特許 7166065 ウエハ搬送保持装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-10-27

(45)【発行日】2022-11-07

(54)【発明の名称】ウエハ搬送保持装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20221028BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20221028BHJP

   B25J 15/06 20060101ALI20221028BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/68 B

H01L21/68 P

B25J15/06 A

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2018037599

(22)【出願日】2018-03-02

(65)【公開番号】P2019153688

(43)【公開日】2019-09-12

【審査請求日】2021-02-10

(73)【特許権者】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】青木 仁

【審査官】内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－００４９０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０６３０２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１３／０３９０８０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００５－０７９２４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１０７０９７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ２５Ｊ １５／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

平面視角形の角型ウエハをチャックテーブル上に受け渡し、前記チャックテーブル上に前記角型ウエハを吸引保持するウエハ搬送保持装置であって、
前記チャックテーブル上に搬送された前記角型ウエハを前記チャックテーブル上に、前記角型ウエハの中央側の領域部分内から前記角型ウエハの中央側の領域部分より外側に突き出た隅である前記角型ウエハの外周側の領域部分外周まで押し付けながら転動する転動ローラを備える、ことを特徴とするウエハ搬送保持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はウエハ搬送保持装置に関するものであり、特に、薄く加工された角型の半導体ウエハをチャックテーブル上に搬送し、吸引保持するウエハ搬送保持装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスの製造に使用される半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)は、半導体材料のインゴットを結晶軸の方向に応じて薄板状に切り出し、研磨したものである。

【0003】

また、半導体デバイスの製造において、ウエハ上にデバイスを形成するリソグラフィ等の生産工程では、ウエハを固定する必要がある。ウエハの固定には、通常は負の空気圧（負圧）を印加してウエハを吸着保持する、いわゆる真空吸着方式の吸着ステージ(通常、「チャックテーブル」という)に、ウエハを吸引保持して各種の処理を行う方法がとられている（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

さらに、ウエハ上のデバイスが完成した後、プローバでテスタとデバイスの電極パッドを接続して電気的に動作検査を行う場合や、インスペクションマシンで形成したパターンの光学的な検査を行う場合も、同様に、ウエハをチャックテーブルに吸引保持した状態で検査を行う。

【0005】

近年、半導体デバイスの製造では、ウエハの直径を大きくして生産効率を向上させることが行われており、ウエハの外形は益々大きくなっている。また、１本のインゴットより取れるウエハの枚数を増加させれば、その分、ウエハの製造コストが低下するので、ウエハの厚さも小さく（薄く）なる傾向にある。

【0006】

さらに、従来では、一般に円柱状に形成したインゴットから平面視円板形をした円板型ウエハを切り出していた。しかし、円板型のウエハから四角形状をした半導体チップを製造した場合は、チップ収率（歩留まり）が悪い。そこで、今日では、角柱状のインゴットを製造して、その角柱状のインゴットから平面視四角形をした角型ウエハを切り出し、その角型ウエハに四角形の半導体チップを形成して、生産性の向上及びコストの向上を図るようにした技術も知られている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２００３－２３４３９２号公報

【文献】特開２０１４－７６９１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

ところで、チャックテーブル上に従来の円板型ウエハを吸引保持する場合、円板型ウエハには四隅がないので、ウエハの四隅が反ると言う問題は起きない。しかし、平面視四角形の角型ウエハでは、円板型のウエハと比べて四隅がそれぞれ外側に突き出しているので、チャックテーブルに角型ウエハを受け渡す時に、その四隅の部分がチャックテーブルのチャック面に対して反り返り、全体がチャックテーブルの面に密着しない。そのため、チャックテーブルによる吸引チャック時に、チャックテーブルとウエハとの間の隙間から空気が漏れて所望する吸着状態が得られないという問題点や、吸着時に角型ウエハのエッジ部分がチャックテーブルのチャック面に引っ掛かって破損するという問題点があった。

【0009】

そこで、角型ウエハであってもチャックテーブルへの受け渡しを行う際に、チャックテーブルと角型ウエハとの間の隙間から空気が漏れ出すことがないようにして受け渡しを可能にするウエハ搬送保持装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0018】

