特許 7242626 成膜装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-03-10

(45)【発行日】2023-03-20

(54)【発明の名称】成膜装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20230313BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20230313BHJP

   H10K 50/00 20230101ALI20230313BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 G

C23C14/24 J

H05B33/10

H05B33/14 A

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020205210

(22)【出願日】2020-12-10

(65)【公開番号】P2022092405

(43)【公開日】2022-06-22

【審査請求日】2021-10-04

(73)【特許権者】

【識別番号】591065413

【氏名又は名称】キヤノントッキ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003281

【氏名又は名称】弁理士法人大塚国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100076428

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 康徳

(74)【代理人】

【識別番号】100115071

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 康弘

(74)【代理人】

【識別番号】100112508

【弁理士】

【氏名又は名称】高柳 司郎

(74)【代理人】

【識別番号】100116894

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 秀二

(74)【代理人】

【識別番号】100130409

【弁理士】

【氏名又は名称】下山 治

(74)【代理人】

【識別番号】100134175

【弁理士】

【氏名又は名称】永川 行光

(74)【代理人】

【識別番号】100188868

【弁理士】

【氏名又は名称】小川 智丈

(74)【代理人】

【識別番号】100221327

【弁理士】

【氏名又は名称】大川 亮

(72)【発明者】

【氏名】砂川 貴宏

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 功康

【審査官】末松 佳記

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－０９２３７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０６４７５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０１９２４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１１３５０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１７４３４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２４９５４２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／００－１４／５８

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

Ｈ１０Ｋ ５０／００－５０／８８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を搬送方向に搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置であって、
前記基板が載置されるマスクトレイの下面であって前記基板の前記搬送方向と交差する交差方向の両端部に当接して前記マスクトレイを搬送する搬送ローラを備える搬送装置と、
前記搬送装置の下方に配置され、前記搬送ローラによって搬送される前記基板に蒸着材料を放出する蒸着源を有する蒸着装置と、
前記蒸着源による蒸着材料の放出範囲を規制する防着部材と、を有し、
前記防着部材は、
前記搬送ローラの側面であって、前記搬送ローラによって搬送される前記基板の前記交差方向において中心側の前記側面に対向する第１の面と、
前記第１の面に接続され、前記搬送ローラの下方周面に対向する第２の面と、
を含み、
前記第１の面と前記搬送ローラの側面との間に位置するように、前記搬送ローラの搬送面より鉛直方向で上方に延びる防着板を更に含む、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項2】

前記交差方向における前記蒸着源の長さは、前記交差方向において対向する２つの前記搬送ローラの間隔より大きいことを特徴とする請求項１に記載の成膜装置。

【請求項3】

前記防着部材は四角筒状の形状であり、四角筒の端部に、前記第１の面および前記第２の面によって形成される前記搬送ローラのための退避構造が設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。

【請求項4】

前記四角筒の内側の表面はメッシュ構造であることを特徴とする請求項３に記載の成膜装置。

【請求項5】

前記防着板は前記搬送ローラの前記側面に対向するように配置されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の成膜装置。

【請求項6】

前記防着板と前記マスクトレイの下面に設けられた凹部とがラビリンス構造を形成しており、前記防着板は、前記搬送ローラの集塵カバー及び前記搬送ローラに前記蒸着材料が付着することを防ぐように配置されることを特徴とする請求項５に記載の成膜装置。

【請求項7】

前記蒸着装置は、前記搬送装置に対して相対的に移動可能であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の成膜装置。

【請求項8】

前記防着部材は、複数の防着板で構成されることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の成膜装置。

【請求項9】

前記第１の面および前記第２の面は前記複数の防着板のうちの１つに含まれることを特徴とする請求項８に記載の成膜装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インライン型の成膜装置に関する。

