▶ ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシーの特許一覧
特許7263636基板処理装置の基板の搬送アームのための操作の方法および基板搬送装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-04-17
(45)【発行日】2023-04-25
(54)【発明の名称】基板処理装置の基板の搬送アームのための操作の方法および基板搬送装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230418BHJP
B25J 9/06 20060101ALI20230418BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B25J9/06 D
【請求項の数】
20
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2020026510
(22)【出願日】2020-02-19
(62)【分割の表示】P 2016537775の分割
【原出願日】2014-08-26
(65)【公開番号】P2020092281
(43)【公開日】2020-06-11
【審査請求日】2020-02-19
(31)【優先権主張番号】14/469,260
(32)【優先日】2014-08-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】61/869,870
(32)【優先日】2013-08-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】522041444
【氏名又は名称】ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー
(74)【代理人】
【識別番号】110001896
【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】ギルクリスト、ユリシーズ
【審査官】内田 正和
(56)【参考文献】
【文献】米国特許第０５６８２７９５（ＵＳ，Ａ）
【文献】特表２００２－５３４８２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－０９３８８１（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開平０２－０５８１５１（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開平１１－１６５２９０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－３０１２７５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ２５Ｊ ９／０６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板処理装置の基板の搬送アームのための操作の方法であって、前記方法は、前記基板処理装置内に前記搬送アームを提供することであって、前記搬送アームは、連続的に接続されたアームリンクと、少なくとも第１プーリおよび第２プーリとを有し、
２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドを有する、複数バンドのトルク伝達によって、前記第１プーリと前記第２プーリとを連結すること
とを含み、
前記アームリンクの少なくとも１つが所定のアームリンクの高さを有し、
前記第２プーリが前記連続的に接続されたアームリンクのうちの１つのアームリンクに固定され、
前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれは、各トルク荷重伝達が、前記第１プーリおよび前記第２プーリの間で、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれによって、トルク荷重の下で、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つを通じて一定の一方向かつ一軸の緊張荷重を前記第１プーリから前記第２プーリへと延在する前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つの全長を通じて連続的に与えるように、前記第１プーリおよび前記第２プーリのそれぞれの間で長手方向に連続的に延在し、前記第１プーリおよび前記第２プーリのそれぞれに独立して連結され、
前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記所定のアームリンクの高さに対応するバンドの高さと、前記対応するバンドの高さに対して、横方向に増加した断面のセグメントを含むように、変化する横方向厚さとを有している、方法。
【請求項2】
前記連続的に接続されたアームリンクの伸長および収縮をもたらすために、前記第１プーリに駆動部を駆動接続すること、をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項3】
前記第１プーリが駆動プーリであり、前記第２プーリが従動プーリである、請求項１記載の方法。
【請求項4】
前記横方向に増加した断面のセグメントが、非湾曲バンドセグメントである、請求項１記載の方法。
【請求項5】
前記搬送アームが、駆動部に連結される近位端部を有する、第１アームリンクと、
第２アームリンクであって、前記第２アームリンクの近位端部で、前記第１アームリンクの遠位端部に回転可能に連結された、第２アームリンクと、
前記第２アームリンクの遠位端部に接続された、基板支持部と、
を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項6】
前記搬送アームがスカラアームを備える、請求項１記載の方法。
【請求項7】
前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記横方向に増加した断面と異なる第１の横方向の断面を有する、第１および第２プーリ接合部を含み、前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記第１プーリ接合部を前記第２プーリ接合部につなぐ、請求項１記載の方法。
