特許 7247083 イオン源および質量分析計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-03-17

(45)【発行日】2023-03-28

(54)【発明の名称】イオン源および質量分析計

(51)【国際特許分類】

   H01J 49/10 20060101AFI20230320BHJP

   H01J 49/04 20060101ALI20230320BHJP

   G01N 27/62 20210101ALI20230320BHJP

【ＦＩ】

H01J49/10

H01J49/04

G01N27/62 G

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2019229656

(22)【出願日】2019-12-19

(65)【公開番号】P2021099899

(43)【公開日】2021-07-01

【審査請求日】2022-05-13

(73)【特許権者】

【識別番号】501387839

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテク

(74)【代理人】

【識別番号】110002572

【氏名又は名称】弁理士法人平木国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 英樹

(72)【発明者】

【氏名】杉山 益之

(72)【発明者】

【氏名】橋本 雄一郎

【審査官】中尾 太郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－０９５４５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１５３６０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２０１４４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／０４９２７１（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ４９／１０

Ｈ０１Ｊ ４９／０４

Ｇ０１Ｎ ２７／６２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料溶液が導入され、イオンまたは液滴を供給するキャピラリーと、
前記キャピラリーに試料溶液を供給する配管と、
を有するイオン源において、
前記キャピラリーは、上流側にキャピラリー上流側端面を有し、下流側にキャピラリー下流側端面を有し、前記キャピラリー上流側端面の外径は前記キャピラリー下流側端面の外径よりも大きく、
前記キャピラリーは、上流側に、前記キャピラリー上流側端面を形成する大径部を有し、前記大径部は、下流側に大径部下流側面を有し、
前記配管は、下流側に配管下流端面を有し、
前記イオン源は、前記キャピラリーを保持するキャピラリー保持部を備え、
前記キャピラリー保持部は、前記キャピラリー下流側端面を通過させることが可能な穴と、前記大径部下流側面を設置することが可能な面とを有し、
前記イオン源は、前記配管を保持する配管保持部を備え、
前記キャピラリー保持部および前記配管保持部は、前記キャピラリー上流側端面と、前記配管下流端面とが接触することにより、前記キャピラリーと前記配管とが接続されるように配置され、
前記キャピラリー保持部および前記配管保持部が直動機構を介して結合される、
ことを特徴とする、イオン源。

【請求項2】

請求項１に記載のイオン源において、前記直動機構は螺合機構であることを特徴とする、イオン源。

【請求項3】

請求項１に記載のイオン源において、前記キャピラリー保持部または前記配管保持部に弾性部材を備えることを特徴とする、イオン源。

【請求項4】

試料溶液が導入され、イオンまたは液滴を供給するキャピラリーと、
前記キャピラリーに試料溶液を供給する配管と、
を有するイオン源において、
前記キャピラリーは、上流側にキャピラリー上流側端面を有し、下流側にキャピラリー下流側端面を有し、前記キャピラリー上流側端面の外径は前記キャピラリー下流側端面の外径よりも大きく、
前記キャピラリーは、上流側に、前記キャピラリー上流側端面を形成する大径部を有し、前記大径部は、下流側に大径部下流側面を有し、
前記配管は、下流側に配管下流端面を有し、
前記イオン源は、前記キャピラリーを保持するキャピラリー保持部を備え、
前記キャピラリー保持部は、前記キャピラリー下流側端面を通過させることが可能な穴と、前記大径部下流側面を設置することが可能な面とを有し、
前記イオン源は、前記配管を保持する配管保持部を備え、
前記キャピラリー保持部および前記配管保持部は、前記キャピラリー上流側端面と、前記配管下流端面とが接触することにより、前記キャピラリーと前記配管とが接続されるように配置され、
前記キャピラリー保持部または前記配管保持部に弾性部材を備え、
前記弾性部材はバネであることを特徴とする、イオン源。

【請求項5】

試料溶液が導入され、イオンまたは液滴を供給するキャピラリーと、
前記キャピラリーに試料溶液を供給する配管と、
を有するイオン源において、
前記キャピラリーは、上流側にキャピラリー上流側端面を有し、下流側にキャピラリー下流側端面を有し、前記キャピラリー上流側端面の外径は前記キャピラリー下流側端面の外径よりも大きく、
前記キャピラリーは、上流側に、前記キャピラリー上流側端面を形成する大径部を有し、前記大径部は、下流側に大径部下流側面を有し、
前記配管は、下流側に配管下流端面を有し、
前記イオン源は、前記キャピラリーを保持するキャピラリー保持部を備え、
前記キャピラリー保持部は、前記キャピラリー下流側端面を通過させることが可能な穴と、前記大径部下流側面を設置することが可能な面とを有し、
前記イオン源は、前記配管を保持する配管保持部を備え、
前記キャピラリー保持部および前記配管保持部は、前記キャピラリー上流側端面と、前記配管下流端面とが接触することにより、前記キャピラリーと前記配管とが接続されるように配置され、
前記キャピラリー保持部または前記配管保持部に弾性部材を備え、
前記キャピラリー保持部の位置決め面と、前記配管保持部の位置決め面とが接合されることにより、前記キャピラリー保持部および前記配管保持部が互いに位置決めされて固定されることを特徴とする、イオン源。

【請求項6】

請求項１に記載のイオン源において、前記キャピラリー上流側端面および前記配管下流端面の少なくとも一方に樹脂層を有することを特徴とする、イオン源。

【請求項7】

試料溶液が導入され、イオンまたは液滴を供給するキャピラリーと、
前記キャピラリーに試料溶液を供給する配管と、
を有するイオン源において、
前記キャピラリーは、上流側にキャピラリー上流側端面を有し、下流側にキャピラリー下流側端面を有し、前記キャピラリー上流側端面の外径は前記キャピラリー下流側端面の外径よりも大きく、
前記キャピラリーは、上流側に、前記キャピラリー上流側端面を形成する大径部を有し、前記大径部は、下流側に大径部下流側面を有し、
前記配管は、下流側に配管下流端面を有し、
前記イオン源は、前記キャピラリーを保持するキャピラリー保持部を備え、
前記キャピラリー保持部は、前記キャピラリー下流側端面を通過させることが可能な穴と、前記大径部下流側面を設置することが可能な面とを有し、
前記イオン源は、前記配管を保持する配管保持部を備え、
前記キャピラリー保持部および前記配管保持部は、前記キャピラリー上流側端面と、前記配管下流端面とが接触することにより、前記キャピラリーと前記配管とが接続されるように配置され、
前記配管と前記キャピラリーとの相対的な回転を防止する回転防止機構を有することを特徴とする、イオン源。

【請求項8】

試料溶液が導入され、イオンまたは液滴を供給するキャピラリーと、
前記キャピラリーに試料溶液を供給する配管と、
を有するイオン源において、
前記キャピラリーは、上流側にキャピラリー上流側端面を有し、下流側にキャピラリー下流側端面を有し、前記キャピラリー上流側端面の外径は前記キャピラリー下流側端面の外径よりも大きく、
前記キャピラリーは、上流側に、前記キャピラリー上流側端面を形成する大径部を有し、前記大径部は、下流側に大径部下流側面を有し、
前記配管は、下流側に配管下流端面を有し、
前記イオン源は、前記キャピラリーを保持するキャピラリー保持部を備え、
前記キャピラリー保持部は、前記キャピラリー下流側端面を通過させることが可能な穴と、前記大径部下流側面を設置することが可能な面とを有し、
前記イオン源は、前記配管を保持する配管保持部を備え、
前記キャピラリー保持部および前記配管保持部は、前記キャピラリー上流側端面と、前記配管下流端面とが接触することにより、前記キャピラリーと前記配管とが接続されるように配置され、
前記配管保持部および前記キャピラリー保持部はいずれも導電部材を備え、
前記イオン源は、前記配管保持部および前記キャピラリー保持部それぞれの導電部材の電位を互いに等しくするための手段を備える、
ことを特徴とする、イオン源。

