特許 7207939 搬送装置、および、処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-01-10

(45)【発行日】2023-01-18

(54)【発明の名称】搬送装置、および、処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230111BHJP

   C23C 14/56 20060101ALI20230111BHJP

   C23C 16/54 20060101ALI20230111BHJP

   C23C 16/44 20060101ALI20230111BHJP

   C23C 14/50 20060101ALI20230111BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

C23C14/56 G

C23C16/54

C23C16/44 F

C23C14/50 K

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2018196780

(22)【出願日】2018-10-18

(65)【公開番号】P2020065005

(43)【公開日】2020-04-23

【審査請求日】2021-07-26

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】林 利典

(72)【発明者】

【氏名】岩井 治憲

(72)【発明者】

【氏名】長嶋 雅弘

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 良直

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－１５４８６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１２７１３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１７－５１３２２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／１３５７９２（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｃ２３Ｃ １４／５６

Ｃ２３Ｃ １６／５４

Ｃ２３Ｃ １６／４４

Ｃ２３Ｃ １４／５０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理装置に適用されて、搬送対象を搬送する搬送装置であって、
前記処理装置は、搬送室と、前記搬送室に接続された複数の処理室を備え、
前記搬送装置は、
前記搬送室内に配置され、回転軸を中心として第１回転方向と前記第１回転方向とは反対の回転方向である第２回転方向とに搬送レールを回転させる回転部と、
前記搬送室内に配置され、前記回転部によって回転させられている間は、前記搬送対象を保持することが可能であり、かつ、前記搬送レールの延在方向に前記処理室が位置して停止している間は、前記搬送レールの延在方向に沿った前記搬送対象のスライドを許容して、前記搬送室と前記搬送レールの延在方向に位置する処理室との間において前記搬送対象を搬送する前記搬送レールと、
前記搬送室に対する位置が固定された駆動部であって、前記搬送レールの一部が前記駆動部上で停止している間は、前記搬送レールと前記駆動部とが接続されて、前記搬送レールを駆動するための動力を前記搬送レールに与え、かつ、前記搬送レールが回転している間は、前記搬送レールに接続されない前記駆動部と、を備え、
前記搬送レールは、第１搬送レールであり、
前記第１搬送レールに沿って延びる第２搬送レールをさらに備え、
前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとは、前記搬送レールの延在方向と直交する方向に沿って並び、
前記回転部は、前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとの対を一体に回転させ、
前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとのいずれか一方を、前記搬送対象を搬送する搬送レールに選択する選択部をさらに備え、
前記回転部は、前記対の中心が前記回転軸に対して偏心した状態で前記対を回転させる状態を含む
搬送装置。

【請求項2】

前記搬送レールは、前記駆動部に接続して前記駆動部からの動力が入力される入力部を、前記回転軸を挟んで両方の端部に１ずつ備える
請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記搬送室は、鳥瞰視において、２×ｎ（ｎは２以上の整数）角形状を有し、
前記搬送装置は、前記搬送室において前記回転軸を中心に等配されたｎ個の前記駆動部を備え、
前記処理装置は、２×ｎ個の処理室を備え、
各処理室は、前記回転軸を中心に等配され、前記回転軸を挟んで対向する一対の処理室に対し１つずつ前記駆動部が対応付けられ、
各駆動部は、当該駆動部に対応付けられた各処理室と前記搬送室との間において前記搬送対象を搬送するための前記動力を前記搬送レールに与える
請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記複数の処理室は、第１の処理室と第２の処理室とを含み、
前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとのうち、前記搬送対象を搬送する搬送レールに選択されたレールが被選択レールであり、
前記選択部は、前記第１搬送レールおよび前記第２搬送レールのいずれかの延在方向に前記第１の処理室が位置可能であるように前記搬送レールの延在方向と直交する方向に前記対をスライドさせることによって、前記被選択レールを選択し、かつ、前記対の中心を前記回転軸に対して偏心させ、
前記回転部は、前記中心が前記回転軸に対して偏心した状態で前記対を回転させ、これによって、前記対の回転前において、前記被選択レールの延在方向に前記第１の処理室が位置し、かつ、前記対の回転後において、前記被選択レールの延在方向に前記第２の処理室が位置することが可能に構成される
請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送装置。

【請求項5】

搬送室と、
前記搬送室に接続された複数の処理室と、
請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送装置と、を備える
処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置、および、搬送装置を備える処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

クラスター型の処理装置は、搬送室と、搬送室に接続された複数の処理室とを備えている。複数の処理室は、搬送室の周方向において、所定の間隔を空けて配置されている。複数の処理室は、例えば、処理対象を加熱する加熱室、スパッタ法を用いて処理対象に薄膜を形成するスパッタ室などを含む。複数の処理室は、第１処理室と、搬送室の径方向において、第１処理室とは対向しない第２処理室とを含む。処理装置は、搬送室と各処理室との間において処理対象を搬送するための搬送装置を備えている。

【0003】

搬送装置が第１処理室から第２処理室に向けて処理対象を搬送するときには、まず、搬送装置は、第１処理室に配置された成膜対象を搬送室に搬送する。次いで、搬送装置は、搬送室のなかで成膜対象を１つの回転方向に沿って回転させることによって、成膜対象を、搬送室の径方向のなかで、第２処理室が延びる方向と平行な方向に沿う位置に配置する。最後に、搬送装置は、搬送室から第２処理室に向けて処理対象を搬送する（例えば、特許文献１，２を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１４－２８９９９号公報

【文献】特開２０１４－１４８７３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、処理装置では、処理対象に対する処理効率を高める上で、処理対象、言い換えれば、搬送装置による搬送対象の搬送効率を高めることが求められている。
本発明は、搬送対象の搬送効率を高めることを可能とした搬送装置、および、処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するための搬送装置は、処理装置に適用されて、搬送対象を搬送する搬送装置である。前記処理装置は、搬送室と、前記搬送室に接続された複数の処理室を備える。前記搬送装置は、前記搬送室内に配置され、回転軸を中心として第１回転方向と前記第１回転方向とは反対の回転方向である第２回転方向とに搬送レールを回転させる回転部と、前記搬送室内に配置され、前記回転部によって回転させられている間は、前記搬送対象を保持することが可能であり、かつ、搬送レールの延在方向に前記処理室が位置して停止している間は、前記搬送レールの延在方向に沿った前記搬送対象のスライドを許容して、前記搬送室と前記搬送レールの延在方向に位置する処理室との間において前記搬送対象を搬送する前記搬送レールと、前記搬送室に対する位置が固定された駆動部であって、前記搬送レールの一部が前記駆動部上で停止している間は、前記搬送レールと前記駆動部とが接続されて、前記搬送レールを駆動するための動力を前記搬送レールに与え、かつ、前記搬送レールが回転している間は、前記搬送レールに接続されない前記駆動部と、を備える。

