特許 7208081 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-01-10

(45)【発行日】2023-01-18

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20230111BHJP

   B65D 25/42 20060101ALI20230111BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

H01L21/68 V

B65D25/42 C

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019059791

(22)【出願日】2019-03-27

(65)【公開番号】P2020161653

(43)【公開日】2020-10-01

【審査請求日】2021-12-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】橋本 篤明

(72)【発明者】

【氏名】隣 嘉津彦

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－１４２８７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１６８７３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１４５７６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－４３８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－４６１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２３４９９２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ２５／４２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を収納する収納空間を区画する本体であって、前記基板の数量に合わせた前記収納空間の容積に変更が可能に構成されて、かつ、前記収納空間を区画する面が金属製である前記本体と、
前記本体に接続され、前記収納空間内の排気または前記収納空間内への不活性ガスの導入に用いられるポートと、を備える
基板収納容器。

【請求項2】

前記本体は、前記基板の厚さ方向に積み重なる金属製の支持板を三段以上備え、
最上段の前記支持板は、前記本体の蓋体であり、
最下段の前記支持板は、前記本体の底体であり、
前記厚さ方向において、前記最上段の支持板と前記最下段の支持板とに挟まれた一段以上の前記支持板が、中間の支持板であり、
前記中間の支持板は、前記最上段の支持板が区画する空間と、前記最下段の支持板が区画する空間とに連通する連通孔を備え、
ｎ段目の前記支持板と（ｎ＋１）段目の前記支持板とが、前記厚さ方向においてｎ段目の前記基板を挟んで支持し、
前記複数の支持板が積み重なった状態で、前記複数の支持板を締結する締結部をさらに備える
請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記締結部は、ボルトとナットとを備え、前記厚さ方向において各支持板を貫通する孔を通る前記ボルトに前記ナットが締結される
請求項２に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記ポートは、前記最上段の支持板または前記最下段の支持板に接続され、前記ポートが接続された前記支持板がポート側支持板であり、
前記ナットは、前記ポート側支持板の表面において前記ボルトに締結されている
請求項３に記載の基板収納容器。

【請求項5】

各支持板は、前記基板に接する部位に位置する弾性部材を備え、
前記ｎ段目の支持板が有する前記弾性部材と、前記（ｎ＋１）段目の支持板が有する前記弾性部材とが、前記厚さ方向において前記ｎ段目の基板を挟んで支持する
請求項２から４のいずれか一項に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体装置を形成するための基板として、シリコン基板が多用されている。シリコンは高い活性を有するため、シリコン基板が大気中の水分と反応することによって、シリコン基板の表面にはシリコン酸化膜が形成される。半導体装置を製造する過程において、シリコン酸化膜を有したシリコン基板の表面にシリコンの薄膜をエピタキシャル成長させた場合には、基板の面内において、薄膜の成長速度にばらつきが生じたり、薄膜内に空隙が生じたりする。そのため、薄膜をエピタキシャル成長させる前に、シリコン酸化膜をエッチングするエッチング装置を用いて、シリコン基板の表面に形成されたシリコン酸化膜が除去されている（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－１６５９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、半導体装置を製造する過程では、シリコン酸化膜を除去する工程とそれに次ぐ工程との間で、シリコン基板の表面が再び酸化される程度に長い時間経過してしまう場合がある。また、半導体装置の製造プロセスを設計する過程では、シリコン酸化膜を除去する工程とそれに次ぐ工程とを別々のクリーンルームで行うため、基板収納容器に収納されたシリコン基板をクリーンルームの外に搬出せざるを得ない場合がある。こうした実情から、シリコン基板の表面と水分との接触を抑えることが可能な基板収納容器が求められている。

【0005】

なお、こうした課題は、シリコン基板に限らず、水分との接触によって表面の変質が生じる基板において共通する。
本発明は、水分との接触による基板の表面での変質を抑えることを可能とした基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するための基板収納容器は、基板を収納する収納空間を区画する本体であって、前記基板の数量に合わせた前記収納空間の容積に変更が可能に構成されて、かつ、前記収納空間を区画する面が金属製である前記本体と、前記本体に接続され、前記収納空間内の排気または前記収納空間内への不活性ガスの導入に用いられるポートと、を備える。

【0007】

上記構成によれば、本体において収納空間を区画する面が樹脂製である場合と比べて、収納空間内に本体から水分が放出されることが抑えられる。また、収納空間の容積が可変であることによって、収納空間内に収納される基板の数量に合わせて収納空間の容積を変更することが可能である。そのため、基板の容積に対して収納空間の容積が過剰に大きくなることが抑えられる。それゆえに、収納空間を区画する面が大きくなることが抑えられ、これによっても、本体から収納空間内に水分が放出されることが抑えられる。結果として、水分との接触による基板の表面での変質を抑えることが可能である。

