特許 7210379 ループ型ヒートパイプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-01-13

(45)【発行日】2023-01-23

(54)【発明の名称】ループ型ヒートパイプ

(51)【国際特許分類】

   F28D 15/02 20060101AFI20230116BHJP

   F28D 15/04 20060101ALI20230116BHJP

【ＦＩ】

F28D15/02 101K

F28D15/04 E

F28D15/04 B

F28D15/02 E

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2019102791

(22)【出願日】2019-05-31

(65)【公開番号】P2020197331

(43)【公開日】2020-12-10

【審査請求日】2021-12-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000190688

【氏名又は名称】新光電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】町田 洋弘

(72)【発明者】

【氏名】倉嶋 信幸

【審査官】小川 悟史

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１５／０８７４５１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－０３６０１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０６４１１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１４２４１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１２２３９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０３３８１７１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２８Ｄ １５／０２

Ｆ２８Ｄ １５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

作動流体を気化させる蒸発器と、
前記作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、
前記液管内に設けられた多孔質体と、
前記液管内の一部に前記多孔質体と区画されて設けられ、前記蒸発器から前記液管の長さ方向に沿って延び、前記蒸発器で気化された前記作動流体が移動する蒸気移動経路と、を有し、
前記蒸気移動経路は、前記蒸発器で気化された前記作動流体が移動する流路と、前記流路を囲む壁部とを有し、
前記壁部は、前記多孔質体と前記流路との間に設けられるとともに、前記多孔質体と前記流路とを分断する区画壁を有するループ型ヒートパイプ。

【請求項2】

前記蒸気移動経路は、前記流路に接して形成された多孔質部を有する請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項3】

前記多孔質部は、前記壁部のうち前記区画壁以外の壁部に形成されている請求項２に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項4】

前記多孔質部は、一方の面側から窪む第１有底孔と、他方の面側から窪む第２有底孔と、前記第１有底孔と前記第２有底孔とが部分的に連通して形成された細孔と、を有する金属層を含む請求項２又は請求項３に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項5】

前記蒸気移動経路は、前記流路に接するように前記壁部に形成された溝部を有する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項6】

前記区画壁は、前記蒸発器の内部空間に突出して形成されている請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項7】

前記壁部は、前記区画壁と前記液管の管壁とを含む請求項６に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項8】

前記流路の横断面積は、前記多孔質体が有する流路の横断面積よりも大きく形成されるとともに、前記蒸気管が有する流路の横断面積よりも小さく形成されている請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項9】

前記蒸気移動経路は、前記蒸発器から前記液管の長さ方向の途中まで延びるように形成されており、前記途中の部分において前記蒸気移動経路の端部が閉塞されている請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。

【請求項10】

前記液管は、前記蒸気移動経路と隣接して前記蒸気移動経路と前記多孔質体との間に設けられ、前記凝縮器で液化された前記作動流体が流れる流路を有する請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ループ型ヒートパイプに関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、電子機器に搭載される半導体デバイス（例えば、ＣＰＵ等）の発熱部品を冷却するデバイスとして、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するヒートパイプが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

ループ型ヒートパイプは、発熱体から受熱して液相の作動流体を蒸発させる蒸発部と、気相の作動流体を放熱により凝縮させる凝縮部とを備えている。また、ループ型ヒートパイプは、蒸発部で気相に変化した作動流体を凝縮部へ流通させる蒸気管と、凝縮部で液相に変化した作動流体を蒸発部へ流通させる液管とを備えている。そして、ループ型ヒートパイプは、蒸発部と、蒸気管と、凝縮部と、液管とが直列に接続されたループ構造を有しており、内部に作動流体が封入されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６１４６４８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、従来のループ型ヒートパイプでは、そのループ型ヒートパイプの周囲温度が作動流体の凝固点よりも低い温度になると、作動流体が凝固し固化してしまう。この場合には、作動流体が液相から固相に相変化するため、流体としての移動が実現できなくなり、熱輸送動作ができなくなる。この結果、発熱部品を冷却できなくなるという問題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一観点によれば、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、前記液管内に設けられた多孔質体と、前記液管内の一部に前記多孔質体と区画されて設けられ、前記蒸発器から前記液管の長さ方向に沿って延び、前記蒸発器で気化された前記作動流体が移動する蒸気移動経路と、を有し、前記蒸気移動経路は、前記蒸発器で気化された前記作動流体が移動する流路と、前記流路を囲む壁部とを有し、前記壁部は、前記多孔質体と前記流路との間に設けられるとともに、前記多孔質体と前記流路とを分断する区画壁を有する。

【発明の効果】

【0007】

本発明の一観点によれば、発熱部品を好適に冷却できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】一実施形態のループ型ヒートパイプを示す概略平面図である。

【図2】一実施形態のループ型ヒートパイプの一部を示す拡大平面図である。

【図3】一実施形態の液管を示す概略断面図（図２の３Ａ－３Ａ断面図）である。

【図4】一実施形態の多孔質体を説明する概略平面図である。

【図5】（ａ）～（ｅ）は、一実施形態のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。

【図6】（ａ），（ｂ）は、一実施形態のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。

【図7】変更例の液管を示す概略断面図である。

【図8】変更例の液管を示す概略断面図である。

【図9】変更例の液管を示す概略断面図である。

【図10】変更例のループ型ヒートパイプを示す概略平面図である。

【図11】変更例の液管を示す概略断面図（図１０の１１Ａ－１１Ａ断面図）である。

【図12】変更例のループ型ヒートパイプを示す概略平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して一実施形態を説明する。なお、添付図面は、便宜上、特徴を分かりやすくするために特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率については各図面で異なる場合がある。また、断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、一部の部材のハッチングを梨地模様に代えて示し、一部の部材のハッチングを省略している。なお、本明細書において、「平面視」とは、対象物を図３等の鉛直方向（図中上下方向）から視ることを言い、「平面形状」とは、対象物を図３等の鉛直方向から視た形状のことを言う。

【0010】

［構成］
図１に示すループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容される。ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１１と、蒸気管１２と、凝縮器１３と、液管１４とを有している。

【0011】

蒸発器１１と凝縮器１３は、蒸気管１２と液管１４とにより接続されている。蒸発器１１は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有している。蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を介して凝縮器１３に送られる。凝縮器１３は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化する機能を有している。液化した作動流体Ｃは、液管１４を介して蒸発器１１に送られる。蒸気管１２及び液管１４は、作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖを流すループ状の流路を形成する。

【0012】

蒸気管１２は、例えば、長尺状の管体に形成されている。液管１４は、例えば、長尺状の管体に形成されている。本実施形態において、蒸気管１２と液管１４とは、例えば、長さ（つまり、長さ方向の寸法）が互いに同じである。なお、蒸気管１２の長さと液管１４の長さとは、互いに異なっていてもよい。例えば、液管１４の長さに比べて蒸気管１２の長さが短くてもよい。ここで、本明細書における蒸発器１１、蒸気管１２、凝縮器１３及び液管１４の「長さ方向」とは、各部材において作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖが流れる方向（図中矢印参照）に一致する方向のことである。

