特許 7198119 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-12-20

(45)【発行日】2022-12-28

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/409 20060101AFI20221221BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20221221BHJP

【ＦＩ】

G05B19/409 C

H01L21/78 B

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2019038347

(22)【出願日】2019-03-04

(65)【公開番号】P2020144420

(43)【公開日】2020-09-10

【審査請求日】2022-01-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】出島 信和

(72)【発明者】

【氏名】田中 貴光

【審査官】亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】特開平０５－２２０６２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－３０８９９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３１１７１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２２７０２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－３１８７０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０１３１９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１４／１６７７３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－１３３０２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０５９０６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１９１８０２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０５Ｂ １９／１８ － １９／４６

Ｂ２３Ｑ １７／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２４Ｂ ４９／００

Ｇ０６Ｆ ３／０４８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を動作させる制御手段と、該加工手段による被加工物の加工に関する加工条件を表示する表示手段と、を備えた加工装置であって、
該制御手段は、複数の加工条件を記憶しており、
該制御手段は、該表示手段に、該複数の加工条件の名称の一覧を含むとともに、加工に使用される加工条件を選択可能な一覧表示画面を表示し、
該制御手段は、該一覧表示画面において、該複数の加工条件の名称を、互いに異なる色で表示し、
加工管理部材をさらに備え、該加工管理部材には、該制御手段に記憶されている該複数の加工条件のうちの一つの加工条件の名称が記載され、該加工管理部材の一部または全体の色が、該加工条件の名称における該一覧表示画面での表示色と同色であり、
該加工管理部材が、被加工物を保持するカセットに付されている、
加工装置。

【請求項2】

該制御手段は、該表示手段に、該一覧表示画面を介して選択された加工条件の内容を示す加工条件画面を表示し、
該制御手段は、該加工条件画面の一部または全体を、該選択された加工条件の名称における該一覧表示画面での表示色と同色で表示する、
請求項１に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

加工装置には、加工に際して、加工条件が入力される。特許文献１には、加工条件を入力するためのキーボードを、加工条件の入力欄に重ねることなく表示する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００９－２０６２０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、同じ被加工物を加工する際に加工条件を再入力する手間を省くため、加工装置には、以前に作成された加工条件をコントローラに保存できるものがある。この構成では、被加工物を加工する際には、所定の加工条件を選んでコントローラから呼び出し、呼び出した加工条件を用いて被加工物を加工する。

【0005】

しかし、複数の加工条件がコントローラに保存されている場合、複数の加工条件の中から使用したい加工条件を選び出すことには手間がかかる。また、万一、加工条件を誤って選んでしまった場合には、被加工物を破損しかねない。そこで、作業者は、選び出した加工条件が使用すべき加工条件であるか否か、および、表示された加工条件の内容が適切であるのかを、細心の注意を払って確認しており、これに時間を要していた。

【0006】

本発明の目的は、加工装置に保存された加工条件の中から、適切な加工条件を容易に選択することを可能とすることにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の加工装置（本加工装置）は、被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を動作させる制御手段と、該加工手段による被加工物の加工に関する加工条件を表示する表示手段と、を備えた加工装置であって、該制御手段は、複数の加工条件を記憶しており、該制御手段は、該表示手段に、該複数の加工条件の名称の一覧を含むとともに、加工に使用される加工条件を選択可能な一覧表示画面を表示し、該制御手段は、該一覧表示画面において、該複数の加工条件の名称を、互いに異なる色で表示し、加工管理部材をさらに備え、該加工管理部材には、該制御手段に記憶されている該複数の加工条件のうちの一つの加工条件の名称が記載され、該加工管理部材の一部または全体の色が、該加工条件の名称における該一覧表示画面での表示色と同色であり、該加工管理部材が、被加工物を保持するカセットに付されている。

【0008】

また、本加工装置では、該制御手段は、該表示手段に、該一覧表示画面を介して選択された加工条件の内容を示す加工条件画面を表示してもよく、該制御手段は、該加工条件画面の一部または全体を、該選択された加工条件の名称における該一覧表示画面での表示色と同色で表示してもよい。

