特許 7194492 感光性組成物、感光性組成物の製造方法、光重合開始剤、及び光重合開始剤の調製方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-14

(45)【発行日】2022-12-22

(54)【発明の名称】感光性組成物、感光性組成物の製造方法、光重合開始剤、及び光重合開始剤の調製方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/031 20060101AFI20221215BHJP

【ＦＩ】

G03F7/031

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2016208089

(22)【出願日】2016-10-24

(65)【公開番号】P2018072397

(43)【公開日】2018-05-10

【審査請求日】2019-07-08

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000220239

【氏名又は名称】東京応化工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(72)【発明者】

【氏名】山口 尚人

(72)【発明者】

【氏名】野田 国宏

【審査官】塚田 剛士

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－０５２０９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第４１１８２４１（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】国際公開第２０１５／１１１６０７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－０３０７８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１８０９０８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ ７／００４ － ７／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光重合性化合物（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）と、溶剤（Ｓ）とを含み、顔料を含まない感光性組成物であって、
前記光重合開始剤（Ｂ）が、下記式（１）：

【化1】

（式（１）中、Ｒ^１は、下記式（ｂ１ａ）又は（ｂ１ｂ）：

【化2】

（式（ｂ１ａ）及び（ｂ１ｂ）中、Ｒ^７及びＲ^８はそれぞれ有機基であり、ｐは０～４の整数であり、Ｒ^７及びＲ^８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒ^７とＲ^８とが互いに結合して環を形成してもよく、ｑは１～８の整数であり、ｒは１～５の整数であり、ｓは０～（ｒ＋３）の整数であり、Ｒ^９は有機基である。）
で表される基であり、
Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含み、
前記感光性組成物中の下記式（２）：
Ｒ^３ＣＯＯＨ・・・（２）
（式（２）中、Ｒ^３は、前記式（１）におけるＲ^３と同じ。）
で表されるカルボン酸の含有量が、前記光重合開始剤（Ｂ）の質量と、前記式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して０質量ｐｐｂ超５５０質量ｐｐｂ以下であり、
前記感光性組成物中の水分の量が、前記感光性組成物全体に対して０．１質量％以下である、感光性組成物。

【請求項2】

さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を含む、請求項１に記載の感光性組成物。

【請求項3】

光重合性化合物（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）とを、溶剤（Ｓ）に溶解させることを含む感光性組成物の製造方法であって、
前記光重合開始剤（Ｂ）が、下記式（１）：

【化3】

（式（１）中、Ｒ^１は、下記式（ｂ１ａ）又は（ｂ１ｂ）：

【化4】

（式（ｂ１ａ）及び（ｂ１ｂ）中、Ｒ^７及びＲ^８はそれぞれ有機基であり、ｐは０～４の整数であり、Ｒ^７及びＲ^８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒ^７とＲ^８とが互いに結合して環を形成してもよく、ｑは１～８の整数であり、ｒは１～５の整数であり、ｓは０～（ｒ＋３）の整数であり、Ｒ^９は有機基である。）
で表される基であり、
Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含み、
前記溶剤（Ｓ）に溶解させる前記光重合開始剤（Ｂ）に付随する水分の量が、前記光重合開始剤（Ｂ）の質量と、水分の質量との合計に対して１質量％以下であり、
前記溶剤（Ｓ）に溶解させる前記光重合開始剤（Ｂ）に付随する下記式（２）：
Ｒ^３ＣＯＯＨ・・・（２）
（式（２）中、Ｒ^３は、前記式（１）におけるＲ^３と同じ。）
で表されるカルボン酸の含有量が、前記光重合開始剤（Ｂ）の質量と、前記式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して０質量ｐｐｂ超５５０質量ｐｐｂ以下である、方法。

【請求項4】

さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を溶剤（Ｓ）に溶解させる、請求項３に記載の方法。

【請求項5】

前記光重合開始剤（Ｂ）を熱分解しない温度で遮光下に乾燥することを含む、請求項３又は４に記載の方法。

【請求項6】

下記式（１）：

【化5】

（式（１）中、Ｒ^１は、下記式（ｂ１ａ）又は（ｂ１ｂ）：

【化6】

（式（ｂ１ａ）及び（ｂ１ｂ）中、Ｒ^７及びＲ^８はそれぞれ有機基であり、ｐは０～４の整数であり、Ｒ^７及びＲ^８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒ^７とＲ^８とが互いに結合して環を形成してもよく、ｑは１～８の整数であり、ｒは１～５の整数であり、ｓは０～（ｒ＋３）の整数であり、Ｒ^９は有機基である。）
で表される基であり、
Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含む光重合開始剤であって、
前記光重合開始剤に付随する水分の量が、前記光重合開始剤の質量と、前記水分の質量との合計に対して１質量％以下であり、
前記光重合開始剤に付随する下記式（２）：
Ｒ^３ＣＯＯＨ・・・（２）
（式（２）中、Ｒ^３は、前記式（１）におけるＲ^３と同じ。）
で表されるカルボン酸の含有量が、前記光重合開始剤の質量と、前記式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して０質量ｐｐｂ超５５０質量ｐｐｂ以下である、光重合開始剤。

【請求項7】

請求項６に記載の光重合開始剤の調製方法であって、
前記光重合開始剤（Ｂ）を熱分解しない温度で遮光下に乾燥することを含む、方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、感光性組成物、感光性組成物の製造方法、光重合開始剤、及び光重合開始剤の調製方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶表示装置のような表示装置では、絶縁膜のような材料が、バックライトのような光源から発せられる光を効率よく透過させる必要がある。このため、絶縁膜を形成するためには、透明性に優れる膜を形成できる材料が求められる。

【0003】

このような透明絶縁膜は通常、基板上でパターン化されている。パターン化された透明絶縁膜を形成する方法としては、例えば、オキセタン環を有するアルカリ可溶性樹脂と、重合性多官能化合物と、α－アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤とを含むネガ型感光性組成物を用いる方法（特許文献１を参照。）が知られている。

【0004】

ところで、近年、液晶表示ディスプレイの生産台数が増大するのに合わせてカラーフィルタの生産量も増大しており、より一層の生産性向上の観点から、低露光量でパターンを形成することのできる高感度の感光性組成物が要望されている。
しかし、特許文献１に記載のネガ型感光性組成物は、感度についてさらなる改良が求められるものであった。
このような状況において、本出願人は、高感度の感光性組成物として、オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ－Ｏ－）中のＣ＝Ｎ結合に隣接する位置にカルボニル基を有する特定の構造のオキシムエステル化合物を光重合開始剤として含む感光性組成物を提案している（特許文献２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１２－１７３６７８号公報

【文献】特開２０１３－１４８８７２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献２に記載されるような、オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ－Ｏ－）中のＣ＝Ｎ結合に隣接する位置にカルボニル基を有する特定の構造のオキシムエステル化合物を光重合開始剤として含む感光性組成物は、感度に優れる一方で、しばしば、経時的な感度低下を起こす問題があった。

【0007】

本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであって、光重合性化合物（Ａ）と、オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ－Ｏ－）中のＣ＝Ｎ結合に隣接する位置にカルボニル基を有する特定の構造のオキシムエステル化合物を含む光重合開始剤（Ｂ）と、溶剤（Ｓ）とを含み、経時的な感度の低下が抑制された感光性組成物と、当該感光性組成物の製造方法と、当該感光性組成物に好ましく配合される光重合開始剤と、当該光重合開始剤の調製方法とを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者らは、光重合性化合物と、オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ－Ｏ－）中のＣ＝Ｎ結合に隣接する位置にカルボニル基を有する特定の構造のオキシムエステル化合物を含む光重合開始剤（Ｂ）と、溶剤（Ｓ）とを含む、好感度である一方で感度の経時的な低下を起こしやすい感光性組成物において、水分の量と、特定の構造のカルボン酸の含有量とを所定の値以下に制限することにより、感度の経時的な低下を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のものを提供する。

【0009】

本発明の第１の態様は、光重合性化合物（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）と、溶剤（Ｓ）とを含む感光性組成物であって、
光重合開始剤（Ｂ）が、下記式（１）：

【化1】

（式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含み、
感光性組成物中の下記式（２）：
Ｒ^３ＣＯＯＨ・・・（２）
（式（２）中、Ｒ^３は、前述と同じ。）
で表されるカルボン酸の含有量が、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ以下であり、
前記感光性組成物中の水分の量が、前記感光性組成物全体に対して０．１質量％以下である、感光性組成物である。

【0010】

本発明の第２の態様は、光重合性化合物（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）とを、溶剤（Ｓ）に溶解させることを含む感光性組成物の製造方法であって、
光重合開始剤（Ｂ）が、下記式（１）：

【化2】

（式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物であり、
前記溶剤（Ｓ）に溶解させる光重合開始剤（Ｂ）付随する水分の量が、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、水分の質量との合計に対して１質量％以下である、方法である。

【0011】

本発明の第３の態様は、下記式（１）：

【化3】

（式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含む光重合開始剤であって、
光重合開始剤に付随する水分の量が、光重合開始剤の質量と、水分の質量との合計に対して１質量％以下であり、
光重合開始剤に付随する下記式（２）：
Ｒ^３ＣＯＯＨ・・・（２）
（式（２）中、Ｒ^３は、
で表されるカルボン酸の含有量が、光重合開始剤の質量と、式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ以下である、光重合開始剤である。

【0012】

本発明の第４の態様は、第３の態様にかかる光重合開始剤の調製方法であって、
光重合開始剤（Ｂ）を熱分解しない温度で遮光下に乾燥することを含む、方法である。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、光重合性化合物（Ａ）と、オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ－Ｏ－）中のＣ＝Ｎ結合に隣接する位置にカルボニル基を有する特定の構造のオキシムエステル化合物を含む光重合開始剤（Ｂ）と、溶剤（Ｓ）とを含み、経時的な感度の低下が抑制された感光性組成物と、当該感光性組成物の製造方法と、当該感光性組成物に好ましく配合される光重合開始剤と、当該光重合開始剤の調製方法とを提供することができる。

【発明を実施するための形態】

【0014】

≪感光性組成物≫
感光性組成物は、光重合性化合物（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）と、溶剤（Ｓ）とを含む。
光重合開始剤（Ｂ）は、下記式（１）：

【0015】

【化4】

（式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物からなる。
感光性組成物中の下記式（２）：
Ｒ^３ＣＯＯＨ・・・（２）
（式（２）中、Ｒ^３は、前述と同じ。）
で表されるカルボン酸の含有量は、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ以下であり、５００質量ｐｐｂが好ましく、４５０質量ｐｐｂがより好ましく、４２０質量ｐｐｂ以下が特に好ましい。
感光性組成物中の水分の量は、前記感光性組成物全体に対して０．１質量％以下であり、０．０８質量％以下が好ましく、０．０５質量％以下がより好ましい。

【0016】

式（１）で表される化合物を光重合開始剤（Ｂ）として含む感光性組成物についての経時的な感度の低下の原因について検討がなされたところ、感光性組成物中の水分と、上記式（２）で表されるカルボン酸とが、経時的な感度の低下に悪影響を及ぼしていることが見出された。
つまり、感光性組成物が以上の要件を満たすことにより、感光性組成物の経時的な感度低下が抑制される。

【0017】

感光性組成物において、水分の量と、式（２）で表されるカルボン酸の量とを、上記所定の範囲内に維持するためには、感光性組成物を、密閉且つ遮光された容器中で、低温で保管するのが好ましい。具体的には保管時の温度は、３５℃以下が好ましく、２５℃以下がより好ましく、１５℃以下が特に好ましく、５℃以下が最も好ましい。保管温度の下限は特に限定されないが、感光性組成物の固化が生じたり、感光性組成物の成分の析出が生じたりしない温度が好ましい。
かかる条件で感光性組成物を保管することにより、感光性組成物中の水分の量、及び式（２）で表されるカルボン酸の量の増加、特にカルボン酸の量の増加を防ぐことができる。

【0018】

また感光性組成物について、以下のＣＡ_０（質量ｐｐｂ）と、ＣＡ_４８（質量ｐｐｂ）とから、下式で算出されるカルボン酸増加率（％）が１０質量％以下である光重合開始剤（Ｂ）を含む感光性組成物が好ましく、５質量％以下であるのがより好ましい。
上記のカルボン酸増加率（％）が小さい光重合開始剤（Ｂ）を含む感光性組成物は、経時的にカルボン酸量が増加しにくい傾向があり、これにともない感光性組成物の経時的な感度低下が抑制されやすい。
（カルボン酸増加率算出式）
カルボン酸増加率（％）＝（ＣＡ_４８／ＣＡ_０－１．００）×１００
（ＣＡ_０及びＣＡ_４８の定義）
ＣＡ_０：製造直後の光重合開始剤（Ｂ）の質量と式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対する式（２）で表されるカルボン酸の量（質量ｐｐｂ）
ＣＡ_４８：３５℃で４８時間保存された後の光重合開始剤（Ｂ）の質量と式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対する式（２）で表されるカルボン酸の量（質量ｐｐｂ）

【0019】

また、上記のＣＡ_４８は、４５０質量ｐｐｂ以下が好ましく、４３０質量ｐｐｂ以下がより好ましく、４１０質量ｐｐｂ以下が特に好ましく、４００質量ｐｐｍ以下が最も好ましい。
ＣＡ_４８が上記の範囲内の値である光重合開始剤（Ｂ）を含む感光性組成物は、経時的にカルボン酸量が増加しにくく、経時的な感度低下が抑制されやすい。
感光性組成物中の式（２）で表されるカルボン酸の量は、イオンクロマト法により測定可能である。