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、平面視角形の角型ウエハをチャックテーブル上に受け渡し、前記チャックテーブル上に前記角型ウエハを吸引保持するウエハ搬送保持装置であって、前記チャックテーブル上に搬送された前記角型ウエハを前記チャックテーブル上に、前記角型ウエハの略中心から前記角型ウエハの外周側の領域部分外周まで押し付けながら転動する転動ローラを備える、ウエハ搬送保持装置を提供する。

【0019】

この構成によれば、角型ウエハの上からチャックテーブル上に転動ローラが押し付けられ、さらに転動ローラが角型ウエハの略中心から角型ウエハの外周側の領域部分外周まで転動されると、角型ウエハは略中心から外周側に向かって徐々に均されながらチャック面に連続して押し付けられて密着する。これにより、角型ウエハの外周側に反りがあってもその反りは容易に修正され、角型ウエハの全体を平たく均してチャック面に密着させることができる。

【発明の効果】

【0022】

発明によれば、所定のチャックテーブルのチャック面上に搬送された角型ウエハを、その角型ウエハの中央側の領域部分を押さえ付けて、その中央側の領域部分をチャックテーブルのチャック面に密着させた後から、外周側の領域部分をチャックテーブルのチャック面に押さえ付けて密着させるようにしている。したがって、角型ウエハであっても、チャックテーブルへの受け渡しを行う際に、仮に隅に反りがあっても、その反りは容易に修正されて角型ウエハの全体をチャック面に平たく密着配置させることができる。これにより、角型ウエハの損傷を低減できるとともに、チャックテーブルとウエハの間の隙間から空気が漏れ出すことがないようにして、チャックテーブルのチャック面上に搬送された角型ウエハを確実に吸着保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明に係る角型搬送保持装置の一実施例を示し、その搬送保持装置における要部構成の側面図で、（ａ）はその搬送保持装置の押さえ付け手段が角型ウエハを受け取るときの状態を示す図、（ｂ）は押さえ付け手段が角型ウエハをチャックテーブルの上方の位置に搬送したときの状態を示す図である。

【図2】同上搬送保持装置における押さえ付けパッドの下面構成を模式的に示す平面図である。

【図3】同上搬送保持装置におけるチャックテーブルの構成を模式的に示す平面図である。

【図4】同上搬送保持装置で用いられる角型ウエハの一例を示す平面図である。

【図5】同上搬送保持装置の全体の動作を、制御部が制御する処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図6】同上搬送保持装置の動作説明図であり、搬送プレートに保持されて角型ウエハが押さえ付け手段の下側に運ばれて来た状態を示す図である。

【図7】同上搬送保持装置の動作説明図であり、押さえ付け手段の下側に運ばれて来た角型ウエハを、押さえ付け手段の下面に搬送プレートが押さえ付けて受け渡している状態を示す図である。

【図8】同上搬送保持装置の動作説明図であり、角型ウエハを受け取った押さえ付け手段がチャックテーブルの上方に配置された状態を示す図である。

【図9】同上搬送保持装置の動作説明図であり、押さえ付け手段が下降されて、角型ウエハの中央側の領域部分をチャックテーブル上に押し付けている状態を示す図である。

【図10】同上搬送保持装置の動作説明図であり、押さえ付け手段が下降されて、角型ウエハの中央側の領域部分の押し付けに続いて、角型ウエハの外周側の領域部分をチャックテーブル上に押し付けている状態を示す図である。

【図11】同上搬送保持装置の動作説明図であり、押さえ付け手段による角型ウエハの全体の押し付けを終えて、押さえ付け手段がチャックテーブル上から離れて行く状態を示す図である。

【図12】同上搬送保持装置の一変形例を示す側面図である。

【図13】図１２図に示す同上搬送保持装置における押さえ付け手段の下面構成を模式的に示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

