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特許7218345真空チャンバの清浄度を監視する清浄度モニタおよび方法
発明の名称 真空チャンバの清浄度を監視する清浄度モニタおよび方法
出願人 アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド （識別番号 504144253）
特許公開件数ランキング 1566 位（4件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3848 位（2件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7218345
公報発行日 2023年2月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7218345
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