特許7159898ウェーハ回収装置、研磨システム、および、ウェーハ回収方法

発明の名称　ウェーハ回収装置、研磨システム、および、ウェーハ回収方法

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 660 位（37件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 364 位（72件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7159898

公報発行日　2022年10月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7159898

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