【0007】

上記課題を解決するための処理装置は、搬送室と、前記搬送室に接続された複数の処理室と、上記搬送装置と、を備える。
上各記構成によれば、搬送対象を第１回転方向に回転させることによって、搬送室を介して第１処理室から第２処理室に搬送対象を搬送することも可能であるし、搬送室を介して第２処理室から第１処理室に搬送対象を搬送することも可能である。さらには、搬送対象を第２回転方向に回転させることによって、搬送室を介して第１処理室から第２処理室に搬送対象を搬送することも可能であるし、搬送室を介して第２処理室から第１処理室に搬送対象を搬送することも可能である。このように、上記構成によれば、搬送対象の回転方向が限定されないことによって、搬送方向の自由度が高まることにより、搬送対象の搬送効率を高めることが可能である。

【0008】

上記搬送装置において、前記搬送レールは、前記駆動部に接続して前記駆動部からの動力が入力される入力部を、前記回転軸を挟んで両方の端部に１ずつ備えてもよい。上記構成によれば、搬送レールにおける入力部の位置が、搬送レールの回転方向に依存しないため、入力部に接続する駆動部の位置について自由度を高めることができる。

【0009】

上記搬送装置において、前記搬送室は、鳥瞰視において、２×ｎ（ｎは２以上の整数）角形状を有し、前記搬送装置は、前記搬送室において前記回転軸を中心に等配されたｎ個の前記駆動部を備え、前記処理装置は、２×ｎ個の処理室を備え、各処理室は、前記回転軸を中心に等配され、前記回転軸を挟んで対向する一対の処理室に対し１つずつ前記駆動部が対応付けられ、各駆動部は、当該駆動部に対応付けられた各処理室と前記搬送室との間において前記搬送対象を搬送するための前記動力を前記搬送レールに与えてもよい。

【0010】

上記構成によれば、搬送レールの回転方向によらず、搬送室から一対の処理室への搬送を１つの駆動部によって行うことが可能であるため、搬送装置が備える駆動部の数が増えることが抑えられる。

【0011】

上記搬送装置において、前記搬送レールは、第１搬送レールであり、前記第１搬送レールに沿って延びる第２搬送レールをさらに備え、前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとは、前記第１搬送レールが延びる方向と直交する方向に沿って並び、前記回転部は、前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとを一体に回転させ、前記第１搬送レールと前記搬送レールとのいずれか一方を、前記搬送対象を搬送する搬送レールに選択する選択部をさらに備えてもよい。

【0012】

上記構成によれば、第１搬送レールを用いた搬送対象の搬送と、第２搬送レールを用いた搬送対象の搬送とを同時に行うことが可能である。これにより、搬送装置が搬送レールを１つのみ備える場合に比べて、搬送対象の搬送効率を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】一実施形態の搬送装置を備える真空処理装置の構成を示すブロック図。

【図2】回転部およびスライド部の構成を示すブロック図。

【図3】回転部の作用を説明するための作用図。

【図4】スライド部の作用を説明するための作用図。

【図5】搬送レールを上面視した場合の搬送レールの構造を示す平面図。

【図6】搬送レールを側面視した場合の搬送レールの構造を示す平面図。

【図7】搬送レールの端部と対向する方向から見た搬送レールの構造を示す平面図。

【図8】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図9】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図10】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図11】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図12】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図13】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図14】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図15】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【図16】搬送装置の作用を説明するための作用図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

図１から図１６を参照して、搬送装置、および、処理装置の一実施形態を説明する。以下では、処理装置を真空雰囲気において各種の処理を行う真空処理装置として具体化した場合の一実施形態を説明する。また、以下では、真空処理装置の構成、搬送装置の構成、および、搬送装置の作用を順に説明する。

【0015】

［真空処理装置の構成］
図１を参照して、真空処理装置の構成を説明する。
真空処理装置１０は、搬送室１１、複数の処理室、および、搬送装置２０を備えている。複数の処理室は、搬送室１１に接続されている。

【0016】

本実施形態では、真空処理装置１０は、第１処理室１２Ａ、第２処理室１２Ｂ、第３処理室１２Ｃ、第４処理室１２Ｄ、および、第５処理室１２Ｅを備えている。第１処理室１２Ａから第５処理室１２Ｅは、搬送室１１の周方向において、間隔を空けて並んでいる。なお、真空処理装置１０が備える処理室の数は、２以上の任意の数であってよい。

【0017】

搬送装置２０は、上述したように真空処理装置１０に適用される。搬送装置２０は、搬送対象Ｔを搬送する。本実施形態では、搬送対象Ｔは、キャリアと、キャリアに取り付けられた処理対象とから構成される。処理対象は、例えば、ガラス基板および樹脂基板のいずれかである。搬送装置２０は、搬送対象Ｔを起立させた状態で、言い換えれば、搬送装置２０は、鉛直方向に沿って延びる平面と、搬送対象Ｔが広がる平面とが形成する角度が１０°以下である状態で、搬送対象Ｔを搬送する。

【0018】

搬送装置２０は、回転部２１、搬送レール２２、および、駆動部２３を備えている。回転部２１は、搬送室１１内に配置されている。回転部２１は、回転軸Ａを中心として第１回転方向と、第２回転方向とに搬送レール２２を回転させる。第２回転方向は、第１回転方向とは反対の回転方向である。

【0019】

搬送レール２２は、搬送室１１内に配置されている。搬送レール２２は、回転部２１によって回転させられている間は、搬送対象Ｔを保持することが可能である。これに対して、搬送レール２２は、搬送レール２２の延在方向に処理室が位置して停止している間は、搬送レール２２の延在方向に沿った搬送対象Ｔのスライドを許容する。延在方向は、搬送レール２２が延びる方向である。これによって、搬送レール２２は、搬送室１１と搬送レール２２の延在方向に位置する処理室との間において搬送対象Ｔを搬送する。

