特許 7179635 蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-11-18

(45)【発行日】2022-11-29

(54)【発明の名称】蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20221121BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20221121BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20221121BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 A

H05B33/10

H05B33/14 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2019022380

(22)【出願日】2019-02-12

(65)【公開番号】P2020128585

(43)【公開日】2020-08-27

【審査請求日】2021-11-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】110003339

【氏名又は名称】弁理士法人南青山国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100104215

【弁理士】

【氏名又は名称】大森 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100196575

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 満

(74)【代理人】

【識別番号】100168181

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 哲平

(74)【代理人】

【識別番号】100144211

【弁理士】

【氏名又は名称】日比野 幸信

(72)【発明者】

【氏名】梅原 政司

(72)【発明者】

【氏名】倉田 敬臣

【審査官】末松 佳記

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－０１７０５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０２５３４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１２／０８６４５３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００４－１３７５８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－００３１２２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／２４

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

蒸着材料が収容される第１室と、加熱機構が設けられ前記第１室の上に設けられ前記蒸着材料が噴出する噴出ノズルに連通する第２室とを有する蒸発容器と、
前記蒸発容器内において前記第１室と前記第２室とを画定し、前記第１室と前記第２室とが連通する複数の孔部を有し、前記複数の孔部の少なくとも１つが前記第１室から前記第２室に向かう第１方向に対して傾いて配置された分散板と
を具備し、
前記分散板は、０．５ｍｍ以上２００ｍｍ以下の厚みを有する一枚の金属板から構成され、
前記分散板を上面視した場合、前記第１方向に対して傾いて配置された孔部において、前記第１室に対面する第１開口部と、前記第２室に対面する第２開口部とが前記第１方向において重複してない
蒸着源。

【請求項2】

請求項１に記載の蒸着源であって、
前記蒸発容器は、第１方向に直交する第２方向における長さよりも、前記第１方向及び第２方向と直交する第３方向における長さのほうが長く構成され、
前記第３方向に、前記複数の孔部が並設されている
蒸着源。

【請求項3】

請求項１または２に記載の蒸着源であって、
前記分散板を上面視した場合、前記複数の孔部の開口部は、円状、楕円状、または前記第２方向に延在するスリット状に構成されている
蒸着源。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１つに記載の蒸着源であって、
前記分散板は、前記蒸発容器内の前記第２室において前記第１方向に対して傾いた方向に前記蒸着材料を分散させる
蒸着源。

【請求項5】

蒸着材料が収容される第１室と、加熱機構が設けられ前記第１室の上に設けられ前記蒸着材料が噴出する噴出ノズルが設けられた第２室とを有する蒸発容器と、前記蒸発容器内において前記第１室と前記第２室とを画定し、前記第１室と前記第２室とが連通する複数の孔部を有し、前記複数の孔部の少なくとも1つが前記第１室から前記第２室に向かう第１方向に対して傾いて配置された分散板とを有する蒸着源と、
前記蒸着源を収容する真空容器と
を具備し、
前記分散板は、０．５ｍｍ以上２００ｍｍ以下の厚みを有する一枚の金属板から構成され、
前記分散板を上面視した場合、前記第１方向に対して傾いて配置された孔部において、前記第１室に対面する第１開口部と、前記第２室に対面する第２開口部とが前記第１方向において重複してない
真空処理装置。

【請求項6】

請求項５に記載の真空処理装置であって、
前記分散板は、前記蒸発容器内の前記第２室において前記第１方向に対して傾いた方向に前記蒸着材料を分散させる
真空処理装置。

【請求項7】

蒸着材料が収容される第１室と、加熱機構が設けられ前記第１室の上に設けられ前記蒸着材料が噴出する噴出ノズルが設けられた第２室とを有する蒸発容器と、前記蒸発容器内において前記第１室と前記第２室とを画定し、前記第１室と前記第２室とが連通する複数の孔部を有し、前記複数の孔部の少なくとも1つが前記第１室から前記第２室に向かう第１方向に対して傾いて配置され、０．５ｍｍ以上２００ｍｍ以下の厚みを有する一枚の金属板から構成され、上面視した場合、前記第１方向に対して傾いて配置された孔部において、前記第１室に対面する第１開口部と、前記第２室に対面する第２開口部とが前記第１方向において重複してない分散板とを具備する蒸着源を用い、
前記蒸着材料を基板に蒸着する
蒸着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

