特許 7174316 荷重分散板

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-09

(45)【発行日】2022-11-17

(54)【発明の名称】荷重分散板

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20221110BHJP

【ＦＩ】

H01L21/66 B

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2018032065

(22)【出願日】2018-02-26

(65)【公開番号】P2019149407

(43)【公開日】2019-09-05

【審査請求日】2020-12-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(72)【発明者】

【氏名】長島 秀明

【審査官】綿引 隆

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１９４９４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－３１１３１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１８１６３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１８３４９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１５０１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３２６４３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０６９４２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１８１４６１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６４

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

プローバを支持する支持脚部に設けられ、前記支持脚部と床面との間に設置される荷重分散板であって、
前記荷重分散板は、複数のセルが区画形成された隔壁を有するハニカム構造板を有し、
前記荷重分散板は、前記支持脚部が固定される金具を有し、
前記荷重分散板のうち前記金具が固定される固定位置を含む一部の領域に前記ハニカム構造板が備えられ、前記一部の領域を除く他の領域には、前記荷重分散板を前記床面に固定するための孔が形成される、
荷重分散板。

【請求項2】

前記セルの断面形状は六角形以上である、
請求項１に記載の荷重分散板。

【請求項3】

前記荷重分散板は、前記ハニカム構造板の前記床面側の面に裏板が設けられる、
請求項１または２に記載の荷重分散板。

【請求項4】

前記荷重分散板は、前記ハニカム構造板の前記床面とは反対側の面に表板が設けられる、
請求項１または２に記載の荷重分散板。

【請求項5】

前記床面はグレーチング構造である、
請求項１から４のいずれか１項に記載の荷重分散板。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハに形成された複数のチップの電気的特性の検査を行うプローバ及びこのプローバを床面に設置するための荷重分散板に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工程は、多数の工程を有し、品質保証及び歩留まりの向上のために、各種の製造工程で各種の検査が行われる。例えば、半導体ウェーハに複数のチップ（半導体装置とも言う。）が形成された段階で、ウェーハレベル検査が行われる。

【0003】

ウェーハレベル検査は、各チップの電極パッドにプローブを接触させるプローバを使用して行われる（例えば、特許文献１参照）。プローブは、テストヘッドの端子に電気的に接続されており、テストヘッドからプローブを介して各チップに電源及びテスト信号を供給するとともに、各チップからの出力信号を検出して正常に動作するかを測定する。

【0004】

半導体製造工程においては、製造コストを低減するために、ウェーハの大型化と一層の微細化（集積化）が進められており、１枚のウェーハに形成されるチップの個数が非常に多くなってきている。それに伴って、プローバでの１枚のウェーハの検査に要する時間も長くなっており、スループットの向上が求められている。そこで、スループットの向上を図るため、多数のプローブを設けて複数個のチップを同時に検査できるようにするマルチプロービングが行われている。

【0005】

一方、スループットを向上させるもっとも簡単な方法として、プローバの台数を増加させることが考えられるが、プローバの台数を増加させると、製造ラインにおけるプローバの設置面積も増加するという問題が生じる。また、プローバの台数を増加させると、その分だけ装置コストも増加する。そのため、設置面積の増加と装置コストの増加を抑えてスループットを向上させることが求められている。

【0006】

このような問題に対し、特許文献２には、多段状に積層された複数の測定部を有するプローバが開示されている。このプローバは、複数の測定部が多段状に積層された積層構造を有する。このため、ウェーハレベル検査を測定部毎に行うことができるので、設置面積の増加と装置コストの増加を抑えてスループットを向上させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２００９－６００３７号公報

【文献】特開２０１４－１５０１６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

ところでプローバは、通常、プローバ本体（筐体）の底部に複数本の支持脚部（例えば、レベルパッド）が設けられている。プローバは、これらの支持脚部を介して半導体工場のクリーンルームの床に設置されるが、クリーンルームの床はグレーチング構造のものが多い。グレーチング構造の床は、コンクリート製の床と比較して耐荷重が低い。

【0009】

このようなグレーチング構造の床に、特許文献２のような高さ方向に大型化したプローバを設置した場合、支持脚部から床にかかるプローバの荷重が増加する。グレーチング構造の床には、単位面積当たりの許容荷重が設定されているが、支持脚部の接地部分ではその許容荷重を局所的に超えてしまう場合がある。