【0020】

真空処理装置１０は、上述したように、第１処理室１２Ａから第５処理室１２Ｅまでの５つの処理室を備えている。搬送装置２０は、搬送室１１と、第１処理室１２Ａ、第２処理室１２Ｂ、第３処理室１２Ｃ、第４処理室１２Ｄ、および、第５処理室１２Ｅのいずれかとの間において搬送対象Ｔを搬送することができる。搬送レール２２は、搬送室１１から各処理室に向けて搬送対象Ｔし、かつ、各処理室から搬送室１１に向けて搬送対象Ｔを搬送する。

【0021】

駆動部２３において、搬送室１１に対する位置が固定されている。駆動部２３は、搬送レール２２の一部が駆動部２３上で停止している間は、搬送レール２２と駆動部２３とが接続されて、搬送レール２２を駆動するための動力を搬送レールに与える。駆動部２３は、搬送レール２２が回転している間は、搬送レール２２に接続されない。駆動部２３は、搬送レール２２に延在方向に沿って搬送対象Ｔをスライドさせるための動力を与える。

【0022】

これにより、例えば、搬送対象Ｔを第１回転方向に回転させることによって、搬送室１１を介して第１処理室１２Ａから第２処理室１２Ｂに搬送対象Ｔを搬送することも可能であるし、搬送室１１を介して第２処理室１２Ｂから第１処理室１２Ａに搬送対象Ｔを搬送することも可能である。さらには、搬送対象Ｔを第２回転方向に回転させることによって、搬送室１１を介して第１処理室１２Ａから第２処理室１２Ｂに搬送対象Ｔを搬送することも可能であるし、搬送室１１を介して第２処理室１２Ｂから第１処理室１２Ａに搬送対象Ｔを搬送することも可能である。このように、上記構成によれば、搬送対象Ｔの回転方向が限定されないことによって、搬送方向の自由度が高まることにより、搬送対象Ｔの搬送効率を高めることが可能である。

【0023】

本実施形態において、真空処理装置１０は、搬出入室１３、大気加熱室１４、真空加熱室１５、複数のゲートバルブ１６、および、複数の排気部１７をさらに備えている。搬出入室１３、大気加熱室１４、および、真空加熱室１５は、１つの方向に沿って並んでいる。真空加熱室１５は、搬送室１１に接続される処理室の一例である。各処理室の間には、複数のゲートバルブ１６のうちの１つが配置されている。各ゲートバルブ１６が開くことによって、そのゲートバルブ１６を介して隣り合う２つの処理室の間において、流体が流通する。各ゲートバルブ１６が閉じることによって、そのゲートバルブ１６を介して隣り合う２つの処理室の間において、流体の流通が遮断される。

【0024】

排気部１７は、真空加熱室１５、搬送室１１、第１処理室１２Ａ、第２処理室１２Ｂ、第３処理室１２Ｃ、第４処理室１２Ｄ、および、第５処理室１２Ｅに１つずつ搭載されている。排気部１７は、例えばバルブと真空ポンプを含んでいる。排気部１７は、その排気部１７が搭載された処理室中の流体を排気することによって、処理室内の圧力を減圧する。

【0025】

大気加熱室１４、真空加熱室１５、および、第４処理室１２Ｄは、それぞれ加熱部３１を備えている。大気加熱室１４、および、真空加熱室１５は、処理前の処理対象を加熱することによって、処理対象に処理対象が吸着したガスを放出させる。なお、大気加熱室１４は大気雰囲気において処理対象を加熱する一方で、真空加熱室１５は真空雰囲気において処理対象を加熱する。これにより、各処理室におけるガスの蒸気圧が異なるため、一方の加熱室を備える場合よりも、処理対象に吸着したガスが、処理対象から放出されやすい。第４処理室１２Ｄは、他の処理での処理後の処理対象を加熱する。これによって、第４処理室１２Ｄは、処理対象の状態を加熱前の状態とは異なる状態に変化させる。

【0026】

第１処理室１２Ａ、第３処理室１２Ｃ、および、第５処理室１２Ｅは、それぞれカソード３２を備えている。カソード３２は、ターゲットを含んでいる。各カソード３２が備えるターゲットは、互いに同じ材料から形成されてもよいし、互いに異なる材料から形成されてもよい。各ターゲットを形成する材料は、金属、金属化合物、非金属、および、非金属化合物であってよい。各ターゲットを形成する材料が互いに同じである場合には、真空処理装置１０において、処理対象の処理効率を高めることができる。各ターゲットを形成する材料が互いに異なる場合には、真空処理装置１０において、処理対象に複数種の薄膜を形成することができる。

【0027】

第２処理室１２Ｂは、照射部３３を備えている。照射部３３は、処理対象にイオンビームを照射する。照射部３３は、処理対象にイオンビームを照射することによって、処理対象、または、処理対象に形成された薄膜を改質することができる。

【0028】

なお、第１処理室１２Ａから第５処理室１２Ｅの各々において行われる処理は、各処理室１２Ａ～１２Ｅにて行うことが可能な処理の一例である。各処理室１２Ａ～１２Ｅにおいて行われる処理は、真空処理装置１０を用いて製造する製造物に応じて任意に選択可能である。

【0029】

搬送室１１は、鳥瞰視において、すなわち、搬送室１１の底面と対向する平面視において、（２×ｎ）（ｎは２以上の整数）角形状を有する。搬送装置２０は、搬送室１１において回転軸Ａを中心に等配されたｎ個の駆動部２３を備えている。真空処理装置１０は、２×ｎ個の処理室を備えている。各処理室は、回転軸Ａを中心に等配され、回転軸Ａを挟んで対向する一対の処理室に対し１つずつ駆動部２３が対応付けられている。各駆動部２３は、当該駆動部２３に対応付けられた各処理室と搬送室１１との間において搬送対象Ｔを搬送するための動力を搬送レール２２に与える。

【0030】

本実施形態において、搬送室１１は、鳥瞰視において六角形状を有している。すなわち、本実施形態において、上述したｎは３であり、搬送室１１は、３組の対角線を含んでいる。真空処理装置１０は、３つの駆動部２３を備えている。６つの処理室１２Ａ～１２Ｅ，１５のなかで、真空加熱室１５と第４処理室１２Ｄとが、回転軸Ａを挟んで対向する一対の処理室であり、第１の処理室対である。第１処理室１２Ａと第３処理室１２Ｃとが、回転軸Ａを挟んで対向する一対の処理室であり、第２の処理室対である。第２処理室１２Ｂと第５処理室１２Ｅとが、回転軸Ａを挟んで対向する一対の処理室であり、第３の処理室対である。各処理室対に、１つの駆動部２３が対向付けられている。

