(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2022-10-24
(45)【発行日】2022-11-01
(54)【発明の名称】電子デバイスの製造方法
(51)【国際特許分類】
H01L 31/18 20060101AFI20221025BHJP
【ＦＩ】
H01L31/04 460
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2021513535
(86)(22)【出願日】2020-03-16
(86)【国際出願番号】 JP2020011380
(87)【国際公開番号】W WO2020209010
(87)【国際公開日】2020-10-15
【審査請求日】2021-09-24
(31)【優先権主張番号】P 2019074375
(32)【優先日】2019-04-09
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000190149
【氏名又は名称】信越半導体株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100102532
【弁理士】
【氏名又は名称】好宮 幹夫
(74)【代理人】
【識別番号】100194881
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 俊弘
(74)【代理人】
【識別番号】100215142
【弁理士】
【氏名又は名称】大塚 徹
(72)【発明者】
【氏名】石崎 順也
(72)【発明者】
【氏名】古屋 翔吾
(72)【発明者】
【氏名】秋山 智弘
【審査官】桂城 厚
(56)【参考文献】
【文献】韓国登録特許第１０－１０１１０２５（ＫＲ，Ｂ１）
【文献】米国特許第０９８３７４５３（ＵＳ，Ｂ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１０／０１４８２９３（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２０１４－１５４１７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－０３６９８８（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／１９４０３０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１２／０２３５２６２（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２００８－１６０１３８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１３－５３１８９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表平０６－５１１３５７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－３２４５６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００８／００８９６３７（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ３１／００－３１／２０
Ｈ０１Ｌ ５１／４２－５１／４８
Ｈ０２Ｓ １０／００－１０／４０
Ｈ０２Ｓ ３０／００－９９／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスを製造する方法であって、出発基板上にエピタキシャル成長によって形成された、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハと、複数の独立した駆動回路が形成された第二のウェーハを、前記複数の独立した太陽電池構造と前記複数の独立した駆動回路が夫々重なり合うように接合して接合ウェーハとする工程と、
前記接合ウェーハにおいて前記複数の独立した太陽電池構造から前記複数の独立した駆動回路に夫々電力が供給可能なように配線を行う工程と、
前記接合ウェーハをダイシングすることで、前記太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスを製造する工程と
を有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項2】
前記接合を、熱硬化性の接着剤を用いて行うことを特徴とする請求項１に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項3】
前記熱硬化性の接着剤の厚みを２．０μｍ以上とすることを特徴とする請求項２に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項4】
前記接合を行った後、前記接合ウェーハから前記出発基板を分離することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項5】
前記配線を、前記接合を行う前に前記第二のウェーハにおいて前記駆動回路に電力を供給可能なようにパッド電極を設けることと、
