された帯状離型フィルム４と、含み、リール３３にロール状に巻回されている。基材シートは、例えば、ポリオレフィンやポリ塩化ビニル等である。貼着ローラ３１は、図示していないが、板状物（例えば円形板状のウェーハ）の直径以上の長さで水平方向に延在する筒状のローラから構成される。貼着ローラ３１の位置は固定されており、上記した保持手段２０のシート貼着プレート２６が第１方向に移動することにより、一対のローラ用ガイド２９に貼着ローラ３１の両端が嵌った状態で、ローラ用ガイド２９に沿って貼着ローラ３１がガイドされシート本体３を下方から板状物に対して押し付けることができる。なお、貼着ローラ３１は、特に材質等が限定されず、例えばシリコンゴムにより形成されている。

【0032】

送り出しローラ３４ａは、例えばサーボモータにより回転駆動される構成となっており、トルク制御によってシートロール２Ａからの帯状シート２の送り出し量を制御することができる。挟み込みローラ３４ｂは、シートロール２Ａから引き出された帯状シート２を送り出しローラ３４ａに対して押し付けて挟むことにより、板状物に貼着されるシート本体３に弛みが発生するのを防止することができる。

【0033】

撓み防止ローラ３５は、貼着ローラ３１の直径よりも大きい直径を有し、貼着ローラ３１に隣接して配設されている。撓み防止ローラ３５は、撓み防止ローラ３５の周面が貼着ローラ３１の周面と当接した状態で貼着ローラ３１を転動可能に押圧することができる。これにより、貼着ローラ３１が板状物に対してシート本体３を押し付けたときにシート本体３が撓むことを防止できる。なお、撓み防止ローラ３５は、必ずしもなくてもよい。

【0034】

シート貼着手段３６は、クッション３６０と上下方向に移動する移動部３６１とを備えている。クッション３６０の材質は特に限定されないが、貼着ローラ３１と同様に、例えばシリコンゴムなどの弾性部材によって形成されている。シート貼着手段３６は、移動部３６１が上昇することにより、クッション３６０でシート本体３を下方から押し上げて図５（ｃ）で示したシート被貼着部２８にシート本体３を貼着することができる。

【0035】

また、貼着機構３０は、テープテンションを一定にするために、送り出しローラ３４ａで送り出された帯状シート２から帯状離型フィルム４を剥離するピールプレート３７と、剥離された帯状離型フィルム４を巻き取る巻き取り部となる巻き取りローラ３８と、ピールプレート３７と巻き取りローラ３８との間に配設されたガイドローラ３４ｃと、可動ローラ３４ｄと、可動ローラ３４ｄと対向して配設された押さえローラ３４ｅと、ピールプレート３７と巻き取りローラ３８との間で帯状離型フィルム４を押し下げる錘３９とを備えている。

【0036】

ピールプレート３７は、先形状が尖っており、帯状シート２を押圧して鋭角に形成することで帯状シート２から帯状離型フィルム４を剥離することができる。剥離された帯状離型フィルム４は、ガイドローラ３４ｃと、可動ローラ３４ｄと押さえローラ３４ｅとの間を通って巻き取りローラ３８に巻き取られて離型フィルムロール４Ａとして形成される。ピールプレート３７により帯状シート２から帯状離型フィルム４が剥がされ、シート本体３を板状物に貼着している間は、可動ローラ３４ｄと押さえローラ３４ｅとで帯状離型フィルム４を押さえ込むことにより帯状離型フィルム４を引っ張って、板状物に貼着されるシート本体３がよれるのを防ぐことができる。巻き取りローラ３８は、例えばサーボモータにより回転駆動される構成となっている。

【0037】

本実施形態に示す錘３９は、ピールプレート３７によって帯状シート２から剥離された帯状離型フィルム４を下方に押し下げるためのローラであり、ガイドローラ３４ｃと押さえローラ３４ｅとの間に配設されている。巻き取りローラ３８に巻き取られる離型フィルムロール４Ａが大径化すると、トルクが変わるが、トルクが変化しても、シート本体３を板状物に貼着すると同時に帯状離型フィルム４を巻き取りローラ３８で巻き取っている間は、錘３９で帯状離型フィルム４を下方に押し下げておくことにより、帯状離型フィルム４に対して一定のテンションをかけておくことができる。また、錘３９で帯状離型フィルム４を下方に押し下げている間は、巻き取りローラ３８が錘３９側に引っ張られないようにするために、可動ローラ３４ｄと押さえローラ３４ｅとで帯状離型フィルム４を押さえておく。なお、錘３９の重量や材質等は特に限られない。