【0031】

本実施形態において、第１の処理室対に対応付けられた駆動部２３は、真空加熱室１５と第４処理室１２Ｄとが回転軸Ａを挟んで対向する方向において、回転軸Ａよりも真空加熱室寄りに位置している。第２の処理室対に対応付けられた駆動部２３は、第１処理室１２Ａと第３処理室１２Ｃとが回転軸Ａを挟んで対向する方向において、回転軸Ａよりも第１処理室１２Ａ寄りに位置している。第３の処理室対に対応付けられた駆動部は、第２処理室１２Ｂと第５処理室１２Ｅとが回転軸Ａを挟んで対向する方向において、回転軸Ａよりも第５処理室１２Ｅ寄りに位置している。

【0032】

搬送装置２０は、複数の搬送レール２４をさらに備えている。真空処理装置１０のなかで、大気加熱室１４、真空加熱室１５、第１処理室１２Ａ、第２処理室１２Ｂ、第３処理室１２Ｃ、第４処理室１２Ｄ、および、第５処理室１２Ｅの各々に、搬送レール２４が１つずつ配置されている。真空加熱室１５、第１処理室１２Ａ、第２処理室１２Ｂ、第３処理室１２Ｃ、第４処理室１２Ｄ、および、第５処理室１２Ｅの各々に配置された搬送レール２４は、搬送室１１と各処理室との間における搬送対象Ｔの搬送を行う。大気加熱室１４に配置された搬送レール２４は、大気加熱室１４と真空加熱室１５との間における搬送対象Ｔの搬送を行う。

【0033】

真空処理装置１０は、制御部１０Ｃをさらに備えている。制御部１０Ｃは、真空処理装置１０が備える各部に電気的に接続することによって、真空処理装置１０の駆動を制御する。制御部１０Ｃは、搬送装置２０に電気的に接続している。

【0034】

［搬送装置の構成］
図２から図７を参照して、搬送装置２０の構成をより詳しく説明する。以下では、搬送装置２０が備える回転部２１、スライド部、および、搬送レール２２のそれぞれの構成を順に説明する。

【0035】

［回転部およびスライド部］
図２から図４を参照して、回転部２１およびスライド部の構成を説明する。図２は、搬送レール２２の端部と対向する方向から見た回転部２１およびスライド部の構造を模式的に示している。言い換えれば、図２は、搬送レール２２の延在方向に沿って回転部２１およびスライド部を視認した場合の回転部２１およびスライド部の構造を示している。図３は、回転部２１の作用を説明するための図であり、また、図４は、スライド部の作用を説明するための図である。なお、図３では、図示の便宜上、真空処理装置１０の構成における一部が省略されている。

【0036】

図２が示すように、搬送装置２０は、回転部２１とスライド部２５とを備えている。回転部２１は、モーター２１Ａとスライド支持部２１Ｂとを備えている。モーター２１Ａは、回転軸Ａを中心として第１回転方向Ｒ１と第２回転方向Ｒ２とに回転する。第２回転方向Ｒ２は、第１回転方向Ｒ１とは反対の回転方向である。本実施形態において、回転軸Ａは、搬送室１１の底面の法線方向に沿って延びる直線であり、かつ、鳥瞰視において、搬送室１１の中心を通る直線である。

【0037】

スライド支持部２１Ｂは、モーター２１Ａとスライド部２５とに接続されている。これにより、スライド支持部２１Ｂは、スライド部２５を支持し、かつ、スライド部２５が、モーター２１Ａの回転に応じて、第１回転方向Ｒ１または第２回転方向Ｒ２に回転する。

【0038】

スライド部２５は、エアシリンダー２５Ａ、スライダー２５Ｂ、および、レール支持部２５Ｃを備えている。エアシリンダー２５Ａは、大気ボックス２５Ａ１とロッド２５Ａ２とを備えている。大気ボックス２５Ａ１は、ロッド２５Ａ２に接続されるシリンダーを含んでいる。エアシリンダー２５Ａにおいて、シリンダーに供給される圧縮空気に応じて、大気ボックス２５Ａ１に対するロッド２５Ａ２の突出量が変わる。ロッド２５Ａ２の突出量は、ロッド２５Ａ２の先端と大気ボックス２５Ａ１との間の距離である。

【0039】

スライダー２５Ｂは、大気ボックス２５Ａ１のなかで、スライド支持部２１Ｂが接続される部位とは反対側の部位に固定されている。スライダー２５Ｂは、レール２５Ｂ１とキャリア２５Ｂ２とを含んでいる。レール２５Ｂ１は、ロッド２５Ａ２が延びる方向と平行な方向に沿って延びている。キャリア２５Ｂ２は、レール２５Ｂ１に沿った移動が可能な状態で、レール２５Ｂ１に接続されている。

【0040】

レール支持部２５Ｃは、ロッド２５Ａ２の先端と、キャリア２５Ｂ２とに接続されている。そのため、ロッド２５Ａ２の突出量が変わることによって、キャリア２５Ｂ２がレール２５Ｂ１に沿って移動する。このように、レール支持部２５Ｃが、ロッド２５Ａ２の先端と、キャリア２５Ｂ２に接続されることによって、ロッド２５Ａ２の延びる方向に沿うロッド２５Ａ２の動きと、キャリア２５Ｂ２の動きとが連動する。

【0041】

レール支持部２５Ｃにおいて、キャリア２５Ｂ２が接続される部位とは反対側の部位には、２つの搬送レール２２が固定されている。そのため、レール支持部２５Ｃがレール２５Ｂ１に沿って移動することによって、搬送レール２２もレール２５Ｂ１に沿って移動する。搬送レール２２は、スライド部２５およびスライド支持部２１Ｂを介してモーター２１Ａに接続されている。そのため、搬送レール２２は、モーター２１Ａの回転に応じて第１回転方向Ｒ１または第２回転方向Ｒ２に回転する。

【0042】

このように、搬送レール２２は、搬送レール２２の延在方向とは直交する方向に沿ってスライドする。すなわち、ロッド２５Ａ２が延びる方向、および、レール２５Ｂ１が延びる方向は、搬送レール２２の延在方向とは直交する方向である。