【0020】

以下、感光性組成物に含まれる、必須、又は任意の成分について説明する。

【0021】

＜光重合性化合物（Ａ）＞
感光性組成物は、光重合性化合物（Ａ）を含有する。光重合性化合物（Ａ）としては、特に限定されず、従来公知の光重合性化合物を用いることができる。その中でも、エチレン性不飽和基を有する樹脂又はエチレン性不飽和基を有するモノマーが好ましい。
エチレン性不飽和基を有する樹脂と、エチレン性不飽和基を有するモノマーとは組み合わせて用いることができる。エチレン性不飽和基を有する樹脂とエチレン性不飽和基を有するモノマーとを組み合わせる場合は、感光性組成物の硬化性が向上し、パターン形成が容易である。

【0022】

［エチレン性不飽和基を有する樹脂］
エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、カルドエポキシジアクリレート等が重合したオリゴマー類；多価アルコール類と一塩基酸又は多塩基酸とを縮合して得られるポリエステルプレポリマーに（メタ）アクリル酸を反応させて得られるポリエステル（メタ）アクリレート；ポリオールと２個のイソシアネート基を持つ化合物とを反応させた後、（メタ）アクリル酸を反応させて得られるポリウレタン（メタ）アクリレート；ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂と、（メタ）アクリル酸とを反応させて得られるエポキシ（メタ）アクリレート樹脂等が挙げられる。さらに、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂を好適に用いることができる。なお、本明細書において、「（メタ）アクリル」は、「アクリル又はメタクリル」を意味する。

【0023】

光重合性化合物（Ａ）が、エチレン性不飽和基を有する重合体である場合、かかる重合体としては、エチレン性不飽和基を有しカルド構造を含む重合体（Ａ’）が好ましい。
光重合性化合物（Ａ）として、上記のカルド構造を含む重合体（Ａ’）を用いる場合、露光による硬化性と現像性とのバランスに優れる感光性組成物を得やすく、感光性組成物が着色剤（Ｄ）を含む場合に、着色剤（Ｄ）を良好に分散させやすい。

【0024】

また、エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、エポキシ化合物と不飽和基含有カルボン酸化合物との反応物を、さらに多塩基酸無水物と反応させることにより得られる樹脂を好適に用いることができる。

【0025】

その中でも、下記式（ａ－１）で表される化合物が好ましい。下記式（ａ－１）で表される化合物は、前述のカルド構造を含む重合体（Ａ’）として好適な化合物である。この式（ａ－１）で表される化合物は、それ自体が、光硬化性が高い点で好ましい。

【化5】

【0026】

上記式（ａ－１）中、Ｘ^ａは、下記式（ａ－２）で表される基を表す。

【化6】

【0027】

上記式（ａ－２）中、Ｒ^ａ１は、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数１～６の炭化水素基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ^ａ２は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｗ^ａは、単結合又は下記式（ａ－３）で表される基を表す。

【化7】

【0028】

また、上記式（ａ－１）中、Ｙ^ａは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－）を除いた残基を表す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。

【0029】

また、上記式（ａ－１）中、Ｚ^ａは、テトラカルボン酸二無水物から２個の酸無水物基を除いた残基を表す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
また、上記式（ａ－１）中、ｍは、０～２０の整数を表す。

【0030】

エチレン性不飽和基を有する樹脂の酸価は、樹脂固形分で、１０～１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、７０～１１０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。酸価を１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とすることにより、現像液に対する十分な溶解性が得られるので好ましい。また、酸価を１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とすることにより、十分な硬化性を得ることができ、表面性を良好にすることができるので好ましい。

【0031】

また、エチレン性不飽和基を有する樹脂の質量平均分子量は、１０００～４００００であることが好ましく、２０００～３００００であることがより好ましい。質量平均分子量を１０００以上とすることにより、良好な耐熱性、膜強度を得ることができるので好ましい。また、質量平均分子量を４００００以下とすることにより、良好な現像性を得ることができるので好ましい。

【0032】

［エチレン性不飽和基を有するモノマー］
エチレン性不飽和基を有するモノマーには、単官能モノマーと多官能モノマーとがある。
単官能モノマーとしては、（メタ）アクリルアミド、メチロール（メタ）アクリルアミド、メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、２－アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、ｔｅｒｔ－ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－フェノキシ－２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシ－２－ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独で用いてもよく、２種以上組み合わせて用いてもよい。

【0033】

一方、多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、２，２－ビス（４－（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２－ヒドロキシ－３－（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート（すなわち、トリレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、又はヘキサメチレンジイソシアネートと、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応物）、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとＮ－メチロール（メタ）アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独で用いてもよく、２種以上組み合わせて用いてもよい。

【0034】

感光性組成物における光重合性化合物（Ａ）の含有量は、感光性組成物中の後述する溶剤（Ｓ）以外の成分の質量の合計に対して１０～７０質量％が好ましく、２０～６５質量％がより好ましく、３０～６０質量％が特に好ましい。

【0035】

以上説明した光重合性化合物（Ａ）は、感光性組成物中の水分の量と、前述の式（２）で表されるカルボン酸の含有量とが、それぞれ所定の範囲内となるように、感光性組成物の調製前に、脱水等の精製を施されているのが好ましい。

【0036】

光重合性化合物（Ａ）から水を除去する方法としては、加熱による乾燥が挙げられる。また、光重合性化合物（Ａ）を水と共沸する有機溶剤に溶解させた後、得られた溶液から有機溶剤を留去させて、光重合性化合物（Ａ）中の水分を低減させてもよい。
光重合性化合物（Ａ）からカルボン酸を除去する方法としては、加熱による除去や、脱水された有機溶剤による洗浄等の方法が挙げられる。

【0037】

＜光重合開始剤（Ｂ）＞
感光性組成物は、光重合開始剤（Ｂ）を含む。光重合開始剤（Ｂ）は、下記式（１）：

【化8】

（式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含む。このため、感光性組成物は感度に優れる。
しかしながら、式（１）で表される化合物を光重合開始剤として含む従来知られる感光性組成物は、経時的に感度が低下しやすい場合がある。
ところが、式（１）で表される化合物を光重合開始剤として含む感光性組成物において、水分の量と、前述の式（２）で表されるカルボン酸の量とが、それぞれ所定の範囲内の少量であることにより、感光性組成物の感度の経時的な低下が抑制される。

【0038】

光重合開始剤（Ｂ）は、式（１）で表される化合物を２種以上組み合わせて含んでいてもよい。

【0039】

光重合開始剤（Ｂ）は、本発明の目的を阻害しない範囲で、式（１）で表される化合物以外の光重合開始剤を含んでいてもよい。光重合開始剤（Ｂ）における、式（１）で表される化合物の含有量は、７０質量％以上が好ましく、８０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上が特に好ましく、１００質量％が最も好ましい。

【0040】

式（１）中、Ｒ^１として好適な有機基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基等が挙げられる。
また、Ｒ^１としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、Ｒ^１に含まれるフェニル基が有していてもよい置換基と同様である。

【0041】

Ｒ^１がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、１～２０が好ましく、１～６がより好ましい。また、Ｒ^１がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^１がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ^１がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0042】

Ｒ^１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、１～２０が好ましく、１～６がより好ましい。また、Ｒ^１がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^１がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒ^１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。

【0043】

Ｒ^１がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、３～１０が好ましく、３～６がより好ましい。Ｒ^１がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒ^１がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。

【0044】

Ｒ^１が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、２～２１が好ましく、２～７がより好ましい。Ｒ^１が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒ^１が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。

【0045】

Ｒ^１がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、２～２０が好ましく、２～７がより好ましい。Ｒ^１がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。

【0046】

Ｒ^１がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、７～２０が好ましく、７～１０がより好ましい。また、Ｒ^１がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、１１～２０が好ましく、１１～１４がより好ましい。Ｒ^１がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。Ｒ^１がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒ^１が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒ^１は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。

【0047】

Ｒ^１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Ｒ^１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。

【0048】

Ｒ^１がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒ^１がヘテロシクリル基である場合と同様である。

【0049】

Ｒ^１が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数２～２１の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒ^１と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、及びβ－ナフトイルアミノ基等が挙げられる。

【0050】

Ｒ^１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン原子、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。

【0051】

Ｒ^１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１～４が好ましい。Ｒ^１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0052】

置換基がアルキル基である場合、炭素原子数１～２０が好ましく、炭素原子数１～６がより好ましい。置換基がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。置換基がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、置換基がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0053】

置換基がアルコキシ基である場合、炭素原子数１～２０が好ましく、炭素原子数１～６がより好ましい。また、置換基がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。置換基がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチオキシル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、置換基がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。

【0054】

置換基がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、炭素原子数３～１０が好ましく、炭素原子数３～６がより好ましい。置換基がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。置換基がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。

【0055】

置換基が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、炭素原子数２～２０が好ましく、炭素原子数２～７がより好ましい。置換基が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。置換基が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。

【0056】

置換基がアルコキシカルボニル基である場合、炭素原子数２～２０が好ましく、炭素原子数２～７がより好ましい。置換基がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチオキシルカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。

【0057】

置換基が置換基を有してもよいフェニルアルキル基である場合、炭素原子数７～２０が好ましく、炭素原子数７～１０がより好ましい。また、置換基が置換基を有してもよいナフチルアルキル基である場合、炭素原子数１１～２０が好ましく、炭素原子数１１～１４がより好ましい。置換基が置換基を有してもよいフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。置換基が置換基を有してもよいナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。

【0058】

置換基が置換基を有してもよいヘテロシクリル基である場合、上記ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。上記ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等が挙げられる。

【0059】

置換基が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数２～２０の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、上記で置換基について例示したものと同様である。１又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、及びβ－ナフトイルアミノ基等が挙げられる。

【0060】

上記置換基において、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等がさらに置換基を有する場合の置換基の例としては、炭素原子数１～６のアルキル基；炭素原子数１～６のアルコキシ基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１～６のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン－１－イル基；ピペラジン－１－イル基；ハロゲン原子；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。上記置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１～４が好ましい。フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0061】

有機基の中でも、Ｒ^１としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数１～２０のアルキル基が好ましく、炭素原子数１～８のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１～４のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、２－メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、５～１０が好ましく、５～８がより好ましく、５又は６が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１～８が好ましく、１～４がより好ましく、２が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１～８が好ましく、１～４がより好ましく、２が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、２－（４－クロロフェニルチオ）エチル基が好ましい。

【0062】

また、Ｒ^１としては、－Ａ^ｂ１－ＣＯ－Ｏ－Ａ^ｂ２で表される基も好ましい。Ａ^ｂ１は、２価の有機基であり、２価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Ａ^ｂ２は、１価の有機基であり、１価の炭化水素基であるのが好ましい。

【0063】

Ａ^ｂ１がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ^ｂ１がアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が特に好ましい。

【0064】

Ａ^ｂ２の好適な例としては、炭素原子数１～１０のアルキル基、炭素原子数７～２０のアラルキル基、及び炭素原子数６～２０の芳香族炭化水素基が挙げられる。Ａ^ｂ２の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α－ナフチルメチル基、及びβ－ナフチルメチル基等が挙げられる。

【0065】

－Ａ^ｂ１－ＣＯ－Ｏ－Ａ^ｂ２で表される基の好適な具体例としては、２－メトキシカルボニルエチル基、２－エトキシカルボニルエチル基、２－ｎ－プロピルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ブチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ペンチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ヘキシルオキシカルボニルエチル基、２－ベンジルオキシカルボニルエチル基、２－フェノキシカルボニルエチル基、３－メトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－エトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－プロピルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ブチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ペンチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ヘキシルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ベンジルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、及び３－フェノキシカルボニル－ｎ－プロピル基等が挙げられる。

【0066】

以上、Ｒ^１について説明したが、Ｒ^１としては、下記式（ｂ１ａ）又は（ｂ１ｂ）で表される基が好ましい。

【化9】

（式（ｂ１ａ）及び（ｂ１ｂ）中、Ｒ^７及びＲ^８はそれぞれ有機基であり、ｐは０～４の整数であり、Ｒ^７及びＲ^８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒ^７とＲ^８とが互いに結合して環を形成してもよく、ｑは１～８の整数であり、ｒは１～５の整数であり、ｓは０～（ｒ＋３）の整数であり、Ｒ^９は有機基である。）

【0067】

式（ｂ１ａ）中のＲ^７及びＲ^８についての有機基の例は、Ｒ^１と同様である。Ｒ^７としては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒ^７がアルキル基である場合、その炭素原子数は、１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が特に好ましく、１が最も好ましい。つまり、Ｒ^７はメチル基であるのが最も好ましい。
Ｒ^７とＲ^８とが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式（ｂ１ａ）で表される基であって、Ｒ^７とＲ^８とが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン－１－イル基や、１，２，３，４－テトラヒドロナフタレン－５－イル基等が挙げられる。上記式（ｂ１ａ）中、ｐは０～４の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。

【0068】

上記式（ｂ１ｂ）中、Ｒ^９は有機基である。有機基としては、Ｒ^１について説明した有機基と同様の基が挙げられる。
Ｒ^９としての有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が特に好ましい。Ｒ^９としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。