【発明の効果】

【0010】

本加工装置では、制御手段が、表示手段に、複数の加工条件の一覧表示画面において、各加工条件の名称を、互いに異なる色で表示している。これにより、作業者は、一覧表示画面に表示されている複数の加工条件の中から、所望の加工条件を一瞥で認識することが可能である。このため、作業者は、所望の加工条件を容易に選択することができる。

【0011】

また、本実施形態では、制御手段は、表示手段に、選択された加工条件の内容を示す加工条件画面を、選択された加工条件の名称における一覧表示画面での表示色と同色で表示している。これにより、作業者は、一覧表示画面において適切な加工条件を選択したか否か（選択に誤りがあったか否か）を、加工条件画面を用いて確認することができる。

【0012】

さらに、本加工管理部材の色は、それに記載されている加工条件の名称における該一覧表示画面での表示色と同色である。本加工管理部材に記載の加工条件は、たとえば、被加工物の加工に適したものである。したがって、作業者は、本加工管理部材の色に基づいて、該一覧表示画面から、適切な加工条件を選択することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本実施形態にかかる加工装置の構成を示す斜視図である。

【図2】タッチパネルに表示される加工条件リスト画面の一例を示す説明図である。

【図3】タッチパネルに表示される加工条件画面の一例を示す説明図である。

【図4】加工装置において用いられるカンバンの一例を示す説明図である。

【図5】加工装置において用いられるカンバンの他の例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

図１に示す加工装置１は、ブレードを切り込ませて被加工物を切削加工する切削装置である。被加工物であるウェーハＷは、概略円形状を有し、表面に格子状の分割予定ラインＬを有している。分割予定ラインＬによって区画された各領域には、デバイス（図示せず）が形成されている。

【0015】

ウェーハＷの裏面には、ダイシングテープＴが貼着されている。ダイシングテープＴの外周には、リングフレームＦが貼着されている。このように、ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷ１の状態で、加工装置１において加工される。

【0016】

加工装置１は、筐体Ｃの＋Ｘ側かつ＋Ｙ側の位置に、カセットステージ５を備えている。カセットステージ５には、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）が載置される。
また、加工装置１は、その筐体Ｃの内部に設けられた加工室ＰＲ内に、ウェーハＷを保持する保持手段６、保持手段６に保持されたウェーハＷを切削加工する加工手段２、および、加工前後のウェーハＷを撮像する撮像手段７を備えている。また、加工装置１は、筐体Ｃの上部および側部に、作業者に稼働状況を通知するための表示灯８、および、ユーザーインターフェースとしてのタッチパネル４を、それぞれ備えている。さらに、加工装置１は、筐体Ｃの内部に、加工装置１の各構成要素を制御する制御手段３を備えている。

【0017】

カセットステージ５内のワークセットＷ１は、図示しないプッシュプル手段によってカセットステージ５から取り出され、保持手段６に搬送される。
保持手段６は、ウェーハＷを保持するチャックテーブル６０、および、チャックテーブル６０の周囲に設けられたクランプ部６１を有している。

【0018】

保持手段６に搬送されたワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、チャックテーブル６０に載置される。チャックテーブル６０は、ウェーハＷを吸着保持するための部材であり、円板状に形成されている。
チャックテーブル６０の上面には、ポーラスセラミックス材を含む保持面が形成されている。この保持面に生じる負圧によって、ワークセットＷ１のウェーハＷが吸引保持される。

【0019】

チャックテーブル６０の周囲には、支持アームを含む４つのクランプ部６１が設けられている。４つのクランプ部６１は、エアアクチュエータ（図示せず）により駆動されることで、チャックテーブル６０に保持されているウェーハＷの周囲のリングフレームＦを、四方から挟持固定する。

【0020】

また、チャックテーブル６０の下方には、チャックテーブル６０を支持して回転するθテーブル、および、チャックテーブル６０およびθテーブルをＸ軸方向に移動させる切削送り手段が配設されている（ともに図示せず）。

【0021】

θテーブルおよび切削送り手段は、チャックテーブル６０とともにＸ軸方向に移動可能なカバー６２、および、カバー６２に取り付けられた蛇腹カバー６３によって覆われている。チャックテーブル６０がカバー６２とともにＸ軸方向に移動することに伴って、蛇腹カバー６３が伸縮する。これらのカバー６２および蛇腹カバー６３は、加工の際に使用される切削水が加工装置１の内部に入りこむことを抑制する。