【0013】

蒸発器１１は、図示しない発熱部品に密着して固定される。蒸発器１１内の作動流体Ｃは、発熱部品にて発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。なお、蒸発器１１と発熱部品との間に、熱伝導部材（ＴＩＭ：Thermal Interface Material）が介在されていてもよい。熱伝導部材は、発熱部品と蒸発器１１の間の接触熱抵抗を低減し、発熱部品から蒸発器１１への熱伝導をスムーズにする。

【0014】

蒸気管１２は、例えば、蒸気管１２の長さ方向と平面視で直交する幅方向の両側に設けられた一対の管壁１２ｗと、一対の管壁１２ｗの間に設けられた流路１２ｒとを有している。流路１２ｒは、蒸発器１１の内部空間と連通している。流路１２ｒは、上述のループ状の流路の一部である。蒸発器１１において発生した蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を介して凝縮器１３へと導かれる。

【0015】

凝縮器１３は、例えば、放熱用に面積を大きくした放熱プレート１３ｐと、放熱プレート１３ｐの内部において蛇行した流路１３ｒとを有している。流路１３ｒは、上述のループ状の流路の一部である。蒸気管１２を介して導かれた蒸気Ｃｖは、凝縮器１３において液化する。このように、ループ型ヒートパイプ１では、発熱部品で発生した熱を凝縮器１３に移動し、その凝縮器１３において放熱する。これにより、発熱部品が冷却され、発熱部品の温度上昇が抑制される。

【0016】

凝縮器１３で液化した作動流体Ｃは、液管１４を通って蒸発器１１に導かれる。ここで、作動流体Ｃとしては、蒸気圧が高く、蒸発潜熱が大きい流体を使用するのが好ましい。このような作動流体Ｃを用いることで、蒸発潜熱によって発熱部品を効率的に冷却できる。作動流体Ｃとしては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、アセトン等を用いることができる。

【0017】

例えば、液管１４の長さ方向と平面視で直交する幅方向の寸法Ｗ１は、蒸発器１１の長さ方向と平面視で直交する幅方向の寸法Ｗ２よりも小さく形成されている。
図２に示すように、蒸発器１１には、多孔質体２０が設けられている。多孔質体２０は、連結部２１と複数の突起部２２とを有している。連結部２１は、例えば、平面視において、蒸発器１１の内部空間のうち最も液管１４側（つまり、蒸発器１１に液管１４が接続されている側）に設けられている。連結部２１は、例えば、蒸発器１１の幅方向（図２の左右方向）に延びるように形成されている。連結部２１の液管１４側の面は、例えば、その一部が蒸発器１１の管壁１１ｗに接しており、残りの部分が空間Ｓ１に接している。連結部２１の蒸気管１２側の面は、その一部が突起部２２と連結しており、残りの部分が空間Ｓ２に接している。各突起部２２は、例えば、平面視において、連結部２１から蒸気管１２側に向かって突出して形成されている。各突起部２２は、例えば、蒸発器１１の長さ方向に沿って延びるように形成されている。複数の突起部２２は、例えば、平面視において、蒸発器１１の幅方向に沿って所定の間隔を空けて設けられている。各突起部２２の蒸気管１２側の端部は、蒸発器１１の管壁１１ｗから離間している。各突起部２２の蒸気管１２側の端部は、互いに連結されていない。すなわち、本実施形態の多孔質体２０は、平面視において、連結部２１と複数の突起部２２とを有する櫛歯状に形成されている。なお、多孔質体２０における櫛歯の数は、適宜変更することができる。

【0018】

蒸発器１１内において、多孔質体２０が設けられていない領域は空間Ｓ２が形成されている。空間Ｓ２は、蒸気管１２の流路１２ｒとつながっている。
液管１４は、液管１４の幅方向の両端に設けられた一対の管壁１４ｗと、一対の管壁１４ｗの間に設けられた多孔質体３０及び蒸気移動経路４０とを有している。

【0019】

多孔質体３０は、例えば、液管１４の長さ方向に沿って、凝縮器１３（図１参照）から蒸発器１１の近傍まで延びるように形成されている。多孔質体３０は、その多孔質体３０に生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。多孔質体３０は、例えば、多数の細孔６２ｚ，６３ｚ，６４ｚ，６５ｚ（図３参照）を有している。これら多数の細孔６２ｚ～６５ｚは、作動流体Ｃの流れる流路１４ｒとして機能する。この流路１４ｒは、上述のループ状の流路の一部である。

【0020】

多孔質体３０の蒸発器１１側の面は、例えば、空間Ｓ１に接している。本実施形態では、液管１４の多孔質体３０と蒸発器１１の多孔質体２０との間には、空間Ｓ１が介在している。なお、多孔質体２０と多孔質体３０との間の空間Ｓ１を省略してもよい。すなわち、多孔質体２０と多孔質体３０とを、空間Ｓ１を介さずに直接接続してもよい。

【0021】

蒸気移動経路４０は、蒸発器１１から液管１４の長さ方向に沿って延びるように形成されている。蒸気移動経路４０は、例えば、液管１４の長さ方向に沿って、蒸発器１１から液管１４の長さ方向の途中まで延びるように形成されている。蒸気移動経路４０は、例えば、一対の管壁１４ｗのうち一方の管壁１４ｗの近傍に設けられている。例えば、蒸気移動経路４０は、一対の管壁１４ｗのうち、液管１４の屈曲部の曲げ内側を構成する管壁１４ｗの近傍に設けられている。蒸気移動経路４０は、例えば、区画壁４１と、区画壁４２と、流路４３と、多孔質部５０とを有している。

【0022】

区画壁４１は、液管１４の長さ方向に沿って、蒸発器１１の内部空間から液管１４の長さ方向の途中まで延びるように形成されている。区画壁４１の蒸発器１１側の端部４１Ａは、例えば、蒸発器１１の内部空間に突出するように形成されている。区画壁４１の端部４１Ａは、例えば、蒸発器１１の多孔質体２０に食い込むように形成されている。例えば、区画壁４１の端部４１Ａは、多孔質体２０の連結部２１に食い込むように形成されている。区画壁４２は、例えば、区画壁４１の端部４１Ａと長さ方向において反対側の端部４１Ｂから液管１４の幅方向に沿って、一方（ここでは、図中下側）の管壁１４ｗまで延びるように形成されている。区画壁４２は、区画壁４１の端部４１Ｂと管壁１４ｗとを接続するように形成されている。区画壁４２は、蒸気移動経路４０の長さ方向の一端部を構成している。蒸気移動経路４０の長さ方向の一端部は、液管１４の長さ方向の途中において、区画壁４２により閉塞されている。これら区画壁４１，４２は、蒸気移動経路４０の流路４３と多孔質体３０とを区画するように形成されている。流路４３と多孔質体３０とは、区画壁４１，４２により完全に分断されている。

