特許7163564レジスト組成物

発明の名称　レジスト組成物

出願人　住友化学株式会社　（識別番号 2093）

　　　　特許公開件数ランキング 37 位（213件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 67 位（124件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7163564

公報発行日　2022年11月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7163564

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