前記接合を行う前及び後の少なくともいずれかにおいて、前記第一のウェーハの太陽電池構造から電力を取り出すことが可能なように太陽電池構造用電極を形成することと、
前記パッド電極及び前記太陽電池構造用電極を電気的に接続することと
により行うことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電子デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ＩｏＴ（Ｉｎｔｅｒｎｅｔ ｏｆ Ｔｈｉｎｇｓ）用のセンサーなどの電子デバイスは、小型かつ低消費電力で駆動するチップが必要であり、かつ、安価であることが求められる。このような電子デバイスでは、電源を外部に設け、外部供給電力により各種センサーを駆動するのが安定動作には理想的ではあるが、配線に要する設置コストが膨大になり、安価なセンサー設置が困難となる。従って、ＩｏＴ用のセンサーは、駆動電源として有線を必要としないデバイスの実現が必要である。
【0003】
また、電子デバイスが安価であるためには小型である必要がある。以上の条件を実現するためには、電子デバイスにおいて駆動回路と駆動電源受電素子を１チップで実現する必要がある。電源を無線で得る方式はマイクロ波もしくは光のどちらかが選択可能だが、マイクロ波は距離による出力減衰が大きく、分散配置するＩｏＴ用センサーの給電方式としては適さない。
【0004】
従って、ＩｏＴセンサー用途としては光無線給電方式が適切である。
【0005】
光無線給電の受電素子は太陽電池になるが、駆動回路と受電素子を１チップに設けることは難しい。駆動回路エリアを最初に設け、駆動回路エリアと別の領域に受電用（受光用）の太陽電池素子を形成することは可能である。
【0006】
しかし、駆動回路を設けるＳｉ系太陽電池の受電効率は高くなく、大きな面積を必要とする。
【0007】
その結果、安価な素子を作製することが困難となる。受電素子の効率を高めるため、太陽電池部に化合物半導体からなる太陽電池をエピタキシャル成長することも可能である。
【0008】
しかし、化合物半導体太陽電池をＳｉ基板上にエピタキシャル成長しようとすると、Ｓｉ基板との格子不整合が大きい。その結果、結晶品質を高めて高効率の受電用太陽電池を形成するため、エピタキシャル成長のためのバッファ層を工夫する必要があるなど、エピタキシャルコストの上昇を招く。
【0009】
その結果、やはり、素子製造コストが高価になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0010】
【文献】特開２０１８－１４８０７４号公報
【文献】特開２０１３－４６３２号公報
【文献】特開２００８－２１０８８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0011】
電子デバイスに追加の素子を設ける技術として、機能層と基体を接合する技術がある。機能層と基体の接合に関する技術として、特許文献１～３が挙げられる。特許文献１には、機能層と基体をＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）で接合する技術が記載されている。特許文献２には、犠牲層エッチングの技術が開示されている。特許文献３には、駆動回路基板にチップをフリップ接合する技術が開示されている。しかしながら、駆動回路と太陽電池構造を１チップに備える電子デバイスの製造方法に関する技術は、特許文献１～３には開示されていない。
【0012】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたもので、駆動回路と太陽電池構造を１チップに備え、かつ製造コストを抑制した電子デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0013】
上記目的を達成するために、本発明は、太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスを製造する方法であって、出発基板上にエピタキシャル成長によって形成された、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハと、複数の独立した駆動回路が形成された第二のウェーハを、前記複数の太陽電池構造と前記複数の駆動回路が夫々重なり合うように接合して接合ウェーハとする工程と、前記接合ウェーハにおいて前記複数の太陽電池構造から前記複数の駆動回路に夫々電力が供給可能なように配線を行う工程と、前記接合ウェーハをダイシングすることで、前記太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスを製造する工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法を提供する。
【0014】
このように、複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハと複数の独立した駆動回路が形成された第二のウェーハを、前記複数の太陽電池構造と前記複数の駆動回路が夫々重なり合うように接合することで、電子デバイスの面積を極めて小さくすることが可能となる。したがって、太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスの製造コストを抑制できる。
