特許 7162977 カセットホルダ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-21

(45)【発行日】2022-10-31

(54)【発明の名称】カセットホルダ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20221024BHJP

   B65D 81/07 20060101ALI20221024BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20221024BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D81/07

B65D85/30 500

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2018139484

(22)【出願日】2018-07-25

(65)【公開番号】P2020017625

(43)【公開日】2020-01-30

【審査請求日】2021-05-18

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(72)【発明者】

【氏名】関家 一馬

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－１５３３５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０５３７０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２１２３２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０７８６５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０７４５４７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８１／０７

Ｂ６５Ｄ ８５／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハを収容するカセットを支持するカセットホルダであって、
該カセットが載置される長方形状の底面部と、長方形状の該底面部の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し該カセットの一対の側面にそれぞれ対面する一対の突き当て側壁と、該底面部の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設する後壁と、を備えるカセット収容部と、
該カセット収容部が該カセット収容部の該底面部に沿った方向へ所定量移動または所定量傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部を支持する移動吸収支持部と、
該カセットホルダを移動させるオペレータを撮影するカメラと、
該カメラで撮影した画像データを記録する画像データ記録部と、を備えることを特徴とするカセットホルダ。

【請求項2】

該移動吸収支持部は、
該カセット収容部の該底面部よりも大きく、該カセット収容部を摺動可能に支持する長方形状の支持板と、
該支持板の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し、該カセット収容部の該一対の突き当て側壁にそれぞれ対面する一対の側壁と、
該支持板の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設し、該カセット収容部の該後壁に対面する壁部と、
該一対の側壁の一方、該一対の側壁の他方、及び、該壁部のいずれかと、該支持板に支持された該カセット収容部と、に接続された弾性部材と、
を有することを特徴とする請求項１記載のカセットホルダ。

【請求項3】

加速度センサと、
該加速度センサで検出された振動データを記録する振動データ記録部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のカセットホルダ。

【請求項4】

該振動データ記録部で記録した該振動データを送信する情報送信部をさらに備えることを特徴とする請求項３記載のカセットホルダ。

【請求項5】

該画像データ記録部で記録した画像データを送信する情報送信部をさらに備えることを特徴とする請求項１記載のカセットホルダ。

【請求項6】

該カセットを搬送する搬送台車に固定されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のカセットホルダ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数のウェーハを収容するカセットを搭載する搬送台車に配置され、該カセットを支持するカセットホルダに関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話やパソコン等の電子機器に使用されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体等の材料からなるウェーハの表面に複数のＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integrated circuit）等のデバイスを形成する。その後、該ウェーハをデバイス毎に切断すると、個々のデバイスチップが形成される。デバイスチップの製造工程に使用される加工装置として、ウェーハを分割するための切削装置及びレーザ加工装置が知られている。

【0003】

該ウェーハ及びデバイスチップの取り扱いを容易にするために、該ウェーハは、開口を有するフレームと、粘着テープと、と一体化されたフレームユニットの状態で搬送され、該加工装置に搬入され、加工される。フレームユニットを形成する際には、該ウェーハの径よりも大きな径の開口を有するフレームを準備し、該開口を塞ぐように粘着テープを該フレームに貼り、該開口の内側で該ウェーハを該粘着テープに貼り付ける。

【0004】

ウェーハは、フレームユニットの状態で、または、そのままの状態でカセットと呼ばれる容器に収容されて搬送される。該カセットは、複数のウェーハを収容できる。カセットは、例えば、複数のウェーハが収容される空間と、該空間を挟んで互いに対面する一対の側壁と、を有する。そして、一対の側壁の互いに向かい合う面には、それぞれ、複数の直線状のガイドレールが設けられている。ガイドレールは、一対の側壁のそれぞれ対応する位置に形成されている。

【0005】

カセットにウェーハを収容する際は、一つの側壁に形成された一つのガイドレールと、該ガイドレールに隣接する他のガイドレールと、の間にウェーハまたはフレームの一端を差し入れるとともに、該側壁に対面する他の側壁の対応する位置に該ウェーハまたは該フレームの他端を差し入れる。すなわち、該ガイドレールは、カセットにおけるウェーハを収容する位置を規定する機能を有し、ガイドレールが規定する複数の収容位置のそれぞれにウェーハが収容される。