【0008】

上記基板収納容器において、前記本体は、前記基板の厚さ方向に積み重なる金属製の支持板を三段以上備え、最上段の前記支持板は、前記本体の蓋体であり、最下段の前記支持板は、前記本体の底体であり、前記厚さ方向において、前記最上段の支持板と前記最下段の支持板とに挟まれた一段以上の前記支持板が、中間の支持板であり、前記中間の支持板は、前記最上段の支持板が区画する空間と、前記最下段の支持板が区画する空間とに連通する連通孔を備え、ｎ段目の前記支持板と（ｎ＋１）段目の前記支持板とが、前記厚さ方向においてｎ段目の前記基板を挟んで支持し、前記複数の支持板が積み重なった状態で、前記複数の支持板を締結する締結部をさらに備えてもよい。上記構成によれば、ｎ段目の支持板と（ｎ＋１）段目の支持板とが、ｎ段目の基板を支持するため、収納する基板の数量に適した容積の収納空間を形成することが可能である。

【0009】

上記基板収納容器において、前記締結部は、ボルトとナットとを備え、前記厚さ方向において各支持板を貫通する孔を通る前記ボルトに前記ナットが締結されてもよい。上記構成によれば、ボルトに対するナットの螺合によって複数の支持板を締結することが可能であるため、複数の支持板を締結することが容易である。

【0010】

上記基板収納容器において、前記ポートは、前記最上段の支持板または前記最下段の支持板に接続され、前記ポートが接続された前記支持板がポート側支持板であり、前記ナットは、前記ポート側支持板の表面において前記ボルトに締結されていてもよい。

【0011】

上記構成によれば、ナットがポート側支持板の表面においてボルトに締結されるため、ボルトにナットを締結するときと、ポートを通じて収納空間内を排気するとき、または、ポートを通じて収納空間内に不活性ガスを導入するときとの両方において、ポート側支持板の表面が作業者に面するように、基板収納容器を配置することが可能である。これにより、基板収納容器に基板を収納する作業の効率を高めることができる。

【0012】

上記基板収納容器において、各支持板は、前記基板に接する部位に位置する弾性部材を備え、前記ｎ段目の支持板が有する前記弾性部材と、前記（ｎ＋１）段目の支持板が有する前記弾性部材とが、前記厚さ方向において前記ｎ段目の基板を挟んで支持してもよい。

【0013】

上記構成によれば、弾性部材によって基板が支持されるため、基板が金属製の面によって支持される場合に比べて、基板において支持板と接する部位が、支持板との摩擦によって損傷することが抑えられる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】一実施形態における基板収納容器の構造における一部を破断して示す斜視図。

【図2】図１が示す基板収納容器の構造を分割して示す分解断面図。

【図3】中間体の表面と対向する方向から見た中間体の構造を示す平面図。

【図4】図１が示す基板収納容器の構造を示す断面図。

【図5】図１が示す基板収納容器の構造における他の例を示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0015】

図１から図５を参照して、基板収納容器の一実施形態を説明する。以下では、基板収納容器の構造、および、基板収納容器の作用を順に説明する。
［基板収納容器の構造］
図１から図３を参照して、基板収納容器の構造を説明する。図１は、基板収納容器の斜視構造を示している。なお、図１では、基板収納容器における内部の構造を説明する便宜上、基板収納容器および基板の一部が破断されている。また、図１では、図示の便宜上、ポートに取り付けられたバルブの図示が省略されている。

【0016】

図１が示すように、基板収納容器１０は、本体１１とポート１２とを備えている。本体１１は、基板Ｓを収納する収納空間１１Ａを区画する。本体１１は、基板Ｓの数量に合わせた収納空間１１Ａの容積に変更が可能であり、かつ、収納空間１１Ａを区画する面１１Ｓが金属製である。ポート１２は、本体１１に接続されている。ポート１２は、収納空間１１Ａ内の排気、または、収納空間１１Ａ内への不活性ガスの導入に用いられる。

【0017】

本体１１において収納空間１１Ａを区画する面１１Ｓが樹脂製である場合と比べて、収納空間１１Ａ内に本体１１から水分が放出されることが抑えられる。また、収納空間１１Ａの容積が可変であることによって、収納空間１１Ａ内に収納される基板Ｓの数量に合わせて収納空間１１Ａの容積を変更することが可能である。そのため、基板Ｓの容積に対して収納空間１１Ａの容積が過剰に大きくなることが抑えられる。それゆえに、収納空間１１Ａを区画する面１１Ｓが大きくなることが抑えられ、これによっても、本体１１から収納空間１１Ａ内に水分が放出されることが抑えられる。結果として、水分との接触による基板Ｓの表面での変質を抑えることが可能である。以下、図２および図３を参照して、本実施形態の基板収納容器１０をより詳しく説明する。