【請求項8】
前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、第１および第２プーリ接合部を含み、前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記第１プーリ接合部と前記第２プーリ接合部との間の、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンド上に配置される、請求項１記載の方法。
【請求項9】
前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つに取り付けられる、請求項１記載の方法。
【請求項10】
前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つを備えた単一の一体構造を有する、請求項１記載の方法。
【請求項11】
前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つの１つまたは複数の側面から横方向に延在する、１つまたは複数のフランジを備える、請求項１記載の方法。
【請求項12】
基板処理装置であって、連続的に接続されたアームリンクを有し、前記アームリンクの少なくとも１つが所定のアームリンクの高さを有する、搬送アームと、
少なくとも、第１プーリおよび第２プーリであって、前記第２プーリが前記連続的に接続されたアームリンクのうち、１つのアームリンクに固定された、第１プーリおよび第２プーリと、
２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドを有する複数バンドのトルク伝達部材であって、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれは、各トルク荷重伝達が、前記第１プーリおよび前記第２プーリの間で、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれによって、トルク荷重の下で、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つを通じて一定の一方向かつ一軸の緊張荷重を前記第１プーリから前記第２プーリへと延在する前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つの全長を通じて連続的に与えるように、前記第１プーリおよび前記第２プーリのそれぞれの間で長手方向に連続的に延在し、前記第１プーリおよび前記第２プーリのそれぞれに独立して連結される、トルク伝達部材と
を備え、
前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記所定のアームリンクの高さに対して対応するバンドの高さと、前記対応するバンドの高さに対して横方向に増加した断面のセグメントを形成するように、プレートセグメントが取り付けられる、前記独立した一方向のトルク伝達バンドの長さに沿う、取り付け部とを有する、基板処理装置。
【請求項13】
前記連続的に接続されたアームリンクの伸長および収縮をもたらすために、前記第１プーリに駆動接続された駆動部をさらに備える、請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項14】
前記第１プーリが駆動プーリであり、前記第２プーリが従動プーリである、請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項15】
前記横方向に増加した断面のセグメントが、非湾曲バンドセグメントである、請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項16】
前記搬送アームが、駆動部に連結される近位端部を有する、第１アームリンクと、
第２アームリンクであって、前記第２アームリンクの近位端部で、前記第１アームリンクの遠位端部に回転可能に連結された、第２アームリンクと、
前記第２アームリンクの遠位端部に接続された、基板支持部と、
を含む、
請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項17】
前記搬送アームがスカラアームを備える、請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項18】
前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、第１および第２プーリ接合部を含み、前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記第１プーリ接合部と前記第２プーリ接合部との間の、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つ上に配置される、請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項19】
前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記２以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの１つの１つまたは複数の側面から横方向に延在する、１つまたは複数のフランジを備える、請求項１２記載の基板処理装置。
【請求項20】
前記プレートセグメントが、Ｔ字状の断面、逆Ｔ字状の断面、横向きのＴ字状の断面、Ｉ字状の断面、Ｃ字状の断面、反転Ｃ字状の断面、Ｌ字状の断面、逆Ｌ字状の断面、穴の開いた長方形の形状の断面、三角形状の断面、または、Ｚ字状の断面を有する、請求項１２記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