【0038】

図７に示すように、カッター手段３２は、貼着終了側のシート貼着プレート２６の側部に配設されている。カッター手段３２は、カッター収容部３２０と、カッター収容部３２０の内部に収容されたカッター刃３２１（点線で図示）とを備えている。カッター収容部３２０の下部には、カッター刃３２１が進退可能な開口が形成されている。カッター収容部３２０は、図５（ｂ）に示すように、シート貼着プレート２６の側部に配設されたガイドレール３２３に沿って第２方向に移動可能となっている。このように構成されるカッター手段３２では、貼着終了側のシート被貼着部２８に貼着されカッター手段３２の下方側に位置するシート本体３を切り出すことにより、帯状のシート本体３を矩形シートに形成することができる。本実施形態では、ガイドレール３２３の一端にカッター用ヒータ３２２が固定されている。実際にカッター刃３２１でシート本体３を切断するまでの間は、カッター用ヒータ３２２にカッター収容部３２０を接触させておき、カッター刃３２１を加熱しておくとよい。

【0039】

図８に示すように、受渡手段５０は、上記の保持手段２０で保持され矩形シートが貼着された板状物を矩形シートを介して保持する受渡手段保持部５１と、受渡手段保持部５１の外周で矩形シートの角部をそれぞれ挟持する角部挟持手段５２とを備えている。受渡手段保持部５１は、昇降機構５３を介して円板５４に配設されている。昇降機構５３は、エアシリンダ５３０とピストン５３１とからなり、受渡手段保持部５１を昇降させることができる。

【0040】

受渡手段保持部５１の近傍の位置にフレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂと、フレーム貼着用カッター５８が配設されている。フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂは、図３に示したフレーム５に対して矩形シート７を押し付ける押圧ローラであり、軸部５７０を中心として回転可能となっている。フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂには、例えばヒータが内蔵されている。フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂの間には、フレーム貼着用カッター５８が配設されている。フレーム貼着用カッター５８は、軸部５８０を中心として回転可能となっている。フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂ及びフレーム貼着用カッター５８は、回転軸５５によって回転可能な円板５４の上に立設部５９を介して配設されている。フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂ及びフレーム貼着用カッター５８は、立設部５９の上端において、例えばエアシリンダとピストンとにより構成される昇降機構によって昇降可能となっている。円板５４が回転することにより、フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂ及びフレーム貼着用カッター５８を例えばフレーム５に沿って円形に周回させることができる。なお、フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂ及びフレーム貼着用カッター５８の数は、本実施形態に示す構成に限定されない。

【0041】

受渡手段保持部５１は、図９に示すように、枠体５００の内側に嵌合された円板状のポーラス部材であり、その上面が板状物を保持する保持面５１ａとなっている。枠体５００は、ベース５０１により支持されている。受渡手段保持部５１には、図示しない吸引源が接続されており、板状物を保持面５１ａで吸引保持することができる。枠体５００とベース５０１との間には傾き調整機構５６が配設されている。傾き調整機構５６は、シリンダ５６０と、バネ５６１とにより構成されている。バネ５６１は、例えば圧縮バネにより構成されている。バネ５６１の伸縮動作によってベース５０１に対して枠体５００が揺動可能となり、例えば保持面５１ａに板状物を受け渡す際の衝撃を吸収することができる。

【0042】

角部挟持手段５２は、受渡手段保持部５１の周囲において等間隔を設けて例えば４つ配設されている。本実施形態に示す角部挟持手段５２は、図１０（ａ）に示すように、矩形シート７の角部が載置される載置面５２０ａを有するシート角部載置部５２０と、シート角部載置部５２０にされた矩形シートの角部をクランプするクランプ部５２１と、クランプ部５２１を開閉させる開閉機構とを備えている。開閉機構は、ピストンロッド５２２ａ，５２２ｂと、ピストンロッド５２２ａの一端に連結されたバネ５２３と、ピストンロッド５２２ｂの一端に接続されたシリンダ５２４と、ピストンロッド５２２ａ，５２２ｂの他端において支点となる軸部５２５ａ，５２５ｂとを備えている。クランプ部５２１の上部側は、バネ５２３によって載置面５２０ａに接近する方向に付勢されている。クランプ部５２１を開く場合は、図１０（ｂ）に示すように、ピストンロッド５２２ｂがシリンダ５３４において内側に移動することで、軸部５２５ａ，５２５ｂを支点にしてクランプ部５２１を回転させて載置面５２０ａから離反する方向にクランプ部５２１を開くことができる。