真空処理装置の中には、蒸着源と基板とを対向させ、蒸着源の噴出ノズルから蒸着材料を噴出させて、蒸着材料を基板に蒸着するタイプのものがある。

【0003】

このような真空処理装置では、蒸着源内における蒸着材料の蒸気圧を均一にするために、蒸着源の底部に滞留する蒸着材料と噴出ノズルとの間に複数枚の分散板を配置する場合がある。

【0004】

複数枚の分散板が蒸着材料と噴出ノズルとの間に介在することにより、例えば、蒸着源内での蒸着材料の蒸気の整流性が良好になり、噴出ノズル直下での蒸着源内における蒸着材料の蒸気圧分布が均一になる。これにより、基板には均一な厚みの蒸着材料が形成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】国際公開２０１８／０２５６３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、蒸着源内に複数枚の分散板を配置して蒸着材料の蒸気圧分布の均一化を図る構成は複雑になり、さらに、複数の分散板が幾重にも重なるため、複数の分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスを高めることができなくなる。このため、蒸着源の温度を高く設定しても蒸着材料の蒸着速度が頭打ちになる場合がある。特に、蒸着材料が有機物である場合には、なるべく低温度で所望の蒸着速度が得られることが望ましい。

【0007】

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、簡便な構成で良好な蒸着材料の整流性を生み出し、蒸着材料のコンダクタンスがより増加する蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る蒸着源は、蒸発容器と、分散板とを具備する。
上記蒸発容器は、蒸着材料が収容される第１室と、上記第１室の上に設けられ上記蒸着材料が噴出する噴出ノズルに連通する第２室とを有する。
上記分散板は、上記蒸発容器内において上記第１室と上記第２室とを画定し、上記第１室と上記第２室とを連通させる複数の孔部を有し、上記複数の孔部の少なくとも１つが上記第１室から上記第２室に向かう第１方向に対して傾いて配置される。

【0009】

このような蒸着源によれば、分散板が蒸発容器内を第１室と第２室とに画定し、分散板が第１室と第２室とを連通させる複数の孔部を有し、複数の孔部の少なくとも１つが第１室から第２室に向かう第１方向に対して傾いて配置される。これにより、簡便な構成の分散板によって良好な蒸着材料の整流性が生み出され、分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが向上する。

【0010】

蒸着源においては、上記蒸発容器は、第１方向に直交する第２方向における長さよりも、上記第１方向及び第２方向と直交する第３方向における長さのほうが長く構成され、上記第３方向に、上記複数の孔部が並設されてもよい。

【0011】

このような蒸着源によれば、簡便な構成の分散板によって良好な蒸着材料の整流性が生み出され、分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが向上する。

【0012】

蒸着源においては、上記分散板を上面視した場合、上記複数の孔部の開口部は、円状、楕円状、または上記第２方向に延在するスリット状に構成されてもよい。

【0013】

このような蒸着源によれば、簡便な構成の分散板によって良好な蒸着材料の整流性が生み出され、分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが向上する。

【0014】

蒸着源においては、上記分散板を上面視した場合、上記第１方向に対して傾いて配置された孔部において、上記第１室に対面する第１開口部と、上記第２室に対面する第２開口部とが上記第１方向において重複してなくてもよい。

【0015】

このような蒸着源によれば、簡便な構成の分散板によって良好な蒸着材料の整流性が生み出され、分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが向上する。