【0018】

図２が示すように、本体１１は、三段以上の支持板１１ａを備えている。各支持板１１ａは金属製である。各支持板１１ａは、例えばアルミニウムまたはステンレス鋼などから形成されている。複数の支持板１１ａは、基板Ｓの厚さ方向において積み重なっている。複数の支持板１１ａのうち、最上段の支持板１１ａが、本体１１の蓋体１１ａ１である。複数の支持板１１ａのうち、最下段の支持板１１ａが、本体１１の底体１１ａ２である。基板Ｓの厚さ方向において、最上段の支持板１１ａと最下段の支持板１１ａとに挟まれた一段以上の支持板１１ａが、中間の支持板１１ａである。なお、以下において、中間の支持板１１ａを中間体１１ａ３とも称する。

【0019】

中間体１１ａ３は、蓋体１１ａ１が区画する空間と、底体１１ａ２が区画する空間とに連通する連通孔ａ３ｖを備えている。本体１１において、ｎ段目の支持板１１ａと（ｎ＋１）段目の支持板１１ａとが、基板Ｓ厚さ方向においてｎ段目の基板Ｓを挟んで支持している。ｎ段目の支持板１１ａと（ｎ＋１）段目の支持板１１ａとが、ｎ段目の基板Ｓを支持するため、収納する基板Ｓの数量に適した容積の収納空間１１Ａを形成することが可能である。

【0020】

本実施形態において、蓋体１１ａ１が１段目の支持板１１ａであり、中間体１１ａ３が２段目の支持板１１ａであり、底体１１ａ２が３段目の支持板１１ａである。蓋体１１ａ１と中間体１１ａ３とが、１段目に位置する１枚の基板Ｓを挟んで支持する。中間体１１ａ３と底体１１ａ２とが、２段目に位置する１枚の基板Ｓを挟んで支持する。本実施形態において、基板Ｓは例えば円板状を有している。基板Ｓは、例えばシリコン基板である。

【0021】

基板収納容器１０は、締結部１３をさらに備えている。締結部１３は、複数の支持板１１ａが積み重なった状態で、複数の支持板１１ａを締結する。締結部１３は、ボルト１３ａとナット１３ｂとを備えている。ナット１３ｂは、基板Ｓの厚さ方向において各支持板１１ａを貫通する孔を通るボルト１３ａに締結される。ボルト１３ａに対するナット１３ｂの螺合によって複数の支持板１１ａを締結することが可能であるため、複数の支持板１１ａを締結することが容易である。締結部１３がボルト１３ａとナット１３ｂとを備えることによって、基板Ｓの収納に用いられる支持板１１ａの数が変わったとしても、ボルト１３ａに対するナット１３ｂの螺合量を変更することによって、複数の支持板１１ａを締結することが可能にもなる。

【0022】

本実施形態では、蓋体１１ａ１が、ボルト１３ａの一部が通る貫通孔ａ１ｈを有し、底体１１ａ２が、ボルト１３ａの一部が通る貫通孔ａ２ｈを有し、中間体１１ａ３が、ボルト１３ａの一部が通る貫通孔ａ３ｈを有している。３つの支持板１１ａが積み重なることによって、基板Ｓの厚さ方向からみて、各支持板１１ａの貫通孔ａ１ｈ，ａ２ｈ，ａ３ｈが互いに接続される。ボルト１３ａは、３つの貫通孔ａ１ｈ，ａ２ｈ，ａ３ｈが接続された孔に通される。

【0023】

基板収納容器１０は、例えば蓋体１１ａ１の周方向において等配された複数の締結部１３を備えている。そのため、各支持板１１ａも、締結部１３の数量に応じた数量の貫通孔ａ１ｈ，ａ２ｈ，ａ３ｈを有している。

【0024】

ポート１２は、蓋体１１ａ１に接続されている。本実施形態において、ポート１２が接続された蓋体１１ａ１が、ポート側支持板の一例である。ナット１３ｂは、蓋体１１ａ１の上面ａ１Ｕにおいてボルト１３ａに締結される。蓋体１１ａ１の上面ａ１Ｕは、ポート側支持板の表面の一例である。ナット１３ｂが蓋体１１ａ１の上面ａ１Ｕにおいてボルト１３ａに締結される。そのため、ボルト１３ａにナット１３ｂを締結するときと、ポート１２を通じて収納空間１１Ａ内を排気するとき、または、ポート１２を通じて収納空間１１Ａ内に不活性ガスを導入するときとの両方において、蓋体１１ａ１の上面ａ１Ｕが作業者に面するように、基板収納容器１０を配置することが可能である。これにより、基板収納容器１０に基板Ｓを収納する作業の効率を高めることができる。

【0025】

蓋体１１ａ１は、例えば円板状を有している。蓋体１１ａ１は円板状に限らず、例えば矩形板状などの円板状以外の形状を有してもよい。蓋体１１ａ１は、上面ａ１Ｕと、上面ａ１Ｕとは反対側の面である下面ａ１Ｂとを含んでいる。蓋体１１ａ１は、蓋体１１ａ１の厚さ方向において蓋体１１ａ１を貫通する通気孔ａ１ｖを有している。通気孔ａ１ｖには、ポート１２が接続されている。