【0043】

受渡手段５０は、図１に示した受渡移動手段６０によって図２に示した受渡領域と剥離領域と拡張領域との間を移動可能となっている。受渡移動手段６０は、第１方向に延在するボールネジ６１と、ボールネジ６１の一端に接続された図示しないモータと、ボールネジ６１と平行に延在して第１装置ベース１０に敷設された一対のガイドレール６２と、一方の面で受渡手段５０を支持する移動基台６３とを備えている。移動基台６３の他方の面には、一対のガイドレール６２が摺接し、移動基台６３の中央に形成されたナットにはボールネジ６１が螺合している。モータによって駆動されてボールネジ６１が回動することにより、移動基台６３とともに受渡手段５０をガイドレール６２に沿って第１方向に移動させることができる。

【0044】

第２装置ベース１１の上面で、かつ、受渡手段５０の上方側に剥離機構７０が配設されている。剥離機構７０は、板状物の表面に貼着されたテープ（例えば表面保護テープ）を剥離するためのテープ剥離ユニットである。剥離機構７０は、テープを挟持する図１１（ａ）に示すテープ保持手段７０Ａと、板状物から剥離されるテープを折り曲げる図１１（ｂ）に示す折り曲げローラ移動手段７０Ｂと、板状物から剥離されるテープの剥離起点を生成する図１１（ｃ）に示す剥離起点部生成手段７０Ｃとにより構成されている。

【0045】

図１１（ａ）に示すように、テープ保持手段７０Ａは、第１エアシリンダ７１ａと、第１エアシリンダ７１ａによって駆動され鉛直方向に延在する軸７１０ａにより支持される保持ベース７２と、保持ベース７２の上面に立設された第２エアシリンダ７１ｂと、第２エアシリンダ７１ｂから保持ベース７２の下面側に貫通し、第２エアシリンダ７１ｂによって駆動されて進退自在な軸（図示せず）に支持される保持板７３と、保持ベース７２上に配設され、端部に挟持片７１１を備え水平方向に進退自在な軸７１０ｃを水平方向に進退させる第３エアシリンダ７１ｃと、保持ベース７２の下面側で、挟持片７１１と対向する位置に配置される挟持片７１２とにより構成されている。

【0046】

保持板７３は内部が中空に構成され、下面には図示しない微孔が全面に多数設けられており、第２エアシリンダ７１ｂと保持板７３とを連結する軸の内部を介して保持板７３内部を吸引可能に構成され、微孔を介して保持板７３の下面に負圧を生じさせることが可能となっている。

【0047】

保持ベース７２は、第１エアシリンダ７１ａにより進退可能に駆動される軸７１０ａとともに上下動可能に構成され、さらに、図中の矢印に示すように、軸７１０ａを中心にして水平方向に回転可能になっている。

【0048】

図１１（ｂ）に示すように、折り曲げローラ移動手段７０Ｂは、門型形状をなす支持フレーム７４により構成され、支持フレーム７４は、間隔を置いて並設された柱部７４０，７４０ａと、柱部７４０、７４０ａの下端に連結される支持部７４１と、支持部７４１の案内孔７４２に沿って支持部７４１内に内蔵された図示しない駆動機構により移動する折り曲げローラ７５とを備えている。折り曲げローラ７５は、長手方向の軸中心を中心として回転可能であり、その長さは、少なくとも板状物に貼着されるテープの直径よりも長くなっている。

【0049】

図１１（ｃ）に示すように、剥離起点部生成手段７０Ｃは、第４エアシリンダ７１ｄと、第４エアシリンダ７１ｄから伸びて進退自在で高さ方向における位置を微調整可能な軸７１０ｄと、アーム部材７６と、アーム部材７６の先端に設けられた先端部材７７と、先端部材７７に取り付けられた先端針状部材７８と、エアーノズル７９とから構成されている。先端部材７７は、上下に移動可能に構成され、その高さ位置が調整されることにより板状物に貼着された表面保護テープの高さに先端針状部材７８の先端部が位置づけ可能に構成されている。また、エアーノズル７９は、第４エアシリンダ７１ｄ、軸７１０ｄを介して高圧エアーが供給され、必要に応じて高圧エアーを噴出可能に構成されている。図示の例では、先端針状部材７８とエアーノズル７９とを別々に設けたが、エアーノズル７９が先端針状部材７８に内蔵されており、先端針状部材７８の先端から高圧エアーを噴出する構成でもよい。

【0050】

次に、拡張装置１の動作例について説明する。図１２に示す板状物Ｗは、円形板状の被加工物の一例である。板状物Ｗの表面Ｗａには、デバイスを保護するためのテープＴが貼着されている。表面Ｗａと反対側の裏面Ｗｂは、シート本体３（矩形シート）が貼着される被シート貼着面である。本実施形態に示す板状物Ｗは、レーザー光線の照射により分割予定ラインに沿った改質層が板状物Ｗの内部に形成され、例えば研削装置において薄化され改質層を起点に個々のチップに分割されているものとする。板状物Ｗは、その内部に分割予定ラインに沿った改質層が形成されているが、個々のチップに分割されていない状態でもよい。また、板状物Ｗは、切削ブレード等によって分割予定ラインに沿って切削溝が形成された後研削によって個々のチップに分割されたものでもよい。更に、板状物Ｗは、分割済みであってダイアタッチフィルム（DAF）が貼着されており、このダイアタッチフィルムを拡張装置１で分断するようにしてもよい。