【0016】

蒸着源においては、上記分散板は、一枚の金属板により構成されてもよい。

【0017】

このような蒸着源によれば、簡便な構成の分散板によって良好な蒸着材料の整流性が生み出され、分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが向上する。

【0018】

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る真空処理装置は、上記蒸着源と、真空容器とを具備する。
上記真空容器は、上記蒸着源を収容する。

【0019】

このような真空処理装置によれば、簡便な構成の分散板によって良好な蒸着材料の整流性が生み出され、分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが向上する。

【0020】

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る蒸着方法では、上記蒸着源が用いられ、上記蒸着材料が基板に蒸着される。

【0021】

このような蒸着方法によれば、簡便な構成の分散板によって良好な蒸着材料の整流性が生み出され、分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが向上する。

【発明の効果】

【0022】

以上述べたように、本発明によれば、簡便な構成で良好な蒸着材料の整流性を生み出し、蒸着材料のコンダクタンスがより増加する蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本実施形態に係る真空処理装置の模式的断面図である。

【図2】図（ａ）は、蒸着源の模式的断面図である。図（ｂ）は、蒸着源の模式的上面図である。

【図3】図（ａ）は、分散板の変形例の模式的断面図である。図（ｂ）は、分散板の変形例の模式的上面図である。

【図4】分散板の別の変形例の模式的上面図である。

【図5】蒸着源の変形例の模式的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。各図面には、ＸＹＺ軸座標が導入される場合がある。また、同一の部材または同一の機能を有する部材には同一の符号を付す場合があり、その部材を説明した後には適宜説明を省略する場合がある。

【0025】

図１は、本実施形態に係る真空処理装置の模式的断面図である。

【0026】

真空処理装置１は、真空容器１０と、基板搬送機構２０と、蒸着源３０とを具備する。真空処理装置１は、蒸着材料３０ｍを基板９０に蒸着する蒸着装置である。

【0027】

真空容器１０は、減圧状態を維持できる容器である。真空容器１０は、排気機構７０によって、その内部の気体が排気される。真空容器１０を基板搬送機構２０から蒸着源３０に向かう方向（以下、Ｚ軸方向）に上面視したときの平面形状は、例えば、矩形状である。

【0028】

真空容器１０は、基板搬送機構２０、蒸着源３０等を収容する。真空容器１０には、ガスを供給することが可能なガス供給機構が取り付けられてもよい。また、真空容器１０には、その内部の圧力を計測する圧力計が取り付けられてもよい。また、真空容器１０には、基板９０に形成された膜の蒸着速度等を間接的に計測する膜厚計が設けられてもよい。

【0029】

基板搬送機構２０は、真空容器１０の上部に位置する。基板搬送機構２０は、Ｚ軸方向において蒸着源３０に対向する。基板搬送機構２０は、基板９０を保持する基板ホルダ９１を支持しつつ、基板９０及び基板ホルダ９１をＹ軸方向に搬送する。すなわち、基板９０と蒸着源３０との相対位置が変化しながら、基板９０に蒸着材料３０ｍが蒸着される。基板９０は、例えば、矩形状の大型ガラス基板である。また、基板９０と蒸着源３０との間には、マスク部材９２が設けられてもよい。例えば、図１の例では、基板９０の蒸着源３０と対向する面（蒸着面）にマスク部材９２が設けられる。

【0030】

なお、基板搬送機構２０は、蒸着源３０の側に設けられていてもよい。この場合、固定された基板９０に対して、蒸着源３０を搬送する搬送機構とを走査することにより、基板９０と蒸着源３０との相対位置が変化して、基板９０に蒸着材料３０ｍが蒸着される。

【0031】

蒸着源３０は、真空容器１０の下部に位置する。蒸着源３０は、蒸発容器３１（坩堝）と、噴出ノズル３２と、加熱機構３３と、分散板３４Ａと、カバー３５とを有する。蒸着源３０は、Ｚ軸方向において基板９０に対向する。蒸着源３０は、例えば、図示しない支持台に固定されている。