【0023】

蒸気移動経路４０の流路４３は、区画壁４１と区画壁４２と管壁１４ｗとによって囲まれた空間によって構成されている。流路４３は、蒸気移動経路４０の長さ方向の全長にわたって延びるように形成されている。流路４３は、蒸気移動経路４０の長さ方向の全長にわたって、区画壁４１，４２によって多孔質体３０と分断されている。これら区画壁４１，４２及び管壁１４ｗは、流路４３を囲む壁部として機能する。

【0024】

流路４３は、例えば、蒸気移動経路４０の長さ方向と直交する平面によって蒸気移動経路４０を切断した断面の断面積（つまり、横断面積）が多孔質体３０の有する流路１４ｒの横断面積よりも大きく形成されている。流路４３の横断面積は、例えば、蒸気管１２の流路１２ｒの横断面積よりも小さく形成されている。

【0025】

蒸気移動経路４０には、例えば、多孔質部５０が設けられている。多孔質部５０は、例えば、蒸気移動経路４０の長さ方向に沿って、蒸発器１１の近傍から区画壁４２まで延びるように形成されている。多孔質部５０は、例えば、その多孔質部５０に生じる毛細管力によって、蒸気移動経路４０内で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。多孔質部５０と多孔質体３０とは、蒸気移動経路４０の長さ方向の全長にわたって、区画壁４１，４２によって完全に分断されている。

【0026】

多孔質部５０の蒸発器１１側の面は、例えば、空間Ｓ１に接している。本実施形態では、多孔質部５０と蒸発器１１の多孔質体２０との間には、空間Ｓ１が介在している。なお、多孔質部５０と多孔質体２０との間の空間Ｓ１を省略してもよい。すなわち、多孔質部５０と多孔質体２０とを、空間Ｓ１を介さずに直接接続してもよい。

【0027】

なお、図２では、液管１４内の多孔質体３０及び多孔質部５０と蒸発器１１内の多孔質体２０の平面形状を示すため、後述する複数の金属層６１～６６のうち最外層となる金属層（例えば、図３に示す金属層６１）の図示が省略されている。

【0028】

図３は、図２の３Ａ－３Ａ線に沿う液管１４の横断面を示している。この断面は、液管１４において作動流体Ｃの流れる方向（図２で矢印にて示す方向）と直交する面である。
図３に示すように、液管１４は、例えば、６層の金属層６１～６６を積層した構造を有している。換言すると、液管１４は、一対の最外金属層となる金属層６１，６６の間に、中間金属層となる金属層６２～６５を積層した構造を有している。各金属層６１～６６は、例えば、熱伝導性に優れた銅（Ｃｕ）層であって、固相接合（例えば、拡散接合、圧接、摩擦圧接や超音波接合）等により互いに直接接合されている。なお、図３では、各金属層６１～６６を判り易くするため、実線にて区別している。例えば、金属層６１～６６を拡散接合により一体化した場合、各金属層６１～６６の界面は消失していることがあり、境界は明確ではないことがある。ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加圧して塑性変形を与えて接合する方法である。

【0029】

なお、金属層６１～６６は、銅層に限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。また、積層した金属層６１～６６のうちの一部の金属層について、他の金属層と異なる材料が用いられてもよい。金属層６１～６６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層６１～６６のうちの一部の金属層を他の金属層と異なる厚さとしてもよく、また全ての金属層を互いに異なる厚さとしてもよい。

【0030】

図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２及び凝縮器１３は、図３に示す液管１４と同様に、６層の金属層６１～６６を積層して形成される。すなわち、図１に示すループ型ヒートパイプ１は、６層の金属層６１～６６を積層して構成される。なお、金属層の積層数は、６層に限定されず、５層以下や７層以上とすることができる。

【0031】

図３に示すように、本実施形態の液管１４は、積層された金属層６１～６６からなり、管壁１４ｗと多孔質体３０と蒸気移動経路４０（区画壁４１，４２、流路４３及び多孔質部５０）とを有している。なお、本実施形態において、金属層６１～６６のうち最外層となる金属層６１，６６には、孔や溝は形成されていない。これら金属層６１，６６は、液管１４の壁部（天井部や底部）として機能する。

【0032】

金属層６２は、金属層６１～６６の積層方向と直交する幅方向（図３の左右方向）の両端に設けられた一対の壁部６２ｗと、一対の壁部６２ｗの間に設けられた壁部６２ｔとを有している。金属層６２は、一方（ここでは、図中右側）の壁部６２ｗと壁部６２ｔとの間に設けられた多孔質体６２ｓと、他方（ここでは、図中左側）の壁部６２ｗと壁部６２ｔとの間に設けられた多孔質部６２ｅとを有している。

【0033】

金属層６３は、幅方向の両端に設けられた一対の壁部６３ｗと、一対の壁部６３ｗの間に設けられた壁部６３ｔとを有している。金属層６３は、一方（ここでは、図中右側）の壁部６３ｗと壁部６３ｔとの間に設けられた多孔質体６３ｓと、他方（ここでは、図中左側）の壁部６３ｗと壁部６３ｔとの間に形成され、金属層６３を厚さ方向に貫通して形成された貫通孔６３Ｘとを有している。

【0034】

金属層６４は、幅方向の両端に設けられた一対の壁部６４ｗと、一対の壁部６４ｗの間に設けられた壁部６４ｔとを有している。金属層６４は、一方（ここでは、図中右側）の壁部６４ｗと壁部６４ｔとの間に設けられた多孔質体６４ｓと、他方（ここでは、図中左側）の壁部６４ｗと壁部６４ｔとの間に形成され、金属層６４を厚さ方向に貫通して形成された貫通孔６４Ｘとを有している。

【0035】

金属層６５は、幅方向の両端に設けられた一対の壁部６５ｗと、一対の壁部６５ｗの間に設けられた壁部６５ｔとを有している。金属層６５は、一方（ここでは、図中右側）の壁部６５ｗと壁部６５ｔとの間に設けられた多孔質体６５ｓと、他方（ここでは、図中左側）の壁部６５ｗと壁部６５ｔとの間に設けられた多孔質部６５ｅとを有している。

【0036】

次に、各管壁１４ｗの具体的な構造について説明する。
各管壁１４ｗは、金属層６１～６６のうちの中間の金属層６２～６５がそれぞれ有する壁部６２ｗ～６５ｗにより構成されている。各管壁１４ｗは、複数の壁部６２ｗ～６５ｗが順に積層されて構成されている。本実施形態の壁部６２ｗ～６５ｗには、孔や溝は形成されていない。

【0037】

次に、多孔質体３０の具体的な構造について説明する。
多孔質体３０は、金属層６１～６６のうちの中間の金属層６２～６５がそれぞれ有する多孔質体６２ｓ～６５ｓにより構成されている。多孔質体３０は、複数の多孔質体６２ｓ～６５ｓが順に積層されて構成されている。