【0015】
また、前記接合を、熱硬化性の接着剤を用いて行うことが好ましい。
【0016】
このように、熱硬化性の接着剤を用いて接合を行うことにより、低温で接合できる。また、そのため、接合に要する熱処理で太陽電池構造や駆動回路部の物性が変化することがないため、太陽電池構造や駆動回路形成後に接合工程を行うことができる。
【0017】
このとき、前記熱硬化性の接着剤の厚みを２．０μｍ以上とすることができる。
【0018】
このように、熱硬化性の接着剤を２．０μｍ以上の厚さで設けることにより、接着力を強化することができる。
【0019】
また、前記接合を行った後、前記接合ウェーハから前記出発基板を分離することが好ましい。
【0020】
このように、接合ウェーハから出発基板を分離することで、出発基板を再利用することもでき、コストを低減させることができる。
【0021】
また、本発明の電子デバイスの製造方法では、前記配線を、前記接合を行う前に前記第二のウェーハにおいて前記駆動回路に電力を供給可能なようにパッド電極を設けることと、前記接合を行う前及び後の少なくともいずれかにおいて、前記第一のウェーハの太陽電池構造から電力を取り出すことが可能なように太陽電池構造用電極を形成することと、前記パッド電極及び前記太陽電池構造用電極を電気的に接続することとにより行うことができる。
【0022】
本発明の電子デバイスの製造方法では、具体的には、このようにして配線を行うことができる。
【発明の効果】
【0023】
本発明の電子デバイスの製造方法では、太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスの面積を極めて小さくすることが可能となる。したがって、電子デバイスの製造コストを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、第一のウェーハを示す概略図である。
【図2】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、接着層を形成した第一のウェーハを示す概略図である。
【図3】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、第二のウェーハを示す概略図である。
【図4】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、第一のウェーハと第二のウェーハの接合を示す概略図である。
【図5】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、接合ウェーハからの出発基板の分離を示す概略図である。
【図6】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、接合ウェーハの一部加工を示す概略図である。
【図7】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、接合ウェーハのＳｉＯ２被覆を示す概略図である。
【図8】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、接合ウェーハの電極形成を示す概略図である。
【図9】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、接合ウェーハのパッド電極の露出を示す概略図である。
【図10】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、接合ウェーハの配線を示す概略図である。
【図11】本発明の電子デバイスの工程の途中経過を示す概略図であり、第二の実施形態による接合ウェーハを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
上述したようにＩｏＴ用のセンサーなどの電子デバイスは小型かつ低消費電力で駆動するチップが必要であり、かつ、安価であることが求められる。電源を外部に設け、外部供給電力により各種センサーを駆動するのが安定動作には理想的ではあるが、配線に要する設置コストが膨大になり、安価なセンサー設置が困難となる。従って、ＩｏＴ用のセンサーは、駆動電源として有線を必要としないデバイスの実現が必要である。本発明者らが検討を重ねたところ、基板上にエピタキシャル成長によって形成された化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハと複数の独立した駆動回路が形成された第二のウェーハを前記複数の太陽電池構造と前記複数の駆動回路が夫々重なり合うように接合し、前記複数の太陽電池構造から前記複数の駆動回路に夫々電力が供給可能なように電極及び配線を行った後、ダイシングを行うことで太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスであれば、電子デバイスの面積を極めて小さくすることが可能となり、製造コストを抑制できる事が判り、本発明を完成させた。
【0026】