【0026】

蓋体１１ａ１は、下面ａ１Ｂに窪みａ１Ｂ１を有している。下面ａ１Ｂと対向する平面視において、窪みａ１Ｂ１の面積は、基板Ｓの面積以上である。窪みａ１Ｂ１の面積は、基板Ｓの面積よりも大きいことが好ましい。窪みａ１Ｂ１には、下側溝ａ１１が位置している。下面ａ１Ｂと対向する平面視において、下側溝ａ１１は、基板Ｓが基板収納容器１０に収納された場合に、基板Ｓに重なるように配置されている。上面ａ１Ｕに直交する平面に沿う断面において、下側溝ａ１１は、逆台形状を有している。下側溝ａ１１では、逆台形状を有した断面形状が、蓋体１１ａ１の周方向の一部において連なっている。

【0027】

蓋体１１ａ１は、基板Ｓに接する部位に位置する弾性部材ａ１２を備えている。弾性部材ａ１２は、下側溝ａ１１に嵌まることによって、蓋体１１ａ１のなかで基板Ｓに接する部位に位置している。弾性部材ａ１２は、例えば樹脂製である。弾性部材ａ１２は、例えばフッ素樹脂によって形成されている。

【0028】

中間体１１ａ３は、例えば円板状を有している。中間体１１ａ３は円板状に限らず、例えば矩形板状などの円板状以外の形状を有してもよい。ただし、中間体１１ａ３の形状は、蓋体１１ａ１の形状と同一であることが好ましい。中間体１１ａ３は、上面ａ３Ｕと、上面ａ３Ｕとは反対側の面である下面ａ３Ｂとを含んでいる。中間体１１ａ３は、中間体１１ａ３の厚さ方向において中間体１１ａ３を貫通する連通孔ａ３ｖを有している。上面ａ３Ｕと対向する平面視において、中間体１１ａ３の一部分と基板Ｓとが重なる。上面ａ３Ｕと対向する平面視において、連通孔ａ３ｖによって区画される面積は、例えば、基板Ｓの面積よりも小さい。

【0029】

中間体１１ａ３は、上面ａ３Ｕに上側溝ａ３１を有している。上面ａ３Ｕと対向する平面視において、上側溝ａ３１は、基板Ｓが基板収納容器１０に収納された場合に、基板Ｓに重なるように配置されている。上面ａ３Ｕと直交する平面に沿う断面において、上側溝ａ３１は、矩形状を有している。上側溝ａ３１では、矩形状を有した断面形状が、中間体１１ａ３の周方向の一部において連なっている。

【0030】

中間体１１ａ３は、基板Ｓに接する部位に位置する弾性部材ａ３２を備えている。弾性部材ａ３２は、上側溝ａ３１に嵌まることによって、中間体１１ａ３のなかで基板Ｓに接する部位に位置している。そのため、１段目の支持板１１ａである蓋体１１ａ１が有する弾性部材ａ１２と、２段目の支持板１１ａである中間体１１ａ３が有する弾性部材ａ３２とが、基板Ｓの厚さ方向において、１段目の基板Ｓを挟んで支持する。弾性部材ａ３２は、例えば樹脂製である。弾性部材ａ３２は、例えばフッ素樹脂によって形成されている。

【0031】

弾性部材ａ１２，ａ３２によって基板Ｓが支持されるため、基板Ｓが金属製の面１１Ｓによって支持される場合に比べて、基板Ｓにおいて支持板１１ａと接する部位が、支持板１１ａとの摩擦によって損傷することが抑えられる。

【0032】

中間体１１ａ３は、下面ａ３Ｂに窪みａ３Ｂ１を有している。下面ａ３Ｂと対向する平面視において、窪みａ３Ｂ１の面積は、基板Ｓの面積以上である。窪みａ３Ｂ１の面積は、基板Ｓの面積よりも大きいことが好ましい。窪みａ３Ｂ１には、下側溝ａ３３が位置している。下面ａ３Ｂと対向する平面視において、下側溝ａ３３は、基板Ｓが基板収納容器１０に収納された場合に、基板Ｓに重なるように配置されている。上面ａ３Ｕに直交する平面に沿う断面において、下側溝ａ３３は、逆台形状を有している。下側溝ａ３３では、逆台形状を有した断面形状が、中間体１１ａ３の周方向の一部において連なっている。

【0033】

中間体１１ａ３は、基板Ｓに接する部位に位置する弾性部材ａ３４を下面ａ３Ｂにも備えている。弾性部材ａ３４は、下側溝ａ３３に嵌まることによって、中間体１１ａ３のなかで基板Ｓに接する部位に位置している。弾性部材ａ３４は、例えば樹脂製である。弾性部材ａ３４は、例えばフッ素樹脂によって形成されている。