【0032】

蒸発容器３１は、基板９０が搬送される方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延在する。蒸発容器３１をＺ軸方向から上面視した場合、その外形は、例えば、長方形である。Ｘ軸方向における蒸発容器３１の長さは、Ｙ軸方向の長さよりも長い。蒸発容器３１は、１つに限らず、例えば、Ｙ軸方向に複数並設されてもよい。この場合、複数の蒸発容器３１のそれぞれは、互いに平行になってＹ軸方向に並ぶことになる。

【0033】

複数の蒸発容器３１が真空容器１０に配置された場合、複数の蒸発容器３１のそれぞれには、種類が異なる蒸着材料３０ｍを充填することができる。これにより、基板９０に、層によって材料が異なる積層膜、層において異種の材料が混合した混合膜等を形成することができる。なお、蒸着材料３０ｍは、例えば、有機物、金属等である。

【0034】

また、蒸発容器３１の上面部には、複数の噴出ノズル３２が設けられている。複数の噴出ノズル３２のそれぞれは、所定の間隔を隔てて、Ｘ軸方向に並設されている。複数の噴出ノズル３２は、基板９０に対向する。一例として、複数の噴出ノズル３２は、例えば、Ｘ軸方向における基板９０の幅よりも狭い領域に配置されている。

【0035】

また、Ｘ軸方向に並ぶ複数の噴出ノズル３２においては、例えば、両側または両側近傍に配置された噴出ノズル３２は、基板９０に背くように傾斜している。図１の例では、両側に配置された噴出ノズルを噴出ノズル３２１と表記している。例えば、噴出ノズル３２１の中心軸３２ｃは、Ｚ軸方向と交差している。なお、本実施形態では、噴出ノズル３２１を含めた複数の噴出ノズルのそれぞれを総括的に"噴出ノズル３２"と呼称する。

【0036】

加熱機構３３は、蒸発容器３１の外側に配置されている。加熱機構３３は、蒸発容器３１の底部及び側部を囲んでいる。加熱機構３３は、誘導加熱方式または抵抗加熱方式の加熱機構である。蒸発容器３１に収容された蒸着材料３０ｍが加熱機構３３によって加熱されると、蒸着材料３０ｍが複数の噴出ノズル３２から基板９０に向けて噴出する。また、加熱機構３３は、カバー３５に覆われている。これにより、加熱機構３３によって蒸発容器３１に効率よく加熱される。

【0037】

また、蒸着源３０には、複数の噴出ノズル３２のそれぞれを加熱する加熱機構を設けてもよい。これにより、複数の噴出ノズル３２が所定の温度となり、蒸着材料３０ｍの噴出ノズル３２における目詰まりが抑制される。

【0038】

分散板３４Ａは、蒸発容器３１の内部に配置される。分散板３４Ａは、例えば、一枚の厚い金属板により構成される。分散板３４Ａを含めた蒸着源３０の詳細を図２（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。

【0039】

図２（ａ）は、蒸着源の模式的断面図である。図２（ｂ）は、蒸着源の模式的上面図である。図２（ａ）は、図２（ｂ）のＡ－Ａ'断面図である。また、図２（ｂ）では、蒸着源３０の内部を示すために、図２（ａ）に図示された蒸発容器３１を覆う防着板３６（天板３６とも言う。）が図示されていない。

【0040】

蒸発容器３１は、蒸着材料３０ｍが収容される第１室３１１（下部室）と、第１室３１１の上に設けられた第２室３１２（上部室）とを有する。第１室３１１から第２室３１２に向かう方向をＺ軸方向（第１方向）とした場合、蒸発容器３１は、例えば、Ｚ軸方向に直交するＹ軸方向（第２方向）における長さよりも、Ｚ軸方向及びＹ軸方向と直交するＸ軸方向（第３方向）における長さのほうが長く構成されている。

