特許 7169359 レーザチャンバにおける放電性能を調整する装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-01

(45)【発行日】2022-11-10

(54)【発明の名称】レーザチャンバにおける放電性能を調整する装置

(51)【国際特許分類】

   H01S 3/038 20060101AFI20221102BHJP

【ＦＩ】

H01S3/038 Z

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2020535037

(86)(22)【出願日】2018-12-17

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2021-04-30

(86)【国際出願番号】 US2018065959

(87)【国際公開番号】W WO2019143433

(87)【国際公開日】2019-07-25

【審査請求日】2020-08-20

(31)【優先権主張番号】62/618,168

(32)【優先日】2018-01-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】62/666,310

(32)【優先日】2018-05-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】513192029

【氏名又は名称】サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100109346

【弁理士】

【氏名又は名称】大貫 敏史

(74)【代理人】

【識別番号】100117189

【弁理士】

【氏名又は名称】江口 昭彦

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(72)【発明者】

【氏名】ルオ，エドワード，スーチー

(72)【発明者】

【氏名】ウヤズドフスキ，リチャード，カルロ

(72)【発明者】

【氏名】シュー，シュアン

【審査官】大西 孝宣

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６２－２４３３７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２７４４９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６２－１８１４８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－１６７１５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１６８４３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０６３７７５９５（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｓ ３／０３ － ３／０３８

Ｈ０１Ｓ ３／０９７ － ３／０９７９

Ｈ０１Ｓ ３／１０４

Ｈ０１Ｓ ３／１３４

Ｈ０１Ｓ ３／２２ － ３／２２７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

放電チャンバと、
前記放電チャンバ内に配置された第１の電極と、
前記放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、前記第１の電極と前記第２の電極との間で第１の方向に延びる高さと、前記第１の電極と前記第２の電極との間で前記第１の方向を横切る第２の方向に延びる長さとを有する電極ギャップを創出するための第２の電極と、
前記第２の電極に電気的に接続され、各々が、前記第１の方向に延びており且つ前記電極ギャップの横に配置された、複数の導電素子であって、前記第２の方向に延びる列に配列されており、第１の間隔で前記第２の方向に離隔した第１対の隣接する導電素子と、第２の間隔で前記第２の方向に離隔した第２対の隣接する導電素子とを備える、複数の導電素子と、
を備え、
前記複数の導電素子は、第１の導電素子と第２の導電素子とを含み、前記第１の導電素子と前記電極ギャップとの間の第１の距離は、前記第２の導電素子と前記電極ギャップとの間の第２の距離と異なる、装置。

【請求項2】

前記複数の導電素子のうちのいくつかの前記導電素子は、前記電極ギャップの前記長さの中央線を中心に対称に配置される、請求項１の装置。

【請求項3】

前記複数の導電素子は、第１の複数の導電素子を備えると共に、更に、前記第２の電極に電気的に接続され、各々が、前記電極ギャップの前記第１の複数の導電素子とは反対側で、前記第１の方向に延びており且つ前記電極ギャップの横に配置された、第２の複数の導電素子であって、前記第２の方向に延びる第２の列に配列されており、前記第１の間隔で前記第２の方向に離隔した第３対の隣接する導電素子と、前記第２の間隔で前記第２の方向に離隔した第４対の隣接する導電素子とを備える、第２の複数の導電素子を備える、請求項１の装置。

【請求項4】

前記第１の複数の導電素子のうちのいくつかの前記導電素子は、前記電極ギャップの前記長さの中央線を中心に対称に配置され、前記第２の複数の導電素子のうちのいくつかの前記導電素子は、前記電極ギャップの前記長さの中央点を中心に対称に配置される、請求項３の装置。

【請求項5】

前記第１対の隣接する導電素子は、前記電極ギャップを挟んで前記第２対の隣接する導電素子の向かいに配置される、請求項２の装置。

【請求項6】

前記第２の電極の横方向の端部は電気的に絶縁される、請求項１の装置。

【請求項7】

前記第２の電極に電気的に接続された前記複数の導電素子は、前記第２の電極を支持するように配列される、請求項１の装置。

【請求項8】

放電チャンバと、
前記放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、
前記放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、前記第１の方向に延びる第２の電極長を有し、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電極ギャップを定めるように前記第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、
前記第１の電極に電気的に接続され、前記第１の方向に延びる第１の列に配列された第１の複数の容量素子であって、前記第１の複数の容量素子のうちの容量素子の少なくとも１つが、前記第１の複数の容量素子のうち少なくとも１つの他の容量素子とは異なる容量値を有する、第１の複数の容量素子と、
前記第１の電極に電気的に接続され、前記第１の列に平行に前記第１の方向に延びる第２の列に配列された第２の複数の容量素子であって、前記第２の列が前記電極ギャップを挟んで前記第１の列の向かいに配列される、第２の複数の容量素子と、
を備え、
前記第１の列及び前記第２の列は、前記電極ギャップを挟んで対称的ではない、装置。

【請求項9】

前記容量素子のうち少なくとも１つは並列に接続された１対のキャパシタを備える、請求項８の装置。

【請求項10】

放電チャンバと、
前記放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、
前記放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、前記第１の方向に延びる第２の電極長を有し、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電極ギャップを定めるように前記第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、
前記第１の電極に電気的に接続され、前記第１の電極長に平行な第１の列方向で第１の列に配列された第１の列の第１の数Ｘのキャパシタと、
前記第１の電極に電気的に接続され、前記第１の電極長に平行な第２の列方向で第２の列に配列された第２の列の第２の数Ｙのキャパシタであって、前記第２の列が前記電極ギャップを挟んで前記第１の列の向かいに配列される、第２の数Ｙのキャパシタと、
を備える装置において、
Ｘ及びＹは少なくとも４であり、ＸはＹよりも小さく、前記第２の列の１つ目のキャパシタの容量値と前記第２の列の最後のキャパシタの容量値とは互いに等しく且つ前記第２の列の残りのキャパシタの容量値よりも小さく、
前記第１の列及び前記第２の列は、前記電極ギャップを挟んで対称的ではない、装置。