【0038】

多孔質体６２ｓは、金属層６２の上面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｕと、金属層６２の下面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｄとを有している。有底孔６２ｕ，６２ｄの内壁は、底面側（金属層６２の厚さ方向の中央部側）から開口側（金属層６２の上下面側）に向かうに連れて拡がるテーパ形状とすることができる。なお、有底孔６２ｕ，６２ｄの内壁は、例えば、底面に対して垂直に延びるように形成してもよい。また、有底孔６２ｕ，６２ｄの内壁面を断面視形状が半円形や半楕円形状となる凹形状としてもよい（例えば、図８等参照）。ここで、本明細書において、「半円形」とは、真円を二等分した半円のみでなく、例えば、半円よりも円弧が長いものや短いものも含む。また、本明細書において、「半楕円形」とは、楕円を二等分した半楕円のみでなく、例えば、半楕円よりも円弧が長いものや短いものも含む。また、有底孔６２ｕ，６２ｄを、内壁が底面にかけて円弧状に連続する形状としてよい。

【0039】

図４に示すように、有底孔６２ｕ，６２ｄは、例えば、それぞれ平面視円形状に形成されている。有底孔６２ｕ，６２ｄの直径は、例えば、１００μｍ～４００μｍ程度とすることができる。なお、有底孔６２ｕ，６２ｄの平面形状を、楕円形や多角形等の任意の形状とすることができる。有底孔６２ｕと有底孔６２ｄとは、平面視で部分的に重複している。図３及び図４に示すように、有底孔６２ｕと有底孔６２ｄとが平面視で重複する部分において、有底孔６２ｕと有底孔６２ｄとは部分的に連通して細孔６２ｚを形成している。図４は、有底孔６２ｕ，６２ｄの配列状態と、有底孔６２ｕ，６２ｄの部分的な重なりと細孔６２ｚを示す説明図である。このような有底孔６２ｕ，６２ｄと細孔６２ｚを有する多孔質体６２ｓは、多孔質体３０の一部を構成する。

【0040】

図３に示すように、多孔質体６３ｓは、金属層６３の上面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｕと、金属層６３の下面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｄとを有している。有底孔６３ｕ，６３ｄは、金属層６２の有底孔６２ｕ，６２ｄと同様の形状とすることができる。有底孔６３ｕと有底孔６３ｄとは、平面視で部分的に重複している。有底孔６３ｕと有底孔６３ｄとが平面視で重複する部分において、有底孔６３ｕと有底孔６３ｄとは部分的に連通して細孔６３ｚを形成している。このような有底孔６３ｕ，６３ｄと細孔６３ｚを有する多孔質体６３ｓは、多孔質体３０の一部を構成する。

【0041】

金属層６２の有底孔６２ｄと金属層６３の有底孔６３ｕとは、例えば、平面視で重なる位置に形成されている。このため、有底孔６２ｄと有底孔６３ｕとの界面には、細孔が形成されていない。

【0042】

多孔質体６４ｓは、金属層６４の上面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｕと、金属層６４の下面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｄとを有している。有底孔６４ｕ，６４ｄは、金属層６２の有底孔６２ｕ，６２ｄと同様の形状とすることができる。有底孔６４ｕと有底孔６４ｄとは、平面視で部分的に重複している。有底孔６４ｕと有底孔６４ｄとが平面視で重複する部分において、有底孔６４ｕと有底孔６４ｄとは部分的に連通して細孔６４ｚを形成している。このような有底孔６４ｕ，６４ｄと細孔６４ｚを有する多孔質体６４ｓは、多孔質体３０の一部を構成する。

【0043】

金属層６３の有底孔６３ｄと金属層６４の有底孔６４ｕとは、例えば、平面視で重なる位置に形成されている。このため、有底孔６３ｄと有底孔６４ｕとの界面には、細孔が形成されていない。

【0044】

多孔質体６５ｓは、金属層６５の上面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｕと、金属層６５の下面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｄとを有している。有底孔６５ｕ，６５ｄは、金属層６２の有底孔６２ｕ，６２ｄと同様の形状とすることができる。有底孔６５ｕと有底孔６５ｄとは、平面視で部分的に重複している。有底孔６５ｕと有底孔６５ｄとが平面視で重複する部分において、有底孔６５ｕと有底孔６５ｄとは部分的に連通して細孔６５ｚを形成している。このような有底孔６５ｕ，６５ｄと細孔６５ｚを有する多孔質体６５ｓは、多孔質体３０の一部を構成する。

【0045】

金属層６４の有底孔６４ｄと金属層６５の有底孔６５ｕとは、例えば、平面視で重なる位置に形成されている。このため、有底孔６４ｄと有底孔６５ｕとの界面には、細孔が形成されていない。

【0046】

各金属層６２～６５に形成された細孔６２ｚ，６３ｚ，６４ｚ，６５ｚ同士は互いに連通している。そして、互いに連通する細孔６２ｚ，６３ｚ，６４ｚ，６５ｚは、多孔質体３０内に三次元的に広がっている。作動流体Ｃは、毛細管力により、互いに連通する細孔６２ｚ～６５ｚ内を三次元的に広がる。このように、細孔６２ｚ～６５ｚは、液相の作動流体Ｃが流れる流路１４ｒとして機能する。

【0047】

次に、蒸気移動経路４０（区画壁４１，４２、流路４３及び多孔質体５０）の具体的構造について説明する。
区画壁４１は、金属層６１～６６のうちの中間の金属層６２～６５がそれぞれ有する壁部６２ｔ～６５ｔにより構成されている。区画壁４１は、複数の壁部６２ｔ～６５ｔが順に積層されて構成されている。図示は省略するが、区画壁４２は、区画壁４１と同様に、金属層６１～６６のうちの中間の金属層６２～６５がそれぞれ有する壁部６２ｔ～６５ｔにより構成されている。本実施形態の壁部６２ｔ～６５ｔには、孔や溝は形成されていない。

【0048】

流路４３は、積層された金属層６１～６６のうちの中間の金属層６３，６４をそれぞれ厚さ方向に貫通する貫通孔６３Ｘ，６４Ｘにより構成されている。金属層６３と金属層６４とは、それぞれの貫通孔６３Ｘ，６４Ｘが互いに重なるように積層されている。

【0049】

金属層６３の上面に金属層６２が積層され、金属層６４の下面に金属層６５が積層されている。これら金属層６２～６５と、金属層６３，６４の貫通孔６３Ｘ，６４Ｘとにより、流路４３が区画されている。流路４３は、区画壁４１，４２の一部を構成する壁部６３ｔ，６４ｔと、管壁１４ｗの一部を構成する壁部６３ｗ，６４ｗと、金属層６２，６５とにより囲まれている。換言すると、壁部６２ｔ，６３ｔ，６４ｔ，６５ｔと、壁部６２ｗ，６３ｗ，６４ｗ，６５ｗと、金属層６２，６５とは、流路４３を囲む壁部として機能する。