【0043】

図３が示すように、モーター２１Ａが回転することによって、搬送レール２２が、回転軸Ａを中心に第１回転方向Ｒ１または第２回転方向Ｒ２に回転する。なお、図３は、２つの搬送レール２２における中心と回転軸Ａとが一致する状態で搬送レール２２が回転する例を示しているが、２つの搬送レール２２は、２つの搬送レール２２における中心が回転軸Ａに対して偏心した状態で回転することもできる。

【0044】

図４が示すように、スライド部２５は、搬送レール２２の延在方向と直交する方向に沿って、搬送レール２２をスライドさせることができる。なお、図４（ａ）が示すように、スライド部２５は第１の方向に沿って搬送レール２２をスライドさせることが可能であり、かつ、図４（ｂ）が示すように、第２の方向に沿って搬送レール２２をスライドさせることが可能である。第２の方向は、第１の方向とは反対の方向である。

【0045】

また、スライド部２５は、搬送レール２２をスライドさせることによって、２つの搬送レール２２のなかで、ゲートバルブ１６と対向する搬送レール２２を選択することができる。言い換えれば、搬送レール２２の延在方向にいずれかの処理室を位置させる搬送レール２２を選択することができる。図４（ａ）が示すように、スライド部２５は、２つの搬送レール２２における一方の搬送レール２２をゲートバルブ１６と対向する搬送レール２２に選択し、図４（ｂ）が示すように、スライド部２５は、２つの搬送レール２２における他方の搬送レール２２をゲートバルブ１６と対向する搬送レール２２に選択する。これにより、２つの搬送レール２２のなかで、搬送室１１から処理室に搬送対象Ｔを搬送する搬送レール２２を選択する。つまり、本実施形態において、スライド部２５は、２つの搬送レール２２のいずれか一方を、搬送対象Ｔを搬送室１１から処理室に搬送する搬送レール２２に選択する選択部の一例である。

【0046】

［搬送レール］
図５から図７を参照して、搬送レール２２の構成を説明する。図５は、搬送室１１を鳥瞰視した場合の、言い換えれば、搬送室１１を上面視した場合の搬送レール２２の構造を示している。図６は、搬送レール２２を側面視した場合の、言い換えれば、図５に示す搬送レール２２を紙面の下方から上方に向かう方向から見た場合の搬送レール２２の構造を示している。図７は、搬送レール２２の端部と対向する方向から見た場合の、言い換えれば、図５に示す搬送レール２２を紙面の左から右に向かう方向から見た場合の搬送レール２２の構造を示している。

【0047】

図５が示すように、真空処理装置１０は、第１搬送レール２２Ａと、第２搬送レール２２Ｂとを備えている。第２搬送レール２２Ｂは、第１搬送レール２２Ａに沿って延びる。第１搬送レール２２Ａと第２搬送レール２２Ｂとは、第１搬送レール２２Ａが延びる方向と直交する方向に沿って並ぶ。回転部２１は、第１搬送レール２２Ａと第２搬送レール２２Ｂとを一体に回転させる。そのため、第１搬送レール２２Ａを用いた搬送対象Ｔの搬送と、第２搬送レール２２Ｂを用いた搬送対象Ｔの搬送とを同時に行うことが可能である。これにより、搬送装置２０が搬送レールを１つのみ備える場合に比べて、搬送対象Ｔの搬送効率を高めることができる。

【0048】

なお、第１搬送レール２２Ａと第２搬送レール２２Ｂとは、搬送室１１において配置される位置が違いに異なる一方で、搬送対象Ｔの搬送に関する構成は共通している。そのため以下では、第１搬送レール２２Ａの構成を詳しく説明する一方で、第２搬送レール２２Ｂの構成の詳しい説明を省略する。

【0049】

搬送レール２２は、一対の枠体４１を備えている。各枠体４１は、１つの方向に沿って延びる板状を有している。枠体４１が延びる方向が、搬送レール２２の延在方向である。回転軸Ａは、搬送レール２２の延在方向において、搬送レール２２の中央に位置している。搬送レール２２は、伝達軸４２をさらに備えている。伝達軸４２は、枠体４１が延びる方向と平行な方向に沿って延びている。

【0050】

搬送レール２２は、一対の第１ギヤ対４３を備えている。一対の第１ギヤ対４３は、一対の枠体４１の間に配置されている。第１ギヤ対４３は、枠体４１の両方の端部に１つずつ位置している。第１ギヤ対４３は、第１ギヤ４３Ａと第２ギヤ４３Ｂとから構成されている。第１ギヤ４３Ａおよび第２ギヤ４３Ｂは、それぞれベベルギヤである。第１ギヤ４３Ａは、鉛直方向に沿って延びる軸とともに回転する一方で、第２ギヤ４３Ｂは、水平方向に沿って延びる軸とともに回転する。第２ギヤ４３Ｂが第１ギヤ４３Ａに噛み合うことによって、第１ギヤ４３Ａの回転が、第２ギヤ４３Ｂに伝達される、または、第２ギヤ４３Ｂの回転が、第１ギヤ４３Ａに伝達される。

【0051】

搬送レール２２は、一対の第２ギヤ対４４を備えている。第２ギヤ対４４は、伝達軸４２の両方の端部に１つずつ配置されている。第２ギヤ対４４は、第１ギヤ４４Ａと第２ギヤ４４Ｂとから構成されている。第１ギヤ４４Ａおよび第２ギヤ４４Ｂは、それぞれベベルギヤである。第１ギヤ４４Ａは、第１ギヤ対４３の第２ギヤ４３Ｂが固定された軸の端部に固定されている。第２ギヤ４４Ｂは、伝達軸４２の端部、または、端部の近傍に固定されている。第２ギヤ４４Ｂが第１ギヤ４４Ａに噛み合うことによって、第１ギヤ４４Ａの回転が、第２ギヤ４４Ｂに伝達される、または、第２ギヤ４４Ｂの回転が第１ギヤ４４Ａに伝達される。

【0052】

搬送レール２２は、一対の第３ギヤ対４５を備えている。第３ギヤ対４５は、伝達軸４２に対して、一対の第２ギヤ対４４よりも内側に配置されている。第３ギヤ対４５は、第１ギヤ４５Ａと第２ギヤ４５Ｂとから構成されている。第１ギヤ４５Ａおよび第２ギヤ４５Ｂは、それぞれベベルギヤである。第１ギヤ４５Ａは、伝達軸４２に固定され、伝達軸４２とともに回転する。第２ギヤ４５Ｂは、一対の枠体４１の間に配置されたローラー４６が有する軸の端部に固定されている。ローラー４６は、第２ギヤ４５Ｂを介して伝達軸４２の回転が伝達されることによって回転する。