【0010】

このような局所的な荷重印加を避けるため、支持脚部と床との間に支持脚部の接地面積よりも面積の大きい金属板（例えば、厚さ１０ｍｍのアルミニウム板、又は厚さ５ｍｍのステンレス板などの金属板）を敷設することが考えられる。このような金属板を使用することにより、グレーチング構造の床にかかるプローバの荷重が分散するので、床の単位面積当たりにかかる荷重を減らすことができる利点がある。

【0011】

しかしながら、プローバの重量がかなり大きなものになると、その荷重に耐え得るように金属板の厚さを厚くせざるを得ないため、金属板の重量も無視できなくなる。例えば、１ｍ^２の金属板を敷設すると想定した場合、厚さ１０ｍｍのアルミニウム板の重量は２７ｋｇとなり、厚さ５ｍｍのステンレス板の重量は４０ｋｇとなる。このため、プローバの荷重を金属板によって分散することができても、金属板を含むプローバの総重量によってグレーチング構造の床の許容荷重を超えてしまうという懸念があった。

【0012】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、プローバの荷重を効果的に分散することができる軽量な荷重分散板及びその荷重分散板を備えたプローバを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の荷重分散板は、本発明の目的を達成するために、プローバを支持する支持脚部と床面と、の間に設置される荷重分散板であって、荷重分散板は、複数のセルが区画形成された隔壁を有するハニカム構造板を有する。

【0014】

本発明の荷重分散板の一形態は、セルの断面形状は六角形以上であることが好ましい。

【0015】

本発明の荷重分散板の一形態は、ハニカム構造板の床面側の面に裏板が設けられることが好ましい。

【0016】

本発明の荷重分散板の一形態は、ハニカム構造板の床面とは反対側の面に表板が設けられることが好ましい。

【0017】

本発明のプローバは、本発明の目的を達成するために、プローバを支持する支持脚部に、本発明の荷重分散板が備えられている。

【0018】

本発明のプローバの一形態は、多段状に積層された複数の測定部を有することが好ましい。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、プローバの荷重を効果的に分散することができる軽量な荷重分散板及びその荷重分散板を備えたプローバを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の一実施形態に係るプローバの全体構成を示した外観図

【図2】図１に示したプローバを示した平面図

【図3】図１の測定ユニットの内部構造を示した測定ユニットの正面図

【図4】図１の測定ユニットの内部構造を示した測定ユニットの側面図

【図5】測定部の構成を示した概略図

【図6】検査開始可能な状態の測定部を示した概略図

【図7】荷重分散板の構成を示した斜視図

【図8】支持脚部を床に直接設置した場合に床にかかるプローバの荷重を説明した説明図

【図9】支持脚部と床との間に金属板を敷設した場合に床にかかるプローバの荷重を説明した説明図

【図10】実施形態の荷重分散板を介して支持脚部を床に設置した場合に床にかかるプローバの荷重を説明した説明図

【図11】荷重分散板の他の一例を示した斜視図

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について説明する。

【0022】

図１は、本発明の実施形態に係るプローバ１０の全体構成を示した外観図である。図２は、図１に示したプローバ１０の平面図である。

【0023】

図１及び図２に示すように、実施形態のプローバ１０は、クリーンルームの床であるグレーチング構造の床１００の床面に、荷重分散板１０２を介して設置される。図１に示す荷重分散板１０２は、本発明の荷重分散板の一例であり、この荷重分散板１０２については後述する。

【0024】

プローバ１０は、検査するウェーハＷ（図５参照）を供給及び回収するローダ部１４と、ローダ部１４に隣接して配置され、複数の測定部１６を有する測定ユニット１２とを備えている。測定ユニット１２では、ローダ部１４から各測定部１６にウェーハＷが供給されると、各測定部１６でそれぞれウェーハＷの各チップの電気的特性の検査（ウェーハレベル検査）が行われる。そして、各測定部１６で検査されたウェーハＷはローダ部１４により回収される。ローダ部１４及び測定ユニット１２は、筐体３０（図３及び図４参照）に収容されている。なお、プローバ１０は、操作パネル２１、及び各部を制御する制御装置（不図示）なども備えている。