【請求項11】

放電チャンバと、
前記放電チャンバ内に配置された第１の電極と、
前記放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、前記第１の電極と前記第２の電極との間で第１の方向に延びる高さと、前記第１の電極と前記第２の電極との間で前記第１の方向を横切る第２の方向に延びる長さとを有する電極ギャップを創出するための第２の電極と、
前記第２の電極に電気的に接続され、各々が、前記第１の方向に延びており且つ前記電極ギャップの横に配置された、第１の複数の導電素子であって、前記第２の方向に延びる列に配列されており、第１の間隔で前記第２の方向に離隔した第１対の隣接する導電素子と、第２の間隔で前記第２の方向に離隔した第２対の隣接する導電素子とを備える、第１の複数の導電素子と、
前記第２の電極に電気的に接続され、各々が、前記電極ギャップの前記第１の複数の導電素子とは反対側で、前記電極ギャップの横方向である前記第１の方向に延びており且つ前記電極ギャップの横に配置された、第２の複数の導電素子であって、前記第２の方向に延びる第２の列に配列されており、前記第１の間隔で前記第２の方向に離隔した第３対の隣接する導電素子と、前記第２の間隔で前記第２の方向に離隔した第４対の隣接する導電素子とを備える、第２の複数の導電素子と、
前記第１の電極に電気的に接続され、前記第１の方向に延びる第１の列に配列された第１の複数のキャパシタと、
前記第１の電極に電気的に接続され、前記第１の列に平行に前記第１の方向に延びる第２の列に配列された第２の複数のキャパシタであって、前記第２の列が前記電極ギャップを挟んで前記第１の列の向かいに配列されており、前記第２の複数のキャパシタの前記キャパシタのうち少なくとも１つが、前記第２の複数のキャパシタのうち他の少なくとも１つのキャパシタとは異なる容量値を有する、第２の複数のキャパシタと、
を備え、
前記第１の複数の導電素子は、第１の導電素子と第２の導電素子とを含み、前記第１の導電素子と前記電極ギャップとの間の第１の距離は、前記第２の導電素子と前記電極ギャップとの間の第２の距離と異なる、装置。

【請求項12】

前記第１の複数の導電素子のうちのいくつかの前記導電素子は、前記電極ギャップの前記長さの中央線を中心として対称に配置され、前記第２の複数の導電素子のうちのいくつかの前記導電素子は、前記電極ギャップの前記長さの中央点を中心として対称に配置される、請求項１１の装置。

【請求項13】

前記第１の複数のキャパシタのうちのいくつかの前記キャパシタは、前記電極ギャップの前記長さの中央線を中心に対称に配置される、請求項１２の装置。

【請求項14】

前記第１及び第２の複数の導電素子は、前記第２の電極を支持するように配列される、請求項１１の装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
[00001] 本願は、２０１８年５月３日に提出された米国出願第６２／６６６，３１０号及び２０１８年１月１７日に提出された米国出願第６２／６１８，１６８号の優先権を主張するものであり、各出願はその全体が参照により本出願に組み込まれる。

【0002】

[00002] 本願の開示される主題は、集積回路フォトリソグラフィ製造工程に用いられるようなレーザ生成光源に関する。

【背景技術】

【0003】

[00003] エキシマレーザは、スペクトルの深紫外（ＤＵＶ）部の光を生成するために用いられる。例えば、ＤＵＶエキシマレーザチャンバは、Ａｒ－Ｆ２混合ガス中でのパルスキャパシティブ放電を用いて１９３ｎｍのレーザ光を生成する。電極は、典型的には真鍮などの合金で作製されるが、これは放電時に必然的にフッ素化及び浸食して、チャンバの寿命を縮める。放電チャンバモジュールの使用寿命を長くする一つの方策では、アノードを、摩耗を呈さない材料で作製する。アノード材料としての使用に適した材料についての情報は、例えば、２００７年１１月２７日に発行された米国特許第７，３０１，９８０号明細書及び２００４年２月１０日に発行された米国特許第６，６９０，７０６号明細書に見出すことができる。両特許はいずれも、本願の譲受人に譲渡され、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。材料の選択によって電極ひいてはチャンバの寿命を長くすることができる一方で、これらの寿命をさらに伸ばす必要は依然としてある。この点については、２０１３年５月２１日に発行された米国特許第８，４４６，９２８号及び２０１６年１月２６日に発行された米国特許第９，２４６，２９８号明細書を参照されたい。両特許はいずれも、本願の譲受人に譲渡され、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。

【発明の概要】

【0004】

[00004] 以下では、本発明の基本的な理解を提供するために、１つ以上の実施形態の簡易化した概要を提示する。この概要は、考えられる全ての実施形態の広範な概観ではない。また、全ての実施形態の鍵となる要素又は重大な要素を特定することや、いずれか又は全ての実施形態の範囲を詳細に描写することを意図するものではない。唯一の目的は、１つ以上の実施形態のいくつかの概念を、簡易化した形で、後述する詳細な説明の前置きとして提示することである。

【0005】

[00005] 一態様によれば、放電チャンバと、放電チャンバ内に配置された第１の電極と、放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向に延びる高さと、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向を横切る第２の方向に延びる長さとを有する電極ギャップを創出するための第２の電極と、第２の電極に電気的に接続され、各々が電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びている、複数の導電素子であって、第２の方向に延びる列に配列されており、第１の間隔で第２の方向に離隔した第１対の隣接する導電素子と、第１の間隔よりも大きい第２の間隔で第２の方向に離隔した第２対の隣接する導電素子とを備える、複数の導電素子と、を備える装置が開示される。

【0006】

[00006] 複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよい。複数の導電素子は、第１の複数の導電素子と、第２の電極に電気的に接続された第２の複数の導電素子とを備えていてもよく、第２の複数の導電素子の各々は、電極ギャップの第１の複数の導電素子とは反対側で、電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びており、第２の複数の導電素子は、第２の方向に延びる第２の列に配列されており、第２の複数の導電素子は、第１の間隔で第２の方向に離隔した第３対の隣接する導電素子と、第２の間隔で第２の方向に離隔した第４対の隣接する導電素子とを備えている。第１の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよく、第２の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央点を中心に実質的に対称に配置される。第１対の隣接する導電素子は、電極ギャップを挟んで第１対の隣接する導電素子の向かいに配置されてもよい。第１の列の長さ及び第２の列の長さは、電極ギャップの長さと実質的に同延であってもよい。

【0007】

[00007] 第２の電極の横方向の端部は、電気的に絶縁されてもよい。例えば、第２の電極の横方向の端部は放電チャンバの壁から電気的に絶縁されてもよく、又は、第２の電極に機械的に連結され且つ第２の電極を移動させるように配列された機械的な連係があってもよく、機械的な連係は、第２の電極を電気的に絶縁するように配列された絶縁素子を含んでいてもよい。

【0008】

[00008] 別の一態様によれば、放電チャンバと、放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の方向に延びる第２の電極長を有し、第１の電極と第２の電極との間に電極ギャップを定めるように第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、第１の電極に電気的に接続され、第１の方向に延びる第１の列に配列された第１の複数のキャパシタと、第１の電極に電気的に接続され、第１の列に平行に第１の方向に延びる第２の列に配列された第２の複数のキャパシタと、を備える装置であって、第１の複数のキャパシタの数は第２の複数のキャパシタの数と同一である、装置が開示される。

【0009】

[00009] 第１の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよい。第２の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタも、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよい。