【請求項9】

請求項１に記載のイオン源において、前記キャピラリー保持部がガス噴霧管を有することを特徴とする、イオン源。

【請求項10】

請求項１乃至９のいずれか一項に記載のイオン源を備えた質量分析計。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明はイオン源および質量分析計に関し、とくに、高いメンテナンス性を実現できるものに関する。また、この発明の一部は、高い分析安定性および高い分析再現性を実現できるイオン源および質量分析計にも関する。

【背景技術】

【0002】

質量分析などに用いる一般的なイオン化法であるエレクトロスプレーイオン化法（以下「ＥＳＩ法」という。）は、試料溶液をキャピラリーの上流端から導入し、電界などにより下流端からイオンや液滴を噴霧する方式である。

【0003】

一般的な従来の質量分析計の構成を図１に示す。質量分析計１０１は主に、イオン源１０２と、質量分析部１０３を内部に有する真空容器１０４とを備える。イオン源１０２は、主にイオン生成部１０５およびイオン源チャンバ１０６を備える。

【0004】

イオン源１０２で生成したイオンは、導入電極１０７の穴１０８から真空容器１０４の中に導入され、質量分析部１０３で分析される。質量分析部１０３には電源１０９により様々な電圧が印加される。電源１０９による電圧印加のタイミングや電圧値は制御部１１０で制御される。

【0005】

イオン生成部１０５の一般的な詳細構造として、配管１１１によりキャピラリー１１２に試料溶液を導入し、キャピラリー１１２の下流端１１３から電界などによりイオンや液滴を噴霧する。

【0006】

以上のようなイオン源においては、試料溶液が漏れないように配管１１１とキャピラリー１１２を接続することが重要となる。

【0007】

配管１１１とキャピラリー１１２の接続方法が記載された公知例として、非特許文献１がある。この公知例では図２に示すように、ユニオン１１４を介して配管１１１とキャピラリー１１２を接続している。

【0008】

配管１１１およびユニオン１１４については、コネクタ１１５のテーパ部１１６によって内部の溶液をシールする。具体的には、ネジ部１１７によりコネクタ１１５を回し進めることでテーパ部１１６がユニオンの内部のテーパ部１１８に入り込み、テーパ部１１６の径が小さくなり配管１１１の外径に食い込むことで、ユニオン１１４と配管１１１がシールされる。

【0009】

キャピラリー１１２とユニオン１１４はフェラル１１９のテーパ部１２０によって溶液をシールする。具体的には、ネジ部１２１により押しネジ１２２を回し進めることでテーパ部１２０がユニオンの内部のテーパ部１２３に入り込み、テーパ部１２０の径が小さくなり樹脂チューブ１２４の外径に食い込むことで、樹脂チューブ１２４を介してユニオン１１４とキャピラリー１１２がシールされる。樹脂チューブ１２４を介す理由はキャピラリー１１２の外径が小径なためである。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0010】

【文献】「Waters Micromass Quattro Premier Mass Spectrometer Operator's Guide」7.12.2 「Removing the Existing Capillary」および7.12.3「Installing the New Capillary」、[online]、インターネット＜URL:https://www.waters.com/waters/supportList.htm?cid=511442&locale=ja_JP＞

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

しかしながら、従来の技術では、配管およびキャピラリーの接続部分におけるデッドボリュームが大きいという課題があった。

【0012】

たとえば図２のようなテーパ部によるシール方式では、配管１１１の側ではテーパ部１１６とテーパ部１１８が接するシール箇所より下流側に、キャピラリー１１２の側ではテーパ部１２０とテーパ部１２３が接するシール箇所より上流側に、それぞれ微小な隙間が生ずるためデッドボリュームが大きくなる。

【0013】

また、樹脂チューブ１２４を介すシール方式では、シール箇所よりも上流側では、樹脂チューブ１２４とキャピラリー１１２の間にも隙間があるので、デッドボリュームが大きくなる。

【0014】

デッドボリュームがあると試料溶液の入れ替わりに時間が掛かるため、キャリーオーバーなどによる分析性能の低下が起きる恐れがある。また、溶液の置換が困難なデッドボリュームに汚れが堆積し、それによる詰まりなどで部品寿命を縮める可能性もある。

【0015】

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、配管およびキャピラリーの接続部分におけるデッドボリュームをより小さくするイオン源および質量分析計を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0016】

本発明に係るイオン源の一例は、
試料溶液が導入され、イオンまたは液滴を供給するキャピラリーと、
前記キャピラリーに試料溶液を供給する配管と、
を有するイオン源において、
前記キャピラリーは、上流側にキャピラリー上流側端面を有し、下流側にキャピラリー下流側端面を有し、前記キャピラリー上流側端面の外径は前記キャピラリー下流側端面の外径よりも大きく、
前記キャピラリーは、上流側に、前記キャピラリー上流側端面を形成する大径部を有し、前記大径部は、下流側に大径部下流側面を有し、
前記配管は、下流側に配管下流端面を有し、
前記イオン源は、前記キャピラリーを保持するキャピラリー保持部を備え、
前記キャピラリー保持部は、前記キャピラリー下流側端面を通過させることが可能な穴と、前記大径部下流側面を設置することが可能な面とを有し、
前記イオン源は、前記配管を保持する配管保持部を備え、
前記キャピラリー保持部および前記配管保持部は、前記キャピラリー上流側端面と、前記配管下流端面とが接触することにより、前記キャピラリーと前記配管とが接続されるように配置される、
ことを特徴とする。
また、本発明に係る質量分析計の一例は、上述のイオン源を備える。

【発明の効果】

【0017】

本発明に係るイオン源および質量分析計は、配管およびキャピラリーの接続部分におけるデッドボリュームをより小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】一般的な従来の質量分析計の構成図。

【図2】非特許文献１における配管とキャピラリーとの接続を示す図。

【図3】実施例１の質量分析計の構成図。

【図4】実施例１のイオン生成部の構成図。

【図5】図４のイオン生成部の各要素の構成図。

【図6】図５のキャピラリー保持部とキャピラリーを組合せた状態の構成図。

【図7】実施例２のキャピラリーの構成図。

【図8】実施例２の変形例のキャピラリーの構成図。

【図9】実施例２の変形例の配管の構成図。

【図10】図７の構成による耐圧評価の実験結果（時間-圧力プロット）。

【図11】図７の構成による耐圧評価の実験結果（荷重-圧力プロット）。

【図12】実施例３のイオン生成部の構成図。

【図13】実施例４のイオン生成部の構成図。

【図14】実施例５のイオン生成部の構成図。

【図15】実施例６のイオン生成部の構成図。

【図16】実施例６の変形例のイオン生成部の構成図。

【図17】実施例６のイオン生成部の実験構成図。

【図18】実施例６のイオン生成部の実験結果（電流値測定）。

【図19】実施例６のイオン生成部の実験結果（圧力測定）。

【図20】実施例６のイオン生成部の実験結果（流量依存）。

【図21】実施例７のイオン生成部の構成図。

【図22】実施例８のイオン生成部の構成図。

【図23】実施例９のイオン生成部の構成図。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
（実施例１）
実施例１は、弾性力により配管とキャピラリーとを直接に面シールする構成のイオン源および質量分析計である。