【0034】

中間体１１ａ３は、上面ａ３Ｕにシール用溝ａ３５をさらに備えている。シール用溝ａ３５は、中間体１１ａ３の径方向において、上側溝ａ３１よりも外側、かつ、貫通孔ａ３ｈよりも内側に位置している。上面ａ３Ｕと対向する平面視において、シール用溝ａ３５は、中間体１１ａ３の周方向に沿う閉環状を有している。シール用溝ａ３５には、シールリングａ３６が嵌め込まれている。シールリングａ３６は、例えばＯリングである。シールリングａ３６は、例えば樹脂製である。シールリングａ３６は、例えばフッ素樹脂によって形成されている。中間体１１ａ３に蓋体１１ａ１が積み重なることによって、シールリングａ３６が、中間体１１ａ３と蓋体１１ａ１との間で押しつぶされる。これにより、中間体１１ａ３と蓋体１１ａ１とによって区画される空間のなかで、中間体１１ａ３の径方向におけるシールリングａ３６よりも内側の部分が、シールリングａ３６によって封止される。

【0035】

なお、図２では、１つの中間体１１ａ３のみを備える例が図示されている。これを変更して、基板収納容器１０は、複数の中間体１１ａ３を備えることが可能である。そして、基板収納容器１０が収納する基板Ｓの数量に応じて、基板Ｓの収納に用いる中間体１１ａ３の数を変えることによって、基板収納容器１０が区画する収納空間１１Ａの容積を変更することが可能である。

【0036】

底体１１ａ２は、例えば円板状を有している。底体１１ａ２は円板状に限らず、例えば矩形板状などの円板状以外の形状を有してもよい。ただし、底体１１ａ２の形状は、蓋体１１ａ１の形状、および、中間体１１ａ３の形状と同一であることが好ましい。底体１１ａ２は、上面ａ２Ｕと、上面ａ２Ｕとは反対側の面である下面ａ２Ｂとを含んでいる。

【0037】

底体１１ａ２は、上面ａ２Ｕに上側溝ａ２１を有している。上面ａ２Ｕと対向する平面視において、上側溝ａ２１は、基板Ｓが基板収納容器１０に収納された場合に、基板Ｓに重なるように配置されている。上面ａ２Ｕと直交する断面において、上側溝ａ２１は、矩形状を有している。上側溝ａ２１では、矩形状を有した断面形状が、底体１１ａ２の周方向における一部において連なっている。

【0038】

底体１１ａ２は、基板Ｓに接する部位に位置する弾性部材ａ２２を備えている。弾性部材ａ２２は、上側溝ａ２１に嵌まることによって、底体１１ａ２のなかで基板Ｓに接する部位に位置している。そのため、２段目の支持板１１ａである中間体１１ａ３が有する弾性部材ａ３４と、３段目の支持板１１ａである底体１１ａ２が有する弾性部材ａ２２とが、基板Ｓの厚さ方向において、２段目の基板Ｓを挟んで支持する。弾性部材ａ２２は、例えば樹脂製である。弾性部材ａ２２は、例えばフッ素樹脂によって形成されている。

【0039】

底体１１ａ２は、上面ａ２Ｕにシール用溝ａ２３をさらに備えている。シール用溝ａ２３は、底体１１ａ２の径方向において、上側溝ａ２１よりも外側、かつ、貫通孔ａ２ｈよりも内側に位置している。上面ａ２Ｕと対向する平面視において、シール用溝ａ２３は、底体１１ａ２の周方向に沿う閉環状を有している。シール用溝ａ２３には、シールリングａ２４が嵌め込まれている。シールリングａ２４は、例えばＯリングである。シールリングａ２４は、例えば樹脂製である。シールリングａ２４は、例えばフッ素樹脂によって形成されている。底体１１ａ２に中間体１１ａ３が積み重なることによって、シールリングａ２４が、底体１１ａ２と中間体１１ａ３との間において押しつぶされる。これにより、底体１１ａ２と中間体１１ａ３とによって区画される空間のなかで、底体１１ａ２の径方向におけるシールリングａ２４よりも内側の部位が、シールリングａ２４によって封止される。

【0040】

ポート１２には、バルブ１２Ｖが取り付けられている。バルブ１２Ｖは、ポート１２の開放と閉塞とを行う。バルブ１２Ｖが開くことによって、ポート１２の内部が基板収納容器１０の外部に開放される。バルブ１２Ｖが閉じることによって、ポート１２の内部が基板収納容器１０の外部に対して閉塞される。ポート１２を通じて収納空間１１Ａ内に導入される不活性ガスは、例えば、窒素ガス、アルゴンガス、および、ヘリウムガスなどであってよい。