【0051】

保持手段２０の保持面２１ａで板状物Ｗの表面Ｗａ側を保持したら、図１に示した移動手段４０によって保持手段２０を貼着機構３０の上方側に移動させる。図５（ｂ）に示した回転軸２４が回転し板状物保持部２１の保持面２１ａを反転させ板状物Ｗの裏面Ｗｂを下向きに露出させ、シート貼着プレート２６の開口２６０に対して保持面２１ａで保持した板状物Ｗを対向させたのち、昇降機構２７によって板状物保持部２１を下降させて、板状物保持部２１を開口２６０から進入させ、シート被貼着部２８の内側に板状物Ｗを位置づける。また、板状物保持部２１を反転させてから、板状物Ｗの裏面Ｗｂがシート被貼着部２８のシート本体３が貼着される面よりも僅かに上方となるように位置づけてもよい。なお、保持手段２０は、板状物保持部２１を反転させずに所望の位置（貼着機構３０の上方側の位置）に移動してから、板状物保持部２１を反転させるようにしてもよい。

【0052】

貼着機構３０は、送り出しローラ３４ａが回転することにより、シートロール２Ａから帯状シート２を貼着ローラ３１へ向けて送り出す。帯状シート２が送り出しローラ３４ａと挟み込みローラ３４ｂとの間を通過すると、ピールプレート３７によってシート本体３と帯状離型フィルム４とに分離され、シート本体３は貼着ローラ３１を通ってシート貼着手段３６側に送られる。移動部３６１が上昇してクッション３６０でシート本体３を押し上げて貼着開始側のシート被貼着部２８に貼着する。このとき、挟み込みローラ３４ｂがシートロール２Ａから引き出された帯状シート２を送り出しローラ３４ａに対して接近して挟み込んで、シート本体３が弛むのを防止する。剥離された帯状離型フィルム４は、ガイドローラ３４ｃ、可動ローラ３４ｄと押さえローラ３４ｅとの間を通って巻き取りローラ３８に巻き取られていく。

【0053】

図１３に示すように、保持手段２０が第１方向で剥離領域に近接する向きに移動することにより、板状物Ｗの裏面Ｗｂをシート本体３の上面に接触させ、図５（ｃ）に示したローラ用ガイド２９に沿って貼着ローラ８を回転させながらシート本体３の下面を上方に押圧しながら板状物Ｗの裏面Ｗｂにシート本体３を貼着していく。このとき、撓み防止ローラ３５が貼着ローラ３１に対して押し付けるように回転するため、シート本体３の撓みを防止することができる。

【0054】

シート本体３を板状物Ｗの裏面Ｗｂに貼着している間は、送り出しローラ３４ａがトルク制御することにより、シートロール２Ａから一定量の帯状シート２を送り出しつつ、図１に示した移動手段４０のモータ４２にかかるテンション（負荷）が一定になるように板状物保持部２１を移動させることにより、シート本体３の板状物Ｗへの貼着動作をコントロールすることが好ましい。これにより、板状物Ｗの裏面Ｗｂに貼着されるシート本体３に皺やひきつりなどが発生するのを防ぐことができる。また、可動ローラ３４ｄが押さえローラ３４ｅに接近して、帯状離型フィルム４を可動ローラ３４ｄと押さえローラ３４ｅとにより挟持していることから、帯状離型フィルム４が引っ張られてシート本体３が弛むことがない。さらに、シート本体３を板状物Ｗの裏面Ｗｂに貼着している間は、常に錘３９が下方に下がって帯状離型フィルム４を下方に押し下げた状態が維持される。これにより、帯状離型フィルム４に一定のテンションをかけておくことができ、シート本体３に皺が発生せず、板状物Ｗの裏面Ｗｂにシート本体３を良好に貼着することが可能となる。