【背景技術】

【0002】

有機ＥＬディスプレイ等の製造においては、マスクを用いて基板上に蒸着物質を成膜するインライン型の成膜装置が知られている。引用文献１には、成膜のためのチャンバ内で基板を搬送しながら成膜を行う成膜装置が示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１５－１１３５０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ここで、蒸着源から放出された蒸着材料の放出範囲を規制するために防着部材が設けられる。ここで、ラインソース型の蒸着源などでは、蒸着材料を放出するために広い放出空間が必要となる場合がある。また、防着部材は、搬送ローラやチャンバ空間の壁面への蒸着材料の付着を防ぐことが必要となる。

【0005】

本発明は、蒸着源の放出空間を確保しながら、高い防着性能を有するインライン型の成膜装置の防着部材を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面によれば、基板を搬送方向に搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置であって、
前記基板が載置されるマスクトレイの下面であって前記基板の前記搬送方向と交差する交差方向の両端部に当接して前記マスクトレイを搬送する搬送ローラを備える搬送装置と、
前記搬送装置の下方に配置され、前記搬送ローラによって搬送される前記基板に蒸着材料を放出する蒸着源を有する蒸着装置と、
前記蒸着源による蒸着材料の放出範囲を規制する防着部材と、を有し、
前記防着部材は、
前記搬送ローラの側面であって、前記搬送ローラによって搬送される前記基板の前記交差方向において中心側の前記側面に対向する第１の面と、
前記第１の面に接続され、前記搬送ローラの下方周面に対向する第２の面と、
を含み、
前記第１の面と前記搬送ローラの側面との間に位置するように、前記搬送ローラの搬送面より鉛直方向で上方に延びる防着板を更に含む、
ことを特徴とする成膜装置が提供される。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、蒸着源のための放出空間を確保しながら、高い防着性能を有するインライン型の成膜装置の防着部材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】一実施形態に係る成膜装置の概略図。

【図2】成膜装置の成膜処理を示す図。

【図3】搬送ユニットと蒸着ユニットの分離を示す図。

【図4】一実施形態に係る搬送ユニットの概略図。

【図5】搬送ユニットの断面図。

【図6】搬送ユニットおよび蒸着ユニットの断面図。

【図7】図６の点線６５０の領域の拡大図。

【図8】防着部材の構成を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0010】

＜成膜装置の概要＞
図１（Ａ）および図１（Ｂ）は、本実施形態に係る成膜装置を示す概略図である。図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示す本実施形態に係る成膜装置１は、基板を搬送しながら製膜するインライン型の成膜装置である。本実施形態に係る成膜装置１は、例えば、スマートフォン用の有機ＥＬ表示装置の表示パネルなどの電子デバイスの製造ラインに適用される。成膜装置１は、搬送ユニット２、蒸着ユニット３、フレーム４を含む。

【0011】

搬送ユニット２は、基板上に形成する薄膜パターンに対応する開口パターンをもつメタルマスクなどのマスクによってマスクされた基板が配置されたマスクトレイを搬入口５から搬出口６まで搬送するための装置である。また、搬送ユニット２の底面には、蒸着ユニット３の蒸着源から放出された蒸着材料がマスクトレイに配置された基板に蒸着されるよう、開口が配置される。

【0012】

蒸着ユニット３は、後述する蒸着源を有し、蒸着ユニット３の天面側には搬送ユニット２によって搬送される基板に蒸着材料を放出するための開口を有する。また、蒸着ユニット３またはフレーム４に配置された昇降機構４１およびスライド機構４２によって、後述する搬送ユニット２と蒸着ユニット３との分離が行われる。

【0013】

フレーム４は、搬送ユニット２と蒸着ユニット３とを支持するための構造である。本実施形態では、フレーム４が昇降機構４１およびスライド機構４２を備えるものとして説明を行うが、昇降機構およびスライド機構の少なくとも一つが蒸着ユニット３に備えられてもよい。

