特許7167922フォトマスクブランクス、フォトマスク、露光方法、及び、デバイスの製造方法

発明の名称　フォトマスクブランクス、フォトマスク、露光方法、及び、デバイスの製造方法

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 155 位（214件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 129 位（215件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7167922

公報発行日　2022年11月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7167922

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