【0055】

図１４に示すように、シート本体３が板状物Ｗの裏面Ｗｂの全面に貼着され、かつ、貼着終了側のシート被貼着部２８に貼着されたら、カッター手段３２によってシート本体３が切り出される。具体的には、カッター収容部３２０からカッター刃３２１を突出させて、シート本体３を切断する高さ位置に位置づける。続いて、図５（ｂ）に示したガイドレール３２３に沿ってカッター刃３２１を第２方向に移動させることにより、シート本体３を、図１５に示す矩形シート７へと切断する。板状物Ｗの裏面Ｗｂ及びシート被貼着部２８に矩形シート７が貼着されたら、矩形シート７の貼着動作が完了する。シート本体３を切断する際には、カッター用ヒータ３２２によってカッター刃３２１が加熱された状態となっているため、シート本体３の糊層がカッター刃３２１に付着しにくく、連続してシート本体３を円滑に切り出すことができる。帯状離型フィルム４は、巻き取りローラ３８によって巻き取られていき、離型フィルムロール４Ａとして形成される。なお、シートロール２Ａが小径化してリール３３に巻回された帯状シート２が無くなったら、図１に示したユニット本体３００を装置外へ引き出して、シートロール２Ａを交換することが好ましい。また、離径フィルムロール４Ａが大径化したら、任意のタイミングで離径フィルムロール４Ａを取り外して除去するとよい。

【0056】

図１６に示すように、保持手段２０は、受渡手段５０の上方側に移動したら、昇降機構２７によって、板状物保持部２１を受渡手段５０に接近する方向に下降させ、図９に示した受渡手段保持部５１の保持面５１ａに矩形シート７を介して板状物Ｗを載置するとともに、矩形シート７の角部をシート角部載置部５２０の載置面５２０ａに載置する。このとき、傾き吸収機構５６によって、板状物Ｗの受け渡し時の衝撃が吸収されるため、板状物Ｗが破損するおそれを低減することができる。続いて、クランプ部５２１によって矩形シート７の角部を挟持する。板状物保持部２１が板状物Ｗの吸引を解除するとともに、受渡手段保持部５１により板状物Ｗを吸引保持する。このようにして、保持手段２０から受渡手段５０への板状物Ｗの受け渡しを行うことにより、図１７に示すように、矩形シート７の四隅が４つの角部挟持手段５２によって挟持され、かつ、テープＴが上向きに露出した状態で板状物Ｗが受渡手段５０によって保持された状態となる。

【0057】

次に、受渡手段５０により板状物Ｗを保持した状態を維持したまま、図１に示した剥離機構７０を用いて板状物Ｗの表面ＷａからテープＴを剥離する。まず、図１８に示すように、受渡手段５０の上方にテープ保持手段７０Ａ及び剥離起点部生成手段７０Ｃを移動させる。この際、板状物Ｗに貼着されたテープＴの外周端部のわずかに外周部分を剥離起点部生成手段７０Ｃにおける先端針状部材７８の先端の直下に位置づける。その後、図１１（ｃ）に示した第４エアシリンダ７１ｄを作動させて、先端針状部材７８の先端をテープＴの外周端部に近接する位置まで降下させる。

【0058】

先端針状部材７８の先端がテープＴの外周部分に近接するように、テープＴの表面高さに合わせて先端針状部材７８の先端の高さを微調整し、先端が近接した状態でテープ保持手段７０Ａ及び剥離起点部生成手段７０Ｃをわずかに図中左方に移動させることにより、図１９に示すように、先端針状部材７８の先端をテープＴの外周部分に突き当てる。このとき、４つの角部挟持手段５２が矩形シート７の四隅を挟持した状態となっているが、先端針状部材７８は、図１７に示した矩形シート７の四隅以外の部分からテープＴの外周部分に突き当てることから、先端針状部材７８の移動の妨げとはならない。なお、図示したように、テープＴの周方向外側から先端針状部材７８の先端を突き当てるようにしてもよいが、テープＴの外周部分の上方から先端針状部材７８の先端を突き当てるようにすることも可能である。

【0059】

先端針状部材７８の先端がテープＴの外周部分に突き当たった後、第４エアシリンダ７１ｄを作動させて、先端針状部材７８をわずかに上昇させることで、テープＴの外周部分の一部が良好に剥離される。

【0060】

テープＴの一部が剥離された後、図２０に示すように、先端部材７７を上昇させるとともに、エアーノズル７９から高圧エアーを噴射することにより、先端針状部材７８の先端からテープＴの外周部分が離反し、テープＴの外周部分において先に剥離した一部を含む剥離領域が拡大し、テープ保持手段７０Ａにより挟持するのに適する剥離起点部ＴＳが生成される。なお、剥離起点部生成工程における保持ベース７２の高さは、剥離起点部ＴＳがエアーノズル７９からの高圧エアーにより剥離されたときに、剥離起点部ＴＳが保持ベース７２に設けられた挟持片７１１、７１２間に収まるように調整される。また、エアーノズル７９により高圧エアーを噴射して剥離領域を拡大する際に、上記した先端針状部材７８をさらに突き当ててもよい。このようにして剥離起点部ＴＳが好適に生成される。

