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特許7198246自己組織化単分子層処理のための化学物質供給チャンバ
発明の名称 自己組織化単分子層処理のための化学物質供給チャンバ
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 26 位（237件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 60 位（126件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7198246
公報発行日 2022年12月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7198246
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