【0041】

分散板３４Ａは、蒸発容器３１の内部に設けられる。分散板３４Ａは、蒸発容器３１内に設けられた固定部３７により、蒸発容器３１内に固定される。分散板３４Ａは、蒸発容器３１内において第１室３１１と、第２室３１２とを画定（区分）する。第１室３１１には、蒸着材料３０ｍが充填される。第２室３１２の上部には、蒸着材料３０ｍが噴出する噴出ノズル３２が設けられる。第２室３１２は、複数の噴出ノズル３２に連通する。複数の噴出ノズル３２は、防着板３６に配置される。

【0042】

また、分散板３４Ａには、第１室３１１と第２室３１２とが連通する複数の孔部３４１、３４２が設けられている。複数の孔部３４１、３４２は、Ｘ軸方向に並設されている。複数の孔部３４１、３４２の少なくとも１つは、Ｚ軸方向に対して傾いて配置されている。図２（ａ）の例では、複数の孔部３４１のそれぞれが下から上に基板９０の外側に向かって傾き、複数の孔部３４２のそれぞれが下から上に基板９０の外側に向かって傾いている。また、複数の孔部３４２は、複数の孔部３４１とは反対側に傾いている。複数の孔部３４１、３４２が分散板３４Ａに設けられたことにより、第１室３１１で蒸発した蒸着材料３０ｍの蒸気が複数の孔部３４１、３４２を介して第２部屋３１２に進行し、さらに噴出ノズル３２を介して蒸着源３０外に飛び出ていく。

【0043】

例えば、Ｘ軸方向に蒸発容器３１を２分する中心線Ｃｘに対して、複数の孔部３４１と複数の孔部３４２とは、線対称に配置されている。例えば、噴出ノズル３２が中心線Ｃｘに対して線対称に配置されていない場合、複数の孔部３４１と、複数の孔部３４２とは、非対称に配置されてもよい。孔部３４１の中心軸と中心線Ｃｘとがなす角は、複数の孔部３４１において同じであってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より広角となってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より狭角となってもよい。孔部３４２の中心軸と中心線Ｃｘとがなす角は、複数の孔部３４２において同じであってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より広角となってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より狭角となってもよい。また、該なす角は、複数個の孔部ごとに、中心線Ｃｘから離れるほどより広角またはより狭角になってもよい。

【0044】

一例として、図２（ａ）には、該なす角が中心線Ｃｘから離れるほどより広角になる例が示されている。

【0045】

分散板３４Ａを上面視した場合、孔部３４１の上下の開口部３４１ａ、３４１ｂは、Ｙ軸方向に延在する。また、分散板３４Ａを上面視した場合、孔部３４２の上下の開口部３４２ａ、３４２ｂは、Ｙ軸方向に延在する。すなわち、開口部３４１ａ、３４１ｂ、３４２ａ、３４２ｂは、スリット状に構成されている。

【0046】

孔部３４１の幅は、複数の孔部３４１において同じであってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より広くなってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より狭くなってもよい。孔部３４２の幅は、複数の孔部３４２において同じであってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より広くなってもよく、中心線Ｃｘから離れるほど、より狭くなってもよい。また、該幅は、複数個の孔部ごとに、中心線Ｃｘから離れるほどより広くなったり、狭くなったりしてもよい。

【0047】

ここで、本実施形態では、第１室３１１に対面する開口部３４１ａ、３４２ａを総括的に第１開口部とし、第２室３１２に対面する開口部３４１ｂ、３４２ｂを総括的に第２開口部とする。

【0048】

分散板３４Ａを上面視した場合、Ｚ軸方向に対して傾いた孔部３４１においては、第１室３１１に対面する開口部３４１ａと、第２室３１２に対面する開口部３４１ｂとがＺ軸方向において重複してない。すなわち、開口部３４１ａと、開口部３４１ｂとは、Ｘ軸方向においてオフセットの関係にある。

