特許7254152ガス放電光源におけるフッ素検出

発明の名称　ガス放電光源におけるフッ素検出

出願人　サイマー　リミテッド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 513192029）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7254152

公報発行日　2023年4月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7254152

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