【0020】

図３に、実施例１の質量分析計の構成図を示す。質量分析計１は、イオン源２と、質量分析部３などを内部に有する真空容器４とを備える。イオン源２は、イオン生成部５、イオン源チャンバ６、等を備える。

【0021】

質量分析計１は導入電極７および電源９を備える。イオン源２で生成したイオンは、導入電極７の穴８から真空容器４の中に導入され、質量分析部３で分析される。質量分析部３には電源９により様々な電圧が印加される。電源９による電圧印加のタイミングや電圧値は制御部１０で制御される。

【0022】

イオン生成部５は、配管１１およびキャピラリー１２を備える。配管１１がキャピラリー１２に試料溶液を供給し、これによってキャピラリー１２には試料溶液が導入される。キャピラリー１２は、導入された試料溶液のイオンまたは液滴を供給する。キャピラリー１２によるイオンまたは液滴の供給は、たとえばキャピラリー１２の下流端１３（キャピラリー下流側端面）から電界などによって試料溶液を噴霧することによって行われる。イオン生成部５では、試料溶液が漏れないように配管１１とキャピラリー１２を接続している（接続の詳細は後述）。

【0023】

イオン源２には、余分な試料溶液（真空容器４に導入されない液滴や、それらが気化した成分などを含む）が質量分析計１の外部に漏洩しないように、イオン源チャンバ６、真空容器４、およびこれらの接続部分を、密閉状態（または密閉に近い状態）にする場合がある。

【0024】

質量分析計１は、この余分な試料溶液（とくに気化成分）を排出するための排気ポート１４を有しても良い。また、キャピラリー１２の下流端１３の噴霧状態を観察するために、イオン源チャンバ６の一部にガラスなどの透明な部材で構成した窓１５を有しても良い。

【0025】

真空容器４は図３に示すように、内部に複数の真空室１６、１７、１８を備えてもよく、これらの真空室は互いに区切られていてもよい。ただし、その場合にはこれらの真空室は互いに連通しており、たとえば真空室１６と真空室１７とは小径の穴１９を介して連通しており、真空室１７と真空室１８とは小径の穴２０を介して連通している。

【0026】

これらの穴１９、２０および導入電極７の穴８等は、イオンの通り道であり、各々の穴を有する部材（たとえば隔壁。とくに穴の周囲等）に電圧を印加しても良い。その場合は、電圧を印加する部分と、真空容器４の筐体部等との間を、絶縁物（図示せず）などを介して絶縁すると好適である。

【0027】

なお、真空室の数は１以上であればよく、図３よりも多い場合も少ない場合もある。真空室１６、１７、１８は、各々、真空ポンプ２１、２２、２３で排気されて、各々、異なる真空度に保持される。たとえば、各々、数百Ｐａ程度、数Ｐａ程度、０．１Ｐａ以下程度に保持される。

【0028】

真空室１７内には、イオンを収束させながら透過させるイオン輸送部２４が配置される。イオン輸送部２４には多重極電極や静電レンズなどを用いることができる。イオン輸送部２４が配置される場所は真空室１７内に限らず、真空室１６や真空室１８など、その他の真空室に配置されてもよい。イオン輸送部２４には電源９から、高周波電圧、直流電圧、交流電圧などの他、これらを組み合わせた電圧などが印加される。

【0029】

質量分析部３は、たとえばイオン分析部２５および検出器２６を備える。イオンの分離や解離を行うイオン分析部２５には、イオントラップ、四重極フィルター電極、コリジョンセル、飛行時間型質量分析計（ＴＯＦ）などの他、これらを組み合わせた構成などを用いることができる。

【0030】

イオン分析部２５を通過したイオンは検出器２６で検出される。検出器２６には、電子増倍管やマルチチャンネルプレート（ＭＣＰ）などを用いることができる。検出器２６で検出されたイオンは電気信号などに変換される。

【0031】

質量分析計１は制御部１０を備える。検出器２６からの電気信号は、制御部１０に伝達され、制御部１０はイオンの質量や強度などの情報を詳細に分析する事ができる。

【0032】

制御部１０は公知のコンピュータを用いて構成されてもよく、たとえば演算手段および記憶手段を備えてもよい。演算手段はたとえばプロセッサを含み、記憶手段はたとえば半導体メモリおよび磁気ディスクを含む。

【0033】

制御部１０はさらに入出力部を備えてもよい。入出力部は、ユーザーからの指示入力を受け付け、電圧等の制御を行うための制御信号を出力する。制御部１０の記憶手段にはプログラムが格納されていてもよく、制御部１０を構成するコンピュータの演算手段がこのプログラムを実行することにより、コンピュータが制御部１０としての機能を実現してもよい。

【0034】

電源９から質量分析部３に供給する電圧には、高周波電圧、直流電圧、交流電圧などの他、これらを組み合わせた電圧などを用いることができる。

【0035】

次に、実施例１に係るイオン源２の特徴の１つである、配管とキャピラリーとの直接接続方式について説明する。図４に、実施例１に係るイオン源２におけるイオン生成部５の構成を示す。

【0036】

図４のイオン生成部５は、配管１１を保持する配管保持部２７と、キャピラリー１２と、キャピラリー１２を保持するキャピラリー保持部２８とを備える。配管保持部２７、キャピラリー１２およびキャピラリー保持部２８は、容易に組立ておよび分解することが可能である。それぞれの要素について図５で以下説明する。なお、図３には配管１１およびキャピラリー１２の内部空洞を破線で示すが、図４以降はこれらの内部空洞の図示を省略する。

【0037】

図５（Ａ）に配管保持部２７を示す。配管保持部２７は、配管固定部２９、ナット部３０および圧縮バネ３１を備える。圧縮バネ３１により、配管固定部２９が、ナット部３０に対して下方向に（すなわちキャピラリー保持部２８に向かって）付勢される。なお図５（Ａ）は圧縮バネ３１が完全に伸長した状態の例であり、配管保持部２７およびキャピラリー保持部２８が互いに組み付けられると圧縮バネ３１は圧縮される。なお本実施例では配管保持部２７が圧縮バネ３１を備えるが、これに代えて、またはこれに加えて、キャピラリー保持部２８が圧縮バネを備えてもよい。

【0038】

配管固定部２９には配管１１が固定される。配管固定部２９と配管１１との固定は、接着、カシメ、など様々な固定手段により実現することができる。

【0039】

配管固定部２９とナット部３０とは圧縮バネ３１を介して組立てられるが、圧縮バネ３１のバネ力で配管固定部２９が飛び出さないようにストッパ３２があることが望ましい。ストッパ３２としては、図５（Ａ）のような段差に限らず、止め輪、ピン、など様々な機構を用いることができる。ナット部３０には内側にメネジ部３３を有している。

【0040】

配管保持部２７には、配管１１が固定される。配管１１は、下流側に下流端面３４（配管下流端面）を有する。下流端面３４は面シールが可能な構造に形成される。とくに、面シールの精度が向上させるために、下流端面３４において面粗さを低減するように加工されていることが望ましい。

