特許7160469基板の表面の金属汚染物を減少させるための方法

発明の名称　基板の表面の金属汚染物を減少させるための方法

出願人　ソイテック　（識別番号 598054968）

　　　　特許公開件数ランキング 796 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1797 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7160469

公報発行日　2022年10月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7160469

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