【0006】

加工装置を操作するオペレータは、カセットを持ち運ぶことにより複数のウェーハを搬送していた。しかし、近年、デバイスチップの製造効率を高めるためにウェーハが大型化しており、これに伴いカセットも大型化している。そのため、複数のウェーハを収容するカセットの重量が著しく増加し、カセットを搬送するオペレータにかかる負担も大きくなっている。そこで、オペレータが手で持たずにカセットを搬送できる搬送台車が利用されている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開平７－６６０９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

搬送台車は、デバイスチップの製造工場等で使用される。該製造工場には、多数の加工装置や配管等が配置されており、また、該製造工場の床面には、様々な機能を有する溝やレール等が設けられている。そのため、カセットを搭載する搬送台車を移動させる間に、該搬送台車が製造工場内部の構造物等に衝突する場合がある。また、該搬送台車の車輪が床面の溝に嵌る場合や、車輪がレールに引っかかる場合がある。

【0009】

これらの場合、衝撃により搬送台車に搭載されたカセットが転倒または転落して、該カセットに収容された複数のウェーハが一度に破損することがある。特に、デバイスが形成されたウェーハが破損した場合、該ウェーハにはそれまでにデバイスを形成するための数多くの工程が実施されており、膨大なコストが投入されているため、その損害の規模は極めて大きくなる。

【0010】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数のウェーハを収容するカセットを搭載する搬送台車に配置され、該搬送台車に搭載されたカセットに伝達される衝撃を緩和するカセットホルダを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明の一態様によると、ウェーハを収容するカセットを支持するカセットホルダであって、該カセットが載置される長方形状の底面部と、長方形状の該底面部の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し該カセットの一対の側面にそれぞれ対面する一対の突き当て側壁と、該底面部の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設する後壁と、を備えるカセット収容部と、該カセット収容部が該カセット収容部の該底面部に沿った方向へ所定量移動または所定量傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部を支持する移動吸収支持部と、該カセットホルダを移動させるオペレータを撮影するカメラと、該カメラで撮影した画像データを記録する画像データ記録部と、を備えることを特徴とするカセットホルダが提供される。

【0012】

好ましくは、該移動吸収支持部は、該カセット収容部の該底面部よりも大きく、該カセット収容部を摺動可能に支持する長方形状の支持板と、該支持板の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し、該カセット収容部の該一対の突き当て側壁にそれぞれ対面する一対の側壁と、該支持板の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設し、該カセット収容部の該後壁に対面する壁部と、該一対の側壁の一方、該一対の側壁の他方、及び、該壁部のいずれかと、該支持板に支持された該カセット収容部と、に接続された弾性部材と、を有する。

【0013】

さらに好ましくは、加速度センサと、該加速度センサで検出された振動データを記録する振動データ記録部と、をさらに備える。

【0015】

さらに好ましくは、該振動データ記録部で記録した該振動データを送信する情報送信部をさらに備える。

【0016】

また、好ましくは、該画像データ記録部で記録した画像データを送信する情報送信部をさらに備える。

【0017】

さらに好ましくは、該カセットを搬送する搬送台車に固定される。

【発明の効果】

【0018】

本発明の一態様に係るカセットホルダは、例えば、ウェーハを収容するカセットを搬送する搬送台車に固定されて使用される。該カセットホルダは、カセット収容部を備える。該カセット収容部が備える底面部には該カセットが載置される。底面部の一端部と、該一端部に対向する他端部と、には、カセットの一対の側面にそれぞれ対面する一対の突き当て側壁がそれぞれ立設され、底面部の後端部には後壁が立設されている。

【0019】

該カセットホルダは、さらに、カセット収容部を支持する移動吸収支持部を備える。該移動吸収支持部は、カセット収容部が底面部に沿った方向へ移動または傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部を支持する。ここで、底面部に沿った方向とは、例えば、水平方向である。

【0020】

ウェーハを収容するカセットを搭載した搬送台車を移動させている間に該搬送台車に予期せぬ衝撃が加わった際、該衝撃は該移動吸収支持部により緩和される。そのため、カセット収容部に収容されたカセットに伝わる衝撃は比較的小さくなる。さらに、カセットを移動または傾斜させるような衝撃がカセットホルダに加わった場合でも、カセットは適切に支持され続ける。そのため、カセットの転倒や落下が防止される。