本発明は角型ウエハであってもチャックテーブルへの受け渡しを行う際に、チャックテーブルと角型ウエハとの間の隙間から空気が漏れ出すことがないようにして受け渡しを可能にするウエハ搬送保持装置及びウエハ搬送保持方法を提供するという目的を達成するために、平面視角形の角型ウエハをチャックテーブル上に受け渡し、前記チャックテーブル上に前記角型ウエハを吸引保持するウエハ搬送保持装置であって、前記チャックテーブル上に搬送された前記角型ウエハを、前記角型ウエハの中央側の領域部分から前記角型ウエハの外周側の領域部分の順に、前記チャックテーブルに押さえ付ける押さえ付け手段を備える、構成として実現した。

【0025】

以下、本発明を実施するための形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明では、実施形態の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。また、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のウエハ搬送保持装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。

【実施例】

【0026】

図１は本発明の一実施例として示すウエハ搬送保持装置１０の要部構成図であり、（ａ）はその搬送保持装置の押さえ付け手段１１が角型ウエハＷを搬送プレート１２から受け取るときの状態を示す図、（ｂ）は押さえ付け手段１１が角型ウエハＷをチャックテーブル１３の上方の位置に搬送したときの状態を示す図である。なお、以下の説明において、図１の上下方向を上下として説明する。

【0027】

図１において、ウエハ搬送保持装置１０は、搬送プレート１２に保持されて所定の位置から搬送されて来た角型ウエハＷを、搬送プレート１２から受け取る押さえ付け手段１１を有している。押さえ付け手段１１は、搬送プレート１２から受け取った角型ウエハＷを、チャックテーブル１３のチャック面１３ａ上に配置する。チャックテーブル１３は、チャック面１３ａ上に配置された角型ウエハＷを、チャック面１３ａ上に吸引保持する構成となっている。この一連の動作は、制御部１００により制御される。

【0028】

角型ウエハＷは、半導体材料のインゴットを薄板状に切り出して研磨されたものであり、図４に示すように４つの辺５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄを有する平面視概略正四角形をした薄板状のウエハとして形成されている。なお、説明の便宜上、角型ウエハＷの各部の説明は、図４において、４つの辺５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄにそれぞれ接して描かれる円５１の内側の領域を「中央側の領域部分Ｗａ」、円５１の外側に各々突き出している四隅（４つの角）の領域を「外周側の領域部分Ｗｂ」として説明する。

【0029】

搬送プレート１２は、前工程の所定の位置から角型ウエハＷを受け取り、その後、押さえ付け手段１１の下側の位置まで搬送して、その角型ウエハＷを押さえ付け手段１１に受け渡す装置である。

【0030】

チャックテーブル１３は、角型ウエハＷを加工する回転する加工台であり、上面には角型ウエハＷが載置されるチャック面１３ａを有している。チャック面１３ａは、図３に示すように角型ウエハＷの外形に合わせて平面視概略正四角形に形成されており、角型ウエハＷの表面又は裏面の、一面全体を密着させて固定できるようになっている。なお、チャック面１３ａによる角型ウエハＷの固定は、本実施例では真空吸着方式による固定であり、チャック面１３ａの表面を負圧にし、このチャック面１３ａに角型ウエハＷを吸引して固定する方式を用いている。したがって、チャック面１３ａには、図示しないウエハ用真空ラインに通じる複数個の吸着孔が設けられている。

【0031】

押さえ付け手段１１は、本体部１１ａと、本体部１１ａの下側に取り付けられた主押さえ付けパッド部１１ｂ及び副押さえ付けパッド部１１ｃを有している。

【0032】

押さえ付け手段１１の本体部１１ａは、図示しないアームに取り付けられて、そのアームと共に下上方向に移動可能になっている。そして、本体部１１ａが下降されると、主押さえ付けパッド部１１ｂ及び副押さえ付けパッド部１１ｃも本体部１１ａと一緒に下降され、押さえ付け手段１１が吸着保持している角型ウエハＷを、チャックテーブル１３のチャック面１３ａ上に押さえ付け可能な位置まで移動される。