【0050】

多孔質部５０は、金属層６２，６５がそれぞれ有する多孔質部６２ｅ，６５ｅにより構成されている。多孔質部６２ｅは、流路４３の直上に設けられている。多孔質部６５ｅは、流路４３の直下に設けられている。

【0051】

多孔質部６２ｅは、流路４３の長さ方向に沿って延びている。多孔質部６２ｅは、流路４３に接して形成されている。多孔質部６２ｅは、流路４３を囲む壁部として機能する金属層６２に形成されている。多孔質部６２ｅは、金属層６２の上面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｆと、金属層６２の下面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｇとを有している。有底孔６２ｆ，６２ｇは、例えば、多孔質体６２ｓの有底孔６２ｕ，６２ｄと同様に、それぞれ平面視円形状に形成されている。有底孔６２ｆと有底孔６２ｇとは、平面視で部分的に重複している。有底孔６２ｆと有底孔６２ｇとが平面視で重複する部分において、有底孔６２ｆと有底孔６２ｇとは部分的に連通して細孔６２ｈを形成している。有底孔６２ｇは、流路４３（具体的には、金属層６３の貫通孔６３Ｘ）と連通している。これら有底孔６２ｆ，６２ｇ及び細孔６２ｈは、多孔質体６２ｓの有底孔６２ｕ，６２ｄ及び細孔６２ｚと同様の形状に形成することができる。

【0052】

金属層６５は、流路４３の直下に多孔質部６５ｅを有している。多孔質部６５ｅは、流路４３の長さ方向に沿って延びている。多孔質部６５ｅは、流路４３に接して形成されている。多孔質部６５ｅは、流路４３を囲む壁部として機能する金属層６５に形成されている。多孔質部６５ｅは、金属層６５の上面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｆと、金属層６５の下面から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｇとを有している。有底孔６５ｆ，６５ｇは、多孔質体６２ｓの有底孔６２ｕ，６２ｄと同様に、それぞれ平面視円形状に形成されている。有底孔６５ｆと有底孔６５ｇとは、平面視で部分的に重複している。有底孔６５ｆと有底孔６５ｇとが平面視で重複する部分において、有底孔６５ｆと有底孔６５ｇとは部分的に連通して細孔６５ｈを形成している。有底孔６５ｆは、流路４３（具体的には、金属層６４の貫通孔６４Ｘ）と連通している。これら有底孔６５ｆ，６５ｇ及び細孔６５ｈは、多孔質体６２ｓの有底孔６２ｕ，６２ｄ及び細孔６２ｚと同様の形状に形成することができる。

【0053】

以上説明したように、蒸気移動経路４０は、流路４３を有している。流路４３は、２つの多孔質部６２ｅ，６５ｅと、区画壁４１，４２の一部（壁部６３ｔ，６４ｔ）と、管壁１４ｗの一部（壁部６３ｗ，６４ｗ）とにより囲まれている。この流路４３には、蒸発器１１で気化された作動流体、つまり蒸気Ｃｖが流れる。そして、図２に示すように、蒸気Ｃｖは、流路４３の長さ方向に沿って、蒸発器１１から区画壁４２に向かって流路４３内を移動する。

【0054】

液管１４には、図示は省略するが、作動流体Ｃ（図２参照）を注入するための注入口が設けられている。但し、注入口は、封止部材により塞がれており、ループ型ヒートパイプ１内は気密に保たれる。また、図示は省略するが、蒸発器１１に設けられた多孔質体２０は、図３及び図４に示した多孔質体３０と同様の構造を有している。

【0055】

（作用）
次に、ループ型ヒートパイプ１の作用について説明する。
ループ型ヒートパイプ１は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、気化した作動流体（つまり、蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。

【0056】

液管１４には多孔質体３０が設けられている。この多孔質体３０は、凝縮器１３から液管１４の長さ方向に沿って蒸発器１１の近傍まで延びている。多孔質体３０は、その多孔質体３０に生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した液相の作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。

【0057】

蒸発器１１では、多孔質体２０のうち液管１４寄りの多孔質体２０（連結部２１等）に液相の作動流体Ｃが浸透する。そして、蒸発器１１では、図示しない発熱部品にて発生した熱により、液相の作動流体Ｃが気化し、蒸気Ｃｖが生成される。生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管１２の流路１２ｒに流れるとともに、液管１４に設けられた蒸気移動経路４０の流路４３に流れる。このとき、流路４３の横断面積が、蒸気管１２の流路１２ｒの横断面積よりも小さく形成されている。このため、蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖの大部分が蒸気管１２の流路１２ｒに流れ、蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖの一部のみが蒸気移動経路４０の流路４３に流れる。

【0058】

流路４３内では、蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖが蒸発器１１から流路４３の長さ方向に沿って区画壁４２に向かって移動する。このように蒸気Ｃｖが流路４３内を移動することにより、その蒸気Ｃｖの蒸発潜熱（気化潜熱）によって、液管１４の多孔質体３０内に浸透した作動流体Ｃを温めることができる。これにより、例えばループ型ヒートパイプ１を有する電子機器２を、寒冷地や冬季などにおいて周囲温度が作動流体Ｃの凝固点よりも低い温度となる環境で使用する場合であっても、液管１４内において液相の作動流体Ｃが固相に相変化することを好適に抑制できる。

【0059】

ここで、流路４３に蒸気Ｃｖが流れると、その流路４３内において蒸気Ｃｖが液化する場合がある。この液化した作動流体Ｃが流路４３内に滞留すると、その作動流体Ｃが固相に相変化するおそれがある。これに対し、本実施形態の蒸気移動経路４０には、多孔質部５０が設けられている。この多孔質部５０は、蒸気移動経路４０の長さ方向に沿って、蒸気移動経路４０の長さ方向の端部である区画壁４２から蒸発器１１の近傍まで延びている。多孔質部５０は、その多孔質部５０に生じる毛細管力によって、流路４３内で液化した液相の作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。これにより、流路４３内において蒸気Ｃｖが液化した場合であっても、その液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に向かって還流させることができ、液化した作動流体Ｃが流路４３内に滞留することを抑制することができる。この結果、流路４３内において作動流体Ｃが固相に相変化することを好適に抑制することができる。

【0060】

次に、ループ型ヒートパイプ１の製造方法について説明する。
まず、図５（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート８０を準備する。金属シート８０は、最終的に金属層６２（図３参照）となる部材である。金属シート８０は、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から構成されている。金属シート８０の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。

【0061】

次に、図５（ｂ）に示す工程では、金属シート８０の上面にレジスト層８１を形成し、金属シート８０の下面にレジスト層８２を形成する。レジスト層８１，８２としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。