【0049】

分散板３４Ａを上面視した場合、Ｚ軸方向に対して傾いた孔部３４２においては、第１室３１１に対面する開口部３４２ａと、第２室３１２に対面する開口部３４２ｂとがＺ軸方向において重複してない。すなわち、開口部３４２ａと、開口部３４２ｂとは、Ｘ軸方向においてオフセットの関係にある。

【0050】

例えば、分散板３４Ａの厚みは、特に限ることなく、例えば、０．５ｍｍ以上２００ｍｍ以下である。また、孔部３４１、３４２のそれぞれにおける中心軸のＺ軸方向からの傾きは、例えば、１０°以上８０°以下である。

【0051】

分散板３４Ａの材料は、例えば、ステンレス鋼、タンタル、モリブデン、チタン、チタンアルミニウム合金等のいずれかである。蒸発容器３１の材料は、例えば、銅、タンタル、モリブデン、チタン、チタンアルミニウム合金等のいずれかである。防着板３６は、例えば、ステンレス鋼、銅、アルミニウム等の材料により構成される。

【0052】

本実施形態では、このような蒸着源３０を用いて、蒸着材料３０ｍを基板９０に蒸着する方法が提供される。

【0053】

蒸着源の中には、幾重にも薄い分散板を複数枚重ね、複数の噴出ノズル３２のそれぞれから噴出させる蒸着材料３０ｍの蒸気圧（蒸着源３０内における蒸着材料３０ｍの蒸気圧）を略均一にする手法がある。また、この手法によれば、蒸着材料３０ｍの上方に複数枚の分散板が位置することから、蒸着材料３０ｍが加熱機構３３以外の加熱機構からの熱輻射の影響を受けにくくなる。ここで、加熱機構３３以外の加熱機構からの熱輻射を「上部からの熱輻射」と呼ぶ。上部からの熱輻射としては、例えば、複数の噴出ノズル３２を加熱する加熱機構等からの熱輻射がある。

【0054】

しかしながら、幾重にも分散板を重ね、蒸着源３０内における蒸着材料３０ｍの蒸気圧を均一にする手法では、分散板の構造が複雑になってしまう。また、複数の分散板がＺ軸方向に重なることから、複数の分散板を通過する蒸着材料のコンダクタンスが必然的に低くなってしまう。これにより、高い蒸着速度で、蒸着材料を蒸発させるには、高パワーの電力を蒸発容器３１に投入することになる。但し、蒸着材料が有機物の場合、蒸発容器３１に投入する電力には限界がある。

【0055】

これに対して、本実施形態の蒸着源３０では、分散板３４Ａが一体の金属板で構成されている。このため、分散板３４Ａの構造は、より簡便になる。さらに、一体の金属板に、複数の孔部３４１、３４２が設けられていることから、分散板３４Ａを通過する蒸着材料３０ｍのコンダクタンスがより高くなる。

【0056】

これにより、低パワーであっても、高い蒸着速度で、蒸着材料３０ｍを蒸発させることができ、蒸着時間の短縮化、すなわち、蒸着工程の生産性が向上する。

【0057】

さらに、孔部３４１、３４２は、斜めに傾いている。このため、蒸着材料３０ｍの蒸気は、Ｚ軸方向に進行する垂直成分のほか、強制的に斜めに進行する成分も有する。

【0058】

つまり、分散板３４Ａを通過する蒸着材料３０ｍにおいては、Ｚ軸方向のほか、Ｘ軸方向でも整流性が向上する。特に、Ｘ軸方向に長く延在する蒸発容器３１を用いた蒸着源３０において蒸着材料３０ｍの蒸気の整流性を高めるためには、分散板３４Ａが有効に働く。