【0069】

上記式（ｂ１ｂ）中、ｒは１～５の整数であり、１～３の整数が好ましく、１又は２がより好ましい。上記式（ｂ１ｂ）中、ｓは０～（ｒ＋３）であり、０～３の整数が好ましく、０～２の整数がより好ましく、０が特に好ましい。上記式（ｂ１ｂ）中、ｑは１～８の整数であり、１～５の整数が好ましく、１～３の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。

【0070】

式（１）中、Ｒ^２は有機基である。かかる有機基としては、置換基を有してもよいアリール基、又は置換基を有してもよいヘテロアリール基が好ましい。置換基を有してもよいアリール基としては、例えば、置換基を有してもよいフェニル基が挙げられる。置換基を有してもよいヘテロアリール基としては、例えば、置換基を有してもよいカルバゾリル基が挙げられる。

【0071】

Ｒ^２において、アリール基、ヘテロアリール基、フェニル基、又はカルバゾリル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。アリール基、ヘテロアリール基、フェニル基、又はカルバゾリル基が、炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン原子、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。

【0072】

Ｒ^２がヘテロアリール基又はカルバゾリル基である場合、ヘテロアリール基が窒素原子等のヘテロ原子上に有してもよい好適な置換基、及び、カルバゾリル基が窒素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、アルキル基、シクロアルキル基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。これらの置換基の中では、アルキル基が好ましく、炭素原子数１～２０のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１～６のアルキル基がさらにより好ましく、エチル基が特に好ましい。

【0073】

アリール基、ヘテロアリール基、フェニル基、又はカルバゾリル基が有してもよい置換基の具体例について、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び１又は２の有機基で置換されたアミノ基に関しては、Ｒ^１について説明したのと同様である。

【0074】

上記置換基において、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等がさらに置換基を有する場合の置換基に関しては、Ｒ^１について説明したのと同様である。

【0075】

Ｒ^２の中では、感光性組成物が感度に優れる点から、下記式（１－１）又は（１－２）で表される基が好ましく、下記式（１－１）で表される基がより好ましく、下記式（１－１）で表される基であって、ＡがＳである基が特に好ましい。

【0076】

【化10】

（Ｒ^４は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン原子、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、ＡはＳ又はＯであり、ｎは、０～４の整数である。）

【0077】

【化11】

（Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ、１価の有機基である。）

【0078】

感光性組成物を用いてパターンを形成する場合、パターン形成時のポストベークの工程での加熱によって、パターンに着色が生じやすい。しかし、感光性組成物において、光重合開始剤として、Ｒ^２が上記式（１－１）で表される基であって、ＡがＳである基である、式（１）で表されるオキシムエステル化合物を用いる場合、加熱によるパターンの着色を抑制しやすい。

【0079】

式（１－１）におけるＲ^４が有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。式（１－１）においてＲ^４が有機基である場合の好適な例としては、炭素原子数１～６のアルキル基；炭素原子数１～６のアルコキシ基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１～６のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン－１－イル基；ピペラジン－１－イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。

【0080】

Ｒ^４の中では、ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１～６のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；ニトロ基が好ましく、ベンゾイル基；ナフトイル基；２－メチルフェニルカルボニル基；４－（ピペラジン－１－イル）フェニルカルボニル基；４－（フェニル）フェニルカルボニル基がより好ましい。

【0081】

また、式（１－１）において、ｎは、０～３の整数が好ましく、０～２の整数がより好ましく、０又は１であるのが特に好ましい。ｎが１である場合、Ｒ^４の結合する位置は、Ｒ^４が結合するフェニル基が原子Ａと結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。

【0082】

式（１－２）におけるＲ^５は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。Ｒ^５の好適な例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数２～２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～２０のアルコキシアルキル基、炭素原子数２～２０のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。

【0083】

Ｒ^５の中では、炭素原子数１～２０のアルキル基又は炭素原子数２～２０のアルコキシアルキル基が好ましく、炭素原子数１～６のアルキル基又は炭素原子数２～６のアルコキシアルキル基がより好ましく、エチル基又はエトキシエチル基が特に好ましい。

【0084】

式（１－２）におけるＲ^６は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒ^６として好適な基の具体例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ^６として、これらの基の中では置換基を有してもよいフェニル基又は置換基を有してもよいチエニル基がより好ましく、２－メチルフェニル基又はチエニル基が特に好ましい。

【0085】

Ｒ^４、Ｒ^５、又はＲ^６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１～６のアルキル基、炭素原子数１～６のアルコキシ基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^４、Ｒ^５、又はＲ^６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１～４が好ましい。Ｒ^４、Ｒ^５、又はＲ^６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0086】

式（１）中、Ｒ^３は有機基である。有機基としては特に限定されないが、アルキル基、アリール基が好ましい。アルキル基としては炭素原子数１～１１のアルキル基が好ましい。アリール基としては、置換基を有してもよいフェニル基である。置換基を有してもよいフェニル基における置換基は、Ｒ^１について説明した置換基と同様である。
Ｒ^３としては炭素原子数１～６のアルキル基、及びフェニル基がより好ましく、メチル基、エチル基、及びフェニル基が特に好ましく、メチル基、及びエチル基が最も好ましい。

【0087】

式（１）で表される光重合開始剤としては、下記式（ｂ１）で表されるオキシム系化合物を用いることも好ましい。

【化12】

（Ｒ^ｂ１は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、
ｎ１は０～４の整数であり、
Ｒ^ｂ２は、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基であり、
Ｒ^ｂ３は、水素原子、又は炭素原子数１～６のアルキル基である。）

【0088】

式（ｂ１）中、Ｒ^ｂ１は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Ｒ^ｂ１が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、アミノ基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。ｎ１が２～４の整数である場合、Ｒ^ｂ１は同一であっても異なっていてもよい。また、置換基の炭素原子数には、置換基がさらに有する置換基の炭素原子数を含まない。

【0089】

Ｒ^ｂ１がアルキル基である場合、炭素原子数１～２０が好ましく、炭素原子数１～６がより好ましい。また、Ｒ^ｂ１がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｂ１がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ^ｂ１がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0090】

Ｒ^ｂ１がアルコキシ基である場合、炭素原子数１～２０が好ましく、炭素原子数１～６がより好ましい。また、Ｒ^ｂ１がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｂ１がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒ^ｂ１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。

【0091】

Ｒ^ｂ１がシクロアルキル基、又はシクロアルコキシ基である場合、炭素原子数３～１０が好ましく、炭素原子数３～６がより好ましい。Ｒ^ｂ１がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒ^ｂ１がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。

【0092】

Ｒ^ｂ１が飽和脂肪族アシル基、又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、炭素原子数２～２０が好ましく、炭素原子数２～７がより好ましい。Ｒ^ｂ１が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒ^ｂ１が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。

【0093】

Ｒ^ｂ１がアルコキシカルボニル基である場合、炭素原子数２～２０が好ましく、炭素原子数２～７がより好ましい。Ｒ^ｂ１がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチルオキシルカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。

【0094】

Ｒ^ｂ１がフェニルアルキル基である場合、炭素原子数７～２０が好ましく、炭素原子数７～１０がより好ましい。またＲ^ｂ１がナフチルアルキル基である場合、炭素原子数１１～２０が好ましく、炭素原子数１１～１４がより好ましい。Ｒ^ｂ１がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。Ｒ^ｂ１がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒ^ｂ１が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒ^ｂ１は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。

【0095】

Ｒ^ｂ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等が挙げられる。Ｒ^ｂ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。

【0096】

Ｒ^ｂ１が１、又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数２～２０の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒ^ｂ１と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、及びβ－ナフトイルアミノ基等が挙げられる。

【0097】

Ｒ^ｂ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１～６のアルキル基、炭素原子数１～６のアルコキシ基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^ｂ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１～４が好ましい。Ｒ^ｂ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0098】

Ｒ^ｂ１の中では、化学的に安定であることや、立体的な障害が少なく、オキシムエステル化合物の合成が容易であること等から、炭素原子数１～６のアルキル基、炭素原子数１～６のアルコキシ基、及び炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基からなる群より選択される基が好ましく、炭素原子数１～６のアルキルがより好ましく、メチル基が特に好ましい。

【0099】

Ｒ^ｂ１がフェニル基に結合する位置は、Ｒ^ｂ１が結合するフェニル基について、フェニル基とオキシムエステル化合物の主骨格との結合手の位置を１位とし、メチル基の位置を２位とする場合に、４位、又は５位が好ましく、５位がよりに好ましい。また、ｎ１は、０～３の整数が好ましく、０～２の整数がより好ましく、０、又は１が特に好ましい。

【0100】

Ｒ^ｂ２は、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基である。また、Ｒ^ｂ２が置換基を有してもよいカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基上の窒素原子は、炭素原子数１～６のアルキル基で置換されていてもよい。

【0101】

Ｒ^ｂ２において、フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。フェニル基、又はカルバゾリル基が、炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数１～２０のアルコキシ基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルコキシ基、炭素原子数２～２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～２０のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２～２０の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。

【0102】

Ｒ^ｂ２がカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基が窒素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数２～２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～２０のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。これらの置換基の中では、炭素原子数１～２０のアルキル基が好ましく、炭素原子数１～６のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。

【0103】

フェニル基、又はカルバゾリル基が有してもよい置換基の具体例について、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び１、又は２の有機基で置換されたアミノ基に関しては、Ｒ^ｂ１と同様である。

【0104】

Ｒ^ｂ２において、フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基の例としては、炭素原子数１～６のアルキル基；炭素原子数１～６のアルコキシ基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１～６のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン－１－イル基；ピペラジン－１－イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１～４が好ましい。フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0105】

Ｒ^ｂ２の中では、感度に優れる光重合開始剤を得やすい点から、下記式（ｂ２）、又は（ｂ３）で表される基が好ましく、下記式（ｂ２）で表される基がより好ましく、下記式（ｂ２）で表される基であって、ＡがＳである基が特に好ましい。

【0106】

【化13】

（Ｒ^ｂ４は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、ＡはＳ又はＯであり、ｎ２は、０～４の整数である。）

【0107】

【化14】

（Ｒ^ｂ５及びＲ^ｂ６は、それぞれ、１価の有機基である。）

【0108】

式（ｂ２）におけるＲ^ｂ４が有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。式（ｂ２）においてＲ^ｂ４が有機基である場合の好適な例としては、炭素原子数１～６のアルキル基；炭素原子数１～６のアルコキシ基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１～６のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン－１－イル基；ピペラジン－１－イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。

【0109】

Ｒ^ｂ４の中では、ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１～６のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；ニトロ基が好ましく、ベンゾイル基；ナフトイル基；２－メチルフェニルカルボニル基；４－（ピペラジン－１－イル）フェニルカルボニル基；４－（フェニル）フェニルカルボニル基がより好ましい。

【0110】

また、式（ｂ２）において、ｎ２は、０～３の整数が好ましく、０～２の整数がより好ましく、０、又は１であるのが特に好ましい。ｎ２が１である場合、Ｒ^ｂ４の結合する位置は、Ｒ^ｂ４が結合するフェニル基が酸素原子又は硫黄原子と結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。

【0111】

式（ｂ３）におけるＲ^ｂ５は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。Ｒ^ｂ５の好適な例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数２～２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～
２０のアルコキシアルキル基、炭素原子数２～２０のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。

【0112】

Ｒ^ｂ５の中では、炭素原子数１～２０のアルキル基、又は炭素原子数２～２０のアルコキシアルキル基が好ましく、炭素原子数１～６のアルキル基、又は炭素原子数２～６のアルコキシアルキル基がより好ましく、エチル基、又はエトキシエチル基が特に好ましい。

【0113】

式（ｂ３）におけるＲ^ｂ６は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒ^ｂ６として好適な基の具体例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ^ｂ６として、これらの基の中では置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいチエニル基がより好ましく、２－メチルフェニル基、又はチエニル基が特に好ましい。

【0114】

Ｒ^ｂ４、Ｒ^ｂ５、又はＲ^ｂ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１～６のアルキル基、炭素原子数１～６のアルコキシ基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^ｂ４、Ｒ^ｂ５、又はＲ^ｂ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１～４が好ましい。Ｒ^ｂ４、Ｒ^ｂ５、又はＲ^ｂ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0115】

式（ｂ１）におけるＲ^ｂ３は、水素原子、又は炭素原子数１～６のアルキル基である。Ｒ^ｂ３としては、メチル基、又はエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。

【0116】

式（ｂ１）で表されるオキシムエステル化合物の中でも特に好適な化合物としては、下記のＰＩ－１～ＰＩ－４２が挙げられる。

【化15】

【0117】

【化16】

【0118】

【化17】

【0119】

【化18】

【0120】

【化19】

【0121】

【化20】

【0122】

また、下記式（ｂ４）で表されるオキシムエステル化合物も、光重合開始剤として好ましい。

【0123】

【化21】

（Ｒ^ｂ７は水素原子、ニトロ基又は１価の有機基であり、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子であり、Ｒ^ｂ８とＲ^ｂ９とは相互に結合して環を形成してもよく、Ｒ^ｂ１０は１価の有機基であり、Ｒ^ｂ１１は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１～１１のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、ｎ３は０～４の整数である。）

