発明の名称 照明システム、照明システムを有する検査ツール、および照明システムを作動させる方法
出願人 ケーエルエー−テンカー コーポレイション (識別番号 500049141)
特許公開件数ランキング 283 位(36件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 450 位(18件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7193571
公報発行日 2022年12月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7193571
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