【0041】

図５（Ｂ）にキャピラリー１２を示す。キャピラリー１２は、外径が比較的小さい小径部１２ａと、小径部１２ａより外径が大きい大径部１２ｂとを備える。小径部１２ａの外径は、たとえば１ｍｍ程度以下または１ｍｍ以下とすることができ、大径部１２ｂの外径は、たとえば１ｍｍ程度以上または１ｍｍ以上とすることができる。

【0042】

小径部１２ａは、たとえば第１の外径を有する小径部材３５によって構成される。大径部１２ｂは、たとえば第１の外径より大きい第２の外径を有する大径部材３６によって構成される。キャピラリー１２は、大径部材３６を上流側（図５（Ｂ）における上側）に有する。大径部材３６は内部に円筒状の貫通空洞を有し、貫通空洞に小径部材３５が挿通されて固定される。

【0043】

小径部材３５と大径部材３６とは一体化した構成が望ましく、一体化の方法としては各種溶接、各種接着など様々な方式を用いることができる。溶接の一例としてロウ付け方式を利用する場合、大径部材３６の内周に小径部材３５を挿通して、大径部材３６の部材の内周面と小径部材３５の外周面との隙間部分にロウ材を流し込み溶接をするのが望ましい。このようにすると、キャピラリー１２の全長に渡って小径部材３５が延びるため、キャピラリー１２の内径が均一化できるからである。

【0044】

キャピラリー１２の内径は、試料溶液の流量などの条件にもよるが、たとえば１ｍｍ程度以下または１ｍｍ以下とすることができる。

【0045】

キャピラリー１２は、上流側にキャピラリー上流側端面を有する。本実施例では図５（Ｂ）等に示すように、キャピラリー上流側端面は大径部１２ｂの上流側端面３７によって形成される。上流側端面３７は面シールが可能な構造に形成される。とくに、面シールの精度が向上させるために、上流側端面３７は面粗さを低減するように加工されていることが望ましい。

【0046】

前述の通り、大径部材３６の外径を１ｍｍ程度以上または１ｍｍ以上とする事で、キャピラリー１２の抜き差しなどの取り扱い易さや上流側端面３７による面シール範囲を確保できる。

【0047】

大径部材３６は、上流側端面３７に対して反対側（下流側）に、下流側の面として、下流側面３８を有する。下流側面３８は、大径部における下流側の面（大径部下流側面）を構成する。

【0048】

また、キャピラリー１２の下流端１３において、キャピラリー１２の下流側端面が形成される。上流側端面３７の外径は、下流端１３の外径よりも大きい。

【0049】

図５（Ｃ）にキャピラリー保持部２８を示す。キャピラリー保持部２８はキャピラリー１２の小径部材３５が挿入される穴３９を有する。穴３９は、キャピラリー１２の下流端１３を通過させることができるように構成される。穴３９の上流側入り口にテーパ部４０を有することで、キャピラリー１２の下流端１３を上流側から滑らかに挿入することができる（ただしテーパ部４０を備えない構成とすることも可能である）。

【0050】

キャピラリー保持部２８は、下流側面３８と対峙する設置面４１を有する。設置面４１は、大径部材３６の下流側面３８を設置することができるように構成される。また、キャピラリー保持部２８は、オネジ部４２を有する。なお、本実施例によれば、キャピラリー１２を交換する際に、キャピラリー保持部２８をイオン源チャンバ６などの筐体部分から取り外す必要はない。

【0051】

次に、キャピラリー１２の交換作業における取付け工程について説明する。取付け工程では最初に、キャピラリー保持部２８の穴３９に、上流側からキャピラリー１２の小径部材３５の下流端１３を挿入し、下流側面３８を設置面４１に当接させる（図６の状態）。

【0052】

その後、図６の状態の構成のキャピラリー保持部２８のオネジ部４２に対して、配管保持部２７のメネジ部３３を螺合させる。螺合において、キャピラリー保持部２８に対してナット部３０を回転させる。

【0053】

ナット部３０を回転（（例）右ネジの場合は時計回り）させていくと、ナット部３０の内周下端面３０ａがキャピラリー保持部２８の設置面４１に近付いていき、最終的には両者が当接してナット部３０をこれ以上回転できない状態になる（図４の状態）。つまりメネジ部３３とオネジ部４２が、配管保持部２７とキャピラリー保持部２８を結合する結合手段となる。

【0054】

このように、本実施例では、ナット部３０の内周下端面３０ａは配管保持部２７の位置決め面として作用し、キャピラリー保持部２８の設置面４１はキャピラリー保持部２８の位置決め面として作用する。これらの位置決め面が接合されることにより、配管保持部２７およびキャピラリー保持部２８が互いに位置決めされて固定される。

【0055】

また、本実施例では、キャピラリー保持部２８および配管保持部２７が直動機構を介して結合され、とくに、直動機構は螺合機構である。

【0056】

圧縮バネ３１によって、キャピラリー保持部２８および配管固定部２９が互いに向かって付勢されて結合される。これによって、配管１１の下流端面３４とキャピラリー１２の上流側端面３７が接触する。さらにナット部３０を回転させていくと、配管１１の下流端面３４とキャピラリー１２の上流側端面３７とが接触した状態で、圧縮バネ３１の長さが徐々に縮められ、配管１１とキャピラリー１２とが互いに向かって押し付けられる。これによって配管１１とキャピラリー１２との間にシール力が発生する。

【0057】

このように、キャピラリー保持部２８および配管保持部２７は、大径部材３６の上流側端面３７と、配管１１の下流端面３４とが接触することにより、キャピラリー１２と配管１１とが接続されるように配置される。

【0058】

さらにナット部３０を回転させると、ナット部３０の内周下端面３０ａがキャピラリー保持部２８の設置面４１に当接し、この時点でナット部３０をそれ以上回転できなくなる。ここで、圧縮バネ３１の圧縮される長さは、ナット部３０の形状等によって決定される一定の長さとなるので、圧縮バネ３１が発生するシール力は一定となる。このため、配管１１またはキャピラリー１２の交換等のために発生する組み付け作業の都度、配管１１の下流端面３４とキャピラリー１２の上流側端面３７の間に、毎回同じシール力を与えることができる（高いシール再現性）。

【0059】

非特許文献１に記載される従来のイオン源（図２）では、コネクタ１１５や押しネジ１２２の締め付け作業の結果は作業者の熟練度に依存する。たとえば、スパナなどの工具や手締めなどで行うため、リークを生じたり、締めすぎにより部品が破損したりする恐れもある。これに対し、本実施例に係るイオン源は、作業者の熟練度に関わらず、それ以上回転できなくなる位置までナット部３０を回転させることにより一定の位置決めを実現することができる。

【0060】

また、非特許文献１に記載される従来のイオン源（図２）では、配管１１１やキャピラリー１１２をユニオン１１４に押付けながらコネクタ１１５や押しネジ１２２の締め付ける必要があるため、キャピラリー１１２の長手方向の固定位置が再現せずに、下流端１１３と導入電極１０７の穴１０８との位置関係がばらつき、分析感度の再現性を低下させる要因になり得る。

【0061】

これに対し、本実施例に係るイオン源によれば、ナット部３０の内周下端面３０ａとキャピラリー保持部２８の設置面４１とが当接するため、キャピラリー１２の下流端１３の位置Ｚ１（図４参照、たとえばキャピラリー１２の軸方向における下流端１３から導入電極７の穴８の中心までの距離）が毎回同じになる（高い組立て再現性）。これにより分析感度のばらつきも小さくなる（高い分析再現性）。また、配管１１の下流端面３４とキャピラリー１２の上流側端面３７が直接接触するのでデッドボリュームが無くなる。このため、たとえば試料溶液の入れ替わり時間が短くなり、キャリーオーバーも低減できる（高い分析安定性）。

