特許7263105IP Force 特許公報全文掲載

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巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、外周面が鏡面になるほどの加工を施すと、外周面とフィルムとの間の密着力が過剰になり、外周面とフィルムとの間に働く摩擦力が大きくなる可能性がある。さらに、成膜源から放たれた材料の熱量が大きいと、フィルムが材料から受けた熱の影響によって外周面上で伸びようとする。しかし、外周面とフィルムとの間の摩擦力が大きいと、この伸びが抑制されて、外周面上でフィルムに皺が発生してしまう。この結果、巻取式成膜の信頼性が低下してしまう。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するため、本発明の一形態に係る巻取式成膜装置は、巻出ローラから繰り出され巻取ローラによって巻き取られるフィルムの成膜面に膜を形成する巻取式成膜装置である。 主ローラは、成膜面とは反対側のフィルムの非成膜面に当接する外周面を有し、外周面の算術平均粗さＲａが１０μｍ以上３００μｍ以下に構成されている。 成膜源は、非成膜面に当接する主ローラの外周面に対・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

以上述べたように、本発明によれば、巻取式成膜の信頼性を向上させた巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法が提供される。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図（ａ）は、本巻取式成膜装置の模式的断面図である。図（ｂ）は、巻取式成膜装置における主ローラの外周面周辺の様子を説明する模式図である。
【図2】 図（ａ）は、図１（ｂ）の破線Ｐ１で囲む部分の構成を示す模式的断面図である。図（ｂ）は、破線Ｐ１で囲む部分の別の構成を示す模式的断面図である。
【図3】 巻取式成膜装置の作用の一例を説明する模式的断面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１…巻取式成膜装置 １０…主ローラ １０ｃ…中心軸 １０ｓ、１０１ｓ…外周面 ２０…成膜源 ２１…溶融容器 ２５…蒸着材料 ３０…フィルム走行機構 ３１…巻出ローラ ３２…巻取ローラ ３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ…ガイドローラ ４０…仕切板 ４１…開口 ６０…フィルム ６０ｄ…成膜面 ６０ｒ…非成膜面 ７０…真空容器 ７１…排気管 ７２…ガス供給機構 １０１…層 １０２…樹脂層 １０３…粉末粒子 １１０、１２０…領域

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