本発明は、太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスを製造する方法であり、以下の工程を備える。すなわち、（ａ）出発基板上にエピタキシャル成長によって形成された、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハと、複数の独立した駆動回路が形成された第二のウェーハを、前記複数の太陽電池構造と前記複数の駆動回路が夫々重なり合うように接合して接合ウェーハとする工程、（ｂ）前記接合ウェーハにおいて前記複数の太陽電池構造から前記複数の駆動回路に夫々電力が供給可能なように配線を行う工程、（ｃ）前記接合ウェーハをダイシングすることで、前記太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスを製造する工程、の各工程である。
【0027】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0028】
（第一の実施形態）
まず、出発基板上にエピタキシャル成長によって形成された、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハを準備する。図１及び図２に第一のウェーハ１００の概略を示した。第一のウェーハ１００は、出発基板１０上にエピタキシャル成長により、太陽電池構造１０１を複数形成する。
まず、出発基板上にエピタキシャル成長によって形成された、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハを準備する。図１及び図２に第一のウェーハ１００の概略を示した。第一のウェーハ１００は、出発基板１０上にエピタキシャル成長により、太陽電池構造１０１を複数形成する。
【0029】
より具体的には以下のように太陽電池構造を形成することができるが、太陽電池構造は、化合物半導体からなる種々の構造を採用することができる。まず、ＧａＡｓからなる出発基板１０上に、例えば厚さ０．５μｍのｐ－ＧａＡｓバッファ層（不図示）、例えば厚さ０．３μｍのｐ－ＡｌＡｓ犠牲層１１、例えば厚さ０．３μｍのｐ－ＧａＡｓコンタクト層１２、例えば厚さ０．２μｍのｐ－Ｉｎ０．５Ｇａ０．５Ｐウィンドウ層１３、例えば厚さ０．５μｍのｐ－ＧａＡｓエミッタ層１４、例えば厚さ３．５μｍのｎ－ＧａＡｓベース層１５、例えば厚さ０．０５μｍのｎ－Ｉｎ０．５Ｇａ０．５ＰからなるＢＳＦ（Ｂａｃｋ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｆｉｅｌｄ、裏面電界）層１６を形成し、太陽電池構造を有する第一のウェーハ１００を準備する。図１の段階では、素子分離を行っておらず、太陽電池構造は独立していない。太陽電池構造の各層の構成や組成、厚さなどは、適宜設計することができる。例えば、ここでＩｎ０．５Ｇａ０．５Ｐは擬似格子整合する条件で積層していればよく、臨界膜厚以下の膜厚であれば、例示した組成に限定されない。
【0030】
次に、第一のウェーハ１００上にＰ－ＣＶＤ法（プラズマ－化学気相堆積法）にてＳｉＯ２膜１７を例えば０．１μｍ形成し、ＳｉＯ２膜１７上にスピンコート法により、熱硬化性の接着剤として、ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）膜１８を例えば０．２μｍ形成する。ＢＣＢ膜（すなわち、熱硬化性の接着剤）１８の厚さは好ましくは０．０５μｍ以上、より好ましくは０．１μｍ以上である。このような厚さのＢＣＢ１８膜は、より良好なウェーハ接合を実現することができる。ＢＣＢ膜１８の厚さ（熱硬化性の接着剤の厚さ）は２．０μｍ以下とすることができ、さらには、１．０μｍ以下とすることができる。このようなＢＣＢ膜１８の厚さであれば、コストの上昇が抑えられる。また、そのような厚さであれば、接合圧力による変形量を小さくでき、分離パターンの側面への付着量も増加せず、その後の犠牲層エッチング及びパターン出し工程を容易にできる。
【0031】
本実施形態においては、第一のウェーハ１００にＳｉＯ２膜１７を形成した構造を例示しているが、ＳｉＯ２膜１７はＢＣＢ膜１８の接着増強層である。そのため、ＳｉＯ２膜１７を必ずしも設ける必要はない。本発明で用いることができる熱硬化性の接着剤としてはＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）樹脂を用いることが好ましいが、これに限定されない。
【0032】
ＢＣＢ膜１８の塗布後、１００℃前後の熱処理により溶剤を飛ばしておくことが好ましい。
【0033】
また、ＢＣＢ膜等の熱硬化性の接着剤の厚みを２．０μｍ以上とすることもできる。熱硬化性の接着剤を２．０μｍ以上の厚さで設けることにより、接着力を強化することができる。特に、犠牲層エッチングを行って出発基板を分離し、エピタキシャル層のみを残した時、エピタキシャル層が剥離することをより効果的に防止することができる。熱硬化性の接着剤を３．０μｍ以上の厚さのような厚膜にする場合、一旦接着剤を塗布後、熱を加えた硬化処理を行い、更に塗布して重ねる手法により厚膜を形成することもできる。
【0034】