【0124】

ここで、式（ｂ４）のオキシムエステル化合物を製造するためのオキシム化合物としては、下式（ｂ５）で表される化合物が好適である。

【0125】

【化22】

（Ｒ^ｂ７、Ｒ^ｂ８、Ｒ^ｂ９、Ｒ^ｂ１０、及びｎ３は、式（ｂ４）と同様である。）

【0126】

式（ｂ４）及び（ｂ５）中、Ｒ^ｂ７は、水素原子、ニトロ基又は１価の有機基である。Ｒ^ｂ７は、式（ｂ４）中のフルオレン環上で、カルボニル基に結合する６員芳香環とは、異なる６員芳香環に結合する。式（ｂ４）中、Ｒ^ｂ７のフルオレン環に対する結合位置は特に限定されない。式（ｂ４）で表される化合物が１以上のＲ^ｂ７を有する場合、式（ｂ４）で表される化合物の合成が容易であること等から、１以上のＲ^ｂ７のうちの１つがフルオレン環中の２位に結合するのが好ましい。Ｒ^ｂ７が複数である場合、複数のＲ^ｂ７は同一であっても異なっていてもよい。

【0127】

Ｒ^ｂ７が有機基である場合、Ｒ^ｂ７は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Ｒ^ｂ７が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基等が挙げられる。

【0128】

Ｒ^ｂ７がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、１～２０が好ましく、１～６がより好ましい。また、Ｒ^ｂ７がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｂ７がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ^ｂ７がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0129】

Ｒ^ｂ７がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、１～２０が好ましく、１～６がより好ましい。また、Ｒ^ｂ７がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｂ７がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒ^ｂ７がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。

【0130】

Ｒ^ｂ７がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、３～１０が好ましく、３～６がより好ましい。Ｒ^ｂ７がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒ^ｂ７がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。

【0131】

Ｒ^ｂ７が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、２～２１が好ましく、２～７がより好ましい。Ｒ^ｂ７が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒ^ｂ７が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。

【0132】

Ｒ^ｂ７がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、２～２０が好ましく、２～７がより好ましい。Ｒ^ｂ７がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。

【0133】

Ｒ^ｂ７がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、７～２０が好ましく、７～１０がより好ましい。また、Ｒ^ｂ７がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、１１～２０が好ましく、１１～１４がより好ましい。Ｒ^ｂ７がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。Ｒ^ｂ７がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒ^ｂ７が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒ^ｂ７は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。

【0134】

Ｒ^ｂ７がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Ｒ^ｂ７がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。

【0135】

Ｒ^ｂ７がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒ^ｂ７がヘテロシクリル基である場合と同様である。

【0136】

Ｒ^ｂ７が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１～２０のアルキル基、炭素原子数３～１０のシクロアルキル基、炭素原子数２～２１の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７～２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１～２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒ^ｂ７と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、及びβ－ナフトイルアミノ基等が挙げられる。

【0137】

Ｒ^ｂ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１～６のアルキル基、炭素原子数１～６のアルコキシ基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２～７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２～７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１～６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^ｂ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１～４が好ましい。Ｒ^ｂ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0138】

以上説明した基の中でも、Ｒ^ｂ７としては、ニトロ基、又はＲ^ｂ１２－ＣＯ－で表される基であると、感度が向上する傾向があり好ましい。Ｒ^ｂ１２は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒ^ｂ１２として好適な基の例としては、炭素原子数１～２０のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ^ｂ１２として、これらの基の中では、２－メチルフェニル基、チオフェン－２－イル基、及びα－ナフチル基が特に好ましい。
また、Ｒ^ｂ７が水素原子であると、透明性が良好となる傾向があり好ましい。なお、Ｒ^ｂ７が水素原子であり且つＲ^ｂ１０が後述の式（ｂ４ａ）又は（ｂ４ｂ）で表される基であると透明性はより良好となる傾向がある。

【0139】

式（ｂ４）中、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Ｒ^ｂ８とＲ^ｂ９とは相互に結合して環を形成してもよい。これらの基の中では、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９として、置換基を有してもよい鎖状アルキル基が好ましい。Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が置換基を有してもよい鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基は直鎖アルキル基でも分岐鎖アルキル基でもよい。

【0140】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が置換基を持たない鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましく、１～６が特に好ましい。Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が鎖状アルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0141】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が置換基を有する鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましく、１～６が特に好ましい。この場合、置換基の炭素原子数は、鎖状アルキル基の炭素原子数に含まれない。置換基を有する鎖状アルキル基は、直鎖状であるのが好ましい。
アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、シアノ基、ハロゲン原子、環状有機基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。シクロアルキル基の具体例としては、Ｒ^ｂ７がシクロアルキル基である場合の好適な例と同様である。芳香族炭化水素基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。ヘテロシクリル基の具体例としては、Ｒ^ｂ７がヘテロシクリル基である場合の好適な例と同様である。Ｒ^ｂ７がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、１～１０が好ましく、１～６がより好ましい。

【0142】

鎖状アルキル基が置換基を有する場合、置換基の数は特に限定されない。好ましい置換基の数は鎖状アルキル基の炭素原子数に応じて変わる。置換基の数は、典型的には、１～２０であり、１～１０が好ましく、１～６がより好ましい。

【0143】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が環状有機基である場合、環状有機基は、脂環式基であっても、芳香族基であってもよい。環状有機基としては、脂肪族環状炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が環状有機基である場合に、環状有機基が有してもよい置換基は、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が鎖状アルキル基である場合と同様である。

【0144】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が芳香族炭化水素基である場合、芳香族炭化水素基は、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が炭素－炭素結合を介して結合して形成される基であるか、複数のベンゼン環が縮合して形成される基であるのが好ましい。芳香族炭化水素基が、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が結合又は縮合して形成される基である場合、芳香族炭化水素基に含まれるベンゼン環の環数は特に限定されず、３以下が好ましく、２以下がより好ましく、１が特に好ましい。芳香族炭化水素基の好ましい具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。

【0145】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が脂肪族環状炭化水素基である場合、脂肪族環状炭化水素基は、単環式であっても多環式であってもよい。脂肪族環状炭化水素基の炭素原子数は特に限定されないが、３～２０が好ましく、３～１０がより好ましい。単環式の環状炭化水素基の例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基、及びアダマンチル基等が挙げられる。

【0146】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。

【0147】

Ｒ^ｂ８とＲ^ｂ９とは相互に結合して環を形成してもよい。Ｒ^ｂ８とＲ^ｂ９とが形成する環からなる基は、シクロアルキリデン基であるのが好ましい。Ｒ^ｂ８とＲ^ｂ９とが結合してシクロアルキリデン基を形成する場合、シクロアルキリデン基を構成する環は、５員環～６員環であるのが好ましく、５員環であるのがより好ましい。

【0148】

Ｒ^ｂ８とＲ^ｂ９とが結合して形成する基がシクロアルキリデン基である場合、シクロアルキリデン基は、１以上の他の環と縮合していてもよい。シクロアルキリデン基と縮合していてもよい環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、及びピリミジン環等が挙げられる。

【0149】

以上説明したＲ^ｂ８及びＲ^ｂ９の中でも好適な基の例としては、式－Ａ^１－Ａ^２で表される基が挙げられる。式中、Ａ^１は直鎖アルキレン基であり、Ａ^２は、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、又はアルコキシカルボニル基である挙げられる。

【0150】

Ａ^１の直鎖アルキレン基の炭素原子数は、１～１０が好ましく、１～６がより好ましい。Ａ^２がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシ基の炭素原子数は、１～１０が好ましく、１～６がより好ましい。Ａ^２がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。Ａ^２がハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。ハロゲン化アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ^２が環状有機基である場合、環状有機基の例は、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が置換基として有する環状有機基と同様である。Ａ^２がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の例は、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９が置換基として有するアルコキシカルボニル基と同様である。

【0151】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９の好適な具体例としては、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、及びｎ－オクチル基等のアルキル基；２－メトキシエチル基、３－メトキシ－ｎ－プロピル基、４－メトキシ－ｎ－ブチル基、５－メトキシ－ｎ－ペンチル基、６－メトキシ－ｎ－ヘキシル基、７－メトキシ－ｎ－ヘプチル基、８－メトキシ－ｎ－オクチル基、２－エトキシエチル基、３－エトキシ－ｎ－プロピル基、４－エトキシ－ｎ－ブチル基、５－エトキシ－ｎ－ペンチル基、６－エトキシ－ｎ－ヘキシル基、７－エトキシ－ｎ－ヘプチル基、及び８－エトキシ－ｎ－オクチル基等のアルコキシアルキル基；２－シアノエチル基、３－シアノ－ｎ－プロピル基、４－シアノ－ｎ－ブチル基、５－シアノ－ｎ－ペンチル基、６－シアノ－ｎ－ヘキシル基、７－シアノ－ｎ－ヘプチル基、及び８－シアノ－ｎ－オクチル基等のシアノアルキル基；２－フェニルエチル基、３－フェニル－ｎ－プロピル基、４－フェニル－ｎ－ブチル基、５－フェニル－ｎ－ペンチル基、６－フェニル－ｎ－ヘキシル基、７－フェニル－ｎ－ヘプチル基、及び８－フェニル－ｎ－オクチル基等のフェニルアルキル基；２－シクロヘキシルエチル基、３－シクロヘキシル－ｎ－プロピル基、４－シクロヘキシル－ｎ－ブチル基、５－シクロヘキシル－ｎ－ペンチル基、６－シクロヘキシル－ｎ－ヘキシル基、７－シクロヘキシル－ｎ－ヘプチル基、８－シクロヘキシル－ｎ－オクチル基、２－シクロペンチルエチル基、３－シクロペンチル－ｎ－プロピル基、４－シクロペンチル－ｎ－ブチル基、５－シクロペンチル－ｎ－ペンチル基、６－シクロペンチル－ｎ－ヘキシル基、７－シクロペンチル－ｎ－ヘプチル基、及び８－シクロペンチル－ｎ－オクチル基等のシクロアルキルアルキル基；２－メトキシカルボニルエチル基、３－メトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、４－メトキシカルボニル－ｎ－ブチル基、５－メトキシカルボニル－ｎ－ペンチル基、６－メトキシカルボニル－ｎ－ヘキシル基、７－メトキシカルボニル－ｎ－ヘプチル基、８－メトキシカルボニル－ｎ－オクチル基、２－エトキシカルボニルエチル基、３－エトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、４－エトキシカルボニル－ｎ－ブチル基、５－エトキシカルボニル－ｎ－ペンチル基、６－エトキシカルボニル－ｎ－ヘキシル基、７－エトキシカルボニル－ｎ－ヘプチル基、及び８－エトキシカルボニル－ｎ－オクチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基；２－クロロエチル基、３－クロロ－ｎ－プロピル基、４－クロロ－ｎ－ブチル基、５－クロロ－ｎ－ペンチル基、６－クロロ－ｎ－ヘキシル基、７－クロロ－ｎ－ヘプチル基、８－クロロ－ｎ－オクチル基、２－ブロモエチル基、３－ブロモ－ｎ－プロピル基、４－ブロモ－ｎ－ブチル基、５－ブロモ－ｎ－ペンチル基、６－ブロモ－ｎ－ヘキシル基、７－ブロモ－ｎ－ヘプチル基、８－ブロモ－ｎ－オクチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５－ヘプタフルオロ－ｎ－ペンチル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。

【0152】

Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９として、上記の中でも好適な基は、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、２－メトキシエチル基、２－シアノエチル基、２－フェニルエチル基、２－シクロヘキシルエチル基、２－メトキシカルボニルエチル基、２－クロロエチル基、２－ブロモエチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５－ヘプタフルオロ－ｎ－ペンチル基である。

【0153】

Ｒ^ｂ１０の好適な有機基の例としては、Ｒ^ｂ７と同様に、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基等が挙げられる。これらの基の具体例は、Ｒ^ｂ７について説明したものと同様である。また、Ｒ^ｂ１０としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、Ｒ^ｂ７に含まれるフェニル基が有していてもよい置換基と同様である。

【0154】

有機基の中でも、Ｒ^ｂ１０としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数１～２０のアルキル基が好ましく、炭素原子数１～８のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１～４のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、２－メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、５～１０が好ましく、５～８がより好ましく、５又は６が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１～８が好ましく、１～４がより好ましく、２が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１～８が好ましく、１～４がより好ましく、２が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、２－（４－クロロフェニルチオ）エチル基が好ましい。

【0155】

また、Ｒ^ｂ１０としては、－Ａ^３－ＣＯ－Ｏ－Ａ^４で表される基も好ましい。Ａ^３は、２価の有機基であり、２価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Ａ^４は、１価の有機基であり、１価の炭化水素基であるのが好ましい。

【0156】

Ａ^３がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ^３がアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が特に好ましい。

【0157】

Ａ^４の好適な例としては、炭素原子数１～１０のアルキル基、炭素原子数７～２０のアラルキル基、及び炭素原子数６～２０の芳香族炭化水素基が挙げられる。Ａ^４の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α－ナフチルメチル基、及びβ－ナフチルメチル基等が挙げられる。

【0158】

－Ａ^３－ＣＯ－Ｏ－Ａ^４で表される基の好適な具体例としては、２－メトキシカルボニルエチル基、２－エトキシカルボニルエチル基、２－ｎ－プロピルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ブチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ペンチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ヘキシルオキシカルボニルエチル基、２－ベンジルオキシカルボニルエチル基、２－フェノキシカルボニルエチル基、３－メトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－エトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－プロピルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ブチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ペンチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ヘキシルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ベンジルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、及び３－フェノキシカルボニル－ｎ－プロピル基等が挙げられる。

