特許7190061電源供給モジュールおよび荷電粒子ビーム装置

発明の名称　電源供給モジュールおよび荷電粒子ビーム装置

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（57件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 62 位（125件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7190061

公報発行日　2022年12月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7190061

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