次にＢＣＢ膜１８上に、太陽電池構造を独立したものとするための素子分離を予定する部分（素子分離予定部）が開口したレジストパターンをフォトレジスト工程により形成する。フッ素含有ガス（ＮＦ３あるいはＳＦ６など）とＡｒガスの混合プラズマ雰囲気下でＩＣＰ（誘導結合プラズマ）処理を行うことにより、ＢＣＢ膜１８及びＳｉＯ２膜１７のパターニングを行う。
【0035】
ＩＣＰ処理の条件としては例えば雰囲気圧力は１．０Ｐａ，ＮＦ３とＡｒガスの総流量は５０ｓｃｃｍとすることができる。しかし、ＢＣＢ／ＳｉＯ２のパターニングが出来る条件であれば、この条件に限定されるものではない。
【0036】
ＢＣＢ膜１８／ＳｉＯ２膜１７の開口パターンニング後、レジストパターンを除去する。例えば、レジスト除去はアッシング処理を行うことができるが、これに限定されるものではなく、有機洗浄やその他の脱脂処理にて除去してもよい。
【0037】
ＢＣＢ膜１８／ＳｉＯ２膜１７の開口を、ＧａＡｓ層に対しては酒石酸過酸化水素混合溶液、ＩｎＧａＰに対しては塩酸燐酸混合液にてエッチングし、素子分離予定部をエッチングする（図２参照）。なお、酒石酸過酸化水素混合溶液はＩｎＧａＰに対してエッチング選択性を有し、塩酸燐酸混合液はＧａＡｓに対してエッチング選択性を有するため、各層をエッチングするため、適宜切り替える。以上の工程により、図２に示したように、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造１０１を有する第一のウェーハ１００を準備することができる。
【0038】
上記の第一のウェーハ１００とは別に、複数の独立した駆動回路が形成された第二のウェーハを準備する。第二のウェーハは、シリコン（Ｓｉ）基板に駆動回路を形成して準備することが好ましい。具体的には、図３に示したように、Ｓｉ基板（駆動回路基板２０）上に駆動回路と入力用の受電パッド部（パッド電極２２、２３）を有する第二のウェーハ２００を準備する。駆動回路は、求める機能に合わせて形成するが、受電パッド（パッド電極２２、２３）に太陽電池構造からの電流逆流を防止する整流用ダイオードが接続された構成とすることが好ましい。図３中には、複数の独立した駆動回路２０１（破線で囲った部分が個々の駆動回路である。）を形成した例を示している。
【0039】
次に、駆動回路基板表面にＳｉＯ２膜２１を例えば０．１μｍの厚さで成膜することが好ましい（図３参照）。
【0040】
本実施形態においては、駆動回路基板上にＳｉＯ２膜２１を形成した構造を例示しているが、ＳｉＯ２膜２１は、上記した熱硬化性の接着剤であるＢＣＢ膜の接着増強層であるため、必ずしもＳｉＯ２膜２１を設ける必要はない。
【0041】
次に、図４に示すように、第一のウェーハ１００及び第二のウェーハ２００を、複数の太陽電池構造１０１と複数の駆動回路２０１が夫々重なり合うように接合して接合ウェーハとする。接合後、第一のウェーハ１００及び第二のウェーハ２００は、接合ウェーハ３００を構成する（図４中には接合直前の様子を示している。）。ここで、より具体的には、第一のウェーハ１００及び第二のウェーハ２００を、第二のウェーハ２００側のパッド（パッド電極２２、２３）の位置が予定位置になる様にアライメントを行い、対向して重ね合わせ、例えば３００℃の熱と２５０Ｎ／ｃｍ２程度の圧力を加えつつ接合する（図４参照）。ＢＣＢ膜１８を介した接合温度は１５０℃以上とするのが好ましく、２１０℃以上とするのがより好ましい。ＢＣＢ硬化時間は高温にするほど早くなるが、駆動基板の特性変化を極力抑制する観点から好ましくは４００℃以下、より好ましくは３２０℃以下とする。
【0042】
また、接合圧力は好ましくは２Ｎ／ｃｍ２以上、より好ましくは５Ｎ／ｃｍ２以上とする。接合圧力が大きいほど、容易に接合が得られるため、大きい方が望ましいが、接合圧力による変形量が大きくなり、分離パターンの側面への付着量が増加し、その後の犠牲層エッチング及びパターン出し工程が難しくなるため、好ましくは５００Ｎ／ｃｍ２以下、より好ましくは２５０Ｎ／ｃｍ２以下とする。
【0043】
接合後、犠牲層１１のエッチングを行う。ＡｌＡｓからなる犠牲層の場合、エッチングはフッ素含有溶液で行う。素子分離予定部が開口しているため、フッ素含有液はＡｌＡｓ犠牲層に速やかに達し、犠牲層をエッチングする。フッ素含有液は犠牲層以外の層に対してエッチング選択性を有するため、ＡｌＡｓ犠牲層のみが選択的に除去される。犠牲層が消失したことにより、太陽電池構造１０１となるエピタキシャル層は第二のウェーハ２００に残留し、ＧａＡｓ出発基板１０は分離する（図５参照）。
【0044】
分離したＧａＡｓ出発基板１０はエピタキシャル成長用基板に再利用することができる。出発基板１０は、必要に応じて表面を再度ポリッシュして利用しても良い。
【0045】
次に、接合ウェーハ３００に対し、フォトリソグラフィー法により、一部が開口したパターンを形成し、ＢＳＦ層１６部が露出するパターンを形成する。ＢＳＦ層１６部が露出するパターンを形成後、レジストを除去する（図６参照）。ＢＳＦ層１６を露出させるため、前述の選択エッチング液を使用しても良いし、ＩＣＰなどのドライプロセスを適用しても良い。
【0046】
ＢＳＦ層１６の露出部形成後、例えば０．１μｍ厚のＳｉＯ２膜３１にてウェーハ全体を被覆する。次にフォトリソグラフィー法により、一部が開口したパターンを形成し、ｐ－ＧａＡｓコンタクト層１２上の一部とＢＳＦ層１６上の一部が開口したパターンを形成し、フッ素含有溶液にてエッチングすることでＳｉＯ２膜３１の一部を開口する。ＳｉＯ２膜３１の一部を開口した後、レジストを除去する（図７参照）。