【0033】

主押さえ付けパッド部１１ｂは、本体部１１ａの下面中央に位置して、本体部１１ａの下面に固定して取り付けられている。主押さえ付けパッド部１１ｂは、図２に示すように角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａの外径と略同じ大きさの外径を有して、平面視円板形に形成されている。また、主押さえ付けパッド部１１ｂの下面１１１ａには、押さえ付け面１１１ｂが設けられている。押さえ付け面１１１ｂは、搬送プレート１２で搬送されて来る角型ウエハＷを固定保持する保持面となっている。なお、押さえ付け面１１１ｂによる角型ウエハＷの固定保持は、真空吸着方式による固定であり、押さえ付け面１１１ｂの表面を負圧にし、角型ウエハＷを吸引固定する方式を用いている。したがって、押さえ付け面１１１ｂには、図示しないウエハ用真空ラインに通じる複数個の吸着孔が設けられている。

【0034】

副押さえ付けパッド部１１ｃは、主押さえ付けパッド部１１ｂの外周面に沿って略９０度間隔で４つ形成されている。４つの副押さえ付けパッド部１１ｃの各形状は、図２に示すように、角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂの平面視形状に各々対応して、平面視概略三角形状に形成されている。また、各副押さえ付けパッド部１１ｃは、それぞれ伸縮シリンダ１４を介して本体部１１ａに取り付けられている。

【0035】

伸縮シリンダ１４は、本体部１１ａに固定して取り付けられたシリンダ本体１４ａと、シリンダ本体１４ａに対して伸縮可能で、かつ、先端（下端）に副押さえ付けパッド部１１ｃを取り付けているシリンダアーム１４ｂと、を有している。伸縮シリンダ１４は、制御部１００の指示で動作される。そして、制御部１００の指示により、シリンダアーム１４ｂを伸長させる指示が送られて来ると、シリンダアーム１４ｂを伸長させる。また、シリンダアーム１４ｂが伸長されると、副押さえ付けパッド部１１ｃは、チャックテーブル１３のチャック面１３ａの方向に移動されて、副押さえ付けパッド部１１ｃが、角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂを押さえ付けできるようになっている。なお、伸縮シリンダ１４は、図１に示すように通常はシリンダアーム１４ｂをシリンダ本体１４ａ内に収容した状態にして縮めている。このシリンダアーム１４ｂが縮められている状態では、副押さえ付けパッド部１１ｃの押さえ付け面１１１ｃは、主押さえ付けパッド部１１ｂの下面（押さえ付け面１１１ｂ）よりも上方に保持され、角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂと当接しない箇所に配置されている。

【0036】

制御部１００は、ウエハ搬送保持装置１０の全体の動作を制御する中心的処理機能を担うものであり、例えばコンピュータである。この制御部１００には、ウエハ搬送保持装置１０を予め決められた手順に従って制御するプログラムが組み込まれている。そして、制御部１００には、押さえ付け手段１１と、チャックテーブル１３と、ウエハ用真空ライン（図示せず）等が、制御可能に接続されている。

【0037】

図５は、制御部１００がウエハ搬送保持装置１０の全体の動作を制御する処理手順の一例を示すフローチャートである。また、図６から図１１は、図１及び図３に示したウエハ搬送保持装置１０における搬送保持動作の、各動作時の状態を示す図である。そこで、ウエハ搬送保持装置１０の一動作例を、以下、図５に示すフローチャートに従ってステップ１～ステップ６の順に、また図６から図１１の動作状態図を使用して説明する。なお、図５に示す処理手順はあくまでも一例であり、この一例を持って本発明の処理手順が限定されるものではない。

【0038】

（ステップ１）
まず、加工処理前の角型ウエハＷは、図６に示すように、搬送プレート１２に真空吸着されて、押さえ付け手段１１の下側に搬送されて来る。このときの押さえ付け手段１１は、伸縮シリンダ１４のシリンダアーム１４ｂがシリンダ本体１４ａ内に引き込まれて、副押さえ付けパッド部１１ｃの押さえ付け面１１１ｃが、主押さえ付けパッド部１１ｂの押さえ付け面１１１ｂよりも上方に退避された状態になっている。

