特許7178944ステージ装置

発明の名称　ステージ装置

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7178944

公報発行日　2022年11月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7178944

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