【0014】

また、図１（Ｂ）に示すように、本実施形態では、成膜装置１は３つの蒸着ユニット３Ａ～３Ｃ（総称して蒸着ユニット３とする）を備え、搬送される基板に１種類以上の蒸着材料を連続して蒸着することができる。なお、図１（Ｂ）の例では、昇降機構４１は省略して示されている。蒸着ユニット３の数、およびそれぞれの蒸着ユニット３が放出する蒸着材料の種類は任意に変更可能である。また、昇降機構４１およびスライド機構４２は、複数の蒸着ユニット３をまとめて昇降またはスライドさせてもよいし、別個に昇降またはスライドさせてもよい。

【0015】

図２（Ａ）～図２（Ｄ）は、本実施形態に係る成膜装置１の成膜処理を示す。ここで、図１（Ａ）の成膜装置１の面ＸＺでの断面図を示す。なお、図２（Ａ）～図２（Ｄ）では、フレーム４は省略して示されている。

【0016】

図２（Ａ）は、基板が配置されたマスクトレイ２０１が搬入口５から搬入された状態の成膜装置１を示す。搬送ユニット２はそれぞれの蒸着ユニット３に対応する開口２１Ａ～２１Ｃ（総称して開口２１とする）を備える。蒸着ユニット３はそれぞれに対応する蒸着源３１Ａ～３１Ｃ（総称して蒸着源３１とする）を備える。図２（Ａ）において、搬入されたマスクトレイ２０１は、搬送ユニット２が備える複数の搬送ローラ２２によって、搬送ユニット２の開口２１上に搬送される。

【0017】

図２（Ｂ）は、マスクトレイ２０１が開口２１Ａ上に搬送され、蒸着ユニット３Ａの蒸着源３１Ａから蒸着材料を放出している状態の成膜装置１を示す。図２（Ｂ）では、基板が搬送されている状態で、蒸着源３１Ａから上方に向かって蒸着材料が放出されている。これによって、マスクパターンに従って基板上に蒸着材料が蒸着される。本実施形態に係る成膜装置１は、マスクトレイ２０１が移動している状態で蒸着を行うものとして説明するが、マスクトレイ２０１が開口２１上に位置する状態で移動を一時停止または減速するようマスクトレイ２０１の搬送速度を制御してもよい。これによって、成膜装置１は基板上に適切な厚みの蒸着材料が蒸着するよう制御することができる。

【0018】

図２（Ｃ）は、蒸着された基板が搬送ユニット２によって搬送され、次の蒸着ユニット３Ｂに対応する開口２１Ｂ上にマスクトレイ２０１が搬送されている状態を示す。ここで、蒸着ユニット３Ｂの蒸着源３１Ｂから蒸着材料が放出される。そして成膜装置１はマスクトレイ２０１の搬送を進めて次の蒸着ユニット３Ｃによって次の蒸着を行い、図２（Ｄ）に示すように、蒸着が完了したマスクトレイ２０１が、搬出口６から搬出される。このように、搬送ユニット２の搬送ローラ２２によって搬入口５から搬出口６まで搬送されるまでに複数の蒸着ユニット３から蒸着を行うことができる。

【0019】

続いて、図３（Ａ）および図３（Ｂ）を参照して、搬送ユニット２と蒸着ユニット３との分離について説明する。蒸着ユニット３の蒸着源３１から放出された蒸着材料が搬送ユニット２の側壁や天面に付着し、落下して搬送中の基板に付着することで、蒸着処理が失敗する場合がある。また、搬送ユニット２の側壁や天面に付着した蒸着材料が落下して搬送ローラ２２に付着することで搬送している基板が汚損したり、搬送ローラ２２の動作不良が生じる場合がある。このため、搬送ユニット２の側壁や天面には防着板が設けられ、防着板を定期的に洗浄または交換するメンテナンスが必要になる。

【0020】

また、搬送ローラ２２とマスクトレイ２０１との接触によって生じる粉塵が、搬送ローラの回転や蒸着材料の放出によって生じる気流によって舞い上がり、基板や成膜装置１の駆動構造に付着し、成膜処理の失敗や搬送ユニット２の動作不良が生じる場合がある。このため、搬送ローラ２２には、生じた粉塵が散らばることを防ぐための集塵カバーが設けられ、集塵カバーの交換または清掃などのメンテナンスを定期的に行うことがある。