【0041】

図３は、中間体１１ａ３の上面ａ３Ｕと対向する平面視における中間体１１ａ３の平面構造を示している。なお、図３では、図示の便宜上、弾性部材ａ３２が嵌め込まれる上側溝ａ３１と、シールリングａ３６が嵌め込まれるシール用溝ａ３５との図示が省略されている。また、図３では、基板収納容器１０に収納される基板Ｓが破線で示されている。

【0042】

図３が示すように、中間体１１ａ３は、複数の弾性部材ａ３２を備えている。複数の弾性部材ａ３２は、中間体１１ａ３の周方向に沿って間隔を空けて配置されている。本実施形態では、中間体１１ａ３は、例えば４つの弾性部材ａ３２を備えている。４つの弾性部材ａ３２は、中間体１１ａ３の周方向において等配されている。

【0043】

なお、図示を省略したが、本実施形態では、蓋体１１ａ１が４つの弾性部材ａ１２を備えている。各弾性部材ａ１２は、基板Ｓの厚さ方向から見て、中間体１１ａ３が備える１つの弾性部材ａ３２と重なっている。また、中間体１１ａ３はさらに４つの弾性部材ａ３４を備えている。各弾性部材ａ３４は、基板Ｓの厚さ方向から見て、上面ａ３Ｕに位置する１つの弾性部材ａ３２と重なっている。また、底体１１ａ２が、４つの弾性部材ａ２２を備えている。各弾性部材ａ２２は、基板Ｓの厚さ方向から見て、中間体１１ａ３が備える１つの弾性部材ａ３４と重なっている。

【0044】

このように、基板収納容器１０では、１段目の基板Ｓが、蓋体１１ａ１の周方向において等配された複数の弾性部材ａ１２と、中間体１１ａ３の周方向において等配された複数の弾性部材ａ３２とによって支持される。これにより、蓋体１１ａ１と基板Ｓとの間、および、中間体１１ａ３と基板Ｓとの間の各々に隙間が形成される。そのため、蓋体１１ａ１が区画する空間と、中間体１１ａ３が区画する空間とが、連通孔ａ３ｖおよび上述した隙間を通じて連通される。

【0045】

また、基板収納容器１０では、２段目の基板Ｓが、中間体１１ａ３の周方向において等配された複数の弾性部材ａ３４と、底体１１ａ２の周方向において等配された複数の弾性部材ａ２２とによって支持される。これにより、中間体１１ａ３と基板Ｓとの間、および、底体１１ａ２と基板Ｓとの間の各々に隙間が形成される。そのため、中間体１１ａ３が区画する空間と、底体１１ａ２が区画する空間とが、連通孔ａ３ｖおよび上述した空間を通じて連通される。

【0046】

それゆえに、基板収納容器１０では、蓋体１１ａ１、中間体１１ａ３、および、底体１１ａ２が積み重なり、かつ、基板Ｓが基板収納容器１０に収納された状態において、ポート１２を介してシールリングａ２４，ａ３６よりも内側の空間を排気することが可能である。あるいは、基板収納容器１０では、ポート１２を介してシールリングａ２４，ａ３６よりも内側の空間に不活性ガスを導入することが可能である。

【0047】

［基板収納容器の作用］
図４および図５を参照して、基板収納容器１０の作用を説明する。以下では、図４を用いて基板収納容器１０が３段の支持板１１ａによって形成される場合の作用を説明する。また、図５を用いて基板収納容器１０が６段の支持板１１ａによって形成される場合の作用を説明する。

【0048】

図４が示すように、基板収納容器１０を用いて２枚の基板Ｓを収納する場合には、３つの支持板１１ａを準備する。そして、１段目の支持板１１ａである蓋体１１ａ１と、２段目の支持板１１ａである中間体１１ａ３との間に１段目の基板Ｓを配置する。これにより、蓋体１１ａ１の弾性部材ａ１２と、中間体１１ａ３の弾性部材ａ３２とによって、１段目の基板Ｓを挟んで支持する。さらには、中間体１１ａ３に対して蓋体１１ａ１が積み重なることによって、中間体１１ａ３のシールリングａ３６が蓋体１１ａ１によって押しつぶされる。これにより、蓋体１１ａ１と中間体１１ａ３とが形成する空間が、シールリングａ３６によって封止される。

【0049】

また、中間体１１ａ３と、３段目の支持板１１ａである底体１１ａ２との間に２段目の基板Ｓを配置する。これにより、中間体１１ａ３の弾性部材ａ３４と、底体１１ａ２の弾性部材ａ２２とによって、２段目の基板Ｓを挟んで支持する。さらには、底体１１ａ２に対して中間体１１ａ３が積み重なることによって、底体１１ａ２のシールリングａ２４が中間体１１ａ３によって押しつぶされる。これにより、中間体１１ａ３と底体１１ａ２とが形成する空間が、シールリングａ２４によって封止される。