【0062】

キャピラリー１２の交換作業における取外し工程については、基本的に上記手順を逆に行うだけなので、説明は省略する。以上から、本構成におけるキャピラリー１２の交換は、配管保持部２７の取付け（または取外し）、キャピラリー１２の取付け（または取外し）の２工程のみで、イオン生成部５をイオン源チャンバ６などの筐体部分から取外す必要は無い（高いメンテナンス性）。

【0063】

一般的に、イオン源におけるキャピラリーの内径は非常に小径なので、試料溶液の種類や使用条件などによっては頻繁にキャピラリーを交換する必要がある。この点で、非特許文献１に記載される従来のイオン源では、交換作業が煩雑な上、組立て再現性も低下する。従来の構成における実際の交換の手順を、図２を用いて大まかに説明すると、まずコネクタ１１５を緩めて配管１１１を外した後、イオン生成部１０５をイオン源チャンバ１０６などの筐体部分から引き抜く。その後、押しネジ１２２を緩めてキャピラリー１１２を外す。新品のキャピラリー１１２をセットする作業は基本的に上記作業の逆である。このような複雑な工程と比較すると、本実施例に係るイオン源は、より簡易な工程でキャピラリー１２の交換を行うことができる。

【0064】

本実施例では、キャピラリー保持部２８にオネジ部４２を、配管保持部２７にメネジ部３３を有する構成を説明したが逆でも良い。

【0065】

また、本実施例では、ナット部３０の内周下端面３０ａとキャピラリー保持部２８の設置面４１とが位置決め面として作用し、これらの当接によりシール力や位置の再現性を実現する構成を説明したが、他の部分を位置決め面としてもよいし、他の部材を用いて位置決め面以外の構成によりシール力や位置を規制しても良い。たとえば、ナット部３０の外周下端面３０ｂがキャピラリー保持部２８のオネジ部４２の下端面と当接するまでナット部３０が回転可能であり、これらが当接した時点でナット部３０がそれ以上回転できない状態となるよう構成されてもよい。

【0066】

また本実施例では、ナット部３０によるネジ回転による直進運動を用いた結合手段を説明した。このような構成によれば構成を簡素にすることができるが、結合手段は他の機構を用いて実現することもできる。手動であってもよいし、自動であってもよい。レバー機構、カム機構、ラックギア機構、スライド機構、ピストン機構など、各種直動機構を用いる事もできる。また、直動機構を用いると構成が簡素となるが、直動機構以外の機構を用いてもよい。

【0067】

また本実施例では、利便性の高い圧縮バネ３１によるバネ力を利用した構成を説明したが、圧縮量により荷重を定義できればその他の弾性体を利用する事も可能である。例えば、ネジ回転のトルク量（つまりシール力）を管理できるようなシステムを利用できれば、圧縮バネ３１を用いない構成とすることも可能である。たとえば圧縮コイルバネ以外の圧縮バネであってもよく、引張バネであってもよく、ゴムまたは他の弾性部材であってもよく、複数の部材を用いて構成される弾性構造であってもよい。

【0068】

以上で述べた実施例１の構成では、バネ力により配管とキャピラリーとを直接的に接合させて面シールできるため、配管およびキャピラリーの接続部分におけるデッドボリュームをなくし、または小さくすることができる。さらに、高い分析安定性、高い分析再現性、高いメンテナンス性が可能なイオン源および質量分析計が実現できる。

【0069】

（実施例２）
実施例２は、キャピラリーまたは配管の端面（シール面）に樹脂層を有するイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0070】

図７に本実施例に係るキャピラリー１２の構成を示す。図７のキャピラリー１２は、上流側端面３７が樹脂層４４によって構成されているという特徴を有する。上流側端面３７に樹脂層４４を有すると、樹脂特有の柔軟さによる高いシール性能を実現できる利点がある。

【0071】

また、樹脂層４４を設けることにより、配管１１とキャピラリー１２との接続部分における劣化の進行を調整することができる。たとえば、キャピラリー１２に詰まり等が発生しやすい分野では、キャピラリー１２の交換頻度が配管１１の交換頻度より多いと想定される。このような場合には、配管１１の下流端面３４よりも硬度が低い樹脂層４４をキャピラリー１２に設けることで、配管１１側の劣化を遅延させることができ、すなわち、交換頻度が低い側の部材（長寿命にしたい側の部材）を長持ちさせることができる。

【0072】

樹脂層４４には各種樹脂を用いることが可能であるが、耐薬品性に優れたふっ素系樹脂（ＰＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、など）やポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）などを用いることが、より望ましい場合が多い。

【0073】

樹脂層４４は穴４５を有する。配管１１の内径およびキャピラリー１２の内径より穴４５の内径を大きくすることで、配管１１とキャピラリー１２の中心軸が多少ずれてもそれを吸収できる。

【0074】

樹脂層４４の厚さは、１ｍｍ程度以下または１ｍｍ以下とすることができる。樹脂層４４は大径部材３６と接着や溶着などで一体化してもよいし、はめ合い部による圧入またはカシメなどによって固定してもよい。

【0075】

図８は、実施例２の変形例に係るキャピラリー１２の構成を示す。穴４５の部分での溶液の流れをスムーズにするために、このような構成にしても良い。図８の樹脂層４４の穴４５は、上流側の開口部４６が下流側の開口部４７よりも大きいことが特徴である。これによりスムーズな流れを実現できる。

【0076】

図８の構成においても、図７と同様に、配管１１とキャピラリー１２の中心軸のずれの吸収が可能となる。さらに、図８の構成によれば、配管１１の内径がキャピラリー１２の内径よりも大きい場合に、それぞれの内周を滑らかに接続することができる。反対に配管１１の内径がキャピラリー１２の内径よりも小さい場合には、上流側の開口部４６を下流側の開口部４７よりも小さくしても良い。

【0077】

図９は、実施例２の変形例に係る配管１１の構成を示す。このように、配管１１の下流端面３４を、穴４９を有した樹脂層４８で構成しても良い。

【0078】

なお、図９の配管１１は、図７のキャピラリー１２または図８のキャピラリー１２とともに用いてもよいし、実施例１のキャピラリー１２とともに用いてもよい。すなわち、大径部材３６の上流側端面３７および配管１１の下流端面３４のうち少なくとも一方に、樹脂層を有するように構成することができる。

【0079】

以上で述べた実施例２の構成では、シール面に樹脂層を有するため、樹脂特有のシール性能を実現でき、かつ、中心軸ずれを吸収可能なイオン源および質量分析計が実現できる。

【0080】

図１０に、図７に示す構成のキャピラリー１２と、実施例１の構成の配管１１とを用いて耐圧評価を行った結果について述べる。配管１１の構成は、下流端面３４がステンレス鋼で、キャピラリー１２との接触部が外径１．６ｍｍ、内径０．３ｍｍのリング形状とした。一方キャピラリー１２の構成は、上流側端面３７にＰＥＥＫ樹脂の樹脂層４４を有する構成とし、圧力を上昇させるためにキャピラリー１２の内径は封止した。