【0021】

このような場合、搬送ユニット２と蒸着ユニット３とを分離し、搬送ユニット２の底面側の開口２１から搬送ユニット２内の搬送空間にアクセスすることで、メンテナンスの際の作業の利便性が向上する。搬送ユニット２と蒸着ユニット３との分離では、図３（Ａ）に示すように、フレーム４が備える昇降機構４１によって、蒸着ユニット３が搬送ユニット２に対して相対的に下方に移動する。なお、本実施形態に係る蒸着ユニット３は、後述するように、搬送ユニット２と接続された場合に開口２１よりもＺ軸上方に進入する部分を備えるため、昇降機構４１による蒸着ユニット３の降下が必要となる。これによって、搬送ユニット２に対して水平方向に蒸着ユニット３が移動することが可能となる。

【0022】

続いて、図３（Ｂ）に示すように、フレーム４が備えるスライド機構４２によって、蒸着ユニット３が搬送ユニット２に対して相対的に水平に移動する。これによって、フレーム４に保持された搬送ユニット２の下方から搬送ユニット２内部の搬送空間にアクセスすることができ、メンテナンスの利便性を向上することができる。また、蒸着ユニット３の上方から蒸着ユニット３内にアクセスすることができるため、蒸着ユニット３のメンテナンスの利便性も向上することができる。

【0023】

続いて、図４に、搬送ユニット２の構造を示す。搬送ユニット２は、底面の開口２１、複数の搬送ローラ２２、天面防着部２３、側壁防着部２４、筐体２５、天面蓋２６を含む。なお、図４において側壁防着部２４は一部のみが図示されている。

【0024】

天面防着部２３は、搬送ユニット２内の搬送路の天面側に蒸着する蒸着材料の除去などのメンテナンスを容易にするように、筐体２５から取り外し可能に配置される。本実施形態では、天面蓋２６に天面防着部２３が配置され、筐体２５から天面蓋２６を取り外すと、天面蓋２６とともに天面防着部２３も筐体２５から取り外される。また、天面防着部２３は複数の防着板（天面防着板）によって形成され、それぞれの天面防着板は別個に筐体２５または天面蓋２６から取り外すことができる。天面蓋２６が複数の天面防着板を支持する構造については図５および図６を参照して後述する。また、筐体２５、天面蓋２６、および天面防着部２３の詳細な構造については図５および図６を参照して後述する。

【0025】

側壁防着部２４は、搬送ユニット２内の筐体２５の側壁から脱着可能な防着板を含み、筐体２５の内側の側壁に蒸着材料が蒸着することを防ぐ。メンテナンスの際には、側壁防着部２４を筐体２５から取り外し、交換又は洗浄することでメンテナンス作業を容易に行うことができる。なお、本実施形態に係る側壁防着部２４も複数の側壁防着板によって形成され、それぞれの側壁防着板も別個に筐体２５から取り外すことができる。

【0026】

天面蓋２６は、筐体２５の天面側に配置され、天面蓋２６を上方に持ち上げることで筐体２５から天面蓋２６を取り外すことができる。これによって、筐体２５の天面側から搬送空間にアクセスすることができる。すなわち、天面蓋２６は搬送ユニット２の内部の搬送空間の天井を形成する天井部であり、筐体２５は搬送空間の側壁を形成する側壁部である。また、天面防着部２３は搬送空間の天井部を覆う防着部であり、側壁防着部２４は搬送空間の側壁部を覆う防着部である。

【0027】

続いて、図５を参照して搬送ユニット２の詳細な構造について説明する。図５は、図４の面４０１で切断したときの搬送ユニット２の断面図である。また、図５では、蒸着ユニット３も図示されている。