【0047】
次にＳｉＯ２開口部に電極３２、３３を形成する。（図８）。
【0048】
ｐ－ＧａＡｓコンタクト層１２に接する電極３３はＢｅを含有するＡｕにて、ＢＳＦ層１６に接する電極３２にはＧｅを含有するＡｕにて、例えば各０．５μｍ厚の電極を形成する。電極材料はこれに限らず、オーミックコンタクトが形成されればどの様な材料でも選択可能である。
【0049】
次にフォトリソグラフィー法により駆動回路部上を被覆しているＳｉＯ２膜２１が開口したレジストパターンを形成する。開口後、例えばフッ素含有溶液によるエッチングにより駆動回路部のパッド電極２２、２３を露出させる（図９の露出部３５）。
【0050】
次に駆動基板上のパッド電極２２、２３とエピタキシャル層部の電極（電極３２、３３）を結んで金属配線３６、３７を形成する。フォトリソグラフィー法により開口パターンを形成し、例えばＡｌ層０．５μｍを蒸着し、リフトオフ法により配線パターンを形成する（図１０参照）。これにより、接合ウェーハ３００において複数の太陽電池構造１０１から複数の駆動回路２０１に夫々電力が供給可能なように配線が行われる。
【0051】
この第一の実施形態では、配線が、接合を行う前に第二のウェーハ２００において駆動回路２０１に電力を供給可能なようにパッド電極２２、２３を設けること（図３）と、接合を行った後に、第一のウェーハ１００の太陽電池構造１０１から電力を取り出すことが可能なように太陽電池構造用電極３２、３３を形成することと、パッド電極２２、２３及び太陽電池構造用電極３２、３３を電気的に接続することとにより行われる。
【0052】
このようにして図１０に示した接合ウェーハ（電子デバイス製造用ウェーハ）４００が作製される。接合ウェーハ４００には、複数の電子デバイス構造３０１が形成される。このような接合ウェーハ４００をダイシングすることで、電子デバイス構造３０１を個々に分離し、太陽電池構造１０１を備えた駆動回路２０１を有する電子デバイスを製造することができる。
【0053】
（第二の実施形態）
次に、第一の実施形態の途中工程を変更した本発明の第二の実施形態を説明する。第二の実施形態は、基本的に第一の実施形態と同様であるが、配線方式が異なる。第二の実施形態において形成される電子デバイス用接合を行う前に第二のウェーハ２００において駆動回路に電力を供給可能なようにパッド電極２２、２３を設けることは同様であるが、接合を行う前において、予め、第一のウェーハの太陽電池構造から電力を取り出すことが可能なように太陽電池構造用電極５２を形成することが異なる（図１１参照）。以下では、第一の実施形態との差異に着目して第二の実施形態を説明する。第一の実施形態と本質的に同じ構成要素は同じ符号を用いて説明する。
次に、第一の実施形態の途中工程を変更した本発明の第二の実施形態を説明する。第二の実施形態は、基本的に第一の実施形態と同様であるが、配線方式が異なる。第二の実施形態において形成される電子デバイス用接合を行う前に第二のウェーハ２００において駆動回路に電力を供給可能なようにパッド電極２２、２３を設けることは同様であるが、接合を行う前において、予め、第一のウェーハの太陽電池構造から電力を取り出すことが可能なように太陽電池構造用電極５２を形成することが異なる（図１１参照）。以下では、第一の実施形態との差異に着目して第二の実施形態を説明する。第一の実施形態と本質的に同じ構成要素は同じ符号を用いて説明する。
【0054】
まず、出発基板上にエピタキシャル成長によって形成された、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハを準備する。ここで準備する第一のウェーハは、第一の実施形態と同様に、出発基板１０上にエピタキシャル成長により、太陽電池構造を複数形成する（図１及び図２参照）。より具体的には、ＧａＡｓからなる出発基板１０上に、例えば厚さ０．５μｍのｐ－ＧａＡｓバッファ層、例えば厚さ０．３μｍのｐ－ＡｌＡｓ犠牲層１１、例えば厚さ０．３μｍのｐ－ＧａＡｓコンタクト層１２、例えば厚さ０．２μｍのｐ－Ｉｎ０．５Ｇａ０．５Ｐウィンドウ層１３、例えば厚さ０．５μｍのｐ－ＧａＡｓエミッタ層１４、例えば厚さ３．５μｍのｎ－ＧａＡｓベース層１５、例えば厚さ０．０５μｍのｎ－Ｉｎ０．５Ｇａ０．５ＰからなるＢＳＦ層１６を形成した太陽電池構造を有する第一のウェーハ１００を準備する。太陽電池構造の各層の構成や組成、厚さなどは、適宜設計することができる。例えば、ここでＩｎ０．５Ｇａ０．５Ｐは擬似格子整合する条件で積層していればよく、臨界膜厚以下の膜厚であれば、例示した組成に限定されない。
【0055】
次に、第一のウェーハ１００のＢＳＦ層１６の一部に接するＮ型電極５２を形成する（図１１参照）。このように予め電極５２を形成することが第一の実施形態との違いである。以下、図１～９について、図１１のようにＢＳＦ層１６の一部に接するＮ型電極５２が形成されているものに置き換えて説明する。
【0056】
Ｎ型電極５２はＧｅを含有するＡｕにて、例えば０．５μｍ厚の電極を形成する。電極材料はこれに限定されず、オーミックコンタクトが形成されれば、どの様な材料でも選択可能である。