【0061】

テープＴの外周部分がエアーノズル７９から噴射された高圧エアーにより持ち上げられたら、図２１に示すように、第３エアシリンダ７０ｃの作動により挟持片７１２を挟持片７１１側に移動させて、剥離したテープＴの外周部分を挟持片７１１と挟持片７１２とにより挟持する。そして、第１エアシリンダ７１ａを作動させることにより、挟持片７１１，７１２の下方に折り曲げローラ７５を進入させることが可能な程度にテープ保持手段７０Ａ全体を上方に移動させる。

【0062】

テープ保持手段７０Ａを上方に移動させ、折り曲げローラ７５をテープ保持手段７０Ａ側に移動させる。なお、折り曲げローラ７５は、テープＴの板状物Ｗに対する粘着面側に当接しながら剥離を進行させるため、長手方向の軸中心に回転可能で、且つ接触するテープＴの粘着面が付着しないようにその表面にはフッ素樹脂がコーティングされている。本実施形態では、板状物Ｗは研削されて極めて薄い板状に形成されるものであり、折り曲げ角度が小さいとテープＴの剥離時に板状物Ｗの割れ、破損等を引き起こすおそれがあり、できるだけ１８０度、もしくは、それに近い角度で折り曲げられることが好ましい。

【0063】

図２２に示すように、折り曲げローラ７５が保持板７３下面の図中左方側他端部まで移動すると、板状物Ｗの表面ＷａからテープＴが完全に剥離される。板状物Ｗの表面Ｗａから剥離されたテープＴは、保持板７３により吸引保持される。そして、第３エアシリンダ７１ｃの作動により挟持片７１２を挟持片７１１から離反させテープＴの外周部分を解放し、例えば廃棄容器に廃棄される。

【0064】

次に、図１に示した受渡手段移動手段６０によって、受渡手段５０を拡張機構８０の真下に移動させ、拡張機構８０へと矩形シート７が貼着された板状物Ｗを受け渡す。具体的には、図２３に示すように、２つの第１方向移動手段８８ａを作動させ、第１挟持手段８０Ａと第２挟持手段８０Ｂとが互いに接近するように可動基台８７ａを第１方向に水平移動させる。また、２つの第２方向移動手段８８ｂを作動させ、第３挟持手段８０Ｃと第４挟持手段８０Ｄとが互いに接近するように可動基台８７ｂを第２方向に水平移動させる。このとき、角部挟持手段５２は、矩形シート７の四隅を挟持しているが、矩形シート７の四隅以外の部分を第１挟持手段８０Ａ～第４挟持手段８０Ｄで挟持するため、第１挟持手段８０Ａ～第４挟持手段８０Ｄの第１方向及び第２方向の移動の妨げとはならない。

【0065】

次いで、第１方向において板状物Ｗを挟んで互いに対向した第１挟持手段８０Ａと第２挟持手段８０Ｂとで矩形シート７を挟持するとともに、第１方向に直交する第２方向において板状物Ｗを挟んで互いに対向した第３挟持手段８０Ｃと第４挟持手段８０Ｄとで矩形シート７を挟持する。具体的には、昇降機構によって、図２４に示す第１挟持手段８０Ａ及び第２挟持手段８０Ｂにおける各下側挟持部８１ａを上昇させるとともに、各上側挟持部８１ｂを下降させ、下側挟持部８１ａのローラ８３が矩形シート７の下面を押圧するとともに、上側挟持部８１ｂのローラ８３が矩形シート７の上面を押圧することによって矩形シート７の上下面を挟持する。また、昇降機構によって、図２５に示す第３挟持手段８０Ｃ及び第４挟持手段８０Ｄにおける各下側挟持部８４ａを上昇させるとともに、各上側挟持部８４ｂを下降させ、下側挟持部８４ａのローラ８６が矩形シート７の下面を押圧するとともに、上側挟持部８４ｂのローラ８６が矩形シート７の上面を押圧することによって、矩形シート７の上下面を挟持する。そして、図１７に示した受渡手段保持部５１による板状物Ｗの吸引保持を解除するとともに、角部挟持手段５２による矩形シート７の角部の挟持を解除し、板状物Ｗを拡張機構８０へと受け渡す。このように、受渡手段５０によれば、拡張機構８０へ板状物Ｗを受け渡すまでの間は、板状物Ｗに貼着された矩形シート７の角部を角部挟持手段５２で挟持した状態が維持されるため、拡張機構８０に板状物Ｗを破損させず確実に受け渡すことができる。