【0025】

ローダ部１４は、ウェーハカセット２０が載置されるロードポート１８と、測定ユニット１２の各測定部１６とウェーハカセット２０との間でウェーハＷを搬送する搬送ユニット２２とを有する。搬送ユニット２２は、図示しない搬送ユニット駆動機構を備えており、Ｘ方向及びＺ方向に移動可能に構成されるとともに、θ方向（Ｚ方向周り）に回転可能に構成されている。また、搬送ユニット２２は、搬送アーム２４を備えており、上記搬送ユニット駆動機構により搬送アーム２４を前後に伸縮させることが可能となっている。搬送アーム２４の上面部には図示しない吸着パッドが設けられており、搬送アーム２４は、この吸着パッドでウェーハＷの裏面を真空吸着してウェーハＷを保持する。これにより、ウェーハカセット２０内のウェーハＷは、搬送ユニット２２の搬送アーム２４によって取り出され、その上面に保持された状態で測定ユニット１２の各測定部１６に搬送される。また、検査の終了した検査済みのウェーハＷは逆の経路で各測定部１６からウェーハカセット２０に戻される。

【0026】

図３及び図４は、図１の測定ユニット１２の内部構造を示した図である。図３は測定ユニット１２を正面側（ローダ部１４側）から見た図であり、図４は測定ユニット１２を側面側から見た図である。

【0027】

図３及び図４に示すように、測定ユニット１２は、複数の測定部１６が多段状に積層された積層構造を有しており、各測定部１６はＸ方向及びＺ方向に沿って２次元的に配列されている。実施形態では、一例として、Ｘ方向に４台の測定部１６がＺ方向に３段積み重ねられた測定ユニット１２が示されている。このため、このような測定ユニット１２を有する実施形態のプローバ１０は、高さ方向に大型化した構造となっている。

【0028】

測定ユニット１２は、複数のフレームを格子状に組み合わせた格子形状を有する筐体３０を備えている。すなわち、この筐体３０は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向にそれぞれ延びる複数のフレームを格子状に組み合わせて構成されたものであり、これらのフレームで囲まれた空間部は略直方体形状になっている。そして、この空間部に測定部１６の構成要素が配置される。

【0029】

また、筐体３０の底部３０Ａには、筐体３０を荷重分散板１０２に設置する複数本の支持脚部３２が設けられている。この支持脚部３２はレベルパッドで構成されており、グレーチング構造の床１００に対する筐体３０の水平及び高さ方向を容易に調整することが可能となっている。

【0030】

図５は、測定部１６の構成を示した概略図である。

【0031】

図５に示すように、各測定部１６は、いずれも同一の構成を有しており、ウェーハＷを保持するウェーハチャック５０と、ヘッドステージ５２と、テストヘッド５４と、プローブカード５６と、テストヘッド５４とプローブカード５６との間に介在するポゴフレーム５８とを備えている。

【0032】

テストヘッド５４は、不図示の支持部材によってヘッドステージ５２の上方に支持されている。テストヘッド５４は、プローブカード５６のプローブ６６に電気的に接続され、電気的検査のために各チップに電源及びテスト信号を供給するとともに、各チップからの出力信号を検出して正常に動作するかを測定する。

【0033】

ヘッドステージ５２は、筐体３０の一部を構成するフレーム部材３４に支持されており、ポゴフレーム５８の平面形状に対応した円形状の開口からなるポゴフレーム取付部５３を有する。ポゴフレーム取付部５３は位置決めピン６３を有しており、ポゴフレーム５８は位置決めピン６３により位置決めされた状態でポゴフレーム取付部５３に固定される。

【0034】

ポゴフレーム５８は、テストヘッド５４の下面（ポゴフレーム５８に対向する面）に形成される各端子とプローブカード５６の上面（ポゴフレーム５８に対向する面）に形成される各端子とを電気的に接続する多数のポゴピン（不図示）を備えている。また、ポゴフレーム５８の上面（テストヘッド５４に対向する面）及び下面（プローブカード５６に対向する面）の外周部には、それぞれリング状のシール部材６０、６２が設けられている。そして、図示しない吸引手段により、テストヘッド５４とポゴフレーム５８とシール部材６０で囲まれた空間、及びプローブカード５６とポゴフレーム５８とシール部材６２で囲まれた空間が減圧されることにより、テストヘッド５４、ポゴフレーム５８、及びプローブカード５６が一体化される。