【0159】

以上、Ｒ^ｂ１０について説明したが、Ｒ^ｂ１０としては、下記式（ｂ４ａ）又は（ｂ４ｂ）で表される基が好ましい。

【化23】

（式（ｂ４ａ）及び（ｂ４ｂ）中、Ｒ^ｂ１３及びＲ^ｂ１４はそれぞれ有機基であり、ｎ４は０～４の整数であり、Ｒ^ｂ１３及びＲ^８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒ^ｂ１３とＲ^ｂ１４とが互いに結合して環を形成してもよく、ｎ５は１～８の整数であり、ｎ６は１～５の整数であり、ｎ７は０～（ｎ６＋３）の整数であり、Ｒ^ｂ１５は有機基である。）

【0160】

式（ｂ４ａ）中のＲ^ｂ１３及びＲ^ｂ１４についての有機基の例は、Ｒ^ｂ７と同様である。Ｒ^ｂ１３としては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒ^ｂ１３がアルキル基である場合、その炭素原子数は、１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が特に好ましく、１が最も好ましい。つまり、Ｒ^ｂ１３はメチル基であるのが最も好ましい。Ｒ^ｂ１３とＲ^ｂ１４とが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式（ｂ４ａ）で表される基であって、Ｒ^ｂ１３とＲ^ｂ１４とが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン－１－イル基や、１，２，３，４－テトラヒドロナフタレン－５－イル基等が挙げられる。上記式（ｂ４ａ）中、ｎ４は０～４の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。

【0161】

上記式（ｂ４ｂ）中、Ｒ^ｂ１５は有機基である。有機基としては、Ｒ^ｂ７について説明した有機基と同様の基が挙げられる。有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が特に好ましい。Ｒ^ｂ１５としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。

【0162】

上記式（ｂ４ｂ）中、ｎ６は１～５の整数であり、１～３の整数が好ましく、１又は２がより好ましい。上記式（ｂ４ｂ）中、ｎ７は０～（ｎ６＋３）であり、０～３の整数が好ましく、０～２の整数がより好ましく、０が特に好ましい。上記式（ｂ４ｂ）中、ｎ５は１～８の整数であり、１～５の整数が好ましく、１～３の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。

【0163】

式（ｂ４）中、Ｒ^ｂ１１は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１～１１のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。Ｒ^ｂ１１がアルキル基である場合に有してもよい置換基としては、フェニル基、ナフチル基等が好ましく例示される。また、Ｒ^ｂ７がアリール基である場合に有してもよい置換基としては、炭素原子数１～５のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子等が好ましく例示される。

【0164】

式（ｂ４）中、Ｒ^ｂ１１としては、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、フェニル基、ベンジル基、メチルフェニル基、ナフチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基又はフェニル基がより好ましい。

【0165】

式（ｂ４）で表される化合物は、前述の式（ｂ５）で表される化合物に含まれるオキシム基（＞Ｃ＝Ｎ－ＯＨ）を、＞Ｃ＝Ｎ－Ｏ－ＣＯＲ^ｂ１１で表されるオキシムエステル基に変換する工程を含む方法により製造される。Ｒ^ｂ１１は、式（ｂ４）中のＲ^ｂ１１と同様である。

【0166】

オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ－ＯＨ）の、＞Ｃ＝Ｎ－Ｏ－ＣＯＲ^ｂ１１で表されるオキシムエステル基への変換は、前述の式（ｂ５）で表される化合物と、アシル化剤とを反応させることにより行われる。
－ＣＯＲ^ｂ１１で表されるアシル基を与えるアシル化剤としては、（Ｒ^ｂ１１ＣＯ）_２Ｏで表される酸無水物や、Ｒ^ｂ１１ＣＯＨａｌ（Ｈａｌはハロゲン原子）で表される酸ハライドが挙げられる。

【0167】

一般式（ｂ４）で表される化合物は、例えば、下記スキーム１に従って合成することができる。スキーム１では、下記式（ｂ４－１）で表されるフルオレン誘導体を原料として用いる。Ｒ^ｂ７がニトロ基又は１価の有機基である場合、式（ｂ４－１）で表されるフルオレン誘導体は、９位をＲ^ｂ８及びＲ^ｂ９で置換されたフルオレン誘導体に、周知の方法によって、置換基Ｒ^ｂ７を導入して得ることができる。９位をＲ^ｂ８及びＲ^ｂ９で置換されたフルオレン誘導体は、例えば、Ｒ^ｂ８及びＲ^ｂ９がアルキル基である場合、特開平０６－２３４６６８号公報に記載されるように、アルカリ金属水酸化物の存在下に、非プロトン性極性有機溶媒中で、フルオレンとアルキル化剤とを反応させて得ることができる。また、フルオレンの有機溶媒溶液中に、ハロゲン化アルキルのようなアルキル化剤と、アルカリ金属水酸化物の水溶液と、ヨウ化テトラブチルアンモニウムやカリウムｔｅｒｔ－ブトキシドのような相間移動触媒とを添加してアルキル化反応を行うことで、９，９－アルキル置換フルオレンを得ることができる。

【0168】

式（ｂ４－２）で表されるフルオレン誘導体は、式（ｂ４－１）で表される化合物に、フリーデルクラフツ反応によって－ＣＯ－ＣＨ_２－Ｒ^ｂ１０で表されるアシル基を導入して得られる。アシル基を導入するためのアシル化剤は、ハロカルボニル化合物であってもよく、酸無水物であってもよい。アシル化剤としては、式（ｂ４－７）：Ｈａｌ－ＣＯ－ＣＨ_２－Ｒ^ｂ１０で表されるカルボン酸ハライドが好ましい。式（ｂ４－７）中、Ｈａｌはハロゲン原子である。フルオレン環上にアシル基が導入される位置は、フリーデルクラフツ反応の条件を適宜変更したり、アシル化される位置の他の位置に保護及び脱保護を施したりする方法で、選択することができる。

【0169】

次いで、式（ｂ４－２）で表される化合物中の、Ｒ^ｂ１０とカルボニル基との間に存在するメチレン基をオキシム化して、下式（ｂ４－４）で表されるケトオキシム化合物を得る。メチレン基をオキシム化する方法は特に限定されないが、塩酸の存在下に下記式（ｂ４－３）で表される亜硝酸エステル（ＲＯＮＯ、Ｒは炭素原子数１～６のアルキル基。）を反応させる方法が好ましい。
次いで、下記式（ｂ４－４）で表されるケトオキシム化合物と、下記式（ｂ４－５）で表される酸無水物（Ｒ^ｂ１１ＣＯ）_２Ｏ）、又は下記式（ｂ４－６）で表される酸ハライド（Ｒ^ｂ１１ＣＯＨａｌ、Ｈａｌはハロゲン原子。）とを反応させて、式（ｂ４）で表される化合物を得ることができる。
なお、下記式（ｂ４－１）、（ｂ４－３）、（ｂ４－４）、（ｂ４－５）、及び（ｂ４－６）において、Ｒ^ｂ７、Ｒ^ｂ８、Ｒ^ｂ９、Ｒ^ｂ１０、Ｒ^ｂ１１、及びｎ３、式（ｂ４）と同様である。

【0170】

また、スキーム１において、式（ｂ４－６）、式（ｂ４－２）、及び式（ｂ４－４）それぞれに含まれるＲ^ｂ１０は、同一であっても異なってもいてもよい。つまり、式（ｂ４－６）、式（ｂ４－２）、及び式（ｂ４－４）中のＲ^ｂ１０は、スキーム１として示される合成過程において、化学修飾を受けてもよい。化学修飾の例としては、エステル化、エーテル化、アシル化、アミド化、ハロゲン化、アミノ基中の水素原子の有機基による置換等が挙げられる。Ｒ^ｂ１０が受けてもよい化学修飾はこれらに限定されない。

【0171】

＜スキーム１＞

【化24】

【0172】

式（ｂ４）で表される化合物の好適な具体例としては、以下のＰＩ－４３～ＰＩ－７６が挙げられる。

【化25】

【0173】

【化26】

【0174】

光重合開始剤（Ｂ）は、前述の通り、式（１）で表される化合物以外の他の光重合開始剤を含んでいてもよい。
他の光重合開始剤としては、具体的には、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－〔４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル〕－２－ヒドロキシ－２－メチル－１－プロパン－１－オン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－（４－ドデシルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン、ビス（４－ジメチルアミノフェニル）ケトン、２－メチル－１－〔４－（メチルチオ）フェニル〕－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタン－１－オン、２－（ベンゾイルオキシイミノ）－１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－１－オクタノン、２，４，６－トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、４－ベンゾイル－４’－メチルジメチルスルフィド、４－ジメチルアミノ安息香酸、４－ジメチルアミノ安息香酸メチル、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸ブチル、４－ジメチルアミノ－２－エチルヘキシル安息香酸、４－ジメチルアミノ－２－イソアミル安息香酸、ベンジル－β－メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、ｏ－ベンゾイル安息香酸メチル、２，４－ジエチルチオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジメチルチオキサントン、１－クロロ－４－プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、２－クロロチオキサンテン、２，４－ジエチルチオキサンテン、２－メチルチオキサンテン、２－イソプロピルチオキサンテン、２－エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２－ベンズアントラキノン、２，３－ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンヒドロペルオキシド、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジ（ｍ－メトキシフェニル）－イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、２－クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’－ビスジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’－ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４，４’－ジクロロベンゾフェノン、３，３－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン－ｎ－ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、ｐ－ジメチルアセトフェノン、ｐ－ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルアセトフェノン、ｐ－ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルジクロロアセトフェノン、α，α－ジクロロ－４－フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、２－メチルチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル－４－ジメチルアミノベンゾエート、９－フェニルアクリジン、１，７－ビス－（９－アクリジニル）ヘプタン、１，５－ビス－（９－アクリジニル）ペンタン、１，３－ビス－（９－アクリジニル）プロパン、ｐ－メトキシトリアジン、２，４，６－トリス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－メチル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（５－メチルフラン－２－イル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（フラン－２－イル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（４－ジエチルアミノ－２－メチルフェニル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（３，４－ジメトキシフェニル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシスチリル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－ｎ－ブトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（３－ブロモ－４－メトキシ）フェニル－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（２－ブロモ－４－メトキシ）フェニル－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（３－ブロモ－４－メトキシ）スチリルフェニル－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（２－ブロモ－４－メトキシ）スチリルフェニル－ｓ－トリアジン等が挙げられる。これらの他の光重合開始剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

【0175】

また、式（１－Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物も、式（１）で表される化合物以外の他の光重合開始剤として好ましい。

【化27】

（式（１－Ｉ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）

【0176】

式（１－Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物の中では、下記式（ｂ１－Ｉ）で表される化合物、及び式（ｂ４－Ｉ）で表される化合物が好ましい。

【化28】

（式（ｂ１－Ｉ）中、Ｒ^ｂ１、Ｒ^ｂ２、Ｒ^ｂ３、及びｎ１は、前述の式（ｂ１）と同様である。）

【0177】

【化29】

（式（ｂ４－Ｉ）中、Ｒ^ｂ７、Ｒ^ｂ８、Ｒ^ｂ９、Ｒ^ｂ１０、Ｒ^ｂ１１、及びｎ３は前述の式（ｂ４）と同様である。）

【0178】

前述の通り、感光性組成物中の水分の量は、感光性組成物全体に対して０．１質量％以下である。このため、光重合開始剤（Ｂ）に付随する水分の量は、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、水分の質量との合計に対して１質量％以下である必要がある。
ここで光重合開始剤（Ｂ）に付随する水分とは、固体である光重合開始剤（Ｂ）の表面に付着する水分や、水和のように分子レベルで光重合開始剤（Ｂ）に取り込まれた水分を意味する。

【0179】

光重合開始剤（Ｂ）に付随する水分の量を、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、水分の質量との合計に対して１質量％以下に低減させる方法は特に限定されない。かかる方法としては、光重合開始剤（Ｂ）を、熱分解しない温度（例えば１００℃以下であり、好ましくは８０℃以下）で遮光下に乾燥する方法が好ましい。乾燥は減圧条件下での乾燥方法が好ましい。乾燥時間は特に限定されないが、例えば１時間～１２０時間であり、好ましくは１０時間～１００時間である。
また、光重合開始剤（Ｂ）を水と共沸する有機溶剤に溶解させた溶液から溶媒を留去させて光重合開始剤（Ｂ）を回収することによっても水分の量が低減された光重合開始剤（Ｂ）を得ることができる。

【0180】

また、光重合開始剤（Ｂ）に付随する式（２）で表されるカルボン酸の量は、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ以下である必要がある。
光重合開始剤（Ｂ）に付随する式（２）で表されるカルボン酸の量を低減させる方法としては、例えば、再結晶による精製や、有機溶剤による洗浄等が挙げられる。

【0181】

光重合開始剤（Ｂ）の含有量は、感光性組成物中の後述する溶剤（Ｓ）以外の成分の質量の合計に対して、０．５～３０質量％であることが好ましく、１～２０質量％であることがより好ましい。光重合開始剤（Ｂ）の含有量を上記の範囲とすることにより、好感度であって、パターン形状の不良が生じにくい感光性組成物を得ることができる。