【0066】

板状物Ｗを拡張機構８０へと受け渡したら、図２４に示すように、第１方向において矩形シート７を拡張して個々のチップＣ間の間隔を形成する。具体的には、第１挟持手段８０Ａと第２挟持手段８０Ｂとが矩形シート７を挟持した状態で第１挟持手段８０Ａと第２挟持手段８０Ｂとを第１方向において互いに離反するように移動させる。すなわち、図２３に示した２つの第１方向移動手段８８ａを作動させ、第１挟持手段８０Ａと第２挟持手段８０Ｂとが互いに離反するように、各可動基台８７ａを第１方向に移動させ、各下側挟持部８１ａのローラ８３と各上側挟持部８１ａのローラ８３とによって挟持された矩形シート７をそれぞれ外側に引っ張る。矩形シート７が拡張することにともない、隣り合うチップＣの間の間隔が大きくなり、各チップＣの間に十分な間隔を形成することができる。これにより、板状物Ｗの搬送時に隣り合うチップＣ同士が接触することを防止できる。

【0067】

続いて、図２５に示すように、第２方向において矩形シート７を拡張して個々のチップＣ間の間隔を形成する。具体的には、第３挟持手段８０Ｃと第４挟持手段８０Ｄとが矩形シート７を挟持した状態で第３挟持手段８０Ｃと第４挟持手段８０Ｄとを第２方向において互いに離反するように移動させる。すなわち、図２３に示した２つの第２方向移動手段８８ｂを作動させ、第３挟持手段８０Ｃと第４挟持手段８０Ｄとが互いに離反するように、各可動基台８７ｂを第２方向に移動させ、各下側挟持部８４ａのローラ８６と各上側挟持部８４ｂのローラ８６とによって挟持された矩形シート７をそれぞれ外側に引っ張る。矩形シート７が拡張することにともない、隣り合うチップＣの間の間隔が拡がり、各チップＣの間に十分な間隔を形成することができる。これにより、板状物Ｗの搬送時に隣り合うチップＣ同士が接触することを防止できる。なお、本実施形態では、矩形シート７の第１方向の拡張を行った後に第２方向の拡張を行っているが、この場合に限られず、第１方向拡張と第２方向の拡張とを同時に行ってもよいし、第２方向の拡張をしてから第１方向の拡張を行ってもよい。また、矩形シート７の第１方向の拡張量と第２方向の拡張量とは、等しくてもよいし、異なっていてもよい。

【0068】

ここで、第１方向の拡張及び第２方向の拡張により拡張された板状物Ｗのうち、個々のチップＣに分割されていない未分割領域（改質層を起点に分割されなかった領域）がある場合は、図示していないが、例えば、スキージ等によって板状物Ｗに外力を付与することにより、個々のチップＣに分割する。なお、未分割領域の分割は、少なくとも後述するフレーム貼着を実施する前に行う。

【0069】

図２６に示すように、第１搬送手段１６ａによってフレーム５を矩形シート７に対面させる。まず、第１搬送手段１６ａは、図３に示したフレームストッカー１７に収容されているフレーム５をフレーム保持部１６１で吸引保持して搬出し、矩形シート７の上方側に移動する。次いで、第１挟持手段８０Ａ～第４挟持手段８０Ｄによって矩形シート７を挟持した状態で、矩形シート７の上面７ａにフレーム５を対面させるとともに、フレーム５の開口６の内側に板状物Ｗを位置づける。

【0070】

次いで、図２７に示すように、矩形シート７の上面７ａに対面して位置づけられたフレーム５に矩形シート７を貼着する。具体的には、昇降機構によりフレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂが上昇し、矩形シート７の下面にフレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂを接触させる。続いて図８に示した円板５４が少なくとも１回転することによりフレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂをフレーム５に沿って円形に移動させながら矩形シート７の下面を上方に押圧することにより、フレーム５に矩形シート７の上面７ａを貼着する。このとき、フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂは、ヒータによって加熱されているため、フレーム５に対する矩形シート７の密着性を高めて、フレーム５に矩形シート７を良好に貼着することができる。フレーム５に矩形シート７を貼着したら、フレーム貼着用ローラ５７ａ，５７ｂを下降させて矩形シート７から退避させる。

【0071】

図２８に示すように、フレーム５に沿って矩形シート７を切断する。具体的には、昇降機構によりフレーム貼着用カッター５８が上昇して矩形シート７に切り込ませ、図８に示した円板５４が少なくとも１回転することにより、フレーム５に沿ってフレーム貼着用カッター５８を円形に移動させることにより矩形シート７を切断する。

【0072】

図２９に示すように、フレーム５に矩形シート７を介して板状物Ｗが貼着されたフレームユニット８が形成される。そして、第１搬送手段１６ａはフレームユニット８を保持した状態で上昇することにより、矩形シート７が切断された位置Ｐからフレームユニット８を搬出する。フレームユニット８は、図３に示したフレームストッカー１７の脇に配設された図示しない仮置き台に一時的に載置される。その後、図２に示す第２搬送手段１６ｂによって、仮置き台からフレームユニット８が搬出されるとともに洗浄装置領域に搬送されて、洗浄装置１８によって洗浄処理・乾燥処理が施される。そして、フレームユニット８は、紫外線照射領域に搬送され、紫外線照射装置によりフレームユニット８の矩形シート７に対して紫外線が照射されて硬化処理が施される。