【0062】

続いて、図５（ｃ）に示す工程では、レジスト層８１を露光及び現像して、金属シート８０の上面を選択的に露出する開口部８１Ｘ，８１Ｙを形成する。同様に、レジスト層８２を露光及び現像して、金属シート８０の下面を選択的に露出する開口部８２Ｘ，８２Ｙを形成する。開口部８１Ｘ，８２Ｘは、図３に示す有底孔６２ｕ，６２ｄの形状及び位置にそれぞれ対応するように形成される。開口部８１Ｙ，８２Ｙは、図３に示す有底孔６２ｆ，６２ｇの形状及び位置にそれぞれ対応するように形成される。なお、金属シート８０のうち壁部６２ｗ，６２ｔ（図３参照）に対応する部分は、レジスト層８１，８２に被覆されている。

【0063】

次いで、図５（ｄ）に示す工程では、開口部８１Ｘ，８１Ｙ内に露出する金属シート８０を、金属シート８０の上面側からエッチングするとともに、開口部８２Ｘ，８２Ｙ内に露出する金属シート８０を、金属シート８０の下面側からエッチングする。開口部８１Ｘにより、金属シート８０の上面側に有底孔６２ｕが形成され、開口部８２Ｘにより、金属シート８０の下面側に有底孔６２ｄが形成される。有底孔６２ｕと有底孔６２ｄは、平面視において部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔６２ｕと有底孔６２ｄとが互いに連通して細孔６２ｚが形成される。また、開口部８１Ｙにより、金属シート８０の上面側に有底孔６２ｆが形成され、開口部８２Ｙにより、金属シート８０の下面側に有底孔６２ｇが形成される。有底孔６２ｆと有底孔６２ｇは、平面視において部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔６２ｆと有底孔６２ｇとが互いに連通して細孔６２ｈが形成される。金属シート８０のエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。

【0064】

次に、レジスト層８１，８２を剥離液により剥離する。これにより、図５（ｅ）に示すように、一対の壁部６２ｗと壁部６２ｔと多孔質体６２ｓと多孔質部６２ｅとを有する金属層６２を形成することができる。

【0065】

続いて、図６（ａ）に示す工程では、孔や溝が形成されていないべた状の金属層６１及び金属層６６を準備する。また、図５（ａ）～図５（ｅ）に示した工程と同様の方法により、金属層６３，６４，６５を形成する。なお、金属層６３，６４，６５に形成される有底孔、細孔及び貫通孔の形状及び位置は、例えば、図３に示した通りである。

【0066】

次いで、図６（ｂ）に示す工程では、金属層６１の下方に、金属層６２，６３，６４，６５，６６をこの順番で積層し、加圧及び加熱により固相接合を行う。例えば、所定温度（例えば、９００℃程度）に加熱しながら積層した金属層６１，６２，６３，６４，６５，６６をプレスすることにより、固相接合にて金属層６１，６２，６３，６４，６５，６６を接合する。これにより、隣接する金属層６１，６２，６３，６４，６５，６６同士が直接接合され、図１に示した蒸発器１１、凝縮器１３、蒸気管１２及び液管１４を有するループ型ヒートパイプ１が形成される。このとき、液管１４には多孔質体３０及び蒸気移動経路４０が形成され、蒸発器１１には多孔質体２０が形成される。

【0067】

その後、例えば、真空ポンプ等を用いて液管１４内を排気した後、図示しない注入口から液管１４内に作動流体Ｃを注入し、その後注入口を封止する。
次に、本実施形態の効果を説明する。

【0068】

（１）液管１４内に設けられた多孔質体３０と、液管１４内の一部に多孔質体３０と区画されて設けられ、蒸発器１１から液管１４の長さ方向に沿って延び、蒸発器１１で気化された作動流体（つまり、蒸気Ｃｖ）が移動する蒸気移動経路４０とを設けた。蒸気移動経路４０内を蒸気Ｃｖが移動することにより、その蒸気Ｃｖの蒸発潜熱（気化潜熱）によって、液管１４の多孔質体３０内に浸透した作動流体Ｃを温めることができる。これにより、例えばループ型ヒートパイプ１を有する電子機器２を、寒冷地や冬季などにおいて周囲温度が作動流体Ｃの凝固点よりも低い温度となる環境で使用する場合であっても、液管１４内において液相の作動流体Ｃが固相に相変化することを好適に抑制できる。このため、ループ型ヒートパイプ１において、作動流体Ｃの相変化を利用した熱輸送を好適に行うことができる。この結果、電子機器２を寒冷地などで使用する場合であっても、発熱部品を好適に冷却することができる。

【0069】

（２）蒸気移動経路４０に多孔質部５０を設けた。この多孔質部５０は、蒸気移動経路４０の長さ方向に沿って、蒸気移動経路４０の長さ方向の端部である区画壁４２から蒸発器１１の近傍まで延びている。多孔質部５０は、その多孔質部５０に生じる毛細管力によって、流路４３内で液化した液相の作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。これにより、流路４３内において蒸気Ｃｖが液化した場合であっても、その液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に向かって還流させることができ、液化した作動流体Ｃが流路４３内に滞留することを抑制することができる。この結果、流路４３内において作動流体Ｃが固相に相変化することを好適に抑制することができる。

【0070】

（３）多孔質部５０を、流路４３を囲む壁部（ここでは、区画壁４１，４２、管壁１４ｗ及び金属層６２，６５）のうち流路４３と多孔質体３０とを区画する区画壁４１，４２以外の壁部（ここでは、金属層６２，６５）に形成した。これにより、蒸気Ｃｖの移動する流路４３と多孔質体３０との間に、多孔質部５０が介在されない。このため、流路４３を移動する蒸気Ｃｖの蒸発潜熱によって、多孔質体３０に浸透した作動流体Ｃを好適に温めることができる。また、区画壁４１，４２によって、蒸気移動経路４０の流路４３と多孔質体３０の有する流路１４ｒとを完全に分離させることで、流路４３を移動する蒸気Ｃｖが多孔質体３０に移動しないようにできる。このため、流路１４ｒにおける作動流体Ｃの流動を好適に維持することができる。

【0071】

（４）流路４３を囲む壁部のうち区画壁４１を、蒸発器１１の内部空間に突出するように形成した。この構成によれば、液管１４のうち多孔質体３０の形成された領域と、蒸気移動経路４０の流路４３とを好適に仕切ることができる。これにより、例えば、多孔質体３０により蒸発器１１に導かれた液相の作動流体Ｃが液相のまま蒸気移動経路４０に流れることを好適に抑制できる。

【0072】

（５）流路４３を囲む壁部のうち区画壁４１を、蒸発器１１内に設けられた多孔質体２０の連結部２１に食い込むように形成した。この構成によれば、流路４３と向かい合う多孔質体２０と、多孔質体３０と向かい合う多孔質体２０とが区画壁４１によって仕切られる。これにより、多孔質体３０によって蒸発器１１に導かれた液相の作動流体Ｃが、連結部２１全体に浸透する前に気化されて流路４３に流れることを好適に抑制できる。この結果、蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖが流路４３に主体的に流れることを好適に抑制できる。