【0053】

搬送レール２２は、複数のローラー４７をさらに備えている。各ローラー４７は、一対の枠体４１に固定されている。搬送レール２２は、例えば４つのローラー４７を備えている。各ローラー４７は、そのローラー４７上を搬送対象Ｔがスライドすることによって回転する。

【0054】

図６が示すように、一対の枠体４１には、筒状を有した保護部４８が、両方の端部に１つずつ接続されている。保護部４８は、枠体４１が延びる方向と直交する方向に沿って延びている。言い換えれば、保護部４８は、鉛直方向に沿って延びている。保護部４８の内部には、入力軸４９が位置している。入力軸４９は駆動部２３に接続されることによって、駆動部２３からの動力を入力する。すなわち、本実施形態において、入力軸４９は入力部の一例である。

【0055】

このように、搬送レール２２は、駆動部２３に接続して駆動部２３からの動力が入力される入力軸４９を、回転軸Ａを挟んで両方の端部に１ずつ備えている。これにより、搬送レール２２における入力軸４９の位置が、搬送レール２２の回転方向に依存しないため、入力軸４９に接続する駆動部２３の位置について自由度を高めることができる。

【0056】

図７は、搬送レール２２が停止している場合の一例を示している。図７では、搬送レール２２の一部である入力軸４９が駆動部２３上に位置する状態で、搬送レール２２が停止している状態を示している。

【0057】

図７が示すように、駆動部２３は、モーター２３Ａと、モーター２３Ａに接続された伝達軸２３Ｂとを備えている。モーター２３Ａは、搬送室１１のチャンバー１１Ａよりも外側に位置している。これに対して、伝達軸２３Ｂにおいて、モーター２３Ａに接続される端部はチャンバー１１Ａよりも外側に位置する一方で、入力軸４９に接続される端部はチャンバー１１Ａの内部に位置している。伝達軸２３Ｂは、チャンバー１１Ａの貫通孔１１Ａ１を通って、チャンバー１１Ａよりも外側からチャンバー１１Ａ内まで延びている。入力軸４９のなかで、伝達軸２３Ｂに接続される端部とは反対側の端部には、上述した第１ギヤ対４３の第１ギヤ４３Ａが固定されている。

【0058】

第１搬送レール２２Ａが搬送対象Ｔを搬送するときには、第１搬送レール２２Ａが、入力軸４９を駆動部２３の上方に位置させた状態で停止している。そして、伝達軸２３Ｂと入力軸４９とが接続される。次いで、モーター２３Ａが回転し、これによって、モーター２３Ａの回転が、伝達軸２３Ｂを介して入力軸４９に伝達される。そして、第１ギヤ対４３の第１ギヤ４３Ａが回転し、第１ギヤ４３Ａの回転が第２ギヤ４３Ｂに伝達される。これにより、第２ギヤ対４４の第１ギヤ４４Ａが回転し、第２ギヤ対４４の第２ギヤ４４Ｂが回転することによって、伝達軸４２が回転する。伝達軸４２の回転は、第３ギヤ対４５の第１ギヤ４５Ａおよび第２ギヤ４５Ｂを通じて、ローラー４６の回転に変換される。

【0059】

なお、搬送室１１のチャンバー１１Ａが有する貫通孔１１Ａ１と伝達軸２３Ｂとの間は、図示されない封止部によって封止されている。これにより、搬送室１１内の圧力を減圧することが可能である。

【0060】

［搬送装置の作用］
図８から図１６を参照して、搬送装置２０の作用を説明する。以下では、まず、図８から図１３を参照して、搬送対象Ｔを、真空加熱室１５、第１処理室１２Ａ、および、第２処理室１２Ｂの順に搬送する場合の搬送装置２０の作用を説明する。次いで、図１４から図１６を参照して、第１の搬送対象Ｔを、第１処理室１２Ａから搬送室１１に搬送した後に、第２の搬送対象Ｔを、真空加熱室１５から搬送室１１に搬送する場合の搬送装置２０の作用を説明する。なお、図８から図１６では、図示の便宜上、真空処理装置１０の構成における一部が省略されている。また、図８から図１６では、搬送レール２２に動力を与えている駆動部２３にドットが付されている。

【0061】

なお、以下に説明する各部の動作は、制御部１０Ｃが各部に対して出力する制御信号に基づいて行われる。
図８が示すように、真空加熱室１５から搬送室１１に搬送対象Ｔを搬送する場合には、真空加熱室１５と搬送室１１との間に配置されたゲートバルブ１６が開く。次いで、真空加熱室１５と第４処理室１２Ｄとに対応付けられた駆動部２３が、第２搬送レール２２Ｂが備える一方の入力軸４９に接続することによって、搬送対象Ｔを搬送するための動力を第２搬送レール２２Ｂに与える。このとき、真空加熱室１５の搬送レール２４にも、搬送対象Ｔを搬送するための動力が与えられる。これにより、搬送対象Ｔが、真空加熱室１５から搬送室１１に向けて搬送される。

【0062】

図９が示すように、回転部２１が、第２搬送レール２２Ｂを第２回転方向Ｒ２に回転させる。第２搬送レール２２Ｂは、第１搬送レール２２Ａと一体に回転する。回転部２１は、第２搬送レール２２Ｂを、搬送室１１と第１処理室１２Ａとの間のゲートバルブ１６と対向する位置まで回転させる。言い換えれば、回転部２１は、第２搬送レール２２Ｂの延在方向に第１処理室１２Ａが位置する状態で、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂの回転を停止する。このとき、真空加熱室１５から搬送室１１に搬送対象Ｔが搬送されたときから継続して、第２搬送レール２２Ｂが、搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送対象Ｔを搬送する搬送レールに選択されている。そのため、搬送対象Ｔが搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送される間において、スライド部２５は駆動されない。