【0073】

このように、本発明に係る拡張装置１は、ロール状に巻回された帯状シート２を保持手段２０で保持された板状物Ｗに貼着する貼着ローラ３１と、帯状シート２を板状物Ｗよりも大きいサイズを有した矩形シート７に切り出すカッター手段３２とを有した貼着機構３０と、貼着ローラ３１を保持手段２０に対して帯状シート２を貼着する貼着方向に相対移動させる移動手段４０と、矩形シート７を第１方向および第２方向に拡張する拡張機構８０と、保持手段２０で保持され矩形シート７が貼着された板状物Ｗを拡張機構８０へと受け渡す受渡手段５０とを備えたため、ロール状に巻回された帯状シート２を保持手段２０で保持された板状物Ｗに貼着した後、カッター手段３２によって矩形シート７に切り出してから、受渡手段５０により拡張機構８０へと受け渡して、矩形シート７を拡張することができる。本発明によれば、ロール状に巻回された帯状シート２の状態で拡張装置１に供給でき、拡張装置１内で帯状シート２を板状物Ｗに貼着するとともに、板状物Ｗよりも大きいサイズの矩形シート７に切り出すことが可能となるため、従来に比べて作業性が向上する。
さらに、帯状シート２を板状物Ｗに貼着する際には、保持手段２０によって板状物Ｗが保持された状態が維持され、矩形シート７が板状物Ｗに貼着された後拡張機構８０に受け渡されるまでの間は、受渡手段５０によって板状物Ｗが保持された状態が維持され、板状物Ｗが拡張機構８０に受け渡された後環状のフレーム５に矩形シート７が装着されるまでの間は、常に矩形シート７の外縁が第１挟持手段８０Ａ、第２挟持手段８０Ｂ、第３挟持手段８０Ｃ及び第４挟持手段８０Ｄによって挟持された状態が維持されるため、板状物Ｗが破損するおそれを低減しうる。

【符号の説明】

【0074】

１：拡張装置 ２：帯状シート ２Ａ：シートロール ３：シート本体
４：帯状離型フィルム ４Ａ：離型フィルムロール ５：フレーム ６：開口
７：矩形シート ８：フレームユニット
１０：第１装置ベース １１：第２装置ベース １２：搬入口
１３：表示手段兼入力手段 １４：支持柱 １５：ガイド １６ａ：第１搬送手段
１６ｂ：第２搬送手段 １７：フレームストッカー １８：洗浄装置
２０：保持手段 ２１：板状物保持部 ２１ａ：保持面 ２２：固定台 ２３：ベース
２４：回転軸 ２５：支持部 ２６：シート貼着プレート ２６０：開口
２７：昇降機構 ２８：シート被貼着部 ２９：ローラ用ガイド
３０：貼着機構 ３１：貼着ローラ ３２：カッター手段
３３：リール ３４ａ：送り出しローラ ３４ｂ：挟み込みローラ
３４ｃ：ガイドローラ ３４ｄ：可動ローラ ３４ｅ：押さえローラ
３５：撓み防止ローラ ３６：貼着手段 ３７：ピールプレート ３８：巻き取りローラ
３９：錘 ４０：移動手段 ４１：ボールネジ ４２：モータ ４３：ガイドレール
４４：移動基台 ５０：受渡手段 ５１：受渡手段保持部 ５１ａ：保持面
５２：角部挟持手段 ５３：昇降機構 ５４：円板 ５５：回転軸 ５６：傾き調整機構
５７ａ，５７ｂ：フレーム貼着用ローラ ５８：フレーム貼着用カッター ５９：立設部
６０：受渡移動手段 ６１：ボールネジ ６２：ガイドレール ６３：移動基台
７０：剥離機構 ７０Ａ：テープ保持手段 ７０Ｂ：折り曲げローラ移動手段
７０Ｃ：剥離起点部生成手段 ７１ａ：第１エアシリンダ ７１ｂ：第２エアシリンダ
７１ｃ：第３エアシリンダ ７１ｄ：第４エアシリンダ ７１１，７１２：挟持片
７２：保持ベース ７３：保持板 ７４：支持フレーム ７５：折り曲げローラ
７６：アーム部材 ７７：先端部材 ７８：先端針状部材 ７９：エアーノズル
８０：拡張機構 ８０Ａ：第１挟持手段 ８０Ｂ：第２挟持手段
８０Ｃ：第３挟持手段 ８０Ｄ：第４挟持手段

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】