【0182】

また、光重合開始剤（Ｂ）に、光開始助剤を組み合わせてもよい。光開始助剤としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４－ジメチルアミノ安息香酸メチル、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４－ジメチルアミノ安息香酸２－エチルヘキシル、安息香酸２－ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ－ジメチルパラトルイジン、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、９，１０－ジメトキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジメトキシアントラセン、９，１０－ジエトキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジエトキシアントラセン、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプト－５－メトキシベンゾチアゾール、３－メルカプトプロピオン酸、３－メルカプトプロピオン酸メチル、ペンタエリストールテトラメルカプトアセテート、３－メルカプトプロピオネート等のチオール化合物等が挙げられる。これらの光開始助剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

【0183】

＜アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）＞
感光性組成物は、光重合性化合物（Ａ）として使用される樹脂以外の他の樹脂として、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を含んでいてもよい。感光性組成物にアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を配合することで、感光性組成物に良好なアルカリ現像性を付与することができる。

【0184】

本明細書においてアルカリ可溶性樹脂とは、樹脂濃度２０質量％の樹脂溶液（溶媒：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）により、膜厚１μｍの樹脂膜を基板上に形成し、濃度０．０５質量％のＫＯＨ水溶液に１分間浸漬した際に、膜厚０．０１μｍ以上溶解するものをいう。

【0185】

アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の中では、製膜性に優れる点や、単量体の選択によって樹脂の特性を調整しやすいこと等から、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体が好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸；（メタ）アクリル酸エステル；（メタ）アクリル酸アミド；クロトン酸；マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、これらジカルボン酸の無水物；酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリル、乳酸アリル、及びアリルオキシエタノールのようなアリル化合物；ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、クロロエチルビニルエーテル、１－メチル－２，２－ジメチルプロピルビニルエーテル、２－エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル、ビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエーテル、ビニルクロロフェニルエーテル、ビニル－２，４－ジクロロフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテル、及びビニルアントラニルエーテルのようなビニルエーテル；ビニルブチレート、ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテート、ビニルバレート、ビニルカプロエート、ビニルクロロアセテート、ビニルジクロロアセテート、ビニルメトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニルフエニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニルラクテート、ビニル－β－フェニルブチレート、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロロ安息香酸ビニル、テトラクロロ安息香酸ビニル、及びナフトエ酸ビニルのようなビニルエステル；スチレン、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロロメチルスチレン、トリフルオロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレン、メトキシスチレン、４－メトキシ－３－メチルスチレン、ジメトキシスチレン、クロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロスチレン、テトラクロロスチレン、ペンタクロロスチレン、ブロモスチレン、ジブロモスチレン、ヨードスチレン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、２－ブロモ－４－トリフルオロメチルスチレン、及び４－フルオロ－３－トリフルオロメチルスチレンのようなスチレン又はスチレン誘導体；エチレン、プロピレン、１－ブテン、１－ペンテン、１－ヘキセン、３－メチル－１－ブテン、３－メチル－１－ペンテン、３－エチル－１－ペンテン、４－メチル－１－ペンテン、４－メチル－１－ヘキセン、４，４－ジメチル－１－ヘキセン、４，４－ジメチル－１－ペンテン、４－エチル－１－ヘキセン、３－エチル－１－ヘキセン、１－オクテン、１－デセン、１－ドデセン、１－テトラデセン、１－ヘキサデセン、１－オクタデセン、及び１－エイコセンのようなオレフィンが挙げられる。

【0186】

エチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体であるアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）は、通常、不飽和カルボン酸に由来する単位を含む。不飽和カルボン酸の例としては、（メタ）アクリル酸；（メタ）アクリル酸アミド；クロトン酸；マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、これらジカルボン酸の無水物が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として使用されるエチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体に含まれる、不飽和カルボン酸に由来する単位の量は、樹脂が所望するアルカリ可溶性を有する限り特に限定されない。アルカリ可溶性樹脂として使用される樹脂中の、不飽和カルボン酸に由来する単位の量は、樹脂の質量に対して、５～２５質量％が好ましく、８～１６質量％がより好ましい。

【0187】

以上例示した単量体から選択される１種以上の単量体の重合体である、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体の中では、（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体が好ましい。以下、（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体について説明する。

【0188】

（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体の調製に用いられる、（メタ）アクリル酸エステルは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、公知の（メタ）アクリル酸エステルから適宜選択される。

【0189】

（メタ）アクリル酸エステルの好適な例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、アミル（メタ）アクリレート、ｔ－オクチル（メタ）アクリレート等の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレート；クロロエチル（メタ）アクリレート、２，２－ジメチルヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンモノ（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フルフリル（メタ）アクリレート；エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステル；脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルが挙げられる。エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステル、及び脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルの詳細については後述する。

【0190】

（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体の中では、感光性組成物を用いて形成される透明絶縁膜の基材への密着性や機械的強度が優れる点から、エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位を含む樹脂が好ましい。

【0191】

エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルは、鎖状脂肪族エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルであっても、後述するような、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルであってもよい。

【0192】

エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルは、芳香族基を含んでいてもよい。芳香族基を構成する芳香環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環が挙げられる。芳香族基を有し、且つエポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルの例としては、４－グリシジルオキシフェニル（メタ）アクリレート、３－グリシジルオキシフェニル（メタ）アクリレート、２－グリシジルオキシフェニル（メタ）アクリレート、４－グリシジルオキシフェニルメチル（メタ）アクリレート、３－グリシジルオキシフェニルメチル（メタ）アクリレート、及び２－グリシジルオキシフェニルメチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【0193】

感光性組成物を用いて形成される膜が透明性を要求される場合、エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸は、芳香族基を含まないものが好ましい。

【0194】

鎖状脂肪族エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルの例としては、エポキシアルキル（メタ）アクリレート、及びエポキシアルキルオキシアルキル（メタ）アクリレート等のような、エステル基（－Ｏ－ＣＯ－）中のオキシ基（－Ｏ－）に鎖状脂肪族エポキシ基が結合する（メタ）アクリル酸エステルが挙げられる。このような（メタ）アクリル酸エステルが有する鎖状脂肪族エポキシ基は、鎖中に１又は複数のオキシ基（－Ｏ－）を含んでいてもよい。鎖状脂肪族エポキシ基の炭素原子数は、特に限定されないが、３～２０が好ましく、３～１５がより好ましく、３～１０が特に好ましい。

【0195】

鎖状脂肪族エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、２－メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシブチル（メタ）アクリレート、６，７－エポキシヘプチル（メタ）アクリレート等のエポキシアルキル（メタ）アクリレート；２－グリシジルオキシエチル（メタ）アクリレート、３－グリシジルオキシ－ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、４－グリシジルオキシ－ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、５－グリシジルオキシ－ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、６－グリシジルオキシ－ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート等のエポキシアルキルオキシアルキル（メタ）アクリレートが挙げられる。

【0196】

エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位を含む、（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体における、エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位の含有量は、樹脂の重量に対して、１～９５質量％が好ましく、４０～８０質量％がより好ましい。

【0197】

また、（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体の中では、感光性組成物を用いて透明性に優れる透明絶縁膜を形成しやすいことから、脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位を含む樹脂も好ましい。

【0198】

脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルにおいて、脂環式骨格を有する基は、脂環式炭化水素基を有する基であっても、脂環式エポキシ基を有する基であってもよい。脂環式骨格を構成する脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。

【0199】

脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルのうち、脂環式炭化水素基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば下記式（ｃ１－１）～（ｃ１－８）で表される化合物が挙げられる。これらの中では、下記式（ｃ１－３）～（ｃ１－８）で表される化合物が好ましく、下記式（ｃ１－３）又は（ｃ１－４）で表される化合物がより好ましい。

【0200】

【化30】

【0201】

上記式中、Ｒ^ｃ１は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^ｃ２は単結合又は炭素原子数１～６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Ｒ^ｃ３は水素原子又は炭素原子数１～５のアルキル基を示す。Ｒ^ｃ２としては、単結合、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Ｒ^ｃ３としては、メチル基、エチル基が好ましい。

【0202】

脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルのうち、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、例えば下記式（ｃ２－１）～（ｃ２－１６）で表される化合物が挙げられる。これらの中でも、感光性組成物の現像性を適度なものとするためには、下記式（ｃ２－１）～（ｃ２－６）で表される化合物が好ましく、下記式（ｃ２－１）～（ｃ２－４）で表される化合物がより好ましい。

【0203】

【化31】

【0204】

上記式中、Ｒ^ｃ４は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^ｃ５は炭素原子数１～６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Ｒ^ｃ６は炭素原子数１～１０の２価の炭化水素基を示し、ｔは０～１０の整数を示す。Ｒ^ｃ５としては、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Ｒ^ｃ６としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、フェニレン基、シクロヘキシレン基、－ＣＨ_２－Ｐｈ－ＣＨ_２－（Ｐｈはフェニレン基を示す）が好ましい。

【0205】

（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体が、脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位を含む樹脂である場合、樹脂中の脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位の量は、５～９５質量％が好ましく、１０～９０質量％がより好ましく、３０～７０質量％がさらに好ましい。

【0206】

また、脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位を含む、（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体の中では、（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂が好ましい。このようなアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を含む感光性組成物を用いて形成される膜は、基材に対する密着性に優れる。また、このような樹脂を用いる場合、樹脂に含まれるカルボキシ基と、脂環式エポキシ基との自己反応を生じさせることが可能である。このため、このような樹脂を含む感光性組成物を用いると、膜を加熱する方法等を用いて、カルボキシ基と、脂環式エポキシ基との自己反応を生じさせることによって、形成される膜の硬度のような機械的物性を向上させることができる。

【0207】

（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、（メタ）アクリル酸に由来する単位の量は、１～９５質量％が好ましく、１０～５０質量％がより好ましい。（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位の量は、１～９５質量％が好ましく、３０～７０質量％がより好ましい。

【0208】

（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む、（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸エステルから選択される１種以上の単量体の重合体の中では、（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂が好ましい。

【0209】

（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、（メタ）アクリル酸に由来する単位の量は、１～９５質量％が好ましく、１０～５０質量％がより好ましい。（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位の量は、１～９５質量％が好ましく、１０～７０質量％がより好ましい。（メタ）アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、脂環式エポキシ基を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する単位の量は、１～９５質量％が好ましく、３０～８０質量％がより好ましい。

【0210】

アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の質量平均分子量（Ｍｗ：ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）のポリスチレン換算による測定値。本明細書において同じ。）は、２０００～２０００００であることが好ましく、２０００～１８０００であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感光性組成物の膜形成能、露光後の現像性のバランスがとりやすい傾向がある。

【0211】

感光性組成物がアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を含む場合、感光性組成物中のアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の含有量は、感光性組成物中の後述する溶剤（Ｓ）以外の成分の質量の合計に対して、１５～８９．５質量％が好ましく、３５～８５質量％がより好ましく、５０～７０質量％が特に好ましい。

【0212】

以上説明したアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）は、感光性組成物中の水分の量と、前述の式（２）で表されるカルボン酸の量とが、それぞれ所定の範囲内となるように、感光性組成物の調製前に、脱水等の精製を施されているのが好ましい。

【0213】

アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）から水を除去する方法としては、加熱による乾燥が挙げられる。また、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）からカルボン酸を除去する方法としては、加熱による除去や、脱水された有機溶剤による洗浄等の方法が挙げられる。

【0214】

＜着色剤（Ｄ）＞
感光性組成物は、着色剤（Ｄ）を含んでいてもよい。感光性組成物に含有される着色剤（Ｄ）としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ社発行）において、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを用いるのが好ましい。

【0215】

好適に使用できる黄色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー」は同様であり、番号のみを記載する。）、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３，７４、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５、１８０、及び１８５が挙げられる。

【0216】

好適に使用できる橙色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。）、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、５５、５９、６１、６３、６４、７１、及び７３が挙げられる。

【0217】

好適に使用できる紫色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。）、１９、２３、２９、３０、３２、３６、３７、３８、３９、４０、及び５０が挙げられる。

【0218】

好適に使用できる赤色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。）２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９２、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、及び２６５が挙げられる。

【0219】

好適に使用できる青色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。）、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、及び６６が挙げられる。

【0220】

好適に使用できる、上記の他の色相の顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３７等の緑色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８等の茶色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７等の黒色顔料が挙げられる。

【0221】

また、感光性組成物は、着色剤（Ｄ）として遮光剤を含んでいてもよい。遮光剤を含む感光性組成物は、液晶表示パネルにおけるブラックマトリックス又はブラックカラムスペーサの形成や、有機ＥＬ素子における発光層の区画用のバンクの形成に好適に用いられる。
着色剤（Ｄ）を遮光剤とする場合、遮光剤としては黒色顔料や紫顔料を用いることが好ましい。黒色顔料や紫顔料の例としては、カーボンブラック、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩等、有機物、無機物を問わず各種の顔料を挙げることができる。これらの中でも、高い遮光性を有するカーボンブラックを用いることが好ましい。

【0222】

カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができるが、遮光性に優れるチャンネルブラックを用いることが好ましい。また、樹脂被覆カーボンブラックを使用してもよい。