【0028】

図５では、天面蓋２６にはガイドローラ２７が配置され、天面防着板５０１～５０４は、ガイドローラ２７によって支持される。すなわち、ガイドローラ２７と、天面防着板５０１～５０４のガイドローラ２７に当接する部分が、天面蓋２６に沿って防着板を移動可能に支持するスライド構造（着脱構造）として機能する。本実施形態では、ガイドローラ２７の移動方向は、基板の搬送方向と交差する方向であり、図５ではＹ軸方向である。なお、図５の例では、天面蓋２６にガイドローラ２７が配置され、天面防着板５０１～５０４は、ガイドローラ２７が転動する転動面を含むものとして図示している。しかしながら別の例では、天面蓋２６にレールが配置され、当該レールに沿って転動するローラが天面防着板５０１～５０４に配置されてもよい。また、天面蓋２６が天面防着板５０１～５０４を着脱可能に支持する着脱構造としては、スライド構造以外にもフック型の留め部材などの任意の構造を用いてもよい。

【0029】

また、円５０６～５０８に示すように、天面防着板と水平な面においてスライド方向と交差する方向で隣り合う天面防着板はラビリンス構造を形成する。ここでラビリンス構造とは、防着板が覆う面に対して垂直な方向、すなわち上下方向で隣接する防着板が重なり合うことを意味する。天面防着板５０１～５０４では、基板搬送方向（X方向）で隣接する防着板が上下方向（Z軸）において重なり合う。これによって、隣接する天面防着板５０１～５０４の位置が多少変化しても、天面防着板５０１～５０４が搬送空間の天井の内面を覆うことができ、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0030】

また、円５０９に示すように、筐体２５の側面に取りつけられ、搬送空間の側面を覆う側壁防着部２４は、側壁防着部２４に隣接する天面防着板５０１とラビリンス構造を形成する。これによって、天面防着板５０１の位置が多少変化しても、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0031】

また、本実施形態に係る天面蓋２６は、筐体２５との係合構造を有し、筐体２５と天面蓋２６との係合を解除することで筐体２５から取り外すことができる。筐体２５から天面蓋２６を取り外す際には、天面蓋２６に設けられたフック穴５０５にクレーンのフックを取りつけることで、クレーンを用いて天面蓋２６を取り外すことができる。

【0032】

なお、搬送ユニット２の開口２１Ａを通じて、搬送ユニット２の筐体２５の内部空間に防着部材３２Ａおよび防着部材３３Ａが配置される。防着部材３２Ａおよび防着部材３３Ａは、上方に点線で示す開口を示す筒状の防着板である。防着部材３２Ａが搬送ローラ２２によって搬送されるマスクトレイ２０１の下方に配置されることで、蒸着源３１Ａからの蒸着材料の放出範囲を規制することができる。

【0033】

続いて、図６を参照して搬送ユニット２の詳細な構造について説明する。図６では、図４の面４０２で切断したときの搬送ユニット２の断面図である。また、図６では蒸着ユニット３も図示されている。

【0034】

図６では、ガイドローラ２７のスライド方向上の一方では搬送ユニット２の筐体２５または天面蓋２６に設けられたストッパ６０６に当たる。また、スライド方向上の他方ではカバー２８に当たる。カバー２８は、ガイドローラ２７によって天面防着板６０１～６０５を取り外し可能にするか否かを切り替え可能な係止構造である。図６の例では、カバー２８は天面防着板６０１～６０５を天面蓋２６から個別に取り外すことはできない閉状態である。一方、カバー２８を開状態に切り替えることで、閉状態でカバー２８が覆っていた筐体２５の開口から天面防着板６０１～６０５をガイドローラ２７に沿って個別に取り外すことができる。また、筐体２５の開口から個別にガイドローラ２７に沿って天面防着板を取りつけて、ストッパ６０６または既に取りつけられた他の天面防着板に当接するまでスライドさせることで、天面防着板をスライド方向で位置合わせすることなく取りつけることができる。このように、脱着構造としてスライド構造を採用することで、天面防着板を着脱する際の作業の効率が向上する。

【0035】

また、円６０７～６１０に示すように、スライド方向で隣り合う防着板同士も、ラビリンス構造を形成する。これによって、スライド方向で隣接する天面防着板６０１～６０５の位置が多少変化しても、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0036】