【0073】

（６）流路４３を囲む壁部は、液管１４の管壁１４ｗと区画壁４１，４２とを含む。すなわち、液管１４の管壁１４ｗを、流路４３を囲む壁部として利用した。これにより、管壁１４ｗを利用せずに流路４３を囲む壁部を形成する場合に比べて、凝縮器１３で液化された作動流体Ｃが流れる空間（つまり、多孔質体３０が形成される空間）を広く確保することができる。

【0074】

（７）蒸気移動経路４０の流路４３の横断面積を、多孔質体３０が有する流路１４ｒの横断面積よりも大きく形成し、蒸気管１２の流路１２ｒの横断面積よりも小さく形成した。これにより、蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖの大部分を蒸気管１２の流路１２ｒに流しつつも、蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖの一部を蒸気移動経路４０の流路４３に流すことができる。

【0075】

（他の実施形態）
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

【0076】

以下に、液管１４の各変更例を説明する。なお、各変更例において上記実施形態と同じ構成部材、各変更例の間において同じ構成部材については同じ符号を付してその説明の一部又は全てを省略する場合がある。なお、液管以外の部分については上記実施形態（図１参照）と同じであるため、図１等を参照し、図面及び説明を省略する。

【0077】

・上記実施形態の蒸気移動経路４０では、流路４３を囲む壁部のうち金属層６１～６６の積層方向に対向する壁部、つまり金属層６２，６５に多孔質部５０（多孔質部６２ｅ，６５ｅ）を設けた。これに限らず、例えば、金属層６２，６５のいずれか一方のみに多孔質部５０を設けるようにしてもよい。また、流路４３を囲む壁部のうち管壁１４ｗ（壁部６２ｗ～６５ｗ）や区画壁４１，４２（壁部６２ｔ～６５ｔ）に多孔質部５０を設けるようにしてもよい。この場合には、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６２ｗ～６５ｗの一部に、それら壁部６２ｗ～６５ｗと連続して一体に多孔質部５０を設けるようにしてもよい。また、区画壁４１，４２を構成する壁部６２ｔ～６５ｔの一部に、それら壁部６２ｔ～６５ｔと連続して一体に多孔質部５０を設けるようにしてもよい。これらの場合であっても、多孔質部５０は、流路４３に接して形成される。

【0078】

・上記実施形態の蒸気移動経路４０では、流路４３を囲む壁部に多孔質部５０を設けるようにした。これに限らず、流路４３を囲む壁部に対して、多孔質部５０の代わりに、溝部を形成するようにしてもよい。溝部の形状は、その溝部に生じる毛細管力によって、流路４３において液化した作動流体Ｃを蒸発器１１まで誘導することのできる形状であれば、特に限定されない。

【0079】

・例えば図７に示すように、蒸気移動経路４０において、液管１４の管壁１４ｗに溝部９１，９２を形成するようにしてもよい。管壁１４ｗの側面のうち流路４３と接する側面には、蒸気移動経路４０の長さ方向に延びる線状の溝部９１，９２が形成されている。溝部９１，９２は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６２ｗ～６５ｗの幅を変えることにより形成されている。図７に示す変更例では、壁部６２ｗ～６５ｗのうち、壁部６３ｗ，６５ｗの幅を壁部６２ｗ，６４ｗの幅よりも小さくすることにより、溝部９１，９２を形成している。溝部９１は、壁部６２ｗの側面と壁部６３ｗの側面と壁部６４ｗの側面とによって形成される段差により構成されている。溝部９２は、壁部６４ｗの側面と壁部６５ｗの側面とによって形成される段差により構成されている。溝部９１，９２は、流路４３と連通している。溝部９１，９２は、それら溝部９１，９２に生じる毛細管力によって、流路４３において液化した作動流体Ｃを蒸発器１１（図２参照）まで誘導することができる。

【0080】

なお、本変更例では、図３に示した金属層６２，６５の多孔質部６２ｅ，６５ｅ（多孔質部５０）の形成が省略されている。この場合の流路４３は、管壁１４ｗを構成する壁部６２ｗ～６５ｗと、区画壁４１，４２を構成する壁部６２ｔ～６５ｔと、金属層６１，６６とによって囲まれている。本変更例の流路４３は、積層された金属層６１～６６のうちの中間の金属層６２～６５をそれぞれ厚さ方向に貫通する貫通孔６２Ｘ，６３Ｘ，６４Ｘ，６５Ｘにより構成されている。金属層６２～６５は、それぞれの貫通孔６２Ｘ，６３Ｘ，６４Ｘ，６５Ｘが互いに重なるように積層されている。

【0081】

・例えば図８に示す液管１４では、管壁１４ｗの側面に形成される溝部が図７と相違している。管壁１４ｗの側面のうち流路４３と接する側面には、蒸気移動経路４０の長さ方向に延びる線状の溝部６２ｋ～６５ｋを有している。溝部６２ｋ～６５ｋは、例えば、断面円弧状に形成されている。溝部６２ｋ～６５ｋは、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６２ｗ～６５ｗの上面から厚さ方向の中央部にかけて窪むように形成されている。例えば、溝部６２ｋ～６５ｋは、壁部６２ｗ～６５ｗを上面からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６２ｋ～６５ｋは、流路４３と連通している。溝部６２ｋ～６５ｋは、それら溝部６２ｋ～６５ｋに生じる毛細管力によって、流路４３において液化した作動流体Ｃを蒸発器１１まで誘導することができる。

【0082】

・例えば図９に示す液管１４では、管壁１４ｗの側面に形成される溝部が図８と相違するとともに、金属層６１，６６に溝部が形成されている。管壁１４ｗの側面のうち流路４３と接する側面には、蒸気移動経路４０の長さ方向に延びる線状の溝部６１ｋ２，６２ｋ１，６２ｋ２，６３ｋ１，６３ｋ２，６４ｋ１，６４ｋ２，６５ｋ１，６５ｋ２，６６ｋ１を有している。

【0083】

溝部６２ｋ１は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６２ｗを上面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６２ｋ２は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６２ｗを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６３ｋ１は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６３ｗを上面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６３ｋ２は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６３ｗを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６４ｋ１は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６４ｗを上面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６４ｋ２は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６４ｗを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６５ｋ１は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６５ｗを上面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６５ｋ２は、例えば、管壁１４ｗを構成する壁部６５ｗを下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６１ｋ２は、例えば、最外層の金属層６１を下面側からハーフエッチングすることにより形成されている。溝部６６ｋ１は、例えば、最外層の金属層６６を上面側からハーフエッチングすることにより形成されている。これら溝部６１ｋ２，６２ｋ１，６２ｋ２，６３ｋ１，６３ｋ２，６４ｋ１，６４ｋ２，６５ｋ１，６５ｋ２，６６ｋ１は、例えば、断面円弧状に形成されている。溝部６１ｋ２，６２ｋ１，６２ｋ２，６３ｋ１，６３ｋ２，６４ｋ１，６４ｋ２，６５ｋ１，６５ｋ２，６６ｋ１は、流路４３と連通している。溝部６１ｋ２，６２ｋ１，６２ｋ２，６３ｋ１，６３ｋ２，６４ｋ１，６４ｋ２，６５ｋ１，６５ｋ２，６６ｋ１は、それらに生じる毛細管力によって、流路４３において液化した作動流体Ｃを蒸発器１１まで誘導することができる。

