特許7205213ＴｉＷ合金ターゲットおよびその製造方法

発明の名称　ＴｉＷ合金ターゲットおよびその製造方法

出願人　日立金属株式会社　（識別番号 5083）

　　　　特許公開件数ランキング 107 位（277件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 137 位（200件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7205213

公報発行日　2023年1月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7205213

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