特許7223515成膜装置及び成膜方法

発明の名称　成膜装置及び成膜方法

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 65 位（395件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 64 位（380件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7223515

公報発行日　2023年2月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7223515

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