【0057】
次に、Ｎ型電極５２を形成した第一のウェーハ１００上にＰ－ＣＶＤ法にてＳｉＯ２膜１７を例えば０．１μｍ形成し、ＳｉＯ２膜１７上にスピンコート法により、熱硬化性の接着剤として、ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）膜１８を例えば０．２μｍ形成する。ＢＣＢ膜（すなわち、熱硬化性の接着剤）１８の厚さは好ましくは０．０５μｍ以上、より好ましくは０．１μｍ以上である。このような厚さのＢＣＢ１８膜は、より良好なウェーハ接合を実現することができる。ＢＣＢ膜１８の厚さ（熱硬化性の接着剤の厚さ）は２．０μｍ以下とすることができ、さらには、１．０μｍ以下とすることができる。このようなＢＣＢ膜１８の厚さであれば、コストの上昇が抑えられる。また、そのような厚さであれば、接合圧力による変形量を小さくでき、分離パターンの側面への付着量も増加せず、その後の犠牲層エッチング及びパターン出し工程を容易にできる。
【0058】
本実施形態においては、第一のウェーハ１００にＳｉＯ２膜１７を形成した構造を例示しているが、ＳｉＯ２膜１７はＢＣＢ膜１８の接着増強層である。そのため、ＳｉＯ２膜１７を必ずしも設ける必要はない。
【0059】
ＢＣＢ膜１８の塗布後、１００℃前後の熱処理により溶剤を飛ばしておくことが好ましい。
【0060】
また、第一の実施形態と同様に、ＢＣＢ膜等の熱硬化性の接着剤の厚みを２．０μｍ以上とすることもできる。
【0061】
次にＢＣＢ膜１８上に、素子分離予定部が開口したレジストパターンをフォトレジスト工程により形成する。フッ素含有ガス（ＮＦ３あるいはＳＦ６など）とＡｒガスの混合プラズマ雰囲気下でＩＣＰ（誘導結合プラズマ）処理を行うことにより、ＢＣＢ膜１８及びＳｉＯ２膜１７のパターニングを行う。
【0062】
ＩＣＰ処理の条件としては例えば雰囲気圧力は１．０Ｐａ，ＮＦ３とＡｒガスの総流量は５０ｓｃｃｍとすることができる。しかし、ＢＣＢ／ＳｉＯ２のパターニングが出来る条件であれば、この条件に限定されるものではない。
【0063】
ＢＣＢ膜１８／ＳｉＯ２膜１７の開口パターンニング後、レジストパターンを除去する。例えば、レジスト除去はアッシング処理を行うことができるが、これに限定されるものではなく、有機洗浄やその他の脱脂処理にて除去してもよい。
【0064】
ＢＣＢ膜１８／ＳｉＯ２膜１７の開口を、ＧａＡｓ層に対しては酒石酸過酸化水素混合溶液、ＩｎＧａＰに対しては塩酸燐酸混合液にてエッチングし、素子分離予定部をエッチングする（図２参照）。なお、酒石酸過酸化水素混合溶液はＩｎＧａＰに対してエッチング選択性を有し、塩酸燐酸混合液はＧａＡｓに対してエッチング選択性を有するため、各層をエッチングするため、適宜切り替える。以上の工程により、図２に示したように、化合物半導体からなる複数の独立した太陽電池構造を有する第一のウェーハ１００を準備することができる。
【0065】
次にＢＣＢ膜１８上にＮ電極部５２が開口したレジストパターンをフォトレジスト工程により形成する。
【0066】
フッ素含有ガス（ＮＦ３あるいはＳＦ６など）とＡｒガスの混合プラズマ雰囲気下でＩＣＰ処理を行うことにより、ＢＣＢ膜及びＳｉＯ２膜のパターニングを行う。
【0067】
また、複数の独立した駆動回路が形成された第二のウェーハを準備する。図３に示したように、Ｓｉ基板上に駆動回路と入力用の受電パッド部（パッド電極２２、２３）を有する第二のウェーハ２００を準備する。駆動回路は、求める機能に合わせて形成するが、受電パッド（パッド電極２２、２３）に太陽電池構造からの電流逆流を防止する整流用ダイオードが接続された構成とすることが好ましい。このとき、パッド電極２２は、図１１に示すように、第一のウェーハに形成されたＮ型電極５２と位置が合うように形成される。
【0068】
次に、駆動回路基板表面にＳｉＯ２膜２１を例えば０．１μｍの厚さで成膜することが好ましい（図３参照）。
【0069】
本実施形態においては、駆動回路基板上にＳｉＯ２膜２１を形成した構造を例示しているが、ＳｉＯ２膜２１は、上記した熱硬化性の接着剤であるＢＣＢ膜の接着増強層であるため、必ずしもＳｉＯ２膜２１を設ける必要はない。
【0070】
次に、第一のウェーハ１００及び第二のウェーハ２００を、複数の太陽電池構造と複数の駆動回路が夫々重なり合うように接合して接合ウェーハとする。接合後、第一のウェーハ１００及び第二のウェーハ２００は、接合ウェーハ３００を構成する。より具体的には、第一のウェーハ１００及び第二のウェーハ２００を第二のウェーハ２００側のパッド（パッド電極２２、２３）の位置が予定位置になる様にアライメントを行い、対向して重ね合わせ、例えば３００℃の熱と２５０Ｎ／ｃｍ２程度の圧力を加えつつ接合する（図４参照）。ＢＣＢ膜１８を介した接合温度は１５０℃以上とするのが好ましく、２１０℃以上とするのがより好ましい。ＢＣＢ硬化時間は高温にするほど早くなるが、駆動基板の特性変化を極力抑制する観点から好ましくは４００℃以下、より好ましくは３２０℃以下とする。第二の実施形態では、特に図１１に示すように、第二のウェーハ２００のパッド電極２２と、第一のウェーハ１００に形成されたＮ型電極５２とが位置が合うように接合される。
【0071】