例示的な実施形態は、概してロボット搬送装置、特に、ロボット駆動伝達に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体基板のサイズが増加するにつれて、これらの基板の搬送に使用されるロボットアームのサイズ／長さもまた増加する。ロボットアームは、ロボット駆動部からロボットアームの関節部へトルクおよび動作を伝達するために、金属バンドを使用することができる。しかし、アームリンクの長さが増加すると、金属バンドの長さも増加する。一般的に、これら金属バンドは、たとえば、曲げ応力を最小にし、金属バンドの機能上の寿命を維持するために、薄い。理解できるように、金属バンドは薄いため、金属バンドの断面積は小さい。この小さい断面積は、バンドの軸剛性に影響する可能性があり、その結果、ダイナミックドライブシステムの固有振動数が低下し、特にダイレクトドライブシステムにおいて、サーボ／駆動モータのチューニングが困難になる。たとえば、サーボ帯域幅は金属バンドの固有振動数に近似し得ることがあり、振動を打ち消すことを困難にする可能性があり、その結果、低サーボ帯域幅のために、性能を低下させ得る。非ダイレクトドライブ方式においては、金属バンドの固有振動数が低いと、整定時間が長くなり、全体のスループットの低下につながり得る。
【発明の概要】
【0003】
上記の性能問題の無い、金属バンドが使用される駆動システムを有することは利点となる。
【0004】
開示される実施形態の、前述の態様および他の特徴が、添付の図面と関連して、以下の記載において説明される。
【図面の簡単な説明】
【0005】
【図1A】開示される実施形態の態様を組み込んだ、処理装置の概略図である。
【図1B】開示される実施形態の態様を組み込んだ、処理装置の概略図である。
【図1C】開示される実施形態の態様を組み込んだ、処理装置の概略図である。
【図1D】開示される実施形態の態様を組み込んだ、処理装置の概略図である。
【図2】開示される実施形態の態様を具体化する、処理装置の概略図である。
【図3A】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送装置の一部分の概略図である。
【図3B】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送装置の一部分の概略図である。
【図3C】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送装置の一部分の概略図である。
【図3D】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送装置の一部分の概略図である。
【図4A】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【図4B】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【図5】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【図5A】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【図6】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【図7】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【図8】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【図10】開示される実施形態の態様に従った、ロボット搬送アームの一部分の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0006】
図１Ａ～１Ｄを参照すると、本明細書においてさらに開示されるような、開示される実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置またはツールの概略図が示されている。開示される実施形態の態様は、図面に関連して説明されるが、開示される実施形態の態様は、多くの形態で具体化され得ることが理解されるべきである。加えて、任意の適切なサイズ、形状、または種類の、構成要素または材料が使用され得る。
【0007】
図１Ａおよび１Ｂを参照すると、たとえば、半導体ツールステーション１１０９０のような処理装置が、開示される実施形態の態様に従って示されている。図中に半導体ツールが示されているが、本明細書で説明される、開示される実施形態の態様は、ロボットマニピュレータを使用する、いずれのツールステーションまたは応用例にも適用可能である。この例において、ツール１１０９０はクラスターツールとして示されるが、開示される実施形態の態様は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１３年３月１９日に発行された、「Ｌｉｎｅａｒｌｙ Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｔｏｏｌ」と題された、米国特許第８，３９８，３５５号明細書、および２０１１年３月８日に発行された、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題された、米国特許第７，９０１，５３９号明細書に記載されたような、図１Ｃ、１Ｄ、および２に示されるもののような線形ツールステーションのような、任意のツールステーションに適用されてもよい。ツールステーション１１０９０は典型的に、大気前端部１１０００、真空ロードロック１１０１０、および真空後端部１１０２０を含む。他の態様では、ツールステーションは任意の適切な構成を有してもよい。前端部１１０００、ロードロック１１０１０、後端部１１０２０のそれぞれの構成要素は、たとえば、クラスタ化されたアーキテクチャ制御のような、任意の適切な制御アーキテクチャの一部であってもよい、制御装置１１０９１に接続されてもよい。制御システムは、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１１年３月８日に発行された、「Ｓｃａｌａｂｌｅ Ｍｏｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ」と題された、米国特許第７，９０４，１８２号明細書に記載されたもののような、主制御装置、クラスタ制御装置、自律型遠隔制御装置を有する閉ループ制御装置であってもよい。他の態様では、任意の適切な制御装置および／または制御システムが利用されてもよい。
【0008】