【0223】

樹脂被覆カーボンブラックは、樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶表示ディスプレイのような液晶表示素子のブラックマトリクスとして使用した場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイを製造できる。

【0224】

カーボンブラックとしては、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックも好ましい。カーボンブラックに導入される酸性基は、ブレンステッドの定義による酸性を示す官能基である。酸性基の具体例としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。カーボンブラックに導入された酸性基は、塩を形成していてもよい。酸性基と塩を形成するカチオンは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カチオンの例としては、種々の金属イオン、含窒素化合物のカチオン、アンモニウムイオン等が挙げられ、ナトリウムイオン、カリウムイオン、リチウムイオン等のアルカリ金属イオンや、アンモニウムイオンが好ましい。

【0225】

以上説明した酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックの中では、感光性組成物を用いて形成される遮光性の硬化膜の高抵抗を達成する観点で、カルボン酸基、カルボン酸塩基、スルホン酸基、及びスルホン酸塩基からなる群より選択される１種以上の官能基を有するカーボンブラックが好ましい。

【0226】

カーボンブラックに酸性基を導入する方法は特に限定されない。酸性基を導入する方法としては、例えば以下の方法が挙げられる。
１）濃硫酸、発煙硫酸、クロロスルホン酸等を用いる直接置換法や、亜硫酸塩、亜硫酸水素塩等を用いる間接置換法により、カーボンブラックにスルホン酸基を導入する方法。
２）アミノ基と酸性基とを有する有機化合物と、カーボンブラックとをジアゾカップリングさせる方法。
３）ハロゲン原子と酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとをウィリアムソンのエーテル化法により反応させる方法。
４）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとを反応させる方法。
５）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物を用いて、カーボンブラックに対してフリーデルクラフツ反応を行った後、脱保護する方法。

【0227】

これらの方法の中では、酸性基の導入処理が、容易且つ安全であることから、方法２）が好ましい。方法２）で使用されるアミノ基と酸性基とを有する有機化合物としては、芳香族基にアミノ基と酸性基とが結合した化合物が好ましい。このような化合物の例としては、スルファニル酸のようなアミノベンゼンスルホン酸や、４－アミノ安息香酸のようなアミノ安息香酸が挙げられる。

【0228】

カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、カーボンブラック１００ｇに対して、１～２００ｍｍｏｌが好ましく、５～１００ｍｍｏｌがより好ましい。

【0229】

酸性基を導入されたカーボンブラックは、樹脂による被覆処理を施されていてもよい。
樹脂により被覆されたカーボンブラックを含む感光性組成物を用いる場合、遮光性及び絶縁性に優れ、表面反射率が低い遮光性の硬化膜を形成しやすい。なお、樹脂による被覆処理によって、感光性組成物を用いて形成される遮光性の硬化膜の誘電率に対する悪影響は特段生じない。カーボンブラックの被覆に使用できる樹脂の例としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、キシレン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、グリプタル樹脂、エポキシ樹脂、アルキルベンゼン樹脂等の熱硬化性樹脂や、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリスルフォン、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリアミノビスマレイミド、ポリエーテルスルフォポリフェニレンスルフォン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂が挙げられる。カーボンブラックに対する樹脂の被覆量は、カーボンブラックの質量と樹脂の質量の合計に対して、１～３０質量％が好ましい。

【0230】

また、遮光剤としてはペリレン系顔料も好ましい。ペリレン系顔料の具体例としては、下記式（ｄ－１）で表されるペリレン系顔料、下記式（ｄ－２）で表されるペリレン系顔料、及び下記式（ｄ－３）で表されるペリレン系顔料が挙げられる。市販品では、ＢＡＳＦ社製の製品名Ｋ００８４、及びＫ００８６や、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４等を、ペリレン系顔料として好ましく用いることができる。

【0231】

【化32】

式（ｄ－１）中、Ｒ^ｄ１及びＲ^ｄ２は、それぞれ独立に炭素原子数１～３のアルキレン基を表し、Ｒ^ｄ３及びＲ^ｄ４は、それぞれ独立に、水素原子、水酸基、メトキシ基、又はアセチル基を表す。

【0232】

【化33】

式（ｄ－２）中、Ｒ^ｄ５及びＲ^ｄ６は、それぞれ独立に、炭素原子数１～７のアルキレン基を表す。

【0233】

【化34】

式（ｄ－３）中、Ｒ^ｄ７及びＲ^ｄ８は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１～２２のアルキル基であり、Ｎ，Ｏ、Ｓ、又はＰのヘテロ原子を含んでいてもよい。Ｒ^ｄ７及びＲ^ｄ８がアルキル基である場合、当該アルキル基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。

【0234】

上記の式（ｄ－１）で表される化合物、式（ｄ－２）で表される化合物、及び式（ｄ－３）で表される化合物は、例えば、特開昭６２－１７５３号公報、特公昭６３－２６７８４号公報に記載の方法を用いて合成することができる。すなわち、ペリレン－３，５，９，１０－テトラカルボン酸又はその二無水物とアミン類とを原料とし、水又は有機溶媒中で加熱反応を行う。そして、得られた粗製物を硫酸中で再沈殿させるか、又は、水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶媒中で再結晶させることによって目的物を得ることができる。

【0235】

感光性組成物中においてペリレン系顔料を良好に分散させるためには、ペリレン系顔料の平均粒子径は１０～１０００ｎｍであるのが好ましい。

【0236】

また、遮光剤としては、ラクタム系顔料を含ませることもできる。ラクタム系顔料としては、例えば、下記式（ｄ－４）で表される化合物が挙げられる。

【0237】

【化35】

【0238】

式（ｄ－４）中、Ｘ^ｄは二重結合を示し、幾何異性体としてそれぞれ独立にＥ体又はＺ体であり、Ｒ^ｄ９は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ニトロ基、メトキシ基、臭素原子、塩素原子、フッ素原子、カルボキシ基、又はスルホ基を示し、Ｒ^ｄ１０は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、又はフェニル基を示し、Ｒ^ｄ１１は、各々独立に、水素原子、メチル基、又は塩素原子を示す。
式（ｄ－４）で表される化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
Ｒ^ｄ９は、式（ｄ－４）で表される化合物の製造が容易である点から、ジヒドロインドロン環の６位に結合するのが好ましく、Ｒ^ｄ１１はジヒドロインドロン環の４位に結合するのが好ましい。同様の観点から、Ｒ^ｄ９、Ｒ^ｄ１０、及びＲ^ｄ１１は、好ましくは水素原子である。
式（ｄ－４）で表される化合物は、幾何異性体としてＥＥ体、ＺＺ体、ＥＺ体を有するが、これらのいずれかの単一の化合物であってもよいし、これらの幾何異性体の混合物であってもよい。
式（ｄ－４）で表される化合物は、例えば、国際公開第２０００／２４７３６号，国際公開第２０１０／０８１６２４号に記載された方法により製造することができる。

【0239】

組成物中においてラクタム系顔料を良好に分散させるためには、ラクタム系顔料の平均粒子径は１０～１０００ｎｍであるのが好ましい。

【0240】

さらに、銀錫（ＡｇＳｎ）合金を主成分とする微粒子（以下、「ＡｇＳｎ合金微粒子」という。）も遮光剤として好ましく用いられる。このＡｇＳｎ合金微粒子は、ＡｇＳｎ合金が主成分であればよく、他の金属成分として、例えば、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ等が含まれていてもよい。
このＡｇＳｎ合金微粒子の平均粒子径は、１～３００ｎｍが好ましい。

【0241】

ＡｇＳｎ合金は、化学式ＡｇｘＳｎにて表した場合、化学的に安定したＡｇＳｎ合金が得られるｘの範囲は１≦ｘ≦１０であり、化学的安定性と黒色度とが同時に得られるｘの範囲は３≦ｘ≦４である。
ここで、上記ｘの範囲でＡｇＳｎ合金中のＡｇの質量比を求めると、
ｘ＝１の場合、 Ａｇ／ＡｇＳｎ＝０．４７６２
ｘ＝３の場合、 ３・Ａｇ／Ａｇ３Ｓｎ＝０．７３１７
ｘ＝４の場合、 ４・Ａｇ／Ａｇ４Ｓｎ＝０．７８４３
ｘ＝１０の場合、１０・Ａｇ／Ａｇ１０Ｓｎ＝０．９００８
となる。
従って、このＡｇＳｎ合金は、Ａｇを４７．６～９０質量％含有した場合に化学的に安定なものとなり、Ａｇを７３．１７～７８．４３重量％含有した場合にＡｇ量に対し効果的に化学的安定性と黒色度とを得ることができる。

【0242】

このＡｇＳｎ合金微粒子は、通常の微粒子合成法を用いて作製することができる。微粒子合成法としては、気相反応法、噴霧熱分解法、アトマイズ法、液相反応法、凍結乾燥法、水熱合成法等が挙げられる。

【0243】

ＡｇＳｎ合金微粒子は絶縁性の高いものであるが、感光性組成物の用途によっては、さらに絶縁性を高めるため、表面を絶縁膜で覆うようにしても構わない。このような絶縁膜の材料としては、金属酸化物又は有機高分子化合物が好適である。
金属酸化物としては、絶縁性を有する金属酸化物、例えば、酸化ケイ素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化ジルコニウム（ジルコニア）、酸化イットリウム（イットリア）、酸化チタン（チタニア）等が好適に用いられる。
また、有機高分子化合物としては、絶縁性を有する樹脂、例えば、ポリイミド、ポリエーテル、ポリアクリレート、ポリアミン化合物等が好適に用いられる。

【0244】

絶縁膜の膜厚は、ＡｇＳｎ合金微粒子の表面の絶縁性を十分に高めるためには１～１００ｎｍの厚みが好ましく、より好ましくは５～５０ｎｍである。
絶縁膜は、表面改質技術あるいは表面のコーティング技術により容易に形成することができる。特に、テトラエトキシシラン、アルミニウムトリエトキシド等のアルコキシドを用いれば、比較的低温で膜厚の均一な絶縁膜を形成することができるので好ましい。

【0245】

遮光剤としては、上述のペリレン系顔料、ラクタム系顔料、ＡｇＳｎ合金微粒子単独でも用いてもよいし、これらを組み合わせて用いてもよい。
その他、遮光剤は、色調の調整の目的等で、上記の黒色顔料や紫顔料とともに、赤、青、緑、黄等の色相の色素を含んでいてもよい。黒色顔料や紫顔料の他の色相の色素は、公知の色素から適宜選択することができる。例えば、黒色顔料や紫顔料の他の色相の色素としては、上記の種々の顔料を用いることができる。黒色顔料や紫顔料以外の他の色相の色素の使用量は、遮光剤の全質量に対して、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましい。

【0246】

上記の着色剤（Ｄ）を感光性組成物において均一に分散させるために、さらに分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤を用いることが好ましい。特に、着色剤として、カーボンブラックを用いる場合には、分散剤としてアクリル樹脂系の分散剤を用いることが好ましい。

【0247】

また、無機顔料と有機顔料はそれぞれ単独又は２種以上併用してもよいが、併用する場合には、無機顔料と有機顔料との総量１００質量部に対して、有機顔料を１０～８０質量部の範囲で用いることが好ましく、２０～４０質量部の範囲で用いることがより好ましい。

【0248】

なお、感光性組成物は、着色剤（Ｄ）として顔料以外にも染料を用いることができる。この染料は公知の材料のなかから適宜選択すればよい。
本実施形態の感光性組成物に適用可能な染料としては、例えば、アゾ染料、金属錯塩アゾ染料、アントラキノン染料、トリフェニルメタン染料、キサンテン染料、シアニン染料、ナフトキノン染料、キノンイミン染料、メチン染料、フタロシアニン染料等を挙げることができる。
また、これら染料については、レーキ化（造塩化）することで有機溶剤等に分散させ、これを着色剤（Ｄ）として用いることができる。
これらの染料以外にも、例えば、特開２０１３－２２５１３２号公報、特開２０１４－１７８４７７号公報、特開２０１３－１３７５４３号公報、特開２０１１－３８０８５号公報、特開２０１４－１９７２０６号公報等に記載の染料等も好ましく用いることができる。
これら染料もまた、前述の顔料（例えば、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料、ＡｇＳｎ合金微粒子等）と組み合わせて使用することもできる。

【0249】

感光性組成物が着色剤（Ｄ）を含む場合、感光性組成物における着色剤（Ｄ）の使用量は、感光性組成物の用途に応じて適宜決定すればよい。一例として、感光性組成物中の後述する溶剤（Ｓ）以外の成分の質量の合計１００質量部に対して、５～７０質量部が好ましく、２５～６０質量部がより好ましい。上記の範囲とすることにより、目的とするパターン形状を備えるブラックマトリクスや各着色層を形成することが容易である。

【0250】

特に、着色剤（Ｄ）として遮光剤を含む感光性組成物を使用してブラックマトリクスを形成する場合には、ブラックマトリクスの被膜１μｍ当たりのＯＤ値が４以上となるように感光性組成物における遮光剤の量を調整することが好ましい。ブラックマトリクスにおける被膜１μｍ当たりのＯＤ値が４以上あれば、液晶表示ディスプレイのブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。