【0021】

したがって、本発明の一態様によると、複数のウェーハを収容するカセットを搭載する搬送台車に配置され、該搬送台車に搭載されたカセットに伝達される衝撃を緩和するカセットホルダが提供される。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】ウェーハを含むフレームユニットをカセットに収容する様子を模式的に示す斜視図である。

【図2】カセットがカセットホルダに収容される様子を模式的に示す斜視図である。

【図3】カセットが収容されたカセットホルダを模式的に示す断面図である。

【図4】カセットが収容されたカセットホルダを模式的に示す側面図である。

【図5】カセットホルダが固定された搬送台車でカセットを搬送する様子を模式的に示す斜視図である。

【図6】カセットホルダが固定された収容棚にカセットが保管されている様子を模式的に示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、本実施形態に係るカセットホルダに収容されるカセットと、カセットに収容されるウェーハと、について説明する。図１は、ウェーハ１を含むフレームユニット１ａをカセット９に収容する様子を模式的に示す斜視図である。

【0024】

図１に示す通り、ウェーハ１は、ウェーハ１の径よりも大きい径の開口を有する環状のフレーム５に貼られた粘着テープ３に貼り付けられ、フレームユニット１ａの状態でカセット９に収容される。または、ウェーハ１は、そのままの状態でカセット９に収容される。ウェーハ１は、例えば、シリコン、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、若しくは、その他の半導体等の材料でなるウェーハ、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる円板状の基板である。

【0025】

ウェーハ１の表面には、ＩＣ（Integrated circuit）やＬＥＤ（Light emitting diode）等のデバイス７が形成されており、ウェーハ１がデバイス７毎に分割されると、デバイス７を備える個々のデバイスチップが形成される。形成されたデバイスチップは、粘着テープ３により支持される。その後、粘着テープ３を外周方向に拡張すると、デバイスチップ間の間隔が広がりデバイスチップのピックアップが容易となる。

【0026】

カセット９は、複数のウェーハ１、または、フレームユニット１ａを収容できる。カセット９は、例えば、図１に示す通り、互いに向かい合う一対の側壁９ａ，９ｂを備える。さらに、側壁９ａの一端及び側壁９ｂの一端を接続する前壁９ｃと、側壁９ａの他端及び側壁９ｂの他端を接続する後壁９ｄと、を備える。また、カセット９の底部には、底板（不図示）が設けられる。カセット９の一対の側壁９ａ，９ｂ間の間隔は、被収容物であるウェーハ１またはフレームユニット１ａの大きさに対応する大きさとされる。

【0027】

カセット９の一対の側壁９ａ，９ｂの互いに向かい合う面には、それぞれ、複数の直線状のガイドレール１３ａ，１３ｂが設けられる。ガイドレール１３ａ，１３ｂは、一対の側壁９ａ，９ｂのそれぞれ対応する位置に形成される。図１に示す通り、ガイドレール１３ａ，１３ｂは、例えば、上下方向に沿って形成される。一対の側壁９ａ，９ｂ、前壁９ｃ、及び後壁９ｄのそれぞれの上端部により搬出入口１１が構成され、ウェーハ１は該搬出入口１１を通じてカセット９に搬出入される。

【0028】

カセット９にウェーハ１を収容する際は、側壁９ａに形成された一つのガイドレール１３ａと、該ガイドレール１３ａに隣接する他のガイドレール１３ａと、の間にウェーハ１またはフレーム５の一端を差し入れる。それと同時に、側壁９ｂの対応する位置にウェーハ１またはフレーム５の他端を差し入れる。すなわち、ガイドレール１３ａ，１３ｂはウェーハ１を収容する位置を規定する機能を有し、ガイドレール１３ａ，１３ｂが規定する複数の収容位置のそれぞれにウェーハ１が収容される。

【0029】

なお、図１に例示されるカセット９には上方からウェーハ１が搬入され、カセット９に収容されたウェーハ１は上方に搬出されるが、ウェーハ１を収容するカセット９はこれに限定されない。例えば、カセット９は前壁９ｃを備えておらず、前側がウェーハ１の搬出入口となっていてもよい。この場合、一対の側壁９ａ，９ｂの内面には水平方向に沿った複数のガイドレール１３ａ，１３ｂが形成され、カセット９には、水平方向前側からウェーハ１が搬入される。