ある態様では、前端部１１０００は典型的に、ロードポートモジュール１１００５および、たとえばイクイップメントフロントエンドモジュール（ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｆｒｏｎｔ ｅｎｄ ｍｏｄｕｌｅ）（ＥＦＥＭ）のようなミニエンバイロメント１１０６０を含む。ロードポートモジュール１１００５は、３００ｍｍロードポートのＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９、４５０ｍｍロードポートのＳＥＭＩ規格、前開き型または底開き型ボックス／ポッドおよびカセットに適合した、ボックスオープナー／ローダーツール標準（ＢＯＬＴＳ）インターフェースであってもよい。他の態様では、ロードポートモジュールは、２００ｍｍ、３００ｍｍ、および／もしくは４５０ｍｍ基板もしくはウェハインターフェース、または、たとえば、大型もしくは小型の基板もしくは平面パネルディスプレイ用の平面パネルのような、他の任意の適切な基板インターフェースとして構成されてもよい。図１Ａに２つのロードポートモジュールが示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールが前端部１１０００に組み込まれてもよい。ロードポートモジュール１１００５は、オーバーヘッド型搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、レール型搬送車、または他の任意の適切な搬送手段から、基板キャリアまたはカセット１１０５０を受容するように構成されていてもよい。ロードポートモジュール１１００５は、ロードポート１１０４０を通じて、ミニエンバイロメント１１０６０と接合してもよい。ロードポート１１０４０は、基板カセット１１０５０とミニエンバイロメント１１０６０との間で、基板の通過を可能にしてもよい。ミニエンバイロメント１１０６０は典型的に、本明細書で説明される、開示される実施形態の１つまたは複数の態様を組み込んでもよい、任意の適切な大気移送ロボット１１０１３を含む。ある態様では、ロボット１１０１３は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，００２，８４０号明細書に記載されたもののような、走路搭載型ロボットであってもよい。ミニエンバイロメント１１０６０は、複数のロードポートモジュール間での基板移送のための、制御されたクリーンゾーンを提供してもよい。
【0009】
真空ロードロック１１０１０は、ミニエンバイロメント１１０６０と後端部１１０２０との間に位置付けられて、接続されてもよい。本明細書において使用される真空という用語は、基板が処理される、１０-5Ｔｏｒｒ以下のような高真空を意味してもよい。ロードロック１１０１０は典型的に大気および真空スロットバルブを含む。スロットバルブは、基板をロードした後に、大気前端部からロードロック内を排気するために、および窒素のような不活性ガスを用いてロック内を排出するときに、搬送チャンバ内の真空を維持するために使用される、環境の隔離を提供する。ロードロック１１０１０は、基板の基準を、処理に望ましい位置に調整するためのアライナ１１０１１を含んでいてもよい。他の態様では、真空ロードロックは、処理装置の任意の適切な場所に設置されていてもよく、および任意の適切な構成を有していてもよい。
【0010】
真空後端部１１０２０は典型的に、搬送チャンバ１１０２５、１つまたは複数の処理ステーション１１０３０、および、本明細書で説明される、開示される実施形態の１つまたは複数の態様を含んでいてもよい、任意の適切な真空移送ロボット１１０１４を含む。移送ロボット１１０１４は、ロードロック１１０１０と個々の処理ステーション１１０３０との間で基板を搬送するために、搬送チャンバ１１０２５内に設置されていてもよい。処理ステーション１１０３０は、様々な、成膜、エッチング、または他の種類の処理を通じて、基板上に電気回路または他の望ましい構造体を形成するために、基板に対して動作してもよい。典型的な処理は、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチング処理、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）、イオン注入などの注入、測定、急速熱処理（ＲＴＰ）、乾燥細片原子層成膜（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィ、エピタキシ（ＥＰＩ）、ワイヤボンダ、および蒸発のような、真空を使用する薄膜処理、または他の真空圧を使用する薄膜処理を含む。搬送チャンバ１１０２５から処理ステーション１１０３０に、またはその逆に、基板を通過させることを可能にするために、処理ステーション１１０３０は搬送チャンバ１１０２５に接続される。
【0011】
次に図１Ｃを参照すると、ツール接合部２０１２が一般的には（例えば内向きに）向くが、搬送チャンバ３０１８の長手方向軸Ｘからずれるように、ツール接合部２０１２が搬送チャンバモジュール３０１８に取り付けられている、線形基板処理システム２０１０の概略平面図が示されている。搬送チャンバモジュール３０１８は、すでに参照により本明細書に組み込まれた、米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されたように、他の搬送チャンバモジュール３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊ、を接合部２０５０、２０６０、２０７０に取り付けることによって、任意の適切な方向に延長されてもよい。各搬送チャンバモジュール３０１８、３０１９Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊは、基板を、処理システム２０１０の全体に亘って、および、たとえば、処理モジュールＰＭ内外へ搬送するために、本明細書で説明される、開示される実施形態の１つまたは複数の態様を含んでもよい、任意の適切な基板搬送部２０８０を含んでいる。理解できるように、各チャンバモジュールは、隔離された、または制御された大気（たとえば、Ｎ２、清浄空気、真空）を維持することが可能であってもよい。
【0012】