【0022】

加工手段２は、Ｙ軸方向に整列するように配設された、第１切削ユニット２０および第２切削ユニット２１を備える。第１切削ユニット２０は、第１切削ブレード２００、および、第１切削ブレード２００を回転させる図示しないモータを備えている。第２切削ユニット２１は、同様に、第２切削ブレード２１０、および、第２切削ブレード２１０を回転させる図示しないモータを備えている。

【0023】

また、加工手段２は、さらに、第１切削ブレード２００および第２切削ブレード２１０をＹ軸方向に移動させる割り出し送り手段と、第１切削ブレード２００および第２切削ブレード２１０をＺ軸方向に昇降移動させる切込み送り手段とを有している（ともに図示せず）。

【0024】

撮像手段７は、顕微鏡７０および照明手段（図示せず）を備えている。撮像手段７は、たとえば、切削加工の実施前に、ウェーハＷとブレードとの位置合わせを行うために、ウェーハＷの分割予定ラインＬを撮像する。また、撮像手段７は、切削加工が適切に行われたか否かを確認するために、切削加工後に、切削加工によってウェーハＷに形成された切削溝を撮像する。

【0025】

タッチパネル４は、加工手段２によるウェーハＷの加工に関する加工条件（デバイスデータ；加工レシピ）を含む各種情報を、作業者に表示する。また、タッチパネル４は、作業者が各種情報を入力および編集するためにも用いられる。このように、タッチパネル４は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、加工条件等の情報を表示するための表示手段としても機能する。

【0026】

制御手段３は、上述した加工装置１の加工手段２、タッチパネル４、保持手段６および撮像手段７を制御して、作業者の所望の加工を実施する。
また、制御手段３は、タッチパネル４を用いた、作業者による加工手段２の加工条件の設定を制御する。すなわち、制御手段３は、図示しないメモリを有しており、複数の加工条件を記憶している。そして、制御手段３は、タッチパネル４に、図２に示すような加工条件リスト画面を表示する。この加工条件リスト画面は、加工条件の一覧表示画面の一例に相当する。
この加工条件リスト画面は、複数の加工条件の名称の一覧を含む。作業者は、この加工条件リスト画面を用いて、加工に使用する加工条件を選択可能である。

【0027】

図２に示すように、制御手段３は、加工条件リスト画面に、フォルダ表示領域３１、加工条件表示領域３３、実行ボタン３５、戻るボタン３７およびキーボード表示ボタン３９を含めている。作業者によってキーボード表示ボタン３９が押されると、制御手段３は、タッチパネル４のいずれかの部位に、キーボードを表示する。

【0028】

また、フォルダ表示領域３１におけるフォルダ「１２３４」の表示位置が作業者によってタッチされると、制御手段３は、このフォルダ「１２３４」内のサブフォルダ「１」「２」「３」…を表示する。作業者は、フォルダ表示領域３１をスクロール表示することにより、全てのフォルダを確認することができる。

【0029】

さらに、フォルダ表示領域３１における１つのサブフォルダの表示位置が作業者によってタッチされると、制御手段３は、加工条件表示領域３３に、タッチされたサブフォルダに含まれる加工条件の名称（加工条件名）を一覧表示する。作業者は、加工条件表示領域３３をスクロール表示することにより、サブフォルダ内の全ての加工条件を確認することができる。

【0030】

図２に示した例では、加工条件名は、「０７０４－１」「０７１０」および「０７０４－１－２」などの、数字あるいは数字とハイフンとの組み合わせからなる。そして、制御手段３は、この加工条件表示領域３３に、各加工条件名を、互いに異なる色で表示する。

【0031】

すなわち、加工条件表示領域３３では、横長の１行の表示範囲に、１つの加工条件名が記載されている。そして、制御手段３は、各加工条件名の表示範囲を、互いに異なる色で表示するように構成されている。
なお、図２に示した加工条件表示領域３３では、各加工条件名の表示範囲のハッチングおよびトーンを変えることによって、各表示範囲が互いに異なる色で表示されることを示している。

【0032】

作業者が、加工条件表示領域３３における１つの加工条件名の表示範囲をタッチすると、制御手段３は、たとえば、タッチされた表示範囲の表示形態を、他の加工条件名の表示範囲の表示形態と異ならせる。たとえば、制御手段３は、タッチされた表示範囲の輝度を、他の表示範囲の輝度よりも高くする（明るくする）。そして、この状態で、作業者によって戻るボタン３７が押された場合、制御手段３は、先にタッチされた表示範囲の輝度を元に戻す。