【0010】

[00010] 別の一態様によれば、放電チャンバと、放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の方向に延びる第２の電極長を有し、第１の電極と第２の電極との間に電極ギャップを定めるように第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、第１の電極に電気的に接続され、第１の方向に延びる第１の列に配列された複数の容量素子であって、複数の容量素子のうちの容量素子の少なくとも１つが、複数の容量素子のうち少なくとも１つの他の容量素子とは異なる容量値を有する、複数の容量素子と、を備える装置が開示される。容量素子のうち少なくとも１つは、並列に接続された１対のキャパシタを備えていてもよい。

【0011】

[00011] 別の一態様によれば、放電チャンバと、放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の方向に延びる第２の電極長を有し、第１の電極と第２の電極との間に電極ギャップを定めるように第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、第１の電極に電気的に接続され、第１の電極長に実質的に平行な第１の列方向で第１の列に配列された第１の列の第１の数Ｘのキャパシタと、第１の電極に電気的に接続され、第１の電極長に実質的に平行な第２の列方向で第２の列に配列された第２の列の第２の数Ｙのキャパシタと、を備える装置が開示され、ここで、Ｘ及びＹは少なくとも４であり、ＸはＹよりも小さく、第２の列の１つ目のキャパシタの容量値と第２の列の最後のキャパシタの容量値とは互いに等しく且つ第２の列の残りのキャパシタの容量値よりも小さい。

【0012】

[00012] 別の一態様によれば、放電チャンバと、放電チャンバ内に配置された第１の電極と、放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向に延びる高さと、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向を横切る第２の方向に延びる長さとを有する電極ギャップを創出するための第２の電極と、第２の電極に電気的に接続され、各々が電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びている、第１の複数の導電素子であって、第２の方向に延びる列に配列されており、第１の間隔で第２の方向に離隔した第１対の隣接する導電素子と、第１の間隔よりも大きい第２の間隔で第２の方向に離隔した第２対の隣接する導電素子とを備える、第１の複数の導電素子と、第２の電極に電気的に接続され、各々が、電極ギャップの第１の複数の導電素子とは反対側で、電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びている、第２の複数の導電素子であって、第２の方向に延びる第２の列に配列されており、第１の間隔で第２の方向に離隔した第３対の隣接する導電素子と、第２の間隔で第２の方向に離隔した第４対の隣接する導電素子とを備える、第２の複数の導電素子と、第１の電極に電気的に接続され、第１の方向に延びる第１の列に配列された第１の複数のキャパシタと、第１の電極に電気的に接続され、第１の列に平行に第１の方向に延びる第２の列に配列された第２の複数のキャパシタであって、第２の複数のキャパシタのキャパシタのうち少なくとも１つが、第２の複数のキャパシタのうち他の少なくとも１つのキャパシタとは異なる容量値を有する、第２の複数のキャパシタと、を備える装置が開示される。

【0013】

[00013] 第１対の隣接する導電素子は、電極ギャップを挟んで第３対の隣接する導電素子の向かいに配置されてもよい。第１の列の長さ及び第２の列の長さは、電極ギャップの長さと実質的に同延であってもよい。第１の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよい。第１の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよく、第２の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央点を中心に実質的に対称に配置される。第１の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよい。第２の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタも、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置されてもよい。

【0014】

[00014] 本発明の別の実施形態、特徴、及び利点、並びに様々な実施形態の構造及び動作は、添付図面を参照して以下で詳しく記載される。

【図面の簡単な説明】

【0015】

[00015] 本明細書に組み込まれて本明細書の一部を形成する添付図面は、限定ではなく一例として本発明の実施形態の方法及びシステムを説明する。詳細な説明と共に、図面は更に、本明細書に提示されている方法及びシステムの原理を説明するように、また、当業者がこの方法及びシステムを作製し使用できるように機能する。図面において、同様の参照番号は同一の又は機能的に同様の要素を示す。

【0016】

【図1】[00016] 開示される主題の一態様によるフォトリソグラフィシステムの全体的な広い概念の概略図を、正確な縮尺ではなく示す。

【図2】[00017] 開示される主題の一態様による照明システムの全体的な広い概念の概略図を、正確な縮尺ではなく示す。

【図3】[00018] 開示される主題の態様によるエキシマレーザ用放電チャンバの正確な縮尺ではない図式断面である。

【図4A】[00019] 放電チャンバにおける電気部品の配列の斜視図である。

【図4B】[00020] 放電チャンバにおけるキャパシタのレイアウトパターンの平面図である。

【図5A】[00021] 放電チャンバにおける電気部品の配列の端面図である。

【図5B】[00022] 放電チャンバにおける電気部品の配列の側面図である。

【図6A】[00023] 放電チャンバにおいて使用される電流リターンの斜視図である。

【図6B】[00024] 本明細書に開示される一実施形態の態様を組み込んだ電流リターンの斜視図である。

【図7A】[00025] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ放電チャンバにおけるキャパシタのレイアウトパターンの上面図である。

【図7B】[00025] 上面図本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ放電チャンバにおけるキャパシタのレイアウトパターンの上面図である。

【図7C】[00025] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ放電チャンバにおけるキャパシタのレイアウトパターンの上面図である。

【図8A】[00026] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ放電チャンバにおける電気部品の配列の斜視図である。

【図8B】[00027] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ放電チャンバにおけるキャパシタのレイアウトパターンの上面図である。

【図9】[00028] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ電極及び電極支持構造の配列の斜視図である。

【図10A】[00029] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ電極を電極支持に接続するシステムの部分切取側面図である。

【図10B】[00029] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ電極を電極支持に接続するシステムの部分切取側面図である。

【図10C】[00029] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ電極を電極支持に接続するシステムの部分切取側面図である。

【図11A】[00030] 本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ電極を配置するシステムの部分切取側面図である。

【図11B】本明細書に開示される実施形態の態様を組み込んだ電極を配置するシステムの部分切取側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

[00031] これより図面を参照して様々な実施形態について記載する。図面全体を通して、同様の参照番号を用いて同様の要素を示す。以下の記載では、説明の目的で、１つ以上の実施形態の完全な理解を促進するため多数の具体的な詳細事項について述べる。しかしながら、いくつかの場合又はあらゆる場合において、以下に記載されるどの実施形態も、以下に記載される具体的な設計の詳細事項を採用することなく実施できることは明らかであろう。場合によっては、１つ以上の実施形態の記載を容易にするため、周知の構造及びデバイスはブロック図の形態で示されている。以下に、１つ以上の実施形態の基本的な理解を得るため、これらの実施形態の簡略化された概要を提示する。この概要は想定される全ての実施形態の広範にわたる概説でなく、全ての実施形態の重要な又は不可欠な要素を識別することも、任意の又は全ての実施形態の範囲を示すことも意図していない。