【0063】

図１０が示すように、搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送対象Ｔを搬送する場合には、搬送室１１と第１処理室１２Ａとの間に配置されたゲートバルブ１６が開く。次いで、第１処理室１２Ａと第３処理室１２Ｃとに対応付けられた駆動部２３が、真空加熱室１５から搬送室１１に搬送対象Ｔを搬送したときと同一の入力軸４９に接続する。これにより、駆動部２３が、搬送対象Ｔを搬送するための動力を第２搬送レール２２Ｂに与える。このとき、第１処理室１２Ａの搬送レール２４にも、搬送対象Ｔを搬送するための動力が与えられる。これにより、搬送対象Ｔが、搬送室１１から第１処理室１２Ａに向けて搬送される。

【0064】

図１１が示すように、搬送対象Ｔが搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送された後、搬送室１１と第１処理室１２Ａとの間のゲートバルブ１６が閉じる。次いで、第１処理室１２Ａにおいて、搬送対象Ｔに対して所定の処理が行われる。本実施形態では、第１処理室１２Ａでの処理が終了するまでの間において、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂは、搬送対象Ｔを搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送したときと同じ位置に配置される。なお、第１処理室１２Ａでの処理が終了するまでの間において、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂは、搬送対象Ｔを搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送したときとは異なる位置に配置されてもよい。また、第１処理室１２Ａでの処理が終了するまでの間において、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂは、第１処理室１２Ａに配置された搬送対象Ｔとは異なる搬送対象Ｔを、搬送室１１と処理室との間において搬送してもよい。

【0065】

第１処理室１２Ａでの処理が終了した後に、搬送対象Ｔが、第１処理室１２Ａから搬送室１１に搬送される。このとき、搬送対象Ｔを搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送したときと同一の駆動部２３が、第２搬送レール２２Ｂに、搬送対象Ｔを搬送するための動力を与える。

【0066】

図１２が示すように、搬送対象Ｔが第１処理室１２Ａから搬送室１１に搬送された後、回転部２１が、第２搬送レール２２Ｂを第１回転方向Ｒ１に回転させる。回転部２１は、第２搬送レール２２Ｂを、搬送室１１と第２処理室１２Ｂとの間のゲートバルブ１６と対向する位置まで回転させる。言い換えれば、回転部２１は、第２搬送レール２２Ｂの延在方向に第２処理室１２Ｂが位置する状態で、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂの回転を停止する。このとき、第１処理室１２Ａから搬送室１１に搬送対象Ｔが搬送されたときから継続して、第２搬送レール２２Ｂが、搬送室１１から第２処理室１２Ｂに搬送対象Ｔを搬送する搬送レールに選択されている。そのため、搬送対象Ｔが搬送室１１から第２処理室１２Ｂに搬送される間において、スライド部２５は駆動されない。

【0067】

図１３が示すように、搬送室１１から第２処理室１２Ｂに搬送対象Ｔを搬送する場合には、搬送室１１と第２処理室１２Ｂとの間に配置されたゲートバルブ１６が開く。次いで、第２処理室１２Ｂと第５処理室１２Ｅとに対応付けられた駆動部２３が、搬送室１１から第１処理室１２Ａに搬送対象Ｔを搬送したときとは異なる入力軸４９に接続する。これにより、駆動部２３が、搬送対象Ｔを搬送するための動力を第２搬送レール２２Ｂに与える。このとき、第２処理室１２Ｂの搬送レール２４にも、搬送対象Ｔを搬送するための動力が与えられる。これにより、搬送対象Ｔが、搬送室１１から第２処理室１２Ｂに向けて搬送される。

【0068】

このように、搬送装置２０によれば、搬送レール２２の回転方向によらず、搬送室１１から一対の処理室への搬送を１つの駆動部２３によって行うことが可能であるため、搬送装置２０が備える駆動部２３の数が増えることが抑えられる。上述したように、本実施形態では、真空処理装置１０が６つの処理室１２Ａ～１２Ｅを備えている。そのため、搬送レール２２が一方の端部にのみ入力軸４９を有し、かつ、回転方向によらず全ての処理室１２Ａ～１２Ｅに向けて搬送対象Ｔの搬送を可能とするためには、６つの駆動部２３が必要である。この点で、上述した搬送装置２０によれば、駆動部２３の数を搬送先となる処理室１２Ａ～１２Ｅ，１５の数よりも少なくすることができる。

【0069】

例えば、搬送装置２０は、搬送対象Ｔを、搬送室１１を介して第１処理室１２Ａから第２処理室１２Ｂに搬送する途中で、真空加熱室１５から搬送室１１に新たな搬送対象Ｔを搬送してもよい。なお、以下では、搬送装置２０による搬送が先に開始された搬送対象Ｔが第１の搬送対象Ｔであり、搬送装置２０による搬送が後に開始された搬送対象Ｔが第２の搬送対象Ｔである。

【0070】

図１４が示すように、第１の搬送対象Ｔが第１処理室１２Ａから搬送室１１に搬送された後、回転部２１が、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂを第１回転方向Ｒ１に回転させる。回転部２１は、第２搬送レール２２Ｂを、搬送室１１と真空加熱室１５との間に配置されたゲートバルブ１６と対向する位置まで回転させる。言い換えれば、回転部２１は、第２搬送レール２２Ｂの延在方向に真空加熱室１５が位置する状態で、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂの回転を停止する。

【0071】

図１５が示すように、回転部２１が第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂを回転させた後、スライド部２５が、第１搬送レール２２Ａとゲートバルブ１６とが対向するように、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂをスライドさせる。言い換えれば、スライド部２５は、第１搬送レール２２Ａの延在方向に真空加熱室１５を位置させるように第１搬送レール２２Ａをスライドさせる。これにより、第１搬送レール２２Ａが、真空加熱室１５から搬送室１１に第２の搬送対象Ｔを搬送する搬送レールとして選択される。

【0072】

図１６が示すように、真空加熱室１５から搬送室１１に第２の搬送対象Ｔを搬送する場合には、真空加熱室１５と搬送室１１との間に配置されたゲートバルブ１６が開く。次いで、真空加熱室１５と第４処理室１２Ｄとに対応付けられた駆動部２３が、第１搬送レール２２Ａが備える一方の入力軸４９に接続する。これにより、駆動部２３が、第２の搬送対象Ｔを搬送するための動力を第１搬送レール２２Ａに与える。このとき、真空加熱室１５の搬送レール２４にも、第２の搬送対象Ｔを搬送するための動力が与えられる。これにより、第２の搬送対象Ｔが、真空加熱室１５から搬送室１１に向けて搬送される。