【0251】

着色剤（Ｄ）は、分散剤を用いて適当な濃度で分散させた分散液とした後、感光性組成物に添加することが好ましい。

【0252】

以上説明した着色剤（Ｄ）は、感光性組成物中の水分の量と、前述の式（２）で表されるカルボン酸の量とが、それぞれ所定の範囲内となるように、感光性組成物の調製前に、脱水等の精製を施されているのが好ましい。
また、着色剤（Ｄ）を分散液として用いる場合、分散液中の分散媒は、水分と、式（２）で表されるカルボン酸の含有量とが十分に少ないものを用いるのが好ましい。

【0253】

着色剤（Ｄ）から水を除去する方法としては、加熱による乾燥や、シリカゲル、モレキュラーシーブ等の脱水剤を用いる方法が挙げられる。着色剤（Ｄ）からカルボン酸を除去する方法としては、加熱による除去や、脱水された有機溶剤による洗浄等の方法が挙げられる。分散媒のような液状成分から水やカルボン酸を除去する場合、蒸留等を行ってもよく、液状成分にシリカゲル、モレキュラーシーブ、活性炭等の脱水剤や吸着剤を加えてもよい。

【0254】

＜溶剤（Ｓ）＞
感光性組成物は、溶剤（Ｓ）を含む。溶剤（Ｓ）の種類は、水分の量と、式（２）で表されるカルボン酸の量とが所定の範囲内である感光性組成物を調製出来る限り特に限定されない。

【0255】

溶剤（Ｓ）の好適な具体例としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール－ｎ－プロピルエーテル、エチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２－ヘプタノン、３－ヘプタノン等のケトン類；２－ヒドロキシプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－３－メチルブタン酸メチル、３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ－プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸ｎ－ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ｎ－ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ－プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ－ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ－プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２－オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルイソブチルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルホルムアミド、Ｎ－メチルカプロラクタム、１，３－ジメチル－２－イミダゾリジノン、ピリジン、及びＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラメチルウレア等の含窒素極性有機溶剤等が挙げられる。これらの溶剤（Ｓ）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

【0256】

これらの中でも、アルキレングリコールモノアルキルエーテル類、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、上述した他のエーテル類、乳酸アルキルエステル類、上述した他のエステル類が好ましく、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、上述した他のエーテル類、上述した他のエステル類がより好ましい。
また、各成分の溶解性や、着色剤（Ｄ）の分散性等の点で、溶剤（Ｓ）が、含窒素極性有機溶剤を含むのも好ましい。含窒素極性有機溶剤としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラメチルウレアが好ましい。
これらの溶剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

【0257】

上記溶剤の中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、３－メトキシブチルアセテートが好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３－メトキシブチルアセテートを用いることが特に好ましい。

【0258】

溶剤（Ｓ）の含有量は、感光性組成物の用途に応じて適宜決定すればよいが、一例として、感光性組成物の溶剤（Ｓ）以外の成分の質量の合計１００質量部に対して、５０～１９００質量部程度が挙げられ、好ましくは８０～９００質量部程度である。

【0259】

溶剤（Ｓ）は、感光性組成物中の水分の量と、前述の式（２）で表されるカルボン酸の量とが、それぞれ所定の範囲内となるように、感光性組成物の調製前に、脱水等の精製を施されているのが好ましい。

【0260】

溶剤（Ｓ）から水を除去する方法としては、蒸留や、シリカゲル、モレキュラーシーブ等の脱水剤を用いる方法等が挙げられる。
溶剤（Ｓ）からカルボン酸を除去する方法としては、蒸留や、モレキュラーシーブ、活性炭等の脱水剤や吸着剤を用いる方法が挙げられる。

【0261】

＜その他の成分＞
感光性組成物は、上記の成分以外に、必要に応じて、各種の添加剤を含んでいてもよい。具体的には、硬化促進剤、光架橋剤、光増感剤、分散助剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。

【0262】

熱重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等を挙げることができる。また、消泡剤としては、シリコーン系、フッ素系等の化合物を、界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン等の化合物を、それぞれ例示できる。

【0263】

＜感光性組成物の製造方法＞
感光性組成物の製造方法は、上記説明した所定の成分を、それぞれ所望する量、溶剤（Ｓ）に、均一に分散又は溶解させることができる方法であれば特に限定されない。
好適な製造方法については後述する。

【0264】

≪感光性組成物の製造方法≫
感光性組成物の製造方法は、光重合性化合物（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）とを、溶剤（Ｓ）に溶解させることを含む感光性組成物の製造方法である。
この製造方法では、前述の式（１）：

【化36】

（式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含む光重合開始剤（Ｂ）が用いられる。
そして、溶剤（Ｓ）に溶解させる光重合開始剤（Ｂ）に付随する水分の量は、光重合開始剤の質量と、水分の質量との合計に対して１質量％以下であり、０．５質量％以下が好ましく、０．１質量％がさらに好ましく、０．０５質量％以下が特に好ましい。付随する水分の量がかかる範囲内である光重合開始剤（Ｂ）を用いて感光性組成物を製造することにより、経時的な感度の低下が抑制された感光性組成物を得ることができる。

【0265】

光重合開始剤（Ｂ）に付随する水分の量を上記の範囲内の値とするために、感光性組成物の製造方法は、光重合開始剤（Ｂ）を熱分解しない温度で遮光下に乾燥することを含むのが好ましい。

【0266】

また、溶剤（Ｓ）に溶解させる光重合開始剤（Ｂ）について、光重合開始剤（Ｂ）に付随する前述の式（２）で表されるカルボン酸の含有量は、光重合開示剤（Ｂ）の質量と、式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ以下が好ましく、５００質量ｐｐｂがより好ましく、４５０質量ｐｐｂが特に好ましく、４２０質量ｐｐｂ以下が最も好ましい。

【0267】

感光性組成物を調製する際、光重合性化合物（Ａ）及び光重合開始剤（Ｂ）とともに、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を溶剤（Ｓ）に溶解させてもよい。
さらに、溶剤（Ｓ）には、前述のその他の成分を溶解させてもよい。
以上説明した成分の使用量は、感光性組成物について前述した通りである。

【0268】

溶剤（Ｓ）に、光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、及びアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）等を溶解させる方法は特に限定されない。
光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、及びアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）等を同時に溶剤（Ｓ）に加えて溶解させてもよく、光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、及びアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）等を任意の順序で、逐次的に溶剤（Ｓ）に加えて溶解させてもよい。
また、光重合性化合物（Ａ）を溶剤（Ｓ）に溶解させた溶液と、光重合開始剤（Ｂ）を溶剤に溶解させた溶液と、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を溶剤（Ｓ）に溶解させた溶液と、その他の成分を溶剤（Ｓ）に溶解させた溶液とから選んだ２種以上の溶液を、任意の順序で混合してもよい。

【0269】

感光性組成物に前述の着色剤（Ｄ）を含有させる場合、着色剤（Ｄ）の配合方法は特に限定されない。
例えば、着色剤（Ｄ）以外の成分を溶剤（Ｓ）に均一に溶解させた均一な溶液を得た後に、着色剤（Ｄ）や着色剤（Ｄ）の分散液を溶液に加えてもよい。
また、着色剤（Ｄ）を所定の量の溶剤（Ｓ）に分散させた後に、溶剤（Ｓ）を含む分散液中に光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、及びアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）等を溶解させてもよい。

【0270】

以上説明した方法によれば、光重合開始剤（Ｂ）として式（１）で表される化合物を含んでいても、経時的な感度低下を起こしにくい感光性組成物を調製出来る。

【0271】

≪光重合開始剤≫
光重合開始剤は、式（１）：

【化37】

（式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。）
で表される化合物を含む。
光重合開始剤に付随する水分の量は、光重合開始剤の質量と、光重合開始剤に付随する水の質量との合計に対して１質量％以下である。
また、光重合開始剤に付随する下記式（２）
Ｒ^３ＣＯＯＨ・・・（２）
（式（２）中、Ｒ^３は、
で表されるカルボン酸の量は、光重合開始剤の質量と、式（２）で表されるカルボン酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ以下である。
かかる光重合開始剤（Ｂ）を用いることにより、高感度である一方で、経時的な感度低下を起こしにくい感光性組成物を調製しやすい。

【0272】

光重合開始剤（Ｂ）について、式（１）で表される化合物、式（１）で表される化合物の含有量、式（１）で表される化合物以外に含んでいてもよい他の光重合開始剤、光重合開始剤の調製方法等は、感光性組成物、及び感光性組成物の製造方法について前述した通りである。

【実施例】

【0273】

以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲は、これらの実施例に限定されるものではない。

【0274】

〔実施例１～４、及び比較例１～６〕
実施例１、実施例２、及び比較例１～３では、光重合開始剤の保管試験を行った。
実施例３、実施例４、及び比較例４～６では、実施例１、実施例２、及び比較例１～３での試験に供した光重合開始剤を用いて感光性組成物を調製した。

【0275】

（感光性組成物の調製）
実施例３、実施例４、及び比較例４～６において、下記構造（質量比Ｉ－１：Ｉ－２：ＩＩ－１：ＩＩＩ－１は、２５：２０：１４：４１）のアルカリ可溶性樹脂６５質量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（光重合性モノマー）３５質量部と、表２に記載の種類及び質量部の光重合開始剤とを、固形分濃度が２４質量％となるように、ジエチレングリコールメチルエチルエーテルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶媒（質量比５５：４５）に溶解させて、感光性組成物を調製した。
なお、後述する方法に従って、光重合開始剤について３５℃４８時間の保管試験を行った。各実施例及び比較例について、保管試験前の光重合開始剤と、保管試験後の光重合開始剤とを用いて、２種類の感光性組成物を調製した。

【化38】

【0276】

（光重合開始剤（Ｂ）の保管試験）
光重合開始剤（Ｂ）の化学構造は以下の通りである。

【化39】

【0277】

なお、実施例で用いた光重合開始剤（Ｂ）は、上記化合物を再結晶して得た粉末を、遮光下に分解温度以下で加熱・減圧乾燥して得た。実施例２は実施例１よりも減圧乾燥時間を短くした。
また、比較例で用いた光重合開始剤（Ｂ）は、光重合開始剤（Ｂ）に付随する水分の量が、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、水分の質量との合計に対する量（質量％）として下記表１に記載の量となるように、実施例で用いた光重合開始剤に対して水を加えて調製した。
なお、水分の量についてはカールフィッシャー法で測定した。
また、得られた光重合開始剤（Ｂ）の製造直後（初期）の酢酸含有量（ＡＣ_０、光重合開始剤の質量と酢酸の質量との合計に基づく質量ｐｐｂ）と、３５℃４８時間保管後の酢酸含有量（ＡＣ_４８）とを測定した。得られた、ＡＣ_０の値と、ＡＣ_４８の値とから、前述の式に基づいてカルボン酸増加率を算出した。ＡＣ_０、ＡＣ_４８、及びカルボン酸増加率を表１に記す。
酢酸含有量については、イオンクロマト法により測定した。

【0278】

【表1】

【0279】

（感度評価）
実施例３、実施例４、及び比較例４～６で得た感光性組成物を用いて、以下の方法に従って感度評価を行った。

【0280】

＜感度評価方法＞
スピンコーターを用いて，１０ｃｍ×１０ｃｍのガラスに、感光性組成物をスピン塗布して塗布膜を形成した。塗布膜を１００℃、１２０秒間の条件でベークして、塗布膜から溶剤を除去した。次いで、ベークされた塗布膜に対して、ミラープロジェクションアライナーで、露光量１０、２０、３０、４０、及び５０ｍＪ／ｃｍ^２にて露光を行った。
露光後、塗布膜の膜厚を測定した。また、膜厚測定後の塗布膜を、濃度０．０５質量％のＫＯＨ水溶液を用いて６０秒間現像処理した。次いで、現像処理後の塗布膜の膜厚を測定した。各露光量において、現像前後の膜厚差を算出し、膜厚差０．１μｍ未満となる最小露光量を確認し、最小露光量を感度とした。

【0281】

下表２における組成物中水分量は、組成物全体の質量に対する水分の量（質量％）であり、製造直後の光重合開始剤（Ｂ）を用いた場合と経時後の光重合開始剤（Ｂ）を用いた場合とで同様の数値を示す。組成物中酢酸量は、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、酢酸の質量との合計に対する酢酸の量（質量ｐｐｂ）であり、表１に記載した数値と同様である。
保管前の開始剤を含む感光性組成物と、保管後の開始剤を含む感光性組成物とで感度に差がない場合を「良好」と評価し、保管前の開始剤を含む感光性組成物と、保管後の開始剤を含む感光性組成物とで感度に差がある場合を「不良」と評価した。

【0282】

【表2】

【0283】

実施例によれば、前述の式（１）で表される構造を有する光重合開始剤（Ｂ）を含む感光性組成物において、酢酸の含有量が、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、酢酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ以下であり、光重合開始剤（Ｂ）付随する水分の量が、前記光重合開始剤（Ｂ）の質量と、水分の質量との合計に対して１質量％以下の（Ｂ）を使用して感光性組成物を調製した場合は、調製された感光性組成物の感度の低下が生じないことが分かる。
他方、比較例によれば、感光性組成物中の酢酸の含有量が、光重合開始剤（Ｂ）の質量と、酢酸の質量との合計に対して５５０質量ｐｐｂ超であったり、水分の量が、感光性組成物全体に対して０．１質量％超であったりする場合、経時的な感度の低下が生じやすいことが分かる。