【0018】

[00032] 図１を参照すると、フォトリソグラフィシステム１００は照明システム１０５を含む。以下で詳述するように、照明システム１０５は光源を含み、光源は、パルス光ビーム１１０を生成して、それをウェーハ１２０上にマイクロ電子フィーチャをパターニングするフォトリソグラフィ露光装置又はスキャナ１１５に向ける。ウェーハ１２０はウェーハテーブル１２５上に載置される。ウェーハテーブルは、ウェーハ１２０を保持するように構築されると共に、特定のパラメータに従ってウェーハ１２０を正確に配置するように構成されたポジショナに接続されている。

【0019】

[00033] フォトリソグラフィシステム１００は、深紫外（ＤＵＶ）域の波長、例えば２４８ナノメートル（ｎｍ）又は１９３ｎｍの波長を有する光ビーム１１０を用いる。ウェーハ１２０上にパターニング可能なマイクロ電子フィーチャの最小寸法は光ビーム１１０の波長によって決まり、波長が低いほど、より小さな最小フィーチャ寸法がもたらされる。光ビーム１１０の波長が２４８ｎｍ又は１９３ｎｍであるとき、マイクロ電子フィーチャの最小寸法は、例えば５０ｎｍ以下であり得る。光ビーム１１０の帯域幅は、その光スペクトル（又は発光スペクトル）の実際の瞬時帯域幅であってもよく、これは光ビーム１１０の光エネルギが異なる波長にわたってどのように分布しているかについての情報を含む。スキャナ１１５は、例えば１つ以上の集光レンズ、マスク、及び対物レンズ配置を有する光学配置を含む。マスクは、光ビーム１１０の光軸に沿って又は光軸に垂直な平面内でなど、１つ以上の方向に沿って移動可能である。対物レンズ配置は、投影レンズを含み、マスクからウェーハ１２０上のフォトレジストへの画像転写が起こることを可能にする。照明システム１０５は、光ビーム１１０がマスクに入射する角度の範囲を調節する。また、照明システム１０５は、マスク全体の光ビーム１１０の強度分布を均質化する（均一にする）。

【0020】

[00034] スキャナ１１５は、数ある特徴の中でも、リソグラフィコントローラ１３０、空調デバイス、及び様々な電気部品のための電源を含み得る。リソグラフィコントローラ１３０は、ウェーハ１２０上に層がどのように印刷されるのかを制御する。リソグラフィコントローラ１３０は、プロセスレシピなどの情報を格納するメモリを含む。プロセスプログラム又はレシピは、ウェーハ１２０に対する露光の長さを、例えば使用されるマスク、並びに露光に影響を及ぼす他の要因に基づいて、決定する。リソグラフィの際には、光ビーム１１０の複数のパルスがウェーハ１２０の同じ領域を照明して照射量を構成してもよい。

【0021】

[00035] フォトリソグラフィシステム１００は、好適には制御システム１３５も含む。概して、制御システム１３５は、デジタル電子回路、コンピュータハードウェア、ファームウェア、及びソフトウェアのうち１つ以上を含む。制御システム１３５はメモリも含み、このメモリは読み出し専用メモリ及び／又はランダムアクセスメモリであってもよい。コンピュータプログラム命令及びデータを有形に体現するのに適した記憶デバイスは、例えば、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、及びフラッシュメモリデバイスなどの半導体メモリデバイス、内部ハードディスク及びリムーバブルディスクなどの磁気ディスク、光磁気ディスク、並びにＣＤ－ＲＯＭディスクを含む、あらゆる形の不揮発性メモリを含む。

【0022】

[00036] 制御システム１３５は、１つ以上の入力デバイス（キーボード、タッチスクリーン、マイクロフォン、マウス、ハンドヘルド入力デバイスなど）及び１つ以上の出力デバイス（スピーカ又はモニタなど）も含み得る。また、制御システム１３５は、１つ以上のプログラム可能プロセッサ、及び１つ以上のプログラム可能プロセッサによる実行のために機械読み取り可能な記憶デバイスにおいて有形に体現された１つ以上のコンピュータプログラム製品も含む。１つ以上のプログラム可能プロセッサは、入力データ上で動作すること及び適切な出力を生成することによって所望の機能を実施するために、各々が命令のプログラムを実行し得る。一般に、プロセッサはメモリから命令及びデータを受信する。前述のもののいずれかは、特別設計のＡＳＩＣ（特定用途向け集積回路）によって補われるか、又はこれに組み込まれてもよい。制御システム１３５は、一元化されてもよいし、又はフォトリソグラフィシステム１００全体にわたって部分的にもしくは完全に分散していてもよい。

【0023】

[00037] 図２を参照すると、例示的な照明システム１０５は、光ビーム１１０としてパルスレーザビームを生成するパルスレーザ源である。図２は、開示される主題の特定の態様の一実施形態によるガス放電レーザシステムを、例示的にブロック図で示す。ガス放電レーザシステムは、例えば、固体又はガス放電シードレーザシステム１４０、増幅段、例えば電力リング増幅器（「ＰＲＡ」）段１４５、リレー光学部品１５０、及びレーザシステム出力サブシステム１６０を含んでいてもよい。シードシステム１４０は、例えば、主発振器（「ＭＯ」）チャンバ１６５を含んでいてもよい。

【0024】

[00038] シードレーザシステム１４０は、主発振器出力カプラ（「ＭＯ ＯＣ」）１７５も含んでいてもよい。主発振器出力カプラは部分反射性ミラーを備えていてもよく、ライン狭隘化モジュール（「ＬＮＭ」）１７０内の反射格子（図示しない）と共に発振器空洞を形成する。シードレーザ１４０は、この発振器空洞内で、シードレーザ出力パルスを形成するように発振する、すなわち、主発振器（「ＭＯ」）を形成する。システムは、線中心解析モジュール（「ＬＡＭ」）１８０も含み得る。ＬＡＭ１８０は、精細な波長測定のためのエタロンスペクトロメータと、より粗い解像度の格子スペクトロメータとを含んでいてもよい。ＭＯ波面工学ボックス（「ＷＥＢ」）１８５は、ＭＯシードレーザシステム１４０の出力を増幅段１４５の方に方向転換させる働きをしてもよく、例えばマルチプリズムビームエキスパンダ（図示しない）によるビーム拡大と、例えば光遅延経路（図示しない）の形でのコヒーレンス破壊とを含んでいてもよい。

【0025】

[00039] 増幅段１４５は、例えば、発振器であってもよいＰＲＡレーザ発振チャンバ（PRA lasing chamber）２００を含み、これは例えば、ＰＲＡ ＷＥＢ２１０に組み込まれてもよくビーム反転器２２０によってチャンバ２００内の利得媒質を通じて戻るように方向転換されてもよいシードビーム入射及び出力結合光学系（図示しない）によって形成される。ＰＲＡ ＷＥＢ２１０は、部分反射性入力／出力カプラ（図示しない）と、公称動作波長（例えばＡｒＦシステム用に１９３ｎｍ辺り）のための最大反射性ミラーと、１つ以上のプリズムとを組み込んでいてもよい。