【0033】

一方、戻るボタン３７の代わりに実行ボタン３５が押されると、制御手段３は、作業者により、先にタッチされた加工条件名の表示範囲に関する加工条件が選択された、と判断する。そして、制御手段３は、図３に示すように、選択された加工条件の内容を示す画面である加工条件画面をタッチパネル４に表示する。

【0034】

図３に示すように、この例では、作業者は、「０７０４－１」という名称の加工条件を選択している。そして、加工条件画面には、加工条件名である「０７０４－１」、および、加工条件の内容が表示されている。そして、制御手段３は、この加工条件画面を、選択された加工条件の名称における加工条件リスト画面での表示色と同色で表示する。

【0035】

また、加工条件画面にも、実行ボタン３５、戻るボタン３７およびキーボード表示ボタン３９が表示されている。作業者によって戻るボタン３７が押されると、制御手段３は、タッチパネル４に、図２に示した加工条件リスト画面を表示する。

【0036】

また、作業者によってキーボード表示ボタン３９が押されると、制御手段３は、タッチパネル４のいずれかの部位に、キーボードを表示する。そして、作業者は、キーボードを用いて、加工条件の内容を編集することができる。さらに、作業者によって実行ボタン３５が押されると、制御手段３は、加工条件画面に表示されている加工条件を、加工手段２の加工条件として設定し、これに基づいて加工手段２を制御する。なお、通常、作業者は、加工条件を、加工されるウェーハＷに応じて選択する。

【0037】

また、本実施形態では、図１に示した加工装置１のカセットステージ５に載置される、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）に、図４に示すような、加工管理部材としてのカンバン４１が付されている。

【0038】

このカンバン４１の表示領域には、加工条件の名称「０７０４－１」およびその内容が記載されている。この加工条件は、図２に示した加工条件表示領域３３に示されている加工条件のうちの１つであり、たとえば、カセット内のワークセットＷ１におけるウェーハＷの加工に適したものである。そして、このカンバン４１の表示領域の色が、図２に示した加工条件表示領域３３に示されている当該加工条件の表示色と同色である。

【0039】

以上のように、本実施形態では、制御手段３は、複数の加工条件を記憶しており、タッチパネル４に、複数の加工条件の名称の一覧を含むとともに、加工に使用される加工条件を選択可能な一覧表示画面である加工条件リスト画面を表示する。そして、制御手段３は、加工条件リスト画面において、複数の加工条件の名称を、互いに異なる色で表示している。

【0040】

これにより、作業者は、加工条件リスト画面に表示されている複数の加工条件の中から、所望の加工条件を一瞥で認識することが可能である。このため、作業者は、所望の加工条件を容易に選択することができる。

【0041】

また、本実施形態では、制御手段３は、タッチパネル４に、加工条件リスト画面を介して選択された加工条件の内容を示す加工条件画面を表示している（図３参照）。そして、制御手段３は、加工条件画面を、選択された加工条件の名称における加工条件リスト画面での表示色と同色で表示している。これにより、作業者は、加工条件リスト画面において適切な加工条件を選択したか否か（選択に誤りがあったか否か）を、加工条件画面を用いて確認することができる。

【0042】

さらに、本実施形態では、ワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）に、加工管理部材としてのカンバン４１が取り付けられている（図４参照）。そして、このカンバン４１に、制御手段３に記憶されている複数の加工条件のうちの一つの加工条件の名称が記載されている。また、カンバン４１の色が、それに記載されている加工条件の名称における加工条件リスト画面での表示色と同色である。

【0043】

カンバン４１に記載の加工条件は、たとえば、カセット内のワークセットＷ１におけるウェーハＷの加工に適したものである。したがって、作業者は、カンバン４１の色に基づいて、図２に示した加工条件リスト画面から、適切な加工条件を選択することが可能である。

【0044】

なお、制御手段３は、カンバン４１に記載されている加工条件名とカンバン４１の色との関係を示すテーブルを記憶していてもよい。そして、制御手段３は、図２に示した加工条件リスト画面を表示する際、その加工条件表示領域３３における各加工条件名の表示範囲の表示色を、上記のテーブルに基づいて決定してもよい。

