特許7181818光触媒を用いた基板処理装置および基板処理方法

発明の名称　光触媒を用いた基板処理装置および基板処理方法

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（178件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 205 位（142件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7181818

公報発行日　2022年12月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7181818

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7181818「光触媒を用いた基板処理装置および基板処理方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録