【0026】

[00040] 増幅段１４５の出力にある帯域幅解析モジュール（「ＢＡＭ」）２３０は、増幅段からのパルスの出力レーザ光ビームを受けると共に、その光ビームの一部をメトロロジ目的で、例えば出力帯域幅及びパルスエネルギを測定するために、ピックオフしてもよい。パルスのレーザ出力光ビームはその後、光パルスストレッチャ（「ＯＰｕＳ」）２４０と、パルスエネルギメータの位置でもあり得る出力複合オートシャッタメトロロジモジュール（「ＣＡＳＭＭ」）２５０とを通過する。ＯＰｕＳ２４０の一つの目的は、例えば、単一の出力レーザパルスをパルス列に変換することであってもよい。元の単一の出力パルスから創出された二次パルスは、互いに対して遅延されてもよい。元のレーザパルスエネルギを二次パルスの列に分散することによって、レーザの有効パルス長が拡大され得ると同時に、ピークパルス強度が低減され得る。従って、ＯＰｕＳ２４０はＰＲＡ ＷＥＢ２１０からＢＡＭ２３０を介してレーザビームを受け、ＯＰｕＳ２４０の出力をＣＡＳＭＭ２５０に向けることができる。

【0027】

[00041] ＰＲＡレーザ発振チャンバ２００及びＭＯ１６５はチャンバとして構成されており、これらのチャンバ内では、電極間の放電がレーザ発振ガス（lasing gas）中でのレーザ発振ガス放電（lasing gas discharge）を引き起こして、例えばアルゴン、クリプトン、キセノン、及び／又はフッ素を含む高エネルギ分子の反転分布を創出し、当該技術分野において既知であるように、ＬＮＭ１７０において選択される比較的超狭帯域幅（relatively very narrow bandwidth）及び中心波長までライン狭隘化され得る比較的広帯域の放射を生成してもよい。そのようなチャンバ３００の構成が図３に示されている。同図は放電チャンバの高度に様式化された断面図である。チャンバ３００は、カソードとして作用する上部電極３１０と、アノードとして作用する下部電極３２０とを含む。下部電極３２０と上部電極３１０とのうち一方又は両方がチャンバ壁３０５によって定められるチャンバ３００の圧力エンベロープ内に完全に包含されてもよいし、あるいは電極のうち一方はそのように包含されなくてもよい。レーザ発振ガス放電は、これら２つの電極の間で、幅Ａを有するギャップにおいて起こる。図３には、上部絶縁体３１５と下部絶縁体３２５も示されている。下部電極３２０は、タブ３０６でチャンバ３００の壁３０５に電気的に接続されている。従って、下部電極３２０は、チャンバ３００の上半部に電気的に接続されている。安全上の理由から、チャンバ壁３０５及びひいては下部電極３２０は、接地電位に維持するのが望ましい。図３に示される実施形態においては、上部電極３１０は、電圧源３４０によって、下部電極３２０に対して負の電圧で駆動される。

【0028】

[00042] 図３に示されるようにアノードとして作用しているとき、下部電極３２０は、摩耗を呈さない材料で作製されるのが有益であるが、実際には腐食コーティング３３０（「礁」とも称される）を成長させ、その腐食コーディングが下部電極３２０の表面を下部電極３２０が新しいときと実質的に同じ位置に維持する。代替的には、電極は、耐浸食コーティングで被覆されてもよい。コーティング３３０の寸法は、図３では図示のために誇張されている。代替的には、延長可能なアノード３２０が垂直上方に移動して、アノード３２０からの浸食損失を補償する。成長したコーティング３３０は、レーザ発射時に上部電極３１０が浸食するように、上部電極３１０がカソードとして作用しているとき、上部電極には形成されない。なお、上部電極３１０は小さなバンプ３１２を備えている。現行のチャンバでは、この浸食は、特に電極３１０の垂直浸食によってバンプ３１２が完全に浸食されるとき、放電ギャップの寸法Ａの増大及び放電の広がりの両方につながる。

【0029】

[00043] 前述したように、図３には、カソード３１０とアノード３２０との間の放電ギャップにおいて放電を引き起こすパルスを形成する電圧源３４０も示されている。電圧源３４０の出力の極性については記号（－）が示されているが、これは絶対極性ではなく相対極性、すなわち、概して電流リターン３５０及びタブ３０６を通じて接地（０）電位と電気的に接触する下部電極３２０の極性と相対的なものであることが理解されるであろう。電流リターン３５０は、以下で示すようにチャンバ３００内に封入されてもよい。上部電極（カソード３１０）は、大きな（－２０ｋＶ）負の電圧にチャージされる。

【0030】

[00044] 図３には図示されていないが、電源３４０の１つの構成要素は、放電を引き起こすパルスを形成するキャパシタのバンクである。放電を引き起こすパルスを形成するキャパシタは、カソード３１０に近接して設置される。これは図４Ａに図示されており、同図では、１列のキャパシタ３６０がカソード３１０の長手方向の半分の上方に配置されている。図４Ａには図示されていないが、カソード３１０の長手方向のもう半分の上方には、別の１列のキャパシタ３６０が配置されている。これは図４Ｂに図示されている。図４Ａ及び４Ｂには、チャンバ３００の外部から内部へ電力を伝達する１列のフィードスルーアセンブリ３７０も示されている。従って、ピーク容量の合計設計値は、非対称的にレイアウトされた２列の平行なキャパシタ３６０によって達成される。なお、カソード３１０及びアノード３２０は、図４Ａにおいてはいずれも矩形の断面を有するものとして図示されている。これは単に図をより容易に理解可能なものとするためである。当業者であれば、これらの電極は概してそれぞれ多数の形のうちいずれか１つを有し得ることがわかるであろう。キャパシタ３６０はソケット３６５内に固定される。図４Ｂは、空のソケット３６５を図示している。

【0031】

[00045] やはり図３に図示されていないのが、電流リターン３５０のための「胸郭」のような構造である。図４Ａ及び図６Ａにはこれが図示されている。従来の電流リターン３５０は、図示されるように、均等に間隔を空け、等しく寸法決めされた、金属の電流リターンワイヤ３５５から作製される。ワイヤ３５５は、アノード３２０の下にあるプレート３５７に接続される。ワイヤ３５５は、電流バス３５８にも接続される。図４Ａには、下部電極３２０の端部をチャンバ３００の壁３０５に電気的に接続するタブ３０６のうちの一方も図示されている。