【0039】

（ステップ２）
次に搬送プレート１２を上昇させ、搬送プレート１２上の角型ウエハＷを押さえ付け手段１１の下面に押さえ付けると共に、搬送プレート１２の角型ウエハＷに対する真空吸着保持が解かれる。また、ほぼ同時に、押さえ付け手段１１における主押さえ付けパッド部１１ｂ側の押さえ付け面１１１ｂが負圧にされ、搬送プレート１２上の角型ウエハＷを主押さえ付けパッド部１１ｂが真空吸着して受け取る。この主押さえ付けパッド部１１ｂによる真空吸着は、角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａを吸着して保持する。また押さえ付け手段１１側に角型ウエハＷが受け渡されたら、搬送プレート１２は下降して初期位置に戻り、次の搬送指令を待つ。これにより、搬送プレート１２から押さえ付け手段１１への、角型ウエハＷの受け渡し作業が終了する。

【0040】

（ステップ３）
搬送プレート１２から角型ウエハＷを受け取った押さえ付け手段１１は、次に図８に示すようにチャックテーブル１３の上方に移動され、さらにチャックテーブル１３のチャック面１３ａに向かって下降される。そして、主押さえ付けパッド部１１ｂは、図９に示すように角型ウエハＷがチャックテーブル１３のチャック面１３ａと当接するまで、副押さえ付けパッド部１１ｃと一緒に下降される。また、この下降により主押さえ付けパッド部１１ｂが角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａをチャックテーブル１３のチャック面１３ａに押さえ付け、まず中央側の領域部分Ｗａをチャック面１３ａに対して密着させる。また、角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａがチャックテーブル１３のチャック面１３ａに押さえ付けられたら、主押さえ付けパッド部１１ｂの角型ウエハＷに対する真空吸着保持が解かれる。

【0041】

（ステップ４）
次いで、制御部１００の制御で伸縮シリンダ１４が操作され、シリンダ本体１４ａからシリンダアーム１４ｂを突き出す。そして、図１０に示すように、シリンダアーム１４ｂが突き出されることにより、副押さえ付けパッド部１１ｃが下降されて、角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂをチャック面１３ａに押さえ付け、外周側の領域部分Ｗｂをチャック面１３ａに対して密着させる。これにより、角型ウエハＷは中央側の領域部分Ｗａに続いて外周側の領域部分Ｗｂもチャックテーブル１３のチャック面１３ａに密着され、角型ウエハＷの全体がチャック面１３ａに対して密に押さえ付けられる。

【0042】

（ステップ５）
また、押さえ付け手段１１の副押さえ付けパッド部１１ｃによる角型ウエハＷのチャック面１３ａへの押さえ付けとほぼ同時に、チャックテーブル１３のチャック面１３ａが負圧にされ、チャックテーブル１３上の角型ウエハＷをチャック面１３ａが真空吸着して受け取る。これにより、押さえ付け手段１１からチャックテーブル１３への、角型ウエハＷの受け渡し作業が終了する。

【0043】

（ステップ６）
そして、角型ウエハＷをチャックテーブル１３のチャック面１３ａに受け渡した押さえ付け手段１１は、制御部１００の制御により伸縮シリンダ１４が、シリンダ本体１４ａ内にシリンダアーム１４ｂを収納するように操作されて、図１１に示すように副押さえ付けパッド部１１ｃの押さえ付け面１１１ｃが主押さえ付けパッド部１１ｂの押さえ付け面１１１ｂよりも上側となるように退避される。また、これとほぼ同時に、押さえ付け手段１１は上昇され、再び搬送プレート１２から角型ウエハＷを受け取ることが可能な位置まで戻される。なお、チャックテーブル１３のチャック面１３ａに受け渡された角型ウエハＷは、所定の加工を終えた後に、別の図示しない搬送プレートにより次の後処理工程へと移動される。そして、これにより、一連の搬送保持処理が終了し、以下、同じ動作が繰り返される。