図１Ｄを参照すると、線形搬送チャンバ４１６の長手方向軸Ｘに沿った、例示的な処理ツール４１０の概略的な立面図が示されている。図１Ｄに示される、開示される実施形態の態様では、ツール接合部１２は典型的に、搬送チャンバ４１６に接続されてもよい。この態様では、接合部１２は、ツール搬送チャンバ４１６の一方の端部を画定してもよい。図１Ｄに見られるように、搬送チャンバ４１６は、たとえば、接合ステーション１２から反対の端部に、別のワークピース進入／退出ステーション４１２を有していてもよい。他の態様では、搬送チャンバからワークピースを挿入／除去するための、他の進入／退出ステーションが設けられてもよい。ある態様では、接合部１２および進入／退出ステーション４１２は、ツールからのワークピースのロードおよび取出しを可能にしてもよい。他の態様では、ワークピースは、一方の端部からツールにロードされ、他方の端部から取り除かれてもよい。ある態様では、搬送チャンバ４１６は、１つまたは複数の搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉを有していてもよい。各チャンバモジュールは、隔離された、または制御された大気（たとえば、Ｎ２、清浄空気、真空）を維持することが可能であってもよい。既に述べられたように、図１Ｄに示される、搬送チャンバ４１６を形成する、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ、ロードロックモジュール５６Ａ、５６Ｂ、およびワークピースステーションの構成／配置は例示的なものに過ぎず、他の態様では、搬送チャンバは、任意の望ましいモジュール配置で配置された、より多くのまたはより少ないモジュールを有してもよい。示された態様では、ステーション４１２はロードロックであってもよい。他の態様では、ロードロックモジュールは、（ステーション４１２に類似の）端部進入／退出ステーションの間に設置されてもよく、または隣の（モジュール１８ｉに類似の）搬送チャンバモジュールはロードロックとして動作するように構成されてもよい。既に述べられたように、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉは、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉに設置され、本明細書で説明される、開示された実施形態の１つまたは複数の態様を含んでもよい、１つまたは複数の、対応する搬送装置２６Ｂ、２６ｉを有してもよい。それぞれの搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの搬送装置２６Ｂ、２６ｉは、搬送チャンバ内に線形に分散されたワークピース搬送システム４２０を提供するために連携してもよい。この態様では、搬送装置２６Ｂは、一般的なスカラ（ＳＣＡＲＡ）（水平多関節ロボットアーム）アーム構成を有してもよい（しかし他の態様では、搬送アームは、フロッグレッグ型の構成、伸縮型の構成、左右対称型の構成、などの他の任意の、望ましい配置を有してもよい）。図１Ｄに示される、開示される実施形態の態様では、搬送装置２６Ｂのアームは、取り上げ／配置場所から素早く基板を交換する搬送を可能にする、迅速交換配置（ｆａｓｔ ｓｗａｐ ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）と呼ばれてもよいものを提供するように配置されてもよい（たとえば、第１のアームまたは基板ホルダーが、その位置から基板を取り上げ、第２のアームまたは基板ホルダーが、取り上げられた基板が除去された実質的に直後に、その同じ位置に基板を配置する）。搬送アーム２６Ｂは、各アームに任意の適切な自由度を提供するために、以下に説明されるような、適切な駆動部を有していてもよい（たとえば、Ｚ軸運動で、肩および肘関節部の周りを独立して回転する）。図１Ｄに見られるように、この態様では、モジュール５６Ａ、５６、３０ｉは、搬送チャンバモジュール１８Ｂと１８ｉとの間に介在して設置されてもよく、適切な処理モジュール、１つまたは複数のロードロック、バッファステーション、測定ステーション、または他の任意の望ましいステーションを画定してもよい。たとえば、ロードロック５６Ａ、５６、およびワークピースステーション３０ｉなどの、介装型モジュールはそれぞれ、搬送チャンバの直線軸Ｘに沿った搬送チャンバの全長に亘って、ワークピースの搬送をもたらすために搬送アームと連携する、静止型ワークピース支持部／シェルフ５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２を有してもよい。例として、１つまたは複数のワークピースが、接合部１２によって、搬送チャンバ４１６にロードされてもよい。１つまたは複数のワークピースは、接合部の搬送アーム１５を用いて、ロードロックモジュール５６Ａの、１つまたは複数の支持部上に位置付けられてもよい。ロードロックモジュール５６Ａ内で、１つまたは複数のワークピースは、モジュール１８Ｂ内の搬送アーム２６Ｂによって、ロードロックモジュール５６Ａとロードロックモジュール５６との間で移動させられてもよく、同様の連続的な方法で、アーム２６ｉを用いて、ロードロック５６とワークピースステーション３０ｉとの間で（モジュール１８ｉ内の）、モジュール１８ｉ内のアーム２６ｉを用いて、ステーション３０ｉとステーション４１２との間で移動させられてもよい。１つまたは複数のワークピースを反対の方向に移動させるために、この処理は全体的に、または部分的に逆行されてもよい。したがって、ある態様では、ワークピースは、Ｘ軸に沿って任意の方向に、および搬送チャンバに沿って任意の位置に移動させられてもよく、搬送チャンバと連絡している、望ましいモジュール（処理モジュール、あるいは別のモジュール）に、または望ましいモジュールから、ロードまたは取り出されてもよい。他の態様では、搬送チャンバモジュール１８Ｂと１８ｉの間には、静止型ワークピース支持部またはシェルフを有する、介装型搬送チャンバモジュールは設けられない。そのような態様では、搬送チャンバを通してワークピースを移動させるために、隣接する搬送チャンバモジュールの搬送アームは、ワークピースを、エンドエフェクタまたは搬送アームから直接、エンドエフェクタまたは別の搬送アームへ受け渡してもよい。処理ステーションモジュールは、様々な、成膜、エッチング、または他の種類の処理を通じて、基板上に電気回路または他の望ましい構造体を形成するために、基板に対し動作してもよい。基板が、搬送チャンバから処理ステーションに、またはその逆に、通過することを可能にするために、処理ステーションモジュールは、搬送チャンバモジュールに接続される。図１Ｄに示された処理装置と類似の一般的特徴を有する処理ツールの適切な例は、既に参照により本明細書に組み込まれた、米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されている。