【0081】

この条件で、配管１１に溶液（水：メタノール＝１：１）を流量０．１ｍＬ／ｍｉｎで送液したときの圧力を、圧縮バネ３１によるバネ力（シール力）ごとにプロットした結果を図１０に示す。横軸は時間であり、内径が封止されているので時間を追うごとに圧力が上昇し、シール力よりも内圧が上回ると漏れが生じ、時間－圧力の直線関係からプロットが逸脱する。

【0082】

図１１に、逸脱する直前のポイント（圧力）と、圧縮バネ３１による荷重との関係をプロットした結果を示す。この結果から、図７の構成により、一般的なイオン源としては充分な４０ＭＰａの耐圧が得られていることが分かる。なお図１０では図示の都合上一部のデータを省略しており、図１０のデータと図１１のデータとは１対１に対応するものではない。

【0083】

（実施例３）
実施例３は、キャピラリー保持部に回転防止ピンを有するイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0084】

図１２は、実施例３のイオン生成部５の構成図である。実施例３のイオン生成部５は、キャピラリー保持部２８に回転防止ピン５０を有するという特徴を有する。回転防止ピン５０は、キャピラリー保持部２８に固定されるかまたはキャピラリー保持部２８と一体に形成され、たとえばキャピラリー１２の軸と平行に延びる円筒形状に構成される。図１２には２本の回転防止ピン５０が示されている。

【0085】

配管固定部２９には回転防止ピン５０に対応する穴または溝を有し、この穴または溝に回転防止ピン５０が係合するので、回転防止ピン５０は軸と平行でない方向への移動が規制される。このように、回転防止ピン５０は、配管１１とキャピラリー１２との相対的な回転（たとえばキャピラリー１２の軸周りの相対的回転）を防止する回転防止機構として機能する。回転防止ピン５０がガイドとなるので、ナット部３０の回転動作につられて配管１１がキャピラリー１２に対して相対的に回転するのを防ぐことができる。

【0086】

なお、配管１１がキャピラリー１２に対して相対的に回転してしまうと、シール面である下流端面３４と上流側端面３７とが接触しながら回転することになるので、両者のシール面の劣化を早める恐れがある。これに対して本実施例に係るイオン生成部５によれば、たとえばキャピラリー１２を高頻度に交換する場合において、回転防止ピン５０による擦れを防止することで配管１１の寿命を延ばすことが可能となる。

【0087】

本実施例では、キャピラリー保持部２８に回転防止ピン５０を設ける構成を説明したが、配管固定部２９に回転防止ピン５０を設けてもよく、それに対応する穴または溝をキャピラリー保持部２８に設けてもよい。

【0088】

また、本実施例では回転防止機構を回転防止ピン５０により構成したが、回転防止機構は他の構造または部材によって構成してもよく、たとえば、キーとキー溝、突起とガイド溝、など、様々な回転防止機構を用いる事もできる。

【0089】

以上で述べた実施例３の構成では、回転防止ピンにより部品寿命が長いイオン源および質量分析計が実現できる。

【0090】

（実施例４）
実施例４は、配管およびキャピラリーの中心軸の芯出し（軸整合）をより容易にする構成のイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0091】

図１３は、実施例４のイオン生成部５の構成図である。図１３のイオン生成部５では、配管固定部２９が内周にはめ合い部５１を有し、このはめ合い部５１によりキャピラリー１２の大径部材３６がガイドされる構成であるという特徴を有する。

【0092】

配管固定部２９は配管１１の外径もガイドしているので、キャピラリー１２と配管１１の中心軸の芯出しがより容易となる。配管固定部２９に対するキャピラリー１２の抜き差しが容易になるように、配管固定部２９にテーパ部５２があると望ましい。テーパ部５２は単純な面取りなどでも良い。テーパ部や面取りはキャピラリー１２の大径部材３６に施しても良い（その場合は上流側が尖るようなオステーパ形状となる）。

【0093】

本実施例では、はめ合い部５１による芯出し構成を説明したが、その他、ピン、溝、スリットなど、様々な芯出し構成を用いる事も可能である。

【0094】

以上で述べた実施例４の構成では、配管とキャピラリーの芯出しがより容易なイオン源および質量分析計が実現できる。

【0095】

（実施例５）
実施例５は、キャピラリー保持部にコンタクトピンを有するイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0096】

図１４は、実施例５のイオン生成部５の構成図である。図１４のイオン生成部５は、キャピラリー保持部２８にコンタクトピン５３を有するという特徴を有する。コンタクトピン５３は導電体であり、たとえば銅またはステンレス等の金属から構成される。

【0097】

本実施例のイオン生成部５では、キャピラリー１２およびキャピラリー保持部２８も導電体（たとえば金属）で構成されており、キャピラリー１２と導入電極７との間に電圧を印加して使用することができる。また、本実施例では、配管保持部２７の配管固定部２９およびナット部３０も導電体（たとえば金属）で構成される。このように、すなわち、本実施例では、配管保持部２７およびキャピラリー保持部２８はいずれも導電部材を備える。このような使用形態は、ＥＳＩイオン源において一般的に用いられる。

【0098】

図１４の構成では、キャピラリー保持部２８を介してキャピラリー１２に電圧が印加される。電源５４から配線５５を経由してキャピラリー保持部２８部に電圧が印加される。キャピラリー保持部２８にはキャピラリー１２が接触しているため、キャピラリー１２にも電圧が印加される。

【0099】

キャピラリー１２に導入された試料溶液は、電源５４から印加した電圧によってイオン化され、下流端１３から噴霧される（静電噴霧）。電源５４による電圧印加のタイミングおよび電圧値は制御部１０で制御される。キャピラリー１２に印加する電圧の値は、導入電極７に対して、たとえば絶対値が１ｋＶ～１０ｋＶとなる範囲内である。

【0100】

なお、正イオンを生成する場合、キャピラリー１２には、導入電極７に対して＋１ｋＶ～＋１０ｋＶの電圧が印加される。負イオンを生成する場合、キャピラリー１２には、導入電極７に対して－１ｋＶ～－１０ｋＶの電圧が印加される。試料溶液の流量は、キャピラリー１２の内径に依存するが、たとえば１ｎＬ／分～１ｍＬ／分の範囲内に設定される。

【0101】

ここで、比較のために、図１４においてコンタクトピン５３を省略した構成を想定する。配管固定部２９とキャピラリー１２とが互いに直接的に接触していないので、そのような構成では電位的なフロートにより問題が発生する場合がある。たとえば、配管固定部２９および圧縮バネ３１が金属製であって、かつ、配管１１およびナット部３０の素材が絶縁物である場合には、配管固定部２９および圧縮バネ３１の電位がキャピラリー保持部２８およびキャピラリー１２の電位に対してフロートする恐れがある。このように電位的にフロートした部材があると、分析が不安定となる可能性がある。

【0102】

これに対し、本実施例では、コンタクトピン５３が配管固定部２９およびキャピラリー保持部２８の双方に接触しているので、配管固定部２９とキャピラリー保持部２８とが導通して同電位となり、フロートした部材が無くなる。

【0103】

このように、コンタクトピン５３は、配管保持部２７およびキャピラリー保持部２８それぞれの導電部材の電位を互いに等しくするための手段として機能する。

【0104】

コンタクトピン５３は内部にバネ（図示せず）などを有してもよく、このバネの作用でプローブ部５６が長手方向に出入りするよう構成してもよい。配管保持部２７を取付けた時に、内部バネの作用でプローブ部５６が配管固定部２９に押し付けられることで、配管保持部２７とキャピラリー保持部２８とが同電位になる。