【0032】

[00046] 図４Ａには図示されていないが、プレート３５７の反対側には別の１列のワイヤが接続され、それらのワイヤは電流バスに接続されている。一方の列中の各ワイヤ３５５は他方の列中の対応するワイヤ３５５と対称的に配列されているので、ワイヤ３５５は対になり、各対がカソード３１０と、放電領域と、アノード３２０との断片を囲んでいる。概略的な断面である図５Ａにこれが図示されている。高電圧供給３７５は、キャパシタ３６０からカソード３１０に電圧を供給する。カソード３１０とアノード３２０との間の放電ギャップにおいて放電３１８が発生すると、放電３１８からの電流は、アノード３２０と、プレート３５７と、リターンワイヤ３５５と、電流バス３５８とを通って接地に流れる。リターンワイヤ３５５の各対は、カソード３１０、アノード３２０、及び放電領域３１８の領域Ｄをひとまとめにする。タブ３０６は、図５Ａでは視認されないが、図５Ｂには見られる。図６Ａは、プレート３５７、リターンワイヤ３５５、及び電流バス３５８の物理的な配列も図示している。

【0033】

[00047] 概して、従来の設計では、電流リターン３５０の長手方向の範囲は実際の放電３１８の長さとは無関係である。電流リターン３５０の長手方向の範囲は、実際の放電の長さより長くても短くてもよい。例えば、図５Ｂに図示されるように、ワイヤ３５５の対のうちいくつかは、放電３１８の長手方向の両端部を越えて位置している。従来の設計では、電流リターンワイヤ３５５の対向する対（一方の部材が一方の列、対応する部材が他方の列にある）によってひとまとめにされた領域Ｄ（図５Ａに図示されている）は、アノード３２０の長さに沿って同一である。また、従来の設計では、同じ列内の隣り合った電流リターンワイヤ３５５間の距離（ピッチ）はアノード３２０の長さに沿って同一であり、その距離は調整又は最適化することなしに任意に一定のものとして選択される。放電は長さ約５５ｃｍ、高さ約１３．５ｍｍ、幅約３ｍｍである。

【0034】

[00048] 略言すれば、従来の設計においては、チャンバの内部ジオメトリは電気的に局所レベルに同調されない。ピーキングキャパシタや電流経路などの素子は、積分値（integral value）が基本的なチャンバ性能全体を有効にするように、しかしコンポーネントの選択及び設置が局所的に最適化されないように設計される。また、既存の技術は、最適な放電性能に合わせて電気的に調整されないピーキングキャパシタ（Ｃｐｋ）のレイアウトも含む。具体的には、チャンバの片側に空いているソケット（図４Ｂの空のソケット３６５）があってもよい。

【0035】

[00049] この新しい実施形態においては、電流リターンは、長手方向の範囲及び平均間隔、局所的な電流リターン間隔、及び区切られた領域という３つのカテゴリの設計変数によって調整可能である。

【0036】

[00050] これらを順に考えると、長手方向の範囲及び平均間隔に関しては、ワイヤ３５５の長手方向の範囲は、図５Ｂ及び図６Ｂに図示される通り、放電が最適化されるように選択されてもよい。放電に対する電流リターン範囲の長さを増大又は減少させることにより、両端部における局所的な放電電流が変化するであろう。最適な局所的放電には最適な電流リターン範囲長さが存在する。

【0037】

[00051] 局所的な電流リターン間隔に関しては、特定の電流リターン間の局所的な間隔は、残りのワイヤ３５５の間隔が全て同一にならないで、いくつかのワイヤ３５５はより広い間隔Ｂを有するギャップによって分離され、他はより狭い間隔Ｃを有するギャップによって分離され、ＢはＣに等しくないように選択されてもよい。間隔の幅を変えることにより、局所的な放電電流が変化する。

【0038】

[00052] 区切られた領域に関しては、図５Ａにおいて、領域Ｄは、ワイヤ３５５、アノード３２０、放電３１８、カソード３１０、高電圧供給３７５、及びキャパシタ３６０を含む電流経路によって区切られる。電気的なリターン経路を包含する領域Ｄは、局所的な放電３１８に影響を及ぼすように局所的に調節又は「調整」され得る。例えば、電流リターンワイヤ３５５は、図５Ａに破線のワイヤ３５５ａ及び３５５ｂによって示される通り、放電３１８に接近するように又は放電３１８から離隔するように移動され、従って領域Ｄを変化させてもよい。これは図５Ａの右側に関連して図示されているが、同様の再構成が左側に対して行われ得ることは理解されるであろう。Ｄの寸法は局所的な放電電流に影響を及ぼす。よって、局所的な電流は、Ｄの変動に伴って精細に調整され得る。

【0039】

[00053] キャパシタについては、その物理的な配列の対称性が、放電、特に寿命末期の動作の改善を促進する。従って、キャパシタは、対称的な容量分布を可能にするように配列されるのが有利である。これは、カスタマイズされた値を有するキャパシタを使用すること、並びに、局所的に最適化された放電を達成するべく容量を局所的に調整するようにキャパシタ及び空乏を戦略的に設置することによって達成可能である。

【0040】

[00054] 図４Ｂに図示される設計と比較して、図７Ａ，７Ｂ，及び７Ｃは、他の可能なジオメトリを図示している。図７Ａは、キャパシタ３６０の第１列３８０とキャパシタ３６２の第２列３８２との対称的な配列を示しており、各列は同数（図中の例では１４個だが、他の数が用いられてもよい）のキャパシタを有していて、キャパシタの値は総容量が所望の設計値になるように選択される。キャパシタ３６０及びキャパシタ３６２は全てが同一の値を有していてもよく、その場合、その配列の容量は、放電領域３１８の長手軸３１８ａ及び短手軸３１８ｂについて対称的に分布するであろう。また、キャパシタ３６２の容量とは異なる容量を有するキャパシタ３６０を用いることによって、異なる容量分布を有する配列を達成することが可能であり、その結果、容量が、放電領域３１８の長手軸３１８ａについては非対称的に及び短手軸３１８ｂを挟んで対称的に分布する配列がもたらされる。

【0041】

[00055] 配列は、放電領域３１８について対称的である。図７Ｂは、各列が同数のキャパシタを有する２列のキャパシタが用いられる対称的な配列を備えた配列を示しており、キャパシタの値は総容量が所望の設計値になるように選択される。もっとも、図７Ｂの配列においてはより少ないキャパシタが用いられ、同じ総容量が達成され得るように、各々がより高い値を有している。そして、図７Ｂの配列では、放電領域３１８を越えるキャパシタがより少ない。