【0013】
図２を参照すると、線形搬送チャンバ２３２を有する、別の線形の例示的な処理ツール２００が図示されている。処理ツール２００は、既に参照により本明細書に組み込まれた、米国特許第７，９０１，５３９号明細書に記載されたものと実質的に類似であってもよい。ここでは、線形搬送チャンバ２３２は、処理モジュール２３１および／または、入力／出力モジュール２３５（たとえば、ロードロック）が接続される、１つまたは複数の開口を有していてもよい。この態様では、線形トラック２４３が、搬送チャンバ２３２内に配置されている。１つまたは複数の搬送アーム２４１Ａ、２４１Ｂは、入力／出力モジュール２３５と処理モジュール２３１との間で基板を搬送するために、線形トラック２４３に沿って走行してもよい。搬送アーム２４１Ａ、２４１Ｂは、関節運動のために、あるいは線形トラック２４３に沿った、アームの運動、およびアームの伸長および収縮をもたらすために、線形トラック２４３に沿って走行し、少なくとも駆動伝達部の一部を含む、それぞれの駆動および支持機構２４５に取り付けられていてもよい。たとえば、ある態様では、少なくとも１つの線形および／または回転駆動部（図示されず）が駆動および支持機構２４５の少なくとも１つの従動体または磁気ヘッド２４８に磁気によって連結され、それによって、少なくとも１つの線形および／または回転駆動部と少なくとも１つの磁気ヘッド２４８との間の磁気連結が、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、米国特許第７，９０１，５３９号明細書、および、２０１２年１０月２３日に発行された、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題された、米国特許第８，２９３，０６６号明細書、および２０１３年４月１６日に発行された、「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題された、米国特許第８，４１９，３４１号明細書に記載されたものに実質的に類似の方法で、搬送アーム２４１Ａ、２４１Ｂの伸長および、線形トラック２４３に沿った、搬送アーム２４１Ａ、２４１Ｂの線形運動をもたらすように、各アームの少なくとも１つの線形および／または回転駆動部は、搬送チャンバ２３２の密閉環境の外部に配置されてもよい。
【0014】
理解できるように、上記のロボット搬送装置のそれぞれは、少なくとも１つのトルク伝達バンドによって駆動される、少なくとも１つのアームリンクを含んでいてもよい。次に図３Ａおよび３Ｂを参照すると、本明細書で説明されるもののような、ロボット搬送装置に使用される例示的なトルク伝達バンド構成が、開示される実施形態の態様に従って、図示されている。図３Ａおよび３Ｂに見られるように、ロボット搬送装置３２０は、任意の適切な基部または駆動部ハウジング３２２に取り付けられた搬送アーム３２４を含んでいる。ある態様では、搬送アーム３２４はスカラ（ＳＣＡＲＡ）アームであってもよく、近位および遠位端部を有するアッパーアーム３２６、近位および遠位端部を有するフォアアーム３２８、および１つまたは複数の基板を保持するように構成された、少なくとも１つの基板支持部またはエンドエフェクタ３３０を含んでもよい。アッパーアーム３２６の近位端部は肩関節部３３２で、基部３２２に回転可能に接続される。フォアアーム３２８の近位端部は肘関節部３３４で、アッパーアーム３２６の遠位端部に回転可能に接続される。１つまたは複数の基板支持部３３０は手首関節部３３６で、フォアアーム３２８の遠位端部に回転可能に接続される。本明細書に図示されるスカラアームに加え、開示される実施形態の態様を用いて使用されるアーム構成の他の例は、限定されないが、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２００８年３月８日に出願された、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｍｏｖａｂｌｅ Ａｒｍｓ Ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ ａ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｗｉｔｃｈ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ」と題された、米国特許出願第１２／１１７，４１５号明細書、および２０１３年２月１１日に出願された、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された、国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１３／２５５１３号明細書に記載されたアーム構成、または他の任意の適切な、ベルトおよび／またはバンドが（たとえば、シャフトアレンジメントを駆動する横並びのモータと同様に）駆動部内、および／またはアームリンク内に設置されるかどうかにかかわらず、搬送アームの動作のために、プーリから別のプーリにトルクを伝達するため、ベルトおよび／またはバンドを使用する搬送アームを含む。
【0015】
理解できるように、搬送アームの各アームリンク３２６、３２８、３３０は、それぞれにアームリンクの高さＡＬＨ１、ＡＬＨ２（基板ホルダー３３０の高さは図示されず）を有していてもよい。また、理解できるように、各アームリンクの高さＡＬＨ１、ＡＬＨ２、および搬送アームの全体の高さ（図示されず）は、搬送アームが動作する、（上に説明されたもののような）搬送チャンバの高さＴＣＨによって制限され得る。したがって、アームを駆動させるために各アームリンク内に設置された、トルク伝達バンドのそれぞれの高さＨは、それぞれのアームリンクの高さによって制限され得る。理解できるように、複数のプーリがアームリンク内で積み重ねられている場合、または（以下に説明されるように）各プーリ伝動が複数のバンドを利用する場合、トルク伝達バンドの高さは、アームリンク内で複数のバンドが、垂直方向に上下に積み重ねられているために、さらに制限され得る。搬送アームによって運搬される基板のサイズが増加するにつれて、アームリンクの長さも増加するが、アームリンクおよび／または移送チャンバの高さ制限は増加するとは限らない。以下に説明されるように、トルク伝達バンドの厚さは、以下により詳細に説明されるように、各バンドの厚さとそれぞれのアームリンクの厚さとの関係を維持する一方で、トルク伝達バンドの剛性の増加を提供するために、増加あるいは変化してもよい。たとえば、以下により詳細に説明されるように、トルク伝達バンドは、たとえば、２つのプーリの間で長手方向に延在してもよく、少なくとも、第１の厚さを有し、長手方向に延在する第１のバンド部分、および第２の厚さを有し、長手方向に延在する第２のバンド部分を有してもよく、第２の厚さは第１の厚さよりも大きい。