また、スライド方向で同一列の天面防着板６０１～６０５は、同じ形状を有する。これによって、防着板を設置する順序を考慮する必要がなく、天面防着板を着脱する作業が容易になる。

【0037】

また、円６１１～６１２に示すように、筐体２５の側面に取りつけられ、搬送空間の側面を覆う側壁防着部２４は、側壁防着部２４に隣接する天面防着板６０１、６０５とラビリンス構造を形成する。これによって、天面防着板６０１、６０５の位置が多少変化しても、ガイドローラ２７、天面蓋２６、および筐体２５に蒸着材料が付着することを防ぐことができる。

【0038】

また、搬送ローラ２２は、シャフト６２１を介して搬送ローラ駆動部６２２によって駆動される。

【0039】

また、蒸着ユニット３側には、蒸着源３１からの蒸着材料が蒸着ユニット３の壁部や周辺の他の機構に付着しないように放出範囲を規制する防着部材３２および３３が設けられる。防着部材３２は、防着部材３３の上側に位置し、上部が搬送ユニット２に侵入している。本実施形態において、防着部材３２および防着部材３３は蒸着ユニット３の筐体によって支持されている。

【0040】

防着部材３２および防着部材３３は、それぞれ筒状の形状をしており、蒸着源３１から放出された蒸着材料がマスクトレイ２０１方向に放出される放出空間（換言すると蒸着源３１の上方空間）を囲むように構成される。例えば、金属製である。本実施形態の場合、蒸着源３１がＹ方向に延設されたラインソースの形態であるため、防着部材３２および防着部材３３は蒸着源３１の形状に沿った四角筒形状を有している。防着部材３２の下端部は、防着部材３３の内側に侵入しており、防着部材３２の下端部と防着部材３３の上端部とは鉛直方向において互いに重なっている。これによって、防着部材３２と防着部材３３との間にＺ方向の隙間がなくなり、防着部材３２と防着部材３３との間から蒸着材料が漏れ出ることを防止できる。

【0041】

また、防着部材３２および防着部材３３は、四角筒の内側がメッシュ構造の表面を有する。これによって、蒸着材料が防着部材３２および防着部材３３の表面に付着しやすくなり、防着効果を高めることができる。

【0042】

＜蒸着ユニット側の防着板の配置＞
続いて、図７を参照して蒸着ユニット３側の防着板の配置について説明する。図７は、図６の点線６５０で示す部分の拡大図である。

【0043】

図６に示すように、搬送ローラ２２は、シャフト６２１と接続され、搬送ローラ駆動部（不図示）によって回転する。また、シャフト６２１を覆う搬送ユニット２側の筐体７０２には、搬送ローラ２２の集塵カバー７０３が取りつけられる。また、集塵カバー７０３より基板側には、搬送ローラ２２の側面を覆うように防着板７０４が配置される。防着板７０４は支持部材７０５によって筐体７０２に接続される搬送ユニット２側の防着部材である。また、筐体７０２には、筐体７０２の側面を覆う搬送ユニット２側の側壁防着部２４が配置される。防着板７０４および側壁防着部２４によって、搬送ユニット２の筐体７０２が形成する搬送空間側方を防着板によって覆うことができる。

【0044】

上述したように、蒸着ユニット３側の防着部材３２は、上方の開口がマスクトレイ２０１に近接するように配置される。ここで、図６に示すように、搬送方向に交差する方向（Ｙ方向）の蒸着源３１の長さは、搬送ローラ２２の回転軸上で対向する１対の搬送ローラ２２の間隔より広い。これは蒸着源３１から放出される蒸着材料がマスクトレイ２０１に配置された基板にＹ方向で均一に蒸着することを目的としている。このため、防着部材３２の開口７０１のＹ方向の長さは、蒸着源３１のＹ方向の長さより短い。これによって、蒸着源３１のための広い放出空間を確保しながら、搬送ローラ２２および搬送ユニット２の壁面への防着性能を高めることができる。