【0059】

このように、蒸着源３０では、分散板３４Ａを通過する蒸着材料３０ｍの整流性が向上し、蒸着材料３０ｍの蒸気圧は、第２室３１２において略均一になる。

【0060】

また、分散板３４Ａは、所定の厚みを有している。このため、分散板３４Ａが１枚の金属板で構成されても、蒸着材料３０ｍは、上部からの熱輻射の影響を受けにくくなる。

【0061】

特に、分散板３４Ａが熱伝導度が高い金属で構成された場合、上部からの熱輻射は、分散板３４Ａによって吸収されやすくなる。このため、上部からの熱輻射は、蒸着材料３０ｍに影響を与えにくくなる。また、分散板３４Ａが熱伝導度が高い金属で構成された場合、熱輻射を受容した分散板３４Ａの温度は、その面内で略均一になり、蒸発容器３１内では、温度斑が生じにくくなる。

【0062】

また、開口部３４１ａと開口部３４１ｂとは、Ｘ軸方向においてオフセットの関係にある。このため、分散板３４Ａが１枚で構成されても、上部から熱輻射は孔部３４１、３４２を通過しにくい。すなわち、上部からの輻射熱は、直接的に蒸着材料３０ｍに当たらないことになる。

【0063】

さらに、加熱機構３３によって蒸着材料３０ｍが突沸したとしても、開口部３４１ａと開口部３４１ｂとがＸ軸方向においてオフセットの関係にあることから、第１室３１１で突沸した蒸着材料３０ｍは、孔部３４１、３４２を経由して第２室３１２まで通過しにくくなる。

【0064】

（変形例１）

【0065】

図３（ａ）は、分散板の変形例の模式的断面図である。図３（ｂ）は、分散板の変形例の模式的上面図である。図３（ａ）は、図３（ｂ）のＢ－Ｂ'断面図である。

【0066】

分散板３４Ｂにおいては、複数の孔部３４１、３４２がＸ軸方向に並設されているほか、孔部３４５、３４６がＹ軸方向に並設されている。さらに、Ｙ軸方向に並ぶ、一組の孔部３４５、３４６は、Ｘ軸方向に並設されている。

【0067】

孔部３４５、３４６は、Ｚ軸方向に対して傾いて配置されている。図３（ａ）の例では、孔部３４５が下から上に向かって傾き、孔部３４６が下から上に向かって傾いている。孔部３４５は、孔部３４６とは反対側に傾いている。

【0068】

例えば、Ｙ軸方向に分散板３４Ｂを２分する中心線Ｃｙに対して、孔部３４５と孔部３４６とは、線対称に配置されている。例えば、孔部３４５の中心軸と中心線Ｃｙとがなす角は、孔部３４６の中心軸と中心線Ｃｙとがなす角と同じである。

【0069】

分散板３４Ｂを上面視した場合、孔部３４５の上下の開口部３４５ａ、３４５ｂは、Ｘ軸方向に延在する。また、分散板３４Ｂを上面視した場合、孔部３４６の上下の開口部３４６ａ、３４６ｂは、Ｘ軸方向に延在する。すなわち、開口部３４５ａ、３４５ｂ、３４６ａ、３４６ｂは、スリット状に構成されている。なお、開口部３４５ａ、３４５ｂ、３４６ａ、３４６ｂは、スリット状に限らず、円状、楕円状であってもよい。

【0070】

また、分散板３４Ｂを上面視した場合、孔部３４５においては、第１室３１１に対面する開口部３４５ａと、第２室３１２に対面する開口部３４５ｂとがＺ軸方向において重複してない。すなわち、開口部３４５ａと、開口部３４５ｂとは、Ｙ軸方向においてオフセットの関係にある。

【0071】

また、分散板３４Ｂを上面視した場合、孔部３４６において、第１室３１１に対面する開口部３４６ａと、第２室３１２に対面する開口部３４６ｂとがＺ軸方向において重複してない。すなわち、開口部３４６ａと、開口部３４６ｂとは、Ｘ軸方向においてオフセットの関係にある。

【0072】

このような構成によれば、孔部３４１、３４２のほかに、孔部３４５、３４６が設けられているため、分散板３４Ｂを通過する蒸着材料３０ｍの整流性は、Ｘ軸方向のほかにＹ軸方向でも調整可能になる。これにより、第２室３１２における蒸着材料３０ｍの蒸気圧は、さらに均一になる。