【0016】
基部３２２は、それぞれのドライブシャフトを駆動するように構成された、１つまたは複数のサーボまたはモータ３７０Ｍ、３７１Ｍを含んでいてもよい。搬送基部または駆動部３２２は、上記のような、任意の適切な大気または真空ロボット搬送において、使用されてもよい。駆動部は駆動部ハウジングを含んでいてもよく、駆動部ハウジングは、駆動部ハウジング内に少なくとも部分的に配置された、少なくとも１つのドライブシャフト３３９、３４０を有する。理解できるように、ドライブシャフトは、同軸配置または並列配置などの、任意の適切な配置を有していてもよい。図３Ａに２つのドライブシャフトが図示されているが、他の態様では、駆動部は、任意の適切な数のドライブシャフトを含んでいてもよい。ドライブシャフト３３９、３４０は、ハウジング内で、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１２年１０月９日に発行された、「Ｒｏｂｏｔ Ｄｒｉｖｅ ｗｉｔｈ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｓｐｉｎｄｌｅ Ｂｅａｒｉｎｇｓ」と題された、米国特許第８，２８３，８１３号明細書、および２０１１年８月３０日に発行された、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｍｏｔｏｒｓ Ｉｎｔｅｇｒａｌ ｔｏ Ｃｈａｍｂｅｒ Ｗａｌｌｓ」と題された、米国特許第８，００８，８８４号明細書に記載されたもののような、任意の適切な方法で、機械的に支持される、または（たとえば、実質的に接触せずに）磁気的に吊設されてもよい。基部３２２の各ドライブシャフト３３９、４４０は、ステータＳＴＡＴおよびロータＲＯＴを含む、それぞれのモータ３７０Ｍ、３７１Ｍによって駆動されてもよい。本明細書で説明される駆動モータは、永久磁石モータ、（対応するコイルユニットを備えた、少なくとも１つの突極と、少なくとも１つの、透磁性材料の突極を有する、少なくとも１つの、それぞれのロータと、を有する）可変リラクタンスモータ、または他の任意の適切な駆動モータであってもよい。１つまたは複数のステータは、少なくとも部分的にハウジング内に固定されてもよく、１つまたは複数のロータは、任意の適切な方法で、それぞれのドライブシャフト３３９、３４０に固定されてもよい。一態様では、任意の適切な隔離壁または障壁の使用によって、１つまたは複数のステータＳＴＡＴは、１つまたは複数のロボットアーム２０８が動作する大気から密閉された（本明細書において、１つまたは複数のロボットアームが動作する環境は、「密閉」環境と呼ばれ、真空または他の任意の適切な環境であってもよい）、「外部」または「非密閉」環境に配置されてもよく、一方で、１つまたは複数のロータＲＯＴは密閉環境内に配置される。本明細書で使用される「隔離壁」という用語は、任意の適切な非強磁性材料製であり、ロボット駆動および／または（駆動部に関連する）センサの移動部分と、対応する、ロボット駆動および／またはセンサの静止部分との間に配置され得る壁のことをいう。第１のドライブシャフト３３９は、アッパーアーム３２６を肩関節部３３２の周りで駆動回転させるために、モータ３７０Ｍ、３７１Ｍの１つに駆動接続されてもよい。第２のドライブシャフト３４０（この態様では、第１のドライブシャフトと同軸である）は、フォアアーム３２８を肘関節部３３４の周りで駆動回転させるために、モータ３７０Ｍ、３７１Ｍの他方に駆動接続されていてもよい。アームリンク（たとえば、アッパーアーム、フォアアームおよび／またはエンドエフェクタ）のそれぞれを駆動するためのモータ３７０Ｍ、３７１Ｍは、任意の適切な方法で、ロボット搬送装置３２０の基板取り上げおよび基板配置の動作を制御するための制御装置１１０９１などの、任意の適切な制御装置に接続されてもよい。
【0017】
図３Ａにみられるように、ドライブシャフト３４０が回転すると、第１プーリ３４２がドライブシャフト３４０と共に回転するように、第１プーリ３４２は、たとえば、肩軸３３２でドライブシャフト３４０に接続される。第２プーリ３４４が回転すると、フォアアーム３２８が第２プーリ３４４と共に回転するように、第２プーリ３４４は、たとえば、肘関節部３３４でシャフトＳ１に、（たとえば、任意の適切な軸受Ｂ１を使用して）回転可能に取り付けられていてもよく、（アッパーアーム３２６に固定されていてもよい）シャフト３５４などの任意の適切な方法で、フォアアーム３２８に接続されていてもよい。理解できるように、第１プーリおよび第２プーリは、ある態様では、プーリは同じ径、または異なる径（たとえば、駆動プーリは従動プーリより小さい、またはその逆でもよい）を有していてもよいように、互いに対して任意の適切な径（たとえば駆動比）を有していてもよい。また、理解できるように、第１および第２プーリはそれぞれ、駆動および従動プーリであってもよい。第２プーリ３４２は、１つまたは複数のトルク伝達バンド３５０（図３に２つのトルク伝達バンド３５０、３５１が図示されている）などの、任意の適切な方法で第１プーリ３４２に連結されていてもよい。トルク伝達バンドは、第１プーリ３４２から第２プーリ３４４にトルクを伝達することが可能である、任意の適切な材料で構成されていてもよい。ある態様では、トルク伝達バンドは、任意の適切な金属で構成された、金属バンドであってもよい。
【0018】