【0030】

以下、上部に搬出入口１１を備えるカセット９に複数のウェーハ１を収容し、このカセット９を搬送する場合を例に説明する。デバイスチップの製造工場には複数の加工装置が配されており、各加工装置間でウェーハ１を搬送する際には、ウェーハ１はカセット９に収容される。該製造工場において加工装置を使用するオペレータは、カセット９を搬送することでウェーハ１を搬送する。

【0031】

近年、ウェーハ１の大型化の傾向が著しく、複数のウェーハ１を収容するカセット９の重量が大きく増加している。そこで、オペレータの負担を軽減するために、カセット９を搬送する搬送台車２８（図５参照）が使用される。しかしながら、カセット９を搭載する搬送台車２８が該製造工場の構造物等に衝突等して、カセット９に予期せぬ衝撃が加わり、カセット９が転倒等して収容されたウェーハ１に破損が生じる場合がある。

【0032】

そこで、該衝撃を緩和し、ウェーハ１の破損を防止するために本実施形態に係るカセットホルダ２（図２等参照）が使用される。該カセットホルダ２は、該搬送台車２８に固定される。カセット９は、カセットホルダ２に収容されることで搬送台車２８に搭載され、搬送される。以下、本実施形態に係るカセットホルダ２について説明する。

【0033】

図２は、カセット９がカセットホルダ２に収容される様子を模式的に示す斜視図である。カセット９には、複数のウェーハ１が収容されている。カセットホルダ２は、カセット９が収容されるカセット収容部４を備える。カセット収容部４は、カセット９の底部よりも大きい長方形状の底面部６を備える。底面部６の上にはカセット９が載置される。

【0034】

長方形状の底面部６の一端部６ａ及び該一端部６ａに対向する他端部６ｂからは、それぞれ一対の突き当て側壁８ａ，８ｂが立設されている。カセット９がカセット収容部４に収容されるとき、一対の突き当て側壁８ａ，８ｂは、それぞれ、カセット９の一対の側壁９ａ，９ｂに対面する。さらに、一端部６ａ及び他端部６ｂを接続する底面部６の後ろ側の後端部からは、後壁４ａが立設されている。カセット９は、底面部６、一対の突き当て側壁８ａ，８ｂ、及び後壁４ａ等に囲まれた収容空間内に収容される。

【0035】

本実施形態に係るカセットホルダ２は、カセット収容部４が所定量移動または所定量傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部４を支持する移動吸収支持部１０をさらに備える。移動吸収支持部１０は、カセット収容部４を支持する長方形状の支持板１２を備える。支持板１２上に載るカセット収容部４は、支持板１２に対して摺動可能である。

【0036】

移動吸収支持部１０は、さらに、支持板１２の一端部１２ａ及び該一端部１２ａに対向する他端部１２ｂからそれぞれ立設する一対の側壁１４ａ，１４ｂを備える。該一対の側壁１４ａ，１４ｂは、カセット収容部４の一対の突き当て側壁８ａ，８ｂとそれぞれ対面する。また、一端部１２ａ及び他端部１２ｂを接続する支持板１２の後ろ側の後端部からは、壁部１０ａが立設されている。

【0037】

図３は、カセット９が収容されたカセットホルダ２を模式的に示す断面図である。図３に示す断面図は、カセットホルダ２を支持板１２に平行な面で切断した断面を示す。図３に示す通り、カセット収容部４は、複数の弾性部材１６ａ，１６ｂ，１６ｃに接続されている。

【0038】

移動吸収支持部１０は、カセット収容部４の後壁４ａと、該壁部１０ａと、を接続する弾性部材１６ａを備える。また、カセット収容部４の突き当て側壁８ａと、該側壁１４ａと、を接続する弾性部材１６ｂを備え、カセット収容部４の突き当て側壁８ｂと、該側壁１４ｂと、を接続する弾性部材１６ｃをさらに備える。