【0073】

（変形例２）

【0074】

図４は、分散板の別の変形例の模式的上面図である。

【0075】

複数の孔部３４１の開口部３４１ａ、３４１ｂは、円状、楕円状に構成されてもよい。複数の孔部３４２の開口部３４２ａ、３４２ｂは、円状、楕円状に構成されてもよい。

【0076】

例えば、分散板３４Ｃの例では、分散板３４ＣをＺ軸方向から上面視した場合、複数の孔部３４１の開口部３４１ａ、３４２ａは、円状に構成され、複数の孔部３４２の開口部３４２ａ、３４２ａは、円状に構成されている。

【0077】

この場合、孔部３４１は、Ｘ軸方向に並設されるともに、Ｙ軸方向に並設される。また、孔部３４２は、Ｘ軸方向に並設されるともに、Ｙ軸方向に並設される。また、孔部３４１及び孔部３４２のそれぞれは、分散板３４ＣをＸ軸方向において２分する中心線Ｃｘから離れるほど、孔径が大きくなってもよく、小さくなってもよい。また、該孔径は、複数個の孔部ごとに、中心線Ｃｘから離れるほどより広くなったり、狭くなったりしてもよい。また、Ｙ軸方向に並ぶ孔部の個数は、中心線Ｃｘから離れるほどより多くなったり、少なくなったりしてもよい。

【0078】

このような構成であっても、分散板３４Ａを用いた場合と同様の効果が得られる。特に、Ｘ軸方向のほかにＹ軸方向にも孔部が並設されているので、分散板３４Ｃを通過する蒸着材料３０ｍの整流性がＸ軸方向のほかに、Ｙ軸方向でも調整可能になる。これにより、第２室３１２における蒸着材料３０ｍの蒸気圧がさらに均一になる。

【0079】

（変形例３）

【0080】

図５は、蒸着源の変形例の模式的断面図である。

【0081】

図５に示すように、分散板３４Ａは、蒸発容器３１内に複数枚配置してもよい。例えば、図５の例では、Ｚ軸方向に２枚の分散板３４Ａが配置されている。ここで、孔部３４１、３４１の個数は、上下の分散板３４Ａにおいて変えてよい。例えば、図５の例では、下部の分散板３４Ａよりも上部の分散板３４Ａにおいて該個数が多く構成されている。なお、分散板３４Ａに代えて、分散板３４Ｂまたは分散板３４Ｃを用いてもよい。

【0082】

このような構成によれば、第１室３１１に充填された蒸着材料３０ｍにとっては、上部からの輻射熱が２枚の分散板３４Ａによってより確実に遮蔽される。これにより、蒸着材料３０ｍは、上部からの輻射熱の影響をさらに受けにくくなる。また、２枚の分散板３４Ａを配置したことにより、１枚の分散板３４Ａを配置した場合に比べて、蒸着材料３０ｍの整流性が向上し、第２室３１２における蒸着材料３０ｍの蒸気圧がより均一になる。

【0083】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。各実施形態は、独立の形態とは限らず、技術的に可能な限り複合することができる。

【符号の説明】

【0084】

１…真空処理装置
１０…真空容器
２０…基板搬送機構
３０…蒸着源
３０ｍ…蒸着材料
３１…蒸発容器
３２、３２１…噴出ノズル
３２ｃ…中心軸
３３…加熱機構
３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ…分散板
３５…カバー
３６…防着板
３７…固定部
７０…排気機構
９０…基板
９１…基板ホルダ
９２…マスク部材
３１１…第１室
３１２…第２室
３４１、３４２、３４５、３４６…孔部
３４１ａ、３４１ｂ、３４２ａ、３４２ｂ、３４５ａ、３４５ｂ、３４６ａ、３４６ｂ…開口部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】