１・・・真空チャンバ／２・・・蒸着源装置／３・・・Ｘ軸スライド機構／４・・・Ｙ軸スライド機構／５・・・第１押さえ板／６・・・第１基板／７・・・第１マスク／８・・・第２基板／９・・・第２マスク／１０・・・成膜時におけるマスク支持部の高さを示す一点鎖線／１１・・・第１マスク駆動手段／１２・・・第１基板駆動手段／１３・・・第２マスク駆動手段／１４・・・第２基板駆動手段／１５・・・タイミングベルト／１６・・・プーリー／１７・・・駆動モータ／１８・・・ボールねじ／１９・・・金属ベローズ／２０・・・第１マスク支持部／２１・・・基板クランプ／２２・・・第１アライメント機構／２３・・・第１アライメントカメラ／２４・・・第２基板支持部／２５・・・第２マスク支持部／２６・・・第１基板支持部／２７・・・第２押さえ板／２８・・・第１蒸着ステージ／２９・・・基板クランプ／３０・・・第２アライメントカメラ／３１・・・第２アライメント機構／３２・・・第２蒸着ステージ／３３・・・基板保持ハンド／３４・・・ゲートバルブ／３５・・・搬送室／３６・・・蒸着源装置２の最も高い部分の高さを示す一点鎖線／５０・・・制御部／５１・・・外部のコンピュータ／１００、１０１、１０２・・・成膜装置／１０３・・・搬送経路／１０４・・・可動アーム／３００・・・有機ＥＬパネルを製造する製造システム／１１０１、１１０２、１１０３・・・搬送室／１１０５・・・基板供給室／１１０６・・・マスクストック室／１１０７・・・受渡室／１１０８・・・ガラス供給室／１１０９・・・貼合室／１１１０・・・取出室／１１２０・・・ロボット