【0044】

したがって、この実施例によるウエハ搬送保持装置１０によれば、押さえ付け手段１１の主押さえ付けパッド部１１ｂが、角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａをチャック面１３ａに押さえ付けてチャックテーブル１３に密着させた後から、角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂをチャックテーブル１３上に押し付けて密着させているので、チャックテーブル１３上に角型ウエハＷの全面を平たく密着させて配置することができる。すなわち、例えば角型ウエハＷの厚みが薄く、かつ、搬送時に角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗａに反りが発生している状態であっても、角型ウエハＷの中央の領域部分Ｗａをチャック面１３ａに押さえ付けて密着させた後から、外周側の領域部分Ｗｂをチャック面１３ａに押さえて密着させるので、外周側の反りも容易に修正され、角型ウエハＷの全体をチャック面１３ａに平たく密着させて配置することができる。

【0045】

また、押さえ付け手段１１を、角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａをチャックテーブル１３のチャック面１３ａに対して押さえ付ける平面視円板形の主押さえ付けパッド部１１ｂと、主押さえ付けパッド部１１ｂの外周外側に設けられ、主押さえ付けパッド部１１ｂよりも外側に突出している外周側の領域部分Ｗｂである角型ウエハＷの角の隅部をチャック面１３ａに対して押さえ付ける副押さえ付けパッド部１１ｃと、で構成している。したがって、平面視円板状の主押さえ付けパッド部１１ｂの外形（直径）を、例えば平面視円板状をしたウエハの外形（直径）に合わせておけば、角型ウエハＷ以外の円板形をした円型ウエハの搬送保持装置としても使用することができ、装置の共通化が図れる。これにより、コスト向上が可能になる。

【0046】

図１２及び図１３は、ウエハ搬送保持装置１０の一変形例を示し、図１２はそのウエハ搬送保持装置２０の側面図、図１３はウエハ搬送保持装置２０における押さえ付け手段１１の下面構成を模式的に示した平面図である。なお、図１２及び図１３に示すウエハ搬送保持装置２０の構成は、図１から図１１に示した実施例における押さえ付け手段１１の中の副押さえ付けパッド部１１ｃの構成だけを変えたものであり、その他の構成は図１から図１１に示した実施例のウエハ搬送保持装置１０と同一である。したがって、同一の構成部分は同一符号を付して重複説明を省略し、図１から図１１に示した実施例と相違する点について述べる。

【0047】

図１２及び図１３に示すウエハ搬送保持装置２０において、押さえ付け手段１１の副押さえ付けパッド部１１ｃは、主押さえ付けパッド部１１ｂの外周面の外側で、かつ、チャックテーブル１３の四箇所の隅（四隅）、すなわち角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂに各々対応して、略９０度間隔で４つ形成されている。各副押さえ付けパッド部１１ｃは、それぞれ伸縮シリンダ１４を介して本体部１１ａに取り付けられている。各副押さえ付けパッド部１１ｃは、主押さえ付けパッド部１１ｂとの隣接位置からチャックテーブル１３の四隅に向かって連続して移動できるように、本体部１１ａに対して往復移動可能に取り付けられている。

【0048】

また、シリンダアーム１４ｂの先端側には、副押さえ付けパッド部１１ｃとしての転動ローラ２１が取り付けられている。転動ローラ２１は、図１３に示すように、主押さえ付けパッド部１１ｂの中心Ｏと本体部１１ａの四隅の先端１１ｄとを結ぶ仮想線２２に対して略直角に交差する状態にして、本体部１１ａの下面と略平行に配置されている。