【0084】

・図７～図９に示した変更例では、管壁１４ｗの側面に溝部を形成するようにしたが、区画壁４１，４２の側面に溝部を形成するようにしてもよい。また、金属層６１の下面や金属層６６の上面に溝部を形成するようにしてもよい。

【0085】

・図７～図９に示した変更例において、図３に示した金属層６２，６５の多孔質部６２ｅ，６５ｅ（多孔質部５０）を形成するようにしてもよい。
・上記実施形態の液管１４のうち蒸気移動経路４０以外の部分における構造は、凝縮器１３で液化された作動流体Ｃを蒸発器１１まで導くことのできる構造であれば、特に限定されない。例えば、液管１４のうち蒸気移動経路４０以外の部分に、多孔質体３０の形成されていない空間を形成するようにしてもよい。この空間は、凝縮器１３で液化された作動流体Ｃが流れる流路として機能する。

【0086】

例えば図１０に示すように、蒸気移動経路４０と隣接して蒸気移動経路４０と多孔質体３０との間に、多孔質体３０の形成されていない空間、つまり凝縮器１３で液化された作動流体Ｃが流れる流路１４ｔを形成するようにしてもよい。流路１４ｔは、例えば、蒸気移動経路４０の区画壁４１に接するように形成されている。流路１４ｔは、例えば、多孔質体３０に接するように形成されている。流路１４ｔは、例えば、蒸気移動経路４０の長さ方向に沿って延びるように形成されている。

【0087】

図１１に示すように、流路１４ｔは、積層された金属層６１～６６のうちの中間の金属層６２～６５をそれぞれ厚さ方向に貫通する貫通孔６２Ｙ，６３Ｙ，６４Ｙ，６５Ｙにより構成されている。金属層６２～６５は、それぞれの貫通孔６２Ｙ，６３Ｙ，６４Ｙ，６５Ｙが互いに重なるように積層されている。貫通孔６２Ｙは、例えば、金属層６２の多孔質体６２ｓが有する有底孔６２ｕ，６２ｄの少なくとも一方（図１１では有底孔６２ｄ）と連通している。貫通孔６３Ｙは、例えば、金属層６３の多孔質体６３ｓが有する有底孔６３ｕ，６３ｄの少なくとも一方（図１１では有底孔６３ｕ）と連通している。貫通孔６４Ｙは、例えば、金属層６４の多孔質体６４ｓが有する有底孔６４ｕ，６４ｄの少なくとも一方（図１１では図示略）と連通している。貫通孔６５Ｙは、例えば、金属層６５の多孔質体６５ｓが有する有底孔６５ｕ，６５ｄの少なくとも一方（図１１では有底孔６５ｄ）と連通している。

【0088】

以上説明した流路１４ｔを設けることにより、流路１４ｔを設けない場合に比べて、液管１４内において凝縮器１３で液化された作動流体Ｃを貯蔵できる量を増大させることができる。また、流路１４ｔを蒸気移動経路４０に隣接して設けたため、蒸気移動経路４０の流路４３を移動する蒸気Ｃｖによって温められる作動流体Ｃの量を増大させることができる。

【0089】

・図１０に示した変更例では、流路１４ｔを、蒸発器１１から液管１４の長さ方向の途中まで延びるように形成したが、これに限定されない。例えば、流路１４ｔを、液管１４の長さ方向の全長にわたって延びるように形成してもよい。

【0090】

・上記実施形態に示す有底孔の形状を適宜変更してもよい。
・上記実施形態において、上面側の有底孔の深さと、下面側の有底孔の深さとが異なっていてもよい。

【0091】

・上記実施形態の多孔質体２０，３０及び多孔質部５０では、上面側から窪む第１有底孔と、下面側から窪む第２有底孔と、それら第１有底孔と第２有底孔とが部分的に連通して形成された細孔とを有する金属層を含む構造としたが、これに限定されない。例えば、厚さ方向に貫通する第１貫通孔を有する第１金属層と、厚さ方向に貫通する第２貫通孔を有する第２金属層とを有し、第１貫通孔と第２貫通孔とを部分的に重なるように第１金属層と第２金属層とを積層することにより、多孔質体２０，３０及び多孔質部５０を構成してもよい。この場合には、第１貫通孔と第２貫通孔とが部分的に重なる部分において互いに連通する細孔が形成される。

【0092】

・上記実施形態における蒸気移動経路４０の形成位置は特に限定されない。すなわち、蒸気移動経路４０は、蒸発器１１から液管１４の長さ方向に延びるように形成されていれば、その形成位置は特に限定されない。

【0093】

例えば図１２に示すように、蒸気移動経路４０を、一対の管壁１４ｗのうち、液管１４の屈曲部の曲げ外側を構成する管壁１４ｗの近傍に設けるようにしてもよい。なお、液管１４の屈曲部の曲げ外側を構成する管壁１４ｗに作動流体Ｃの注入口が設けられる場合には、その注入口に重ならないように蒸気移動経路４０が形成される。

【0094】

・また、蒸気移動経路４０を、液管１４の幅方向の中央部に設けるようにしてもよい。
・上記実施形態の液管１４に、複数の蒸気移動経路４０を設けるようにしてもよい。

【符号の説明】

【0095】

１ ループ型ヒートパイプ
２ 電子機器
１１ 蒸発器
１２ 蒸気管
１３ 凝縮器
１４ 液管
１４ｒ 流路
１４ｔ 流路
１４ｗ 管壁
２０ 多孔質体
４０ 蒸気移動経路
４１，４２ 区画壁
４３ 流路
６１～６６ 金属層
５０，６２ｅ，６５ｅ 多孔質部
６２ｆ，６５ｆ 有底孔（第１有底孔）
６２ｇ，６５ｇ 有底孔（第２有底孔）
６２ｈ，６５ｈ 細孔
３０，６２ｓ－６５ｓ 多孔質体
６２ｕ～６５ｕ 有底孔
６２ｄ～６５ｄ 有底孔
６２ｚ～６５ｚ 細孔
６２ｗ～６５ｗ 壁部
６２ｔ～６５ｔ 壁部
６２ｋ－６５ｋ 溝部
６１ｋ２，６２ｋ１，６２ｋ２，６３ｋ１，６３ｋ２ 溝部
６４ｋ１，６４ｋ２，６５ｋ１，６５ｋ２，６６ｋ１ 溝部
９１，９２ 溝部
Ｃ 作動流体
Ｃｖ 蒸気

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】