また、接合圧力は好ましくは２Ｎ／ｃｍ２以上、より好ましくは５Ｎ／ｃｍ２以上とする。接合圧力が大きいほど、容易に接合が得られるため、大きい方が望ましいが、接合圧力による変形量が大きくなり、分離パターンの側面への付着量が増加し、その後の犠牲層エッチング及びパターン出し工程が難しくなるため、好ましくは５００Ｎ／ｃｍ２以下、より好ましくは２５０Ｎ／ｃｍ２以下とする。
【0072】
接合後、犠牲層１１のエッチングを行う。ＡｌＡｓの犠牲層の場合、エッチングはフッ素含有溶液で行う。素子分離予定部が開口しているため、フッ素含有液はＡｌＡｓ犠牲層に速やかに達し、犠牲層をエッチングする。フッ素含有液は犠牲層以外の層に対してエッチング選択性を有するため、ＡｌＡｓ犠牲層のみが選択的に除去される。犠牲層が消失したことにより、太陽電池構造となるエピタキシャル層は第二のウェーハ２００に残留し、ＧａＡｓ出発基板１０は分離する（図５参照）。
【0073】
分離したＧａＡｓ出発基板１０はエピタキシャル成長用基板に再利用することができる。出発基板１０は、必要に応じて表面を再度ポリッシュして利用しても良い。
【0074】
次に、接合ウェーハ３００に対し、フォトリソグラフィー法により、一部が開口したパターンを形成し、ＢＳＦ層１６部が露出するパターンを形成する。ＢＳＦ層１６部が露出するパターンを形成後、レジストを除去する（図６参照）。ＢＳＦ層１６を露出させるため、前述の選択エッチング液を使用しても良いし、ＩＣＰなどのドライプロセスを適用しても良い。
【0075】
ＢＳＦ層１６の露出部形成後、例えば０．１μｍ厚のＳｉＯ２膜３１にてウェーハ全体を被覆する。次にフォトリソグラフィー法により、一部が開口したパターンを形成し、ｐ－ＧａＡｓコンタクト層１２上の一部が開口したパターンを形成し、フッ素含有溶液にてエッチングすることでＳｉＯ２膜３１の一部を開口する。ＳｉＯ２膜３１の一部を開口した後、レジストを除去する（図７参照）。
【0076】
次にＳｉＯ２開口部に電極５３を形成する。
【0077】
ｐ－ＧａＡｓコンタクト層１２に接する電極５３はＢｅを含有するＡｕにて、例えば０．５μｍ厚の電極を形成する。電極材料はこれに限らず、オーミックコンタクトが形成されればどの様な材料でも選択可能である。
【0078】
次にフォトリソグラフィー法により駆動回路部上を被覆しているＳｉＯ２膜２１が開口したレジストパターンを形成する。開口後、例えばフッ素含有溶液によるエッチングにより駆動回路部のパッド電極２３を露出させる（図９の露出部３５）。
【0079】
次に駆動基板上のパッド電極２３とエピタキシャル層部の電極（電極５３）を結んで金属配線３７を形成する。フォトリソグラフィー法により開口パターンを形成し、例えばＡｌ層０．５μｍを蒸着し、リフトオフ法により配線パターンを形成する（図１１参照）。第二の実施形態では、上記のように、パッド電極２２と、Ｎ型電極５２は位置合わせされており（図１１参照）、改めて金属配線による配線は必要ない。
【0080】
このようにして図１１に示した接合ウェーハ（電子デバイス製造用ウェーハ）５００が作製され、接合ウェーハ５００をダイシングすることで、太陽電池構造を備えた駆動回路を有する電子デバイスを製造することができる。
【0081】
太陽電池（ＰＶ）は面積増大により受電電力が大きくなるため、面積が大きい方が駆動電力の点では有利である。従来例では太陽電池構造部と駆動回路部が同一面に設けられており、受電電力を大きくするためには素子の面積が大きくなる。しかし、本発明においては、駆動回路部上に受電部を設けるため、素子面積を極小化することができる。
【0082】
また、特に、接合の際に熱硬化性の接着剤を用いることにより、接合時の温度が３００℃と低温とすることができる。従って、接合に要する熱処理で駆動回路部の物性が変化することがないため、駆動回路形成後に接合工程を行うことが可能である。接合時の温度が３００℃と低温であり、接合に要する熱処理で太陽電池構造部の物性が変化することがないため、太陽電池構造部の電極形成後に接合工程を行うことが可能である。
【0083】
また、本発明では、駆動回路基板と太陽電池構造部を別個に形成できることから歩留まりの向上に寄与する。
【0084】
また、本発明では、太陽電池構造部の出力用電極と、駆動回路部の入力用電極の、位置合わせを行って接合することから配線形成精度と、配線形成に伴う歩留まりを向上させることができる。
【0085】
また、本発明では、太陽電池構造部形成と駆動回路形成を別々の工程で行うことで、積層後の不良発生に伴う歩留まり低下を防止することができる。
【0086】
また、駆動回路部に太陽電池構造のエピタキシャル層を形成する場合、バッファ層形成に伴う材料コストが大きな比重を占めるが、太陽電池構造形成基板・工程と駆動回路形成基板・工程をそれぞれ分離することで、各々コスト最少の最適な設計で形成することが可能であり、総コストを下げることができる。
【0087】
また、太陽電池構造のエピタキシャル層のコストが高価であり、出発基板のコストが大きな比重を占める。太陽電池構造部の素子分離を行ってから接合を行うため、エピタキシャルリフトオフの工程適用が可能であり、剥離した出発基板の再利用により、エピコストを低減させることができる。
【0088】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】