【0045】

また、蒸着材料が搬送ローラ２２および集塵カバー７０３に付着することを防ぐために、蒸着ユニット３側の防着部材３２は、搬送ローラ２２の側面７０９に対向する第１の面７０６と、搬送ローラ２２の下方周面に対向する第２の面７０７とを有する。搬送ローラ２２の側面７０９は、搬送ローラ２２によって搬送される基板のＹ方向における中心側の側面である。言い換えると、側面７０９は、Ｙ方向で対向する２つの搬送ローラ２２の互いに向かい合う面である。第１の面７０６と第２の面７０７とによって、蒸着ユニット側の防着部材３２が搬送ローラ２２に当接することを防ぎながら、搬送ローラ２２の防着性能を高めることができる。言い換えると、第１の面７０６と第２の面７０７は、蒸着源３１の放出方向を規制する四角筒状の防着部材３２のうちの搬送ローラの退避構造として機能する。また、この退避構造が防着板７０４とともにラビリンス構造を形成することで、蒸着材料がＹ方向で搬送ローラ２２や集塵カバー７０３、搬送ユニット２の壁面に付着することを防ぐことができ、搬送ローラ２２の防着性能を高めることができる。

【0046】

なお、図７に示すように、本実施形態に係るマスクトレイ２０１の下側には、搬送方向と平行に搬送ローラ２２の付近に凹部（溝）７０８が配置されており、防着板７０４が搬送ローラ２２の周面上端、すなわち搬送面より鉛直方向（Ｚ方向）で上方に延伸する。また、搬送ローラ２２の凹部７０８と防着板７０４とがラビリンス構造を形成する。これによって、防着板７０４の防着性能を高め、防着板７０４の上方から蒸着材料が搬送ローラ２２、集塵カバー７０３、および搬送ユニット２の壁面に付着することを防ぐことができる。また、蒸着ユニット３と搬送ユニット２との位置が多少変化して防着部材３２の位置が搬送ユニット２に対して相対的に変化した場合であっても、搬送ローラ２２および集塵カバー７０３への防着性能を維持することができる。なお、防着板７０４は、搬送ローラ２２の側面７０９のみを覆うものとして図示しているが、搬送ローラ２２の下方周面も覆うように、ＹＺ面の断面でＬ字状の形状を有してもよい。

【0047】

なお、図７に示すように第１の面７０６は鉛直方向（Ｚ方向）に対して基板側に傾斜し、搬送ローラ２２の側面７０９に対向するものとして説明を行ったが、第１の面７０６は側面７０９に対して平行な面を有してもよい。

【0048】

続いて、図８を参照して防着部材３２および防着部材３３の構造について説明する。上側の防着部材３２は、着脱可能な８つの防着板８０１～８０８によって構成される。下側の防着部材３３は、着脱可能な８つの防着板８５１～８５８によって構成される。防着部材３２および防着部材３３において、隣接する２つの防着板は、係止構造（不図示）によって固定されることで四角筒を形成する。防着板８０１および８０５は、図７を参照して説明した搬送ローラ２２の退避構造を有する防着板である。

【0049】

このように、防着部材３２が着脱可能な複数の防着板によって形成されることで、メンテナンスの際には容易に蒸着ユニット３から着脱することができる。

【0050】

また、上側の防着部材３２の防着板８０１および８０５、８０２および８０６、８０３および８０７、並びに８０４および８０８はそれぞれ同じ構造の防着板を反転して用いている。これによって、防着板の種類を減らすことができる。

【0051】

同様に、下側の防着部材３３の防着板８５１および８５５、８５２および８５６、８５３および８５７、並びに８５４および８５８はそれぞれ同じ構造の防着板を反転して用いている。これによって、防着板の種類を減らすことができる。

【0052】

＜他の実施形態＞
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

【符号の説明】

【0053】

１ 成膜装置、２ 搬送ユニット、２２ 搬送ローラ、３１ 蒸着源、３２ 防着部材、２０１ マスクトレイ、７０３ 集塵カバー、７０４ 防着板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】