【0042】

[00056] 図７Ｃの配列は、１列のキャパシタ３６０及び１列のキャパシタ３６２を特色とするもので、キャパシタ３６２の列の両端のキャパシタ３６４は、列内の他のキャパシタ３６２の容量とは異なる容量を有している。図７Ｃの配列は、放電領域３１８の長手軸３１８ａを挟んで対称的ではないが、長手軸３１８ａに沿って対称的である。図７Ｃの配列は、より少ないキャパシタを用いること、又は、第１の容量を有するいくつかのキャパシタと第１の容量とは異なる第２の容量を有するいくつかのキャパシタとを用いることによって、容量を調整する能力を発揮する。

【0043】

[00057] さらに、個々の容量が同一である２つのキャパシタは、直列接続されると、個々のキャパシタ各々の容量の半分の容量を示すであろう。従って、値が同一の合計で２７個のキャパシタを用いて所望の総容量を達成する図４Ｂの設計の対称性は、２対の直列接続されたキャパシタを用いて単一の従来のキャパシタと同一の値を達成することによって、改善され得る。そのような配列が図８Ａ及び８Ｂに示されている。これにより、２７個のキャパシタの総容量に一致する、３０個のキャパシタの一群（並列の２６個のキャパシタ３６０と、２対の直列キャパシタ４００であって他の２６個と並列でもある）がもたらされる。すると、この３０個の一群は対称的にレイアウトすることが可能であり、２対の直列にスタックされたキャパシタ４００は放電３１８の長手方向に対称的に位置する。

【0044】

[00058] 当業者であれば、例えばキャパシタの位置、スタックされたキャパシタの位置、空隙又は異なる値のキャパシタによって定義される容量分布は最高の放電性能になるように操作及び調整され得ること、並びに、可能な変形は上記で提供された特定の例によって限定されはしないことを理解するであろう。

【0045】

[00059] また、図９に図示されるように、下部電極３２０は、例えば留め具３０８によってチャンバ３００に固定されたタブ３０６によって支持される。この点については、２０１１年８月９日に発行された米国特許第７，９９５，６３７号明細書を参照されたい。同特許は本願の譲受人に譲渡され、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。同様に、図１０Ａは、留め具３０８、例えばねじ付きボルトによって支持要素３１６に接続されたタブ３０６を有する下部電極３２０を示す。また、タブ３０６を支持要素３１６に固定するのに必要又は便利であろうワッシャ３０９及びねじ付きナット３１４のような追加的な金具も図示されている。支持要素３１６はチャンバ３００に接続される。概して、タブ３０６及び留め具３０８は、下部電極３２０の端部からチャンバ３００への導電経路を確立する材料で作製される。もっとも、下部電極３２０の端部はチャンバ３００から電気的に絶縁するのが有利であろう。この点については、２００７年３月９日に公開された米国特許出願公開第２００７／００７１０５８号明細書を参照されたい。同出願は、本願の譲受人に譲渡され、その全体が参照により本明細書に組み込まれるものであり、アノード支持及びチャンバ壁電流経路を除去してリーフ化（reefing）を促進することを提案している。この電流経路は、チャンバ内部を空間的に調整するための方策としても除去され得る。

【0046】

[00060] 例えば、図１０Ｂに示すように、タブ３０６と支持要素３１６との間の機械的接続は、タブ３０６を支持構造３１６から電気的に絶縁するインサートによって補足されてもよい。図１０Ｂは、協働してタブ３０６を支持構造３１６から隔離する、上部インサート部３２２と下部インサート部３２４とからなるインサートを示している。図１０Ｃは、タブ３０６がプラスチック又はセラミック材料などの絶縁材料で作製されている配列を示す。プラスチック材料は、ポリテトラフルオロエチレンであってもよい。また、留め具３０８は絶縁材料で作製されてもよく、タブ３０６と支持要素３１６との間に絶縁層が設置されてもよい。

【0047】

[00061] いくつかの配列においては、電極３２０の端部は、電極３２０の垂直位置を変化させる機械的な連係システムに接続される。この点については、２０１３年９月３日に発行された米国特許第８，５２６，４８１号及び２０１３年５月２１日に発行された米国特許第８，４４６，９２８号明細書を参照されたい。両特許はいずれも、本願の譲受人に譲渡され、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。そのようなシステムが図１１Ａに示されている。このシステムにおいては、アクチュエータ５２０によって移動されるレバー５１０が、電極３２０を支持する電極支持棒５００を昇降させる。これらの構成要素もやはり、典型的には、電極３２０の端部からチャンバ３００の壁への導電経路を提供する材料で作製される。しかしながら、電極３２０の端部がチャンバ３２０の壁から電気的に絶縁されることが望まれる場合には、この経路は、例えばレバー５１０とアクチュエータ５２０との間に絶縁体５３０を介在させることによって遮断され得る。

【0048】

[00062] また、電極３２０の端部における何らかの機械的又は電気的接続の必要は、システム内の他の構成要素を電極３２０のための物理的な支持を提供するように改変することによって回避することが可能である。そうでなければ、そのような物理的支持は、端部タブを電極に機械的に固定することによって提供されるであろう。例えば、再び図６Ａを参照すると、電流リターン３５０は、タブの使用が回避できるように、プレート３５７上に配置される電極の十分な支持を提供するべく、物理的に十分に強く作製され得る。他の方策と同様、これにより、タブ３０６を通じた短い電流リターン経路が除去されるであろう。

【0049】

[00063] このように、本明細書に開示されるのは、チャンバ内部ジオメトリの設計と、電極、電流リターン、及びキャパシタなどチャンバ内の構成要素の設置及び分布と、構成要素の一部の選択的な電気的隔離とを含む方策のいずれか１つ又は組み合わせを用いた局所的な電気的調整によって使用寿命が延ばされる、レーザ放電チャンバである。

【0050】

[00064] 上記の記載は複数の実施形態の例を含む。むろん、上述の実施形態を説明する目的のために全ての想定されるコンポーネント又は方法の組み合わせを記載することはできないが、当業者には、様々な実施形態の多くの別の組み合わせ及び並べ替えが可能であることは認められよう。従って、記載される実施形態は、添付の特許請求の範囲の精神及び範囲内に該当する全てのそのような修正、変更、及び変形を包含することが意図される。更に、「含む（includes）」という用語が詳細な説明又は特許請求の範囲で用いられる限りにおいて、そのような用語は、「備える（comprising）」という用語が請求項で移行語として用いられる場合に解釈されるのと同様に、包含的である（inclusive）ことが意図される。更に、記載される態様及び／又は実施形態の要素は単数で記載又は特許請求され得るが、単数に対する限定が明示的に述べられていない限り複数が想定される。更に、特に明記しない限り、任意の態様及び／又は実施形態の全て又は一部は他の任意の態様及び／又は実施形態の全て又は一部と共に利用され得る。

