特許7225224プラズマをモニタするためのシステム

発明の名称　プラズマをモニタするためのシステム

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 167 位（53件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 264 位（29件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7225224

公報発行日　2023年2月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7225224

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