【0105】

本実施例では、キャピラリー保持部２８がコンタクトピン５３を有する構成を説明したが、配管固定部２９がコンタクトピン５３を有する構成としても良い。コンタクトピン５３の他、差込み式のソケット、板バネ、など、両者を同電位にできる様々な構成を用いる事も可能である。

【0106】

以上で述べた実施例５の構成では、コンタクトピンにより電位的にフロートする部品が無いイオン源および質量分析計が実現できる。

【0107】

（実施例６）
実施例６は、キャピラリー保持部がガス噴霧管を有するイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0108】

図１５は、本実施例のイオン生成部５の構成図である。本実施例のイオン生成部５は、キャピラリー保持部２８にガス噴霧管５７を有するという特徴を有する。ガス導入口５８から導入されたガスは、キャピラリー１２の小径部材３５の外側に配置したガス噴霧管５７の開口部５９から噴霧される。図１５ではキャピラリー保持部２８とガス噴霧管５７が一体化した構成を説明しているが、これらはそれぞれ別の構成部品になっても良い。

【0109】

ＥＳＩイオン源では、試料溶液の流量条件によっては、噴霧ガスを利用する場合がある。ＥＳＩ方式のイオン生成原理の過程では、試料溶液の液滴が分裂を繰り返し、最終的に非常に微細な液滴になりイオン化する。イオン化の過程で充分に微細になる事ができなかった液滴には、中性液滴や帯電液滴などがある。これらを気化または蒸発させることでイオン化効率が向上する可能性がある。このためにガス噴霧管５７による噴霧ガスを利用することができる。

【0110】

噴霧ガスの流量は、たとえば０．５～１０Ｌ／ｍｉｎの範囲内で、窒素やアルゴンなどの不活性ガスを使用することができる。さらに液滴の気化を強化する場合は、さらに外側から加熱ガス（たとえば８００℃程度以下または８００℃以下）を噴霧する方式（図示せず）を用いることもある。加熱ガスの流量はたとえば０．５～５０Ｌ／ｍｉｎの範囲内で、同じく窒素やアルゴンなどの不活性ガスを使用することができる。

【0111】

噴霧ガスを用いる構成では、ガスをシールするために、キャピラリー１２の大径部材３６にシール材６０が配置される。シール材６０には、Ｏリングやガスケットなど、様々な構成を用いることができる。本実施例では大径部材３６にシール材６０を配置する構成を説明したが、キャピラリー保持部２８にシール材６０を配置する構成でも良い。

【0112】

本実施例では、実施例１のようにキャピラリー１２の下流端１３の位置Ｚ１（図４）だけでなく、ガス噴霧管５７の先端からキャピラリー１２が突出している突出量Ｚ２の再現性も高い。

【0113】

以上で述べた実施例６の構成では、ガス噴霧管により試料溶液の気化効率が高いイオン源および質量分析計が実現できる。

【0114】

図１６は、実施例６の変形例の構成図である。この例では、キャピラリー保持部２８の内周にはめ合い部６１が形成され、キャピラリー１２の大径部材３６の一部の外周が、はめ合い部６１に嵌合する。

【0115】

図１５では、大径部材３６のうち面シールの位置にシール材６０を配置していたが、図１６ではテーパ部４０に対応する位置にシール材６０を配置している（軸シールの一種）。はめ合い部６１に対応する位置にシール材６０を配置する完全な軸シール構成としても良いが、図１６のようにテーパ部４０でのシールとすると、キャピラリー１２の抜き差し時のシール材６０の摩擦抵抗が比較的小さくなり、メンテナンス性が向上できる。

【0116】

図１５ではシール材６０を潰す力にも圧縮バネ３１のバネ力を使用するため、その分だけシール力をロスすることになる。図１６の構成でもシール力のロスが発生するが、斜めシールなので図１５の構成よりもロスが小さい。

【0117】

このような軸シール方式を用いる場合、シール材６０は、大径部材３６でなくキャピラリー保持部２８に配置することも可能である。しかしながら、そのような構成では、キャピラリー１２の挿入箇所にシール材６０が存在するため、キャピラリー１２の挿入時の引っ掛かりの原因になり得る。このため、キャピラリー１２にシール材６０を配置する方がより望ましい。

【0118】

図１６に示すように、キャピラリー１２の長手方向（軸方向）の座標軸をＺ軸と定義し、Ｚ軸にそれぞれ直交で、かつ、両者同士が直交関係である方向の座標軸をそれぞれＸ軸、Ｙ軸と定義する。とくに、図１６の紙面下方向をＺ軸正方向、紙面手前方向をＹ軸正方向、紙面右方向をＸ軸正方向とする。イオンがキャピラリー１２の下流端１３から導入電極７に向かって進行する際の方向は、大まかにＸ軸に沿った方向となる。

【0119】

図１６のようにはめ合い部６１があることで、Ｘ軸方向およびＹ軸方向における位置を規制できるため、取付け位置の再現性が向上する。

【0120】

次に、ガス噴霧管５７の先端からのキャピラリー１２の突出量Ｚ２の再現性の重要性について説明する。図１７に示した構成で突出量Ｚ２による電流検出の実験を行った。導入電極７の穴８の中心（入口位置）の座標を原点（Ｘ，Ｙ，Ｚ）＝（０，０，０）と定義する。原点からガス噴霧管５７の先端までのＺ軸方向距離Ｚを１０ｍｍとし、原点からキャピラリー１２の軸までのＸ軸方向距離Ｘを５ｍｍとする。なお原点からキャピラリー１２の軸までのＹ軸方向距離は０ｍｍとした（とくに図示しない）。

【0121】

実験は、試料溶液を供給せず、ガスも噴霧しない状態で行った。この条件で、ガス噴霧管５７およびキャピラリー１２に、導入電極７に対して電圧５ｋＶを印加した時に、ガス噴霧管５７およびキャピラリー１２と導入電極７と間に流れる電流値を電流計で検出した結果を図１８に示す。

【0122】

図１８の結果の通り、突出量Ｚ２に応じて検出電流値が大きく異なることが分かる。電流値は電界の強さ、つまり分析感度に関係するため、高い分析再現性を得るには、突出量Ｚ２の再現性の高い組立てが必要であることが示されている。

【0123】

次に、図１６の構成で耐圧評価を行った結果について述べる。配管１１の構成は、下流端面３４をＰＥＥＫ樹脂で構成し、キャピラリー１２との接触部をリング形状とし、このリング形状の外径を１．６ｍｍ、内径を０．８ｍｍとした。

【0124】

一方キャピラリー１２の構成は、上流側端面３７をステンレス製とし、圧力を上昇させるためにキャピラリー１２の内径は封止した。この条件で、配管１１に溶液（水：メタノール＝１：１）を流量０．１ｍＬ／ｍｉｎで送液したときの耐圧と圧縮バネ３１の荷重の関係をプロットした結果を図１９に示す。

【0125】

図１９ではシール材６０の有無で比較している。シール材６０がある構成での実験結果（「Ｏリング有」）に比べ、シール材６０が無い構成での実験結果（「Ｏリング無」）では、小さい荷重で高い耐圧が得られた。この結果から、前述の通り、シール材６０を潰す力が必要となるためバネ力がロスしていると判断できる。