【0050】

そして、３つの支持板１１ａを貫通するように、各支持板１１ａの貫通孔にボルト１３ａを通す。ナット１３ｂをボルト１３ａに螺合させることによって、各支持板１１ａを締結する。その後、ポート１２を通じて収納空間１１Ａ内を排気することによって、または、ポート１２を通じて収納空間１１Ａ内に不活性ガスを導入することによって、基板収納容器１０内に収納された基板Ｓが、排気以降またはガスの導入以降において水分と接触することが抑えられる。

【0051】

図５が示すように、基板収納容器１０は、３枚以上の基板Ｓを収納することが可能である。図５が示す例では、基板収納容器１０は、５枚の基板Ｓを収納している。この場合には、基板収納容器１０が備える中間体１１ａ３を４つ用いることによって、１つの中間体１１ａ３のみを用いる場合に比べて、基板収納容器１０が区画する収納空間１１Ａの容積が拡大される。

【0052】

基板収納容器１０では、２段目の支持板１１ａである第１の中間体１１ａ３と、３段目の支持板１１ａである第２の中間体１１ａ３との間に、２段目の基板Ｓが配置される。これにより、第１の中間体１１ａ３の弾性部材ａ３４と、第２の中間体１１ａ３の弾性部材ａ３２とが、２段目の基板Ｓを挟んで支持する。第２の中間体１１ａ３と、４段目の支持板１１ａである第３の中間体１１ａ３との間に、３段目の基板Ｓが配置される。これにより、第２の中間体１１ａ３の弾性部材ａ３４と、第３の中間体１１ａ３の弾性部材ａ３２とが、３段目の基板Ｓを挟んで支持する。第３の中間体１１ａ３と、５段目の支持板１１ａである第４の中間体１１ａ３との間に、４段目の基板Ｓが配置される。これにより、第３の中間体１１ａ３の弾性部材ａ３４と、第４の中間体１１ａ３の弾性部材ａ３２とが、４段目の基板Ｓを挟んで支持する。

【0053】

以上説明したように、基板収納容器の一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）本体１１において収納空間１１Ａを区画する面１１Ｓが樹脂製である場合と比べて、収納空間１１Ａ内に本体１１から水分が放出されることが抑えられる。また、収納空間１１Ａの容積が可変であることによって、収納空間１１Ａ内に収納される基板Ｓの数量に合わせて収納空間１１Ａの容積を変更することが可能である。そのため、基板Ｓの容積に対して収納空間１１Ａの容積が過剰に大きくなることが抑えられる。それゆえに、収納空間１１Ａを区画する面１１Ｓが大きくなることが抑えられ、これによっても、本体１１から収納空間１１Ａ内に水分が放出されることが抑えられる。結果として、水分との接触による基板Ｓの表面での変質を抑えることが可能である。

【0054】

（２）ｎ段目の支持板１１ａと（ｎ＋１）段目の支持板１１ａとが、ｎ段目の基板Ｓを支持するため、収納する基板Ｓの数量に適した容積の収納空間１１Ａを形成することが可能である。

【0055】

（３）ボルト１３ａに対するナット１３ｂの螺合によって複数の支持板１１ａを締結することが可能であるため、複数の支持板１１ａを締結することが容易である。

【0056】

（４）ナット１３ｂが蓋体１１ａ１の上面ａ１Ｕにおいてボルト１３ａに締結される。そのため、ボルト１３ａにナット１３ｂを締結するときと、ポート１２を通じて収納空間１１Ａ内を排気するとき、または、ポート１２を通じて収納空間１１Ａ内に不活性ガスを導入するときとの両方において、蓋体１１ａ１の上面ａ１Ｕが作業者に面するように、基板収納容器１０を配置することが可能である。これにより、基板収納容器１０に基板を収納する作業の効率を高めることができる。

【0057】

（５）弾性部材によって基板Ｓが支持されるため、基板Ｓが金属製の面１１Ｓによって支持される場合に比べて、基板Ｓにおいて支持板１１ａと接する部位が、支持板１１ａとの摩擦によって損傷することが抑えられる。

【0058】

なお、上述した実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［本体］
・本体１１が備える各支持板１１ａにおいて、収納空間１１Ａを区画する面１１Ｓのみが金属製であり、面１１Ｓ以外の部分が金属以外の材料から形成されてもよい。金属以外の材料は、例えば合成樹脂であってよい。この場合であっても、収納空間１１Ａを区画する面１１Ｓが金属製である以上は、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0059】

［弾性部材］
・各支持板１１ａは弾性部材を備えなくてもよい。この場合には、収納空間１１Ａ内に水分を放出する部材が減るため、基板Ｓの表面が水分に接触することがより抑えられる。なお、上述したように、支持板１１ａにおける金属製の面１１Ｓと基板Ｓとの摩擦を抑える上では、各支持板１１ａは、弾性部材を備えることが好ましい。