【0035】

プローブカード５６は、ウェーハＷの各チップの電極に対応した多数のプローブ６６を有する。各プローブ６６は、プローブカード５６の下面（ウェーハチャック５０に対向する面）から下方に向けて突出して形成されており、プローブカード５６の上面（ポゴフレーム５８に対向する面）に設けられる各端子に電気的に接続されている。したがって、テストヘッド５４、ポゴフレーム５８、及びプローブカード５６が一体化されると、各プローブ６６は、ポゴフレーム５８の各ポゴピンを介してテストヘッド５４の各端子に電気的に接続される。なお、本例のプローブカード５６は、検査するウェーハＷの全チップの電極に対応した多数のプローブ６６を備えており、各測定部１６ではウェーハチャック５０に保持されたウェーハＷの全チップの同時検査が行われる。

【0036】

ウェーハチャック５０は、一例として真空吸着によりウェーハＷを吸着して固定する。ウェーハチャック５０は、アライメント装置７０に着脱自在に支持され、アライメント装置７０によってＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動可能となっている。また、ウェーハチャック５０の上面（ウェーハ載置面）の外周部にはリング状のシール部材６４が設けられている。そして、図示しない吸引手段により、プローブカード５６とウェーハチャック５０とシール部材６４で囲まれた空間が減圧されることにより、ウェーハチャック５０がプローブカード５６に向かって引き寄せられる。これにより、図６の如く、プローブカード５６の各プローブ６６がウェーハＷの各チップの電極パッドに接触して検査を開始可能な状態となる。

【0037】

実施形態のプローバ１０は、既述したように、複数の測定部１６が多段状に積層された積層構造の測定ユニット１２（図３及び図４参照）を有していることから、高さ方向に大型化した構造となっている。このため、このプローバ１０をグレーチング構造の床１００（図１参照）に直接設置した場合、各支持脚部３２の接地部分では床１００の許容荷重を局所的に超えてしまう場合がある。そこで、実施形態のプローバ１０は、床１００のプローバ１０の設置エリアに荷重分散板１０２を敷設し、この荷重分散板１０２に支持脚部３２を接地して固定することで、床１００にかかるプローバ１０の荷重を分散している。つまり、実施形態のプローバ１０は、各支持脚部３２に荷重分散板１０２が設けられ、この荷重分散板１０２を介して床１００に設置可能な構成となっている。

【0038】

図７は、荷重分散板１０２の構成を示した斜視図である。この荷重分散板１０２は、 ハニカム構造板１０６と、ハニカム構造板１０６の一方の面に配置した表板１０４Ａと、ハニカム構造板１０６の他方の面に配置した裏板１０４Ｂとから構成される。すなわち、この荷重分散板１０２は、ハニカム構造板１０６を表板１０４Ａ及び裏板１０４Ｂにより挟持した積層構造（サンドイッチ構造）により構成される。

【0039】

ハニカム構造板１０６、表板１０４Ａ及び裏板１０４Ｂとしては、アルミニウム、ステンレス等の金属板を用いることができる。また、ハニカム構造板１０６、表板１０４Ａ及び裏板１０４Ｂは同一材料で構成されていてもよいし、異種材料で構成されていてもよい。なお、表板１０４Ａ及び裏板１０４Ｂは、所定の機械的強度（例えば、曲げ剛性等の剛性）を確保できるものであれば、金属板以外の素材（例えば、樹脂材等）を用いることもできる。

【0040】

ハニカム構造板１０６には、複数のセル１０６Ａが区画形成された隔壁（リブ）１０６Ｂが設けられている。各セル１０６Ａは、ハニカム構造板１０６の両面を貫通した孔により構成されている。また、各セル１０６Ａの断面形状は６角形となっている。なお、各セル１０６Ａの断面形状は、３角形状以上の多角形、特に６角形状の多角形であることが好ましい。これにより、ハニカム構造板１０６に所定の荷重分散機能を持たすことができる。

【0041】

このような積層構造を有する荷重分散板１０２によれば、例えば金属板のみで構成されるものに比べて、所定の曲げ剛性を確保しつつ、荷重分散板１０２を軽量化することができるので、床１００の許容荷重を超えることなくプローバ１０を安定して床１００に設置することが可能となる。

