特許 7157708出願番号 特願 2019-116821
電子線検査装置の二次光学系を評価する方法
出願人 株式会社荏原製作所（識別番号 239）
2026年 特許公開件数ランキング 155位 165件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 213位 105件（※）
公報発行日 2022年10月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7157708 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
電子線検査装置の二次光学系を評価する方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献１の方法では、複雑な積層構造を有する冷陰極（電子放出素子）を用いることから、コストが高いという問題がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の第１の態様に係る方法は、
電子源から放出された電子線を観察対象位置に配置された試料に照射させる一次光学系と、前記試料から放出される電子線または前記試料を透過した電子線の拡大像を検出器に結像させる二次光学系と、を備えた電子線検査装置の前記二次光学系を評価する方法であって、
前記観察対象位置に光電面を配置し、前記光電面にレーザー光を照射し、前記光電面から放出される電子線の拡大像を・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、電子線検査装置の二次光学系を単体で低コストで評価できる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１は、第１の電子線検査装置の概略構成を示す図である。
【図2】
図２は、第１の二次光学系評価用キットの概略構成を示す図である。
【図3】
図３は、第１の電子線検査装置の二次光学系を評価する方法を説明するための図である。
【図4】
図４は、第１の実施形態の一変形例に係る二次光学系を評価する方法を説明するための図である。
【図5】
図５は、第２の電子線検査装置の概略構成を示す図である。
【図6】
図６は、第２の電子線検査装置の二次光学系を評価する方法を説明するための図である。
【図7】
図７は、第３の電子線検査装置の概略構成を示す図である。
【図8】
図８は、第３の電子線検査装置の二次光学系を評価する方法を説明するための図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０ 電子線検査装置
１０ａ 一次光学系
１０ｂ 二次光学系
１１ 一次光学系鏡筒
１２ チャンバ
１３ 二次光学系鏡筒
１４ 電子源
１５ ステージ
１６ 検出器
１７１ 照射系レンズ
１７２ 対物レンズ
１７３ 中間レンズ
１７４ 結像レンズ
２０ 二次光学系評価用キット
２１ チャンバ
２２ 光電面
２３ ビューポート
２４ レーザー源
２５１ レンズ
２５２ レンズ
２５３ ミラー
２９ 閉止蓋
３０ 電子線検査装置
３０ａ 一次光学系
３０ｂ 二次光学系
３１ 一次光学系鏡筒
３２ チャンバ
３３ 二次光学系鏡筒
３４ 電子源
３５ ステージ
３６ 検出器
３７１ 照射系レンズ
３７２ 中間レンズ
３７３ 対物レンズ
３７４ 結像レンズ
３７５ 結像レンズ
３８ ウィーンフィルタ
４０ 電子線検査装置
４０ａ 一次光学系
４０ｂ 二次光学系
４１ 一次光学系鏡筒
４２ チャンバ
４３ 二次光学系鏡筒
４４ マルチ電子源
４５ ステージ
４６ 検出器
４７１ 照射系レンズ
４７２ 中間レンズ
４７３ 対物レンズ
４７４ 結像レンズ
４７５ 結像レンズ
４８ ウィーンフィルタ
Ｗ 試料
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