【0039】

図５は、カセットホルダ２が固定された搬送台車２８でカセット９を搬送する様子を模式的に示す斜視図である。搬送台車２８は、例えば、鉛直方向に沿って伸長する４本の支柱２８ａと、該４本の支柱２８ａの最下端に設けられた車輪２８ｂと、該４本の支柱２８ａに固定された長方形状の網棚２８ｃと、を備える。該網棚２８ｃのそれぞれの角は、４本の支柱２８ａのいずれかに、それぞれ該支柱２８ａの同じ高さに固定されている。

【0040】

網棚２８ｃ上には、複数のカセットホルダ２が固定されており、ウェーハ１を収容したカセット９を搬送する際には、該カセットホルダ２にカセット９を収容させる。カセットホルダ２にカセット９が収容された状態で、オペレータ１５が搬送台車２８を移動させると、カセット９が搬送される。このとき、オペレータ１５が誤って搬送台車２８をデバイスチップの製造工場内に設けられた構造物等に衝突させる場合がある。

【0041】

カセット収容部４は、支持板１２の上に摺動可能に支持されており、また、弾性部材１６ａ，１６ｂ，１６ｃにより水平方向に沿って移動吸収支持部１０に接続されている。そのため、カセットホルダ２が固定された搬送台車２８に衝撃等が加わった際、弾性部材１６ａ，１６ｂ，１６ｃにより緩和された衝撃がカセット９に伝わる。

【0042】

さらに、外部からの衝撃等によりカセット収容部４が底面部６に沿った横方向に移動しようとする際、または、傾斜しようとする際、主に弾性部材１６ｂ，１６ｃが該衝撃を緩和する。そして、カセット収容部４の該横方向への所定量の移動または所定量の傾斜を許容しつつ移動吸収支持部１０が該カセット収容部４を支持する。

【0043】

また、外部からの衝撃等によりカセット収容部４が該底面部６に沿った前後方向、すなわち、該横方向に垂直な方向に移動しようとする際、または、傾斜しようとする際、主に弾性部材１６ａが該衝撃を緩和する。そして、カセット収容部４の該前後方向への所定量の移動または所定量の傾斜を許容しつつ移動吸収支持部１０が該カセット収容部４を支持する。

【0044】

したがって、カセットホルダ２に収容されたカセット９には該衝撃等が緩和されて伝達されるため、また、カセット９の転倒や、搬送台車２８からの転落が防止されるため、カセット９に収容されたウェーハ１の破損を防止できる。

【0045】

さらに本実施形態に係るカセットホルダ２の構成について説明する。図４は、カセット９を収容するカセットホルダ２を模式的に示す側面図である。図４に示す通り、例えば、カセットホルダ２のカセット収容部４の突き当て側壁８ａの外側には、記録ユニット１８が設けられる。該記録ユニット１８は、例えば、カセットホルダ２の前方を捉えるカメラ２０と、加速度センサ２２と、情報を出力する情報送信部２４と、各種の情報が記録される記憶部２６と、を備える。

【0046】

カメラ２０は、カセット９がカセット収容部４に収容されるときや、搬送台車２８が移動するとき、また、カセット収容部４に収容されたカセット９が搬出されるときに作動し、作業に従事するオペレータ１５を撮影する。撮影により得られた画像は、例えば、記憶部２６に画像データとして蓄積される。すなわち、記憶部２６は、画像データ記録部として機能する。カセット９、または、収容されたウェーハ１等に問題等が生じた際には、その時に作業を実施していたオペレータ１５を該画像データにより特定できる。

【0047】

加速度センサ２２は、搬送台車２８によりカセット９が搬送される際、カセット９が収容されるカセット収容部４に加わる振動や衝撃の大きさを監視する機能を有する。例えば、カセット９を搬送する際、加速度センサ２２によりカセット収容部４の振動の様子を検出し続け、許容される範囲の強度を超えた強度の振動や衝撃を検出した際には、該記録ユニット１８がオペレータに警告を発してもよい。

【0048】

また、得られた振動データは、記憶部２６に蓄積されてもよい。すなわち、記憶部２６は、振動データ記録部として機能する。記憶部２６に蓄積された振動データを解析することにより、カセット９に加えられた振動の履歴を後に参照できる。さらに、振動データは搬送作業を実施したオペレータ１５の情報とともに記憶部２６に記憶されてもよい。記憶部２６に蓄積された振動データを解析することにより、例えば、各オペレータ１５の作業水準等を比較できる。