【0042】

なお、実施形態では、好ましい態様の一例として、荷重分散板１０２は、ハニカム構造板１０６の両面に表板１０４Ａ及び裏板１０４Ｂを配置した構成を示したが、これに限らない。例えば、荷重分散板１０２は、ハニカム構造板１０６のみで構成されていてもよい。また、ハニカム構造板１０６にいずれか一方の面に表板１０４Ａ又は裏板１０４Ｂを配置した構成であってもよい。このような変形例の荷重分散板１０２であっても、軽量化が図れることはもちろん、また、床１００の許容荷重を超えることなくプローバ１０を安定して床１００に設置することができる。

【0043】

ここで、実施形態の荷重分散板１０２と、例えば金属板のみで構成される荷重分散板との荷重について比較する。例えば、従来のアルミニウム板とステンレス板に対し、曲げ剛性が等しくなるように実施形態の荷重分散板１０２を構成した場合、実施形態の荷重分散板１０２は、アルミニウム板よりも１／７の重量で構成することができ、ステンレス板よりも１／１１の重量で構成することができる。

【0044】

したがって、実施形態の荷重分散板１０２によれば、従来の金属板の曲げ剛性を確保しつつ、軽量化を図ることができる。また、実施形態のプローバ１０によれば、プローバ１０の支持脚部３２に、ハニカム構造板１０６を有する荷重分散板１０２が設けられているので、プローバ１０から床１００にかかるプローバ１０の荷重を効果的に分散し、かつ軽量な荷重分散板１０２を備えたプローバ１０を提供することができる。

【0045】

なお、実施形態の荷重分散板１０２を使用すれば、以下の効果も期待できる。

【0046】

すなわち、曲げ剛性を基準とすると、荷重分散板１０２の厚さを、アルミニウム板及びステンレス板の厚さよりも大幅に薄くすることができる。このため、実施形態の荷重分散板１０２を使用すれば、プローバ１０の高さ方向の寸法制約に有利になる。また、厚さの薄い荷重分散板１０２をプローバ１０に設けることにより、装置全体としての重心が下がるため、荷重分散板１０２を含んだ装置全体としての振動に対して有利になる。

【0047】

一方で、荷重分散板１０２の厚さを、上記の曲げ剛性を基準した場合の厚さよりも厚くすると、実施形態の荷重分散板１０２は、アルミニウム板及びステンレス板よりも遥かに高い曲げ剛性を得ることができる。

【0048】

以下、床１００にかかるプローバ１０の荷重について図面を参照して説明する。

【0049】

図８に示す概略図は、プローバ１０の支持脚部３２を床１００に直接設置した場合に、床１００にかかるプローバ１０の荷重を説明した図である。また、図８では、荷重の大きさを矢印で示している。また、図８の二点鎖線で示すラインＣは、床１００の許容荷重を示しており、図８において矢印で示した荷重の大きさがラインＣよりも上方の場合には、その荷重が許容荷重以下であることを示し、矢印で示した荷重の大きさがラインＣよりも下方の場合には、その荷重が許容荷重を超えたことを示している。なお、以下に説明する図９及び図１０でも同様である。

【0050】

図８に示すように、支持脚部３２が接地されている床１００の接地部分にプローバ１０の荷重が集中してかかり、接地部分で床１００の許容荷重を超える許容荷重超過部Ａが生じるという問題がある。

【0051】

図９に示す概略図は、支持脚部３２と床１００との間にアルミニウム板又はステンレス板などの金属板１１０を敷設した場合に、床１００にかかるプローバ１０の荷重を説明した図である。このような金属板１１０を使用することにより、床１００にかかるプローバ１０の荷重が分散するので、床１００の単位面積当たりにかかる荷重を減らすことができる。なお、図９の二点鎖線で示すラインＤは、床１００にかかる金属板１１０の荷重を示している。

【0052】

しかしながら、プローバ１０の重量がかなり大きなものになると、その荷重に耐え得るように金属板１１０の厚さを厚くせざるを得ず、その重量も大きくなる。このため、プローバ１０の荷重を金属板１１０によって分散することができても、金属板１１０を含むプローバ１０の総重量により、支持脚部３２の接地部分で許容荷重超過部Ａが生じるという問題がある。

【0053】

図１０に示す概略図は、プローバ１０の支持脚部３２を、実施形態の荷重分散板１０２を介して床１００に設置した場合に、床１００にかかるプローバ１０の荷重を説明した図である。なお、図１０の二点鎖線で示すラインＥは、床１００にかかる荷重分散板１０２の荷重を示している。