【0060】

［支持板］
・基板収納容器１０は、ｎ段目の支持板１１ａと（ｎ＋１）段目の支持板１１ａとの間にｍ枚（ｍは２以上の整数）の基板Ｓを挟むことが可能であってもよい。この場合には、例えば、ｎ段目の支持板１１ａが、ｍ個の窪みを下面に有し、かつ、（ｎ＋１）段目の支持板１１ａが、上面において各窪みと対向する位置に連通孔を備えることが可能である。

【0061】

・基板収納容器１０は、２段の支持板１１ａのみを備えてもよい。この場合であっても、１枚の基板Ｓに合わせた容積を基板収納容器１０は備えることが可能である。なお、例えば、本体１１が、蓋体１１ａ１と底体１１ａ２との間に金属製のベローズなどのような伸縮部を有することによって、本体１１の容積を変更することが可能であり、かつ、本体１１が収納することが可能な基板Ｓの数量を変更することが可能である。

【0062】

［締結部］
・ナット１３ｂは、最下段の支持板１１ａである底体１１ａ２と接してもよい。この場合には、ポート１２は底体１１ａ２に接続されてもよいし、蓋体１１ａ１に接続されてもよい。ポート１２が底体１１ａ２に接続される場合には、上述した（４）に準じた効果を得ることはできる。

【0063】

・基板収納容器１０は、互いに異なる長さを有した複数のボルトを備えてもよい。この場合には、基板収納容器１０の厚さ、言い換えれば、基板Ｓの収納に用いられる支持板１１ａの数に応じて、複数のボルトのうちのいずれかを用いることが可能である。あるいは、基板収納容器１０は、１種のボルトのみを備えてもよい。この場合には、ボルトは、基板収納容器１０における最大の厚さから最小の厚さまでにわたって、ナットとともに複数の支持板１１ａを締結することが可能であればよい。

【0064】

・締結部１３は、複数の支持板１１ａを挟むことが可能なクランプでもよい。
［ポート］
・ポート１２は、最下段の支持板１１ａである底体１１ａ２に接続されてもよい。この場合には、ナット１３ｂは、蓋体１１ａ１と接してもよいし、底体１１ａ２と接してもよい。ナット１３ｂが底体１１ａ２と接する場合には、上述した（４）に準じた効果を得ることはできる。

【0065】

・ポート１２は、中間体１１ａ３に接続されてもよい。この場合であっても、ポート１２を通じて、収納空間１１Ａ内を排気すること、あるいは、ポート１２を通じて、収納空間１１Ａに不活性ガスを導入することは可能である。

【0066】

［弾性部材］
・各支持板１１ａの上面および下面において、複数の弾性部材は、各支持板１１ａの周方向において等配されなくてもよい。すなわち、各支持板１１ａの上面および下面において、複数の弾性部材は、各支持板１１ａの周方向において偏って配置されてもよい。この場合であっても、ｎ段目の支持板１１ａが有する弾性部材と、（ｎ＋１）段目の支持板１１ａが有する弾性部材とによって基板Ｓを支持することによって、上述した（５）に準じた効果を得ることはできる。

【0067】

・各支持板１１ａが備える弾性部材は、基板Ｓの厚さ方向からみて、他の支持板１１ａが備える弾性部材に重なるように配置されなくてもよい。また、各中間体１１ａ３において、上面ａ３Ｕに位置する各弾性部材ａ３２は、下面ａ３Ｂに位置するいずれかの弾性部材ａ３４に重なるように配置されなくてもよい。

【0068】

［基板］
・基板収納容器１０が収納する対象は、シリコン基板以外の基板であってもよい。例えば、レジスト膜を表面に有した基板や化合物半導体基板などを基板収納容器１０が収納することによって、各基板の表面と水分との接触により、表面において変質が生じることが抑えられる。

【符号の説明】

【0069】

１０…基板収納容器、１１…本体、１１ａ…支持板、１１Ａ…収納空間、１１ａ１…蓋体、１１ａ２…底体、１１ａ３…中間体、１１Ｓ…面、１２…ポート、１２Ｖ…バルブ、１３…締結部、１３ａ…ボルト、１３ｂ…ナット、ａ１１，ａ３３…下側溝、ａ１２，ａ２２，ａ３２，ａ３４…弾性部材、ａ１Ｂ，ａ２Ｂ，ａ３Ｂ…下面、ａ１Ｂ１，ａ３Ｂ１…窪み、ａ１ｈ，ａ２ｈ，ａ３ｈ…貫通孔、ａ１Ｕ，ａ２Ｕ，ａ３Ｕ…上面、ａ１ｖ…通気孔、ａ２１，ａ３１…上側溝、ａ２３，ａ３５…シール用溝、ａ２４，ａ３６…シールリング、ａ３ｖ…連通孔、Ｓ…基板。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】