【0073】

なお、搬送装置２０は、上述した搬送方法に限らず、搬送室１１と、搬送室１１に接続する複数の処理室１２Ａ～１２Ｅ，１５との間において、任意の順番で搬送を行うことが可能である。これにより、真空処理装置１０によれば、搬送対象Ｔが備える処理対象に対する処理の順番を任意に変更することが可能である。また、真空処理装置１０が、同一の処理を行う処理室を複数備える場合には、処理対象に対して所定の処理を行う処理室を、各処理室での処理の進行状況などに応じて、複数のなかから任意に選択することが可能である。しかも、これらの場合に、搬送レール２２の回転方向が制限されないことによって搬送対象Ｔを最短の距離で搬送することが可能であるため、搬送装置２０によれば、搬送対象Ｔの搬送効率を高めることが可能である。

【0074】

上述したように、図１４および図１５を参照して説明した例では、回転部２１が第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂを回転させた後に、スライド部２５が、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂをスライドさせる。これに限らず、スライド部２５が、第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂをスライドさせた後に、回転部２１が第１搬送レール２２Ａおよび第２搬送レール２２Ｂを回転させてもよい。

【0075】

以上説明したように、搬送装置および処理装置の一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）搬送対象Ｔの回転方向が限定されないことによって、搬送対象Ｔの搬送効率を高めることが可能である。

【0076】

（２）搬送レール２２における入力軸４９の位置が、搬送レール２２の回転方向に依存しないため、入力軸４９に接続する駆動部２３の位置について自由度を高めることができる。

【0077】

（３）搬送レール２２の回転方向によらず、搬送室１１から各処理室への搬送を１つの駆動部２３によって行うことが可能であるため、搬送装置２０が備える駆動部２３の数が増えることが抑えられる。

【0078】

（４）第１搬送レール２２Ａを用いた搬送対象の搬送と、第２搬送レール２２Ｂを用いた搬送対象Ｔの搬送とを同時に行うことが可能である。これにより、搬送装置２０が搬送レールを１つのみ備える場合に比べて、搬送対象Ｔの搬送効率を高めることができる。

【0079】

なお、上述した実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［搬送レール］
・搬送装置２０は、搬送レール２２を１つのみ備えてもよいし、３つ以上の搬送レール２２を備えてもよい。真空処理装置１０が複数の搬送レール２２を備える場合には、搬送レール２２の数が２である場合に限らず、上述した（４）に準じた効果を得ることはできる。

【0080】

・搬送レール２２は、搬送レール２２の延在方向における一方の端部にのみ入力軸４９を有してもよい。この場合であっても、搬送レール２２の回転方向が１つの方向に限定されない以上は、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0081】

［スライド部］
・スライド部２５は、エアシリンダー２５Ａに代えて、圧縮空気以外の動力、例えば油圧によってロッドを駆動するシリンダーを備えてもよい。

【0082】

［回転軸］
・回転軸Ａは、鳥瞰視における搬送室１１の中央に限らず、中央からずれた位置に設定されてもよい。

【0083】

［駆動部］
・第１の処理室対に対応付けられた駆動部２３は、一対の処理室が対向する方向において、回転軸Ａよりも第４処理室１２Ｄ寄りに位置してもよい。第２の処理室対に対応付けられた駆動部２３は、一対の処理室が対向する方向において、回転軸Ａよりも第３処理室１２Ｃ寄りに位置してもよい。第３の処理室対に対応付けられた駆動部２３は、一対の処理室が対向する方向において、回転軸Ａよりも第２処理室１２Ｂ寄りに位置してもよい。これらのいずれの場合であっても、駆動部２３が配置される位置に限らず、上述した（３）に準じた効果を得ることはできる。

【0084】

・搬送装置２０は、各処理室のみに対応付けられた駆動部２３を備えてもよい。すなわち、上述した実施形態では、搬送装置２０は、６つの駆動部２３を備えてもよい。なお、上述した実施形態では、搬送装置２０は、３つ以上６つ以下の駆動部２３を備えてよい。

【0085】

［搬送室］
・搬送室１１は、鳥瞰視において、六角形状以下の形状を有してもよい。搬送室１１は、鳥瞰視において、例えば、四角形状を有してもよいし、八角形状を有してもよい。また、搬送室１１は、三角形状を有してもよいし、五角形状を有してもよい。これらの場合であっても、搬送レール２２の回転方向が１つの方向に限定されない以上は、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0086】

［処理室］
・真空処理装置１０が備える処理室の数は、２つ以上５つ以下であってもよい。言い換えれば、複数の処理室は、回転軸を中心に等配されていなくてもよい。また、複数の処理室には、回転軸を挟んで対向する処理室を有する処理室と、回転軸を挟んで対向する処理室を有しない処理室とが含まれてもよい。また、複数の処理室の全てが、回転軸を挟んで対向する処理室を有しなくてもよい。これらの場合であっても、搬送レール２２の回転方向が１つの方向に限定されない以上は、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0087】

［処理装置］
・処理装置は、大気雰囲気において各種の処理を行う処理室のみを備えた装置でもよい。

【符号の説明】

【0088】

１０…真空処理装置、１０Ｃ…制御部、１１…搬送室、１１Ａ…チャンバー、１１Ａ１…貫通孔、１２Ａ…第１処理室、１２Ｂ…第２処理室、１２Ｃ…第３処理室、１２Ｄ…第４処理室、１２Ｅ…第５処理室、１３…搬出入室、１４…大気加熱室、１５…真空加熱室、１６…ゲートバルブ、１７…排気部、２０…搬送装置、２１…回転部、２１Ａ，２３Ａ…モーター、２１Ｂ…スライド支持部、２２，２４…搬送レール、２２Ａ…第１搬送レール、２２Ｂ…第２搬送レール、２３…駆動部、２３Ｂ，４２…伝達軸、２５…スライド部、２５Ａ…エアシリンダー、２５Ａ１…大気ボックス、２５Ａ２…ロッド、２５Ｂ…スライダー、２５Ｂ１…レール、２５Ｂ２…キャリア、２５Ｃ…レール支持部、３１…加熱部、３２…カソード、３３…照射部、４１…枠体、４３…第１ギヤ対、４３Ａ，４４Ａ，４５Ａ…第１ギヤ、４３Ｂ，４４Ｂ，４５Ｂ…第２ギヤ、４４…第２ギヤ対、４５…第３ギヤ対、４６，４７…ローラー、４８…保護部、４９…入力軸、Ａ…回転軸、Ｔ…搬送対象。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】