【0049】

そして、上記ステップ４において、主押さえ付けパッド部１１ｂが角型ウエハＷを介してチャック面１３ａに当接された後から、制御部１００の制御により、伸縮シリンダ１４がシリンダ本体１４ａからシリンダアーム１４ｂを突き出すように操作されると、副押さえ付けパッド部１１ｃとしての転動ローラ２１が、角型ウエハＷを介してチャックテーブル１３のチャック面１３ａに当接される。また、転動ローラ２１が角型ウエハＷを介してチャック面１３ａに当接された状態で、伸縮シリンダ１４が主押さえ付けパッド部１１ｂと隣接する位置からチャックテーブル１３の四隅に先端に向かって連続して移動されると、伸縮シリンダ１４と一体に転動ローラ２１も転動しながら角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂ上を移動する。そして、この転動ローラ２１の移動により、角型ウエハＷの全体がチャック面１３ａに密に押さえ付けられる。また、この状態でチャック面１３ａが負圧にされると、角型ウエハＷの全体がチャック面１３ａに均された状態にして密に接触される。

【0050】

したがって、この変形例の構成でも、転動ローラ２１が角型ウエハＷの上からチャック面１３ａに押し付けられ、その転動ローラ２１が、角型ウエハＷの中央側の領域部分から角型ウエハＷの角となる隅部の先端に向かって転動されると、角型ウエハＷは中央側から外周側に向かって均されながら、チャック面１３ａに連続して押し付けられて密着されるので、外周側に反りがあってもその反りは容易に修正されて、角型ウエハＷの全体を平たく均してチャック面１３ａに密着させることができる。

【0051】

なお、図１２及び図１３に示した変形例では、押さえ付け手段１１が主押さえ付けパッド部１１ｂと副押さえ付けパッド部１１ｃを備え、副押さえ付けパッド部１１ｃに転動ローラ２１を設けた構造を開示した。しかし、実施するにあたっては、チャックテーブル１３のチャック面１３ａ上に搬送された角型ウエハＷを、角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａの中心Ｏから角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗａの外周まで押し付けながら転動する転動ローラ２１を、それぞれ主押さえ付けパッド部１１ｂと副押さえ付けパッド部１１ｃの両方に設けた構造にしてもよい。すなわち、主押さえ付けパッド部１１ｂに設けた転動ローラ２１は、角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａの中心Ｏから角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａの外周まで押し付けながら転動し、副押さえ付けパッド部１１ｃに設けた転動ローラ２１は、角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂの内周から角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂの外周まで押し付けながら転動するようにして設けてもよい。この場合、主押さえ付けパッド部１１ｂに設けた転動ローラ２１が角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａの外周付近に到達したら、続いて副押さえ付けパッド部１１ｃに設けた転動ローラ２１が角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂの内周から角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂの外周に向かって転動を開始するようにする。

【0052】

さらに、角型ウエハＷの中央側の領域部分Ｗａの中心Ｏから角型ウエハＷの外周側の領域部分Ｗｂの外周まで連続して、チャックテーブル１３のチャック面１３ａ上に角型ウエハＷを押し付けながら転動する転動ローラ２１を主押さえ付けパッド部１１ｂに設けて、副押さえ付けパッド部１１ｃに設ける転動ローラ２１を省略した構造にしてもよい。

【0053】

また、上記各実施例では、角型ウエハＷが正四角形の場合について説明したが、正四角形に限らず、長四角形、三角形、五角形等にも同様にして適用できるものである。

【0054】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記実施例に種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【符号の説明】

【0055】

１０ 角型ウエハの搬送保持装置
１０ａ 受け渡し機構
１１ 押さえ付け手段
１１ａ 本体部
１１ａａ 四隅の先端
１１ｂ 主押さえ付けパッド部
１１１ａ 下面
１１１ｂ 押さえ付け面
１１ｃ 副押さえ付けパッド部
１１１ｃ 押さえ付け面
１２ 搬送プレート
１３ チャックテーブル
１３ａ チャック面
１４ 伸縮シリンダ
１４ａ シリンダ本体
１４ｂ シリンダアーム
２０ 角型ウエハの搬送保持装置
２１ 転動ローラ
２２ 仮想線
Ｗ ウエハ
Ｗａ 中央側の領域部分
Ｗｂ 外周側の領域部分
５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄ 辺
５１ 円
１００ 制御部
Ｏ 中心

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】