【0054】

図１０に示すように、ハニカム構造板１０６（図７参照）を有する荷重分散板１０２をプローバ１０に備えることにより、プローバ１０から床１００にかかるプローバ１０の荷重を効果的に分散することができる。しかも荷重分散板１０２は厚さが薄く軽量なので、支持脚部３２の接地部分で許容荷重超過部Ａが生じるという問題を解消することができる。

【0055】

以上の如く、実施形態のプローバ１０によれば、軽量化された荷重分散板１０２を備えているので、高さ方向に大型化した構造に特化した問題、換言すればグレーチング構造の床１００の許容荷重を超えるという問題を解消することができる。また、プローバ１０を１つの荷重分散板１０２を介して床１００に設置した構成に限らず、複数の荷重分散板１０２を介して床１００に設置してもよい。例えば、１又は複数の支持脚部３２毎に荷重分散板１０２を設けてもよい。

【0056】

図１１は、荷重分散板１０２の他の一例を示した斜視図である。図１１の荷重分散板１０２は、複数枚（図１１では６枚）の荷重分散板１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄ、１０２Ｅ、１０２Ｆを隙間なく敷き詰めることにより構成される。

【0057】

荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆは、その全領域にハニカム構造板１０６（図７参照）が配置されておらず、領域Ｂで示すＨ字状又は十字状の領域に配置されている。領域Ｂには、耐震固定金具１１２が固定されており、また領域Ｂを除く領域にはスリット状の孔１１４が複数形成されている。耐震固定金具１１２には、支持脚部３２が固定され、孔１１４には、荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆをグレーチング構造の床１００に固定するための固定金具が挿入される。

【0058】

つまり、図１１に示す荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆは、その全領域のうち必要な領域Ｂ（例えば、耐震固定金具１１２の固定位置を含む領域）のみにハニカム構造板１０６を備えればよいことを示している。ここで、荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆの荷重分散能力を高めるためには、荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆの全領域にハニカム構造板１０６を備えることが好ましい。しかしながら、荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆは実質的に床１００に固定されて使用されるため、荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆには、前述の固定金具を挿入する孔１１４を形成する必要がある。荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆのうち孔１１４の形成領域にハニカム構造板１０６を配置した場合、孔１１４から挿入した固定金具がハニカム構造板１０６に干渉するので好ましくない。

【0059】

そこで、実施形態の荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆは、孔１１４の形成領域にはハニカム構造板１０６を配置しない構成として固定金具の挿入を簡易化しつつ、孔１１４の形成領域を除く領域Ｂのみにハニカム構造板１０６を配置して荷重分散能力を得るように構成されている。なお、孔１１４の形成領域には、表板１０４Ａ（図７参照）及び裏板１０４Ｂが存在しているので、荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆ全体としての荷重分散能力は十分に維持されている。

【0060】

また、図１１の如く、複数枚の荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆによって荷重分散板１０２を構成すれば、１枚の大型な荷重分散板１０２と比較して荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆの取り扱いが容易になる。これにより、床１００に対する荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆの施工性が向上する。また、複数枚の荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆのうち、プローバ１０の大きさ（底部３０Ａの表面積）に対応した枚数の荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆを選択すればよいので、荷重分散板１０２Ａ～１０２Ｆの汎用性が向上するという利点もある。

【0061】

以上、本発明のプローバについて説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。例えば、本発明の荷重分散板は、多段状に積層された複数の測定部１６を有するプローバ１０に限定されず、１台の測定部を有するプローバにも備えることができる。

【符号の説明】

【0062】

１０…プローバ、１２…測定ユニット、１４…ローダ部、１６…測定部、１８…ロードポート、２０…ウェーハカセット、２１…操作パネル、２２…搬送ユニット、２４…搬送アーム、３０…筐体、５０…ウェーハチャック、５２…ヘッドステージ、５４…テストヘッド、５６…プローブカード、５８…ポゴフレーム、６０…シール部材、６２…シール部材、６４…シール部材、６６…プローブ、１００…グレーチング構造の床、１０２…荷重分散板、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄ、１０２Ｅ、１０２Ｆ…荷重分散板、１０４…面部材、１０６…ハニカム構造板、１１０…金属板、１１２…耐震固定金具、１１４…孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】