【0045】

また、本実施形態では、カンバン４１の表示領域は、加工条件の名称およびその内容が記載されている。これに代えて、図５に示すように、カンバン４１に、加工条件名のみが表示されてもよい。また、カンバン４１は、カセットステージ５に載置されるカセット以外の部位に取り付けられてもよい。

【0046】

また、本実施形態では、図２に示した加工条件リスト画面の加工条件表示領域３３では、各加工条件名の表示範囲が、互いに異なる色で表示されている。これに関し、表示範囲の全体が着色されてもよいし、その一部だけが着色されてもよい。あるいは、表示範囲における加工条件の表示部分のみ（たとえば文字のみ）が着色されてもよい。

【0047】

また、本実施形態では、図３に示した加工条件画面が、選択された加工条件の名称における加工条件リスト画面での表示色と同色で表示される。これに関し、加工条件画面の全体が着色されてもよいし、画面の一部、たとえば、画面の上部、下部、左端部あるいは右端部だけが着色されてもよい。

【0048】

同様に、本実施形態では、カンバン４１は、それに記載されている加工条件の名称における加工条件リスト画面での表示色と同色に着色されている。これに関し、カンバン４１の全体が着色されていてもよいし、一部だけが着色されていてもよい。

【0049】

また、図２に示した加工条件リスト画面では、制御手段３は、フォルダ表示領域３１に表示されている各フォルダを、互いに異なる色で表示してもよい。

【0050】

また、本実施形態では、被加工物を加工する加工装置１は、ウェーハＷを切削加工する切削装置である。これに代えて、加工装置１は、たとえば、被加工物の表面を研削する研削装置、被加工物をレーザー光によって加工するレーザー加工装置、被加工物をバイト切削するバイト切削装置、被加工物を洗浄および乾燥する洗浄装置、被加工物をチップに分割するためのエキスパンド装置、あるいは、被加工物にテープを取り付けるテープマウンタであってもよい。加工装置１がどのような装置であっても、制御手段３は、本実施形態に示したようにタッチパネル４を用いて、加工条件を表示および設定することができる。

【0051】

また、本実施形態では、タッチパネル４の表示、たとえば、図２に示した加工条件リスト画面および図３に示した加工条件画面の表示を、加工装置１に備えられた制御手段３によって制御している。これに代えて、加工装置１に対してインターネットあるいはイントラネットなどの通信回線を介して接続された制御装置（たとえば、クラウド上の制御装置）が、タッチパネル４における加工条件リスト画面および加工条件画面の表示を制御してもよい。この場合、このような制御装置が、加工装置１（タッチパネル４）の制御手段として機能する。

【0052】

また、本実施形態では、図２に示した加工条件リスト画面における加工条件表示領域３３において、加工条件名が、数字あるいは数字とハイフンとの組み合わせからなる。これに代えて、加工条件名は、加工装置１が用いられる国あるいは地域で使用されている主な言語（たとえば英語）、あるいは、その言語を構成する文字（アルファベット）を用いて、加工条件表示領域３３に表示されていてもよい。

【0053】

また、本実施形態では、加工条件ごとに異なる表示色が割り当てられている。そして、図２に示した加工条件リスト画面、図３に示した加工手段画面および図４に示したカンバン４１では、加工条件が、それぞれの表示色を用いて表示されている。しかしながら、これに限らず、加工条件ごとに異なる模様（背景の模様）が割り当てられてもよい。この場合、加工条件リスト画面、加工手段画面およびカンバン４１では、加工条件が、それぞれの模様を用いて表示される。

【0054】

すなわち、本実施形態では、加工条件ごとに異なる表示態様（色および模様など）が割り当てられ、加工条件リスト画面、加工手段画面およびカンバン４１では、加工条件が、それぞれの表示態様を用いて表示されてもよい。

【符号の説明】

【0055】

１：加工装置、Ｃ：筐体、２：加工手段、３：制御手段、４：タッチパネル、
５：カセットステージ、６：保持手段、７：撮像手段、８：表示灯、
３１：フォルダ表示領域、３３：加工条件表示領域、
４１：カンバン、
Ｗ：ウェーハ、Ｗ１：ワークセット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】