【0051】

[00065] 本発明の他の態様は、以下の番号が付けられた条項に示される。
１．放電チャンバと、
放電チャンバ内に配置された第１の電極と、
放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向に延びる高さと、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向を横切る第２の方向に延びる長さとを有する電極ギャップを創出するための第２の電極と、
第２の電極に電気的に接続され、各々が電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びている、複数の導電素子であって、第２の方向に延びる列に配列されており、第１の間隔で第２の方向に離隔した第１対の隣接する導電素子と、第１の間隔よりも大きい第２の間隔で第２の方向に離隔した第２対の隣接する導電素子とを備える、複数の導電素子と、
を備える装置。
２．複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項１の装置。
３．複数の導電素子は、第１の複数の導電素子を備えると共に、更に、第２の電極に電気的に接続され、各々が、電極ギャップの第１の複数の導電素子とは反対側で、電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びている、第２の複数の導電素子であって、第２の方向に延びる第２の列に配列されており、第１の間隔で第２の方向に離隔した第３対の隣接する導電素子と、第２の間隔で第２の方向に離隔した第４対の隣接する導電素子とを備える、第２の複数の導電素子を備える、条項１の装置。
４．第１の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置され、第２の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央点を中心に実質的に対称に配置される、条項３の装置。
５．第１対の隣接する導電素子は、電極ギャップを挟んで第１対の隣接する導電素子の向かいに配置される、条項２の装置。
６．第１の列の長さ及び第２の列の長さは、電極ギャップの長さと実質的に同延である、条項２の装置。
７．第２の電極の横方向の端部は電気的に絶縁される、条項１の装置。
８．放電チャンバは壁を備え、第２の電極の横方向の端部は放電チャンバの壁から電気的に絶縁される、条項７の装置。
９．第２の電極に機械的に連結され且つ第２の電極を移動させるように配列された機械的な連係を更に備える装置であって、機械的な連係は、第２の電極を電気的に絶縁するように配列された絶縁素子を備える、条項７の装置。
１０．第２の電極に電気的に接続された複数の導電素子は、第２の電極を支持するように配列される、条項１の装置。
１１．放電チャンバと、
放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、
放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の方向に延びる第２の電極長を有し、第１の電極と第２の電極との間に電極ギャップを定めるように第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、
第１の電極に電気的に接続され、第１の方向に延びる第１の列に配列された第１の複数のキャパシタと、
第１の電極に電気的に接続され、第１の列に平行に第１の方向に延びる第２の列に配列された第２の複数のキャパシタと、
を備える装置において、
第１の複数のキャパシタの数は第２の複数のキャパシタの数と同一である、装置。
１２．第１の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項１１の装置。
１３．第２の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項１２の装置。
１４．第２の電極の横方向の端部は放電チャンバの壁から電気的に絶縁される、条項１１の装置。
１５．第２の電極に電気的に接続され第２の電極を支持するように配列された複数の導電素子を更に備える、条項１１の装置。
１６．放電チャンバと、
放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、
放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の方向に延びる第２の電極長を有し、第１の電極と第２の電極との間に電極ギャップを定めるように第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、
第１の電極に電気的に接続され、第１の方向に延びる第１の列に配列された複数の容量素子であって、複数の容量素子のうちの容量素子の少なくとも１つが、複数の容量素子のうち少なくとも１つの他の容量素子とは異なる容量値を有する、複数の容量素子と、
を備える装置。
１７．容量素子のうち少なくとも１つは並列に接続された１対のキャパシタを備える、条項１６の装置。
１８．放電チャンバと、
放電チャンバ内に配置された第１の電極であって、第１の方向に延びる第１の電極長を有する第１の電極と、
放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の方向に延びる第２の電極長を有し、第１の電極と第２の電極との間に電極ギャップを定めるように第１の電極に対して離隔した関係で配列された第２の電極と、
第１の電極に電気的に接続され、第１の電極長に実質的に平行な第１の列方向で第１の列に配列された第１の列の第１の数Ｘのキャパシタと、
第１の電極に電気的に接続され、第１の電極長に実質的に平行な第２の列方向で第２の列に配列された第２の列の第２の数Ｙのキャパシタと、
を備える装置において、
Ｘ及びＹは少なくとも４であり、ＸはＹよりも小さく、第２の列の１つ目のキャパシタの容量値と第２の列の最後のキャパシタの容量値とは互いに等しく且つ第２の列の残りのキャパシタの容量値よりも小さい、装置。
１９．放電チャンバと、
放電チャンバ内に配置された第１の電極と、
放電チャンバ内に配置された第２の電極であって、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向に延びる高さと、第１の電極と第２の電極との間で第１の方向を横切る第２の方向に延びる長さとを有する電極ギャップを創出するための第２の電極と、
第２の電極に電気的に接続され、各々が電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びている、第１の複数の導電素子であって、第２の方向に延びる列に配列されており、第１の間隔で第２の方向に離隔した第１対の隣接する導電素子と、第１の間隔よりも大きい第２の間隔で第２の方向に離隔した第２対の隣接する導電素子とを備える、第１の複数の導電素子と、
第２の電極に電気的に接続され、各々が、電極ギャップの第１の複数の導電素子とは反対側で、電極ギャップの横方向である第１の方向に実質的に延びている、第２の複数の導電素子であって、第２の方向に延びる第２の列に配列されており、第１の間隔で第２の方向に離隔した第３対の隣接する導電素子と、第２の間隔で第２の方向に離隔した第４対の隣接する導電素子とを備える、第２の複数の導電素子と、
第１の電極に電気的に接続され、第１の方向に延びる第１の列に配列された第１の複数のキャパシタと、
第１の電極に電気的に接続され、第１の列に平行に第１の方向に延びる第２の列に配列された第２の複数のキャパシタであって、第２の複数のキャパシタのキャパシタのうち少なくとも１つが、第２の複数のキャパシタのうち他の少なくとも１つのキャパシタとは異なる容量値を有する、第２の複数のキャパシタと、
を備える装置。
２０．第１対の隣接する導電素子は、電極ギャップを挟んで第３対の隣接する導電素子の向かいに配置される、条項１９の装置。
２１．第１の列の長さ及び第２の列の長さは、電極ギャップの長さと実質的に同延である、条項１９の装置。
２２．第１の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項１９の装置。
２３．第１の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央線を中心として実質的に対称に配置され、第２の複数の導電素子のうちのいくつかの導電素子は、電極ギャップの長さの中央点を中心として実質的に対称に配置される、条項１９の装置。
２４．第１の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項２３の装置。
２５．第２の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項２３の装置。
２６．第１の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項２３の装置。
２７．第２の複数のキャパシタのうちのいくつかのキャパシタは、電極ギャップの長さの中央線を中心に実質的に対称に配置される、条項１９の装置。
２８．第２の電極の横方向の端部は電気的に絶縁される、条項１９の装置。
２９．第１及び第２の複数の導電素子は、第２の電極を支持するように配列される、条項１９の装置。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図8A】

【図8B】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図10C】

【図11A】

【図11B】