【0049】

情報送信部２４は、該画像データや該振動データを記録ユニット１８から外部に送信する機能を備える。情報送信部２４は、例えば、無線方式による通信により外部の機器に接続できるアンテナや通信モジュール等を備えるユニットであり、例えば、赤外線通信ユニット、無線ＬＡＮユニット、または、携帯電話回線用の通信ユニット等のユニットである。または、情報送信部２４は、外部の機器との間で通信ケーブルにより接続されるユニットであり、該通信ケーブルに接続される端子を備える。

【0050】

カメラ２０、加速度センサ２２、情報送信部２４、及び記憶部２６を備える記録ユニット１８は、例えば、市販のスマートフォンにより実現されてもよい。例えば、記録ユニット１８として機能するように該スマートフォンに専用のアプリケーションをインストールし、これをカセット収容部４の突き当て側壁８ａに取り付けることで記録ユニット１８をカセットホルダ２に設けても良い。

【0051】

カセットホルダ２は、さらに、該カセットホルダ２の搬送台車２８への固定に使用される固定部１０ｂを備えてもよい。固定部１０ｂは、例えば、図４に示す通り移動吸収支持部１０の底面に設けられる。固定部１０ｂは、例えば、一端が移動吸収支持部１０に接続され、他端がアンカー部材に接続された弾性部材を備える。図５に示す通り搬送台車２８にカセットホルダ２が固定される際は、例えば、網棚２８ｃの開口に該アンカー部材が嵌められることによりカセットホルダ２が網棚２８ｃに固定される。

【0052】

以上に説明する通り、カセットホルダ２を介して搬送台車２８にカセット９を搭載すると、搬送台車２８によりカセット９を搬送する際に衝撃等が発生した場合でも、カセット９に伝達される衝撃が緩和される。また、カセット９が移動や傾斜が許容されつつ適切に支持されるため、カセット９が転倒や転落しにくい。したがって、ウェーハ１に損傷等が生じにくく、デバイス７が形成された高価なウェーハ１をより安全に搬送できる。

【0053】

なお、本発明は、上記の実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、搬送台車２８に固定されて使用されるカセットホルダ２について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、カセットホルダ２は搬送台車２８以外の物に固定されていてもよい。

【0054】

例えば、本発明の一態様に係るカセットホルダ２は、図６に示す通り、移動しない収容棚３０に固定されて使用されてもよい。図６は、カセットホルダ２が固定された収容棚３０にカセット９が保管されている様子を模式的に示す斜視図である。該収容棚３０は、一対の側壁３０ａと、両端がそれぞれ該側壁３０ａに固定された棚板３０ｂと、を備える。

【0055】

例えば、地震が頻発する地域にデバイスチップの製造工場が存在する場合、収容棚３０にカセット９を収容してウェーハ１を保管している間に、大規模な地震が該地域で発生する場合がある。そのような場合においても、収容棚３０にカセットホルダ２を固定し、該カセットホルダ２にカセット９を収容していれば、地震による振動や衝撃が弾性部材１６ａ，１６ｂ，１６ｃ等により緩和され、カセット９の転落や転倒が防止される。そして、ウェーハ１に伝わる衝撃が緩和されるため、ウェーハ１に損傷が生じにくくなる。

【0056】

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0057】

１ ウェーハ
１ａ フレームユニット
３ テープ
５ フレーム
７ デバイス
９ カセット
９ａ，９ｂ 側壁
９ｃ，９ｄ 壁
１１ 搬出入口
１３ａ，１３ｂ ガイドレール
１５ オペレータ
２ カセットホルダ
４ カセット収容部
４ａ 後壁
６ 底面部
６ａ，６ｂ 端部
８ａ，８ｂ 突き当て側壁
１０ 移動吸収支持部
１０ａ 壁部
１０ｂ 固定部
１２ 支持板
１２ａ，１２ｂ 端部
１４ａ，１４ｂ 側壁
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ 弾性部材
１８ 記録ユニット
２０ カメラ
２２ 加速度センサ
２４ 情報送信部
２６ 記憶部
２８ 搬送台車
２８ａ 支柱
２８ｂ 車輪
２８ｃ 網棚
３０ 収容棚
３０ａ 側壁
３０ｂ 棚板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】