特許7174625ＥＵＶリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法、メンブレンアセンブリ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法

発明の名称　ＥＵＶリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法、メンブレンアセンブリ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 169 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 348 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7174625

公報発行日　2022年11月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7174625

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