【0126】

本実験では、シール材６０にＯリング（内径３ｍｍ、線径１ｍｍ）使用し、テーパ部４０の角度は３０度で、Ｏリングの潰し代は１５％とした（すなわち、Ｏリングを配置するための溝の深さを、Ｏリングの線径の８５％とした）。同じ潰し代で図１５のような面シールとした場合、Ｏリングを潰すための力が斜め方向に必要となり、たとえば約４倍の潰し力を必要とするため、さらにバネ力をロスすることになる。

【0127】

図１９の「Ｏリング有」と同じ実験構成で、キャピラリー１２の内径に封止をしないで、実際に溶液（水：メタノール＝１：１）を流したときの流量による平均圧力をプロットした結果を図２０に示す。

【0128】

この実験は、キャピラリー１２の長さを１６８ｍｍ、内径を０．１ｍｍとした条件で行っている。キャピラリー１２の下流端１３から実際に流出した溶液を回収し測定した実測液量と、設定流量および通液時間から算出した溶液量の理論値（算出液量）との比率（実測液量／算出液量）も合わせてプロットした。図２０に示す通り、流量と圧力の直線性は良好である。また、溶液量の実測値と理論値は、１に非常に近い値が維持されており、溶液の漏れなどが無いことが確認できた。

【0129】

（実施例７）
実施例７は、キャピラリー保持部が二重構造で構成されるイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0130】

図２１は、実施例７のイオン生成部の構成図である。本実施例では、イオン生成部５のキャピラリー保持部２８は、内部が二重構造になっているという特徴を有する。たとえば、キャピラリー保持部２８は、外側部材２８ａおよび内側部材２８ｂを備える。内側部材２８ｂにより、キャピラリー１２の挿入経路からガス導入口５８が直接見えない構造が実現できる。すなわち、内側部材２８ｂにより、穴３９とガス導入口５８とが隔てられており、キャピラリー１２が挿入時にガス導入口５８またはその周辺に接触しないようになっている。

【0131】

これにより、キャピラリー１２を穴３９に挿入する時に、ガス導入口５８に引っ掛かるのを防止することができる。このような二重構造であっても、内側部材２８ｂの外周の空間６３を介してガス導入口５８とガス噴霧管５７の内部空洞とが連通しているので、ガスが流れる構造が実現できる。

【0132】

空間６３により穴３９とガス噴霧管５７の内径が隔てられているが、ガス噴霧管５７の内径の上流側入り口に、穴３９よりも大きな開口部６４を持つテーパ部６５を設けることで、キャピラリー１２をスムーズに挿入できる。

【0133】

本実施例では、図２１の構成を説明したが、キャピラリー１２の挿入経路からガス導入口５８が直接見えない構成（すなわち、キャピラリー１２が挿入時にガス導入口５８またはその周辺に接触しない構成）であれば、具体的構成は図２１の限りではない。

【0134】

以上で述べた実施例７の構成では、キャピラリーをスムーズに挿入できるイオン源および質量分析計が実現できる。

【0135】

（実施例８）
実施例８は、キャピラリー保持部の設置面がテーパ面で構成されるイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0136】

図２２は、実施例８のイオン生成部５の構成図である。図２２（Ａ）はキャピラリー保持部２８にキャピラリー１２をセットした状態を示し、図２２（Ｂ）はキャピラリー１２の構成を示し、図２２（Ｃ）はキャピラリー保持部２８の構成を示す。

【0137】

本実施例のイオン生成部５は、図２２に示すように、キャピラリー保持部２８の設置面４１が、テーパ部４０によって構成されるという特徴を有する。これに合わせて、キャピラリー１２の下流側面３８もテーパ形状となっている。

【0138】

図２２（Ａ）のようにテーパ面同士のセットでも、キャピラリー１２のＺ軸方向の位置は規制できるので、実施例１と同様の効果が得られる（なお座標系の定義は図１６と同様である）。また、テーパ面同士の嵌合によりＸ軸方向およびＹ軸方向の位置も規制可能であり（すなわち軸を一致させることが可能であり）、結果としてＸＹＺ軸すべての位置を規制可能なので、部品形状を単純化できる。

【0139】

以上で述べた実施例８の構成では、テーパ面での位置決めにより部品形状を単純化できるイオン源および質量分析計が実現できる。

【0140】

（実施例９）
実施例９は、キャピラリー保持部にバネを有するイオン源および質量分析計である。簡便のため、実施例１との相違点を中心に説明する。

【0141】

図２３は、実施例７のイオン生成部の構成図である。図２３のイオン生成部５は、キャピラリー保持部２８が２つの部材からなり（たとえば外側部材６７および内側部材６８を備え）、これら２つの部材が圧縮バネ６６を介して組み付けられるという特徴を有する。

【0142】

図２３のキャピラリー保持部２８は、外側部材６７と内側部材６８とが圧縮バネ６６を介した状態で構成されている。これにより実施例１と同様に、ナット部３０を回転させて配管保持部２７とキャピラリー保持部２８とを組付けた時に、圧縮バネ６６の作用により配管１１の下流端面３４とキャピラリー１２の上流側端面３７の間にシール力を与えることができる。

【0143】

キャピラリー保持部２８は、外側部材６７と内側部材６８とに分かれているので、本実施例ではナット部３０の内周下端面３０ａを受ける面６９と、キャピラリー１２の大径部材３６の下流側面３８を受ける設置面４１は異なる。

【0144】

圧縮バネ６６のバネ力で内側部材６８が上流側に飛び出さないように、外側部材６７にストッパ７０を設けることが望ましい。ストッパ７０としては、図２３のような段差の他、止め輪、ピン、など様々な機構を用いることができる。

【0145】

ナット部３０の内周下端面３０ａと配管１１の下流端面３４との、Ｚ軸方向の位置関係Ｚ３が一定であれば、キャピラリー１２の下流端１３の位置Ｚ１（図４参照）も一定の位置になる。

【0146】

また、外側部材６７の穴７１の上流側開口部７２の径を、内側部材６８の穴３９の径よりも大きくすることで、キャピラリー１２をスムーズに挿入できる。

【0147】

本実施例では、キャピラリー保持部２８が圧縮バネ６６を含む機構を有するため、配管保持部２７にそのような機構を設ける必要がなく、配管保持部２７が軽量化される。このため、キャピラリー１２の交換時に、実際に着脱する部分が軽量化され、メンテナンス性が向上する。

【0148】

以上で述べた実施例９の構成では、キャピラリー保持部２８に圧縮バネ６６を有することで配管保持部を軽量化できるので、メンテナンス性が向上するイオン源および質量分析計が実現できる。

【0149】

以上、説明してきた各実施例の装置構成については、各々の装置構成の特徴要素を組み合わせた装置形態においても、本発明の効果が得られる。

【符号の説明】

【0150】

１…質量分析計
２…イオン源
５…イオン生成部
１１…配管
１２…キャピラリー（１２ａ…小径部、１２ｂ…大径部）
１３…下流端（キャピラリー下流側端面）
２７…配管保持部
２８…キャピラリー保持部
３０…ナット部（３０ａ…内周下端面（位置決め面））
３１，６６…圧縮バネ（弾性部材）
３３…メネジ部（直動機構、螺合機構）
３７…上流側端面（キャピラリー上流側端面）
４１…設置面（位置決め面）
４２…オネジ部（直動機構、螺合機構）
４４，４８…樹脂層
５０…回転防止ピン（回転防止機構）
５３…コンタクトピン（電位を等しくするための手段）
５７…ガス噴霧管

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】