トルク伝達バンド３５０、３５１は、プーリ３４２、３４４の周りに連続した円形状のベルトを形成しなくてもよい。むしろ、トルク伝達バンド３５０の一方の端部は、第１プーリ３４２に少なくとも部分的に（たとえば、時計回りの方向で）巻き付けられ、取り付けられてもよく、トルク伝達バンド３５０の他方の端部は、第２プーリ３４４に少なくとも部分的に（たとえば、反時計回りの方向で）巻き付けられ、取り付けられてもよい。トルク伝達バンド３５０の端部は、ピンまたは任意の適切な、取り外し可能の、または取り外し可能でない、化学的または機械的ファスナなどの、任意の適切な方法で、それぞれのプーリ３４２、３４４に取り付けられてもよい。トルク伝達バンド３５０に実質的に類似の、第２トルク伝達バンド３５１は、トルク伝達バンド３５０に関して、上記のものと実質的に類似の任意の適切な方法で、その端部でプーリ３４２、３４２に取り付けられてもよいが、トルク伝達バンド３５１がプーリ３４２、３４４の周りで巻きつけられる方向は逆であってもよい（たとえば、トルク伝達バンド３５１の一方の端部は、プーリ３４２の周りを反時計まわりの方向で巻きつけられ、トルク伝達バンド３５１の他方の端部は、プーリ３４４の周りを時計回りの方向で巻きつけられる）。この２つのトルク伝達バンドによる構成によって、どちらのトルク伝達バンドも緩まないように、トルク伝達バンド３５０、３５１の両方は一定の緊張状態におかれる。
【0019】
理解できるように、基板支持部３３０の長手方向軸３３０Ｘが、ロボットアーム３２４の伸長および収縮の軸と並んだままとなるように、基板支持部３３０は、たとえば、本明細書で説明されるような、トルク伝達バンドおよびプーリ伝達部などの、任意の適切な方法の伝達部を使用して、従動されてもよい。たとえば、図３Ｂを参照すると、第１プーリ３４２’は、シャフトＳ１に固定され、少なくとも部分的に、フォアアーム３２８内に延在してもよい。第２プーリ３４４’は、任意の適切な軸受Ｂ２を使用して、（フォアアーム３２８に固定されてもよい）シャフトＳ２上などの手首関節部３３６で、回転可能に取り付けられてもよい。第２プーリ３４４’が回転すると、エンドエフェクタ３３０が第２プーリ３４４’と共に回転するように、第２プーリ３４４’は、シャフト３５４’を用いる、などの任意の適切な方法で、エンドエフェクタ３３０に接続されてもよい。フォアアーム３２８とアッパーアーム３２６との間の相対的運動が第２プーリ３４４’の回転を引き起こし、その回転が、エンドエフェクタの長手方向軸３３０Ｘが伸長および収縮の軸と並んだままとなるように、エンドエフェクタ３３０をアッパーアームおよびフォアアームに対して回転させるように、トルク伝達バンド３５０、３５１に実質的に類似のトルク伝達バンド３５０’、３５１’は、第１プーリ３４２’を第２プーリ３４４’に連結させてもよい。他の態様では、フォアアームに関して本明細書で説明されるものと実質的に類似の方法で、基板支持部３３０の、手首関節部３３６の周りでの回転を駆動するために、第３モータおよびドライブシャフトがロボット搬送部３２０に追加されてもよい。
【0020】
理解できるように、再び図３Ａを参照すると、基板ホルダー３３０が両面エンドエフェクタ（たとえば、１つまたは複数の基板を、エンドエフェクタの回転軸または手首関節部の対向する二面上で保持することが可能なエンドエフェクタ）として図示されているが、他の態様では、本明細書に説明される搬送アームの基板ホルダーは、たとえば、片面エンドエフェクタ、バッチエンドエフェクタ（たとえば、２つ以上の基板を、積み重ねてまたは横に並べて、保持することが可能なエンドエフェクタ）、またはその組み合わせなどの、任意の適切な構成を有してもよい。また、理解できるように、バンドおよびプーリから発生するどのような微粒子もアームリンクの外部に移送されないように、搬送アーム３２４のアッパーアーム３２６およびフォアアーム３２８リンクは、搬送アームが動作する環境からアームリンクの内部を密閉する、あるいは隔離するための、任意の適切なカバーＣ１、Ｃ２を有してもよい。
【0021】
次に図３Ｃを参照すると、理解できるように、本明細書で説明されるロボット搬送装置の任意の適切なアームリンクは、本明細書に説明されたもののようなトルク伝達バンドによって従動および駆動されてもよい。たとえば、図３Ｃに図示されるロボット搬送装置は、第１またはアッパーアームリンク１７２１、および第１アームリンク１７２１に回転可能に取り付けられた、第２またはフォアアームリンク１７２２を有する、アーム１７２０を含んでいる。アームリンクは、任意の適切な駆動部１７００によって駆動されてもよい。この態様では、駆動部は、それぞれ、各駆動モータ（図示されず）によって駆動される、内側ドライブシャフト１２６２、中間ドライブシャフト１２６１、および外側ドライブシャフト１２６０を有する同軸ドライブシャフトアレンジメントを含んでいる。外側ドライブシャフト１２６０が回転すると、第１アームリンク１７２１が共に回転するように、外側ドライブシャフト１２６０は、回転駆動軸Ｘの周りで第１アームリンク１７２１に連結されていてもよい。ベースアーム１７２０が伸長および収縮する（たとえば、単一の駆動モータによってアーム１７２０の伸長および収縮が引き起こされる）際に、第２アームリンク１７２２の肩軸ＳＸが、略直線状の経路に沿って進むように、第２アームリンク１７２２は、たとえば、駆動部１７００のハウジング１７０１（または他の任意の適切な場所）に従動してもよい。第１プーリ１７８０が、第１アームリンク１７２１に対して回転方向で静止するように、たとえば、第１プーリ１７８０は、回転駆動軸Ｘと実質的に同心円状に取り付けられてもよく、および、たとえば、任意の適切な方法で、駆動部１７００のハウジング１７０１（または、移送装置の他の任意の適切な部分）に接地されてもよい。他の態様では、第１プーリ１７８０は、任意の適切な方法で、回転可能に固定されてもよい。従動または第２プーリは、任意の適切な軸受ＥＸＢなどの、任意の適切な方法で、アーム１７２０の肘軸ＥＸにおいて回転可能に取り付けられてもよい。第２プーリ１７８３が回転すると、第２アームリンク１７２２が共に回転するように、第２プーリ１７８３は、たとえば、シャフト１７６３によって、第２アームリンク１７２２に連結されてもよい。プーリ１７８０、１７８３は、本明細書に説明されるような、トルク伝達バンド１７９１のような、任意の適切な方法で、互いに連結されてもよい。ある態様では、プーリ１７８０、１７８３は、プーリのどちらか一方の端部で終端し、上記のように、緩みやバックラッシュを実質的になくすように、互いに対して緊張状態にある、少なくとも２つのトルク伝達バンドを用いて、互いに連結されてもよい。他の態様では、任意の適切な伝達部材が、プーリ７８０、７８３を連結させるために使用されてもよい。
【0022】
この態様では、外側シャフト１２７１および内側シャフト１２７０を有する同軸スピンドル（ドライブシャフトアレンジメント）は、第２アームリンク１７２２の肩軸ＳＸに設置されてもよい。外側シャフト１２７１は、たとえば、中間ドライブシャフト１２６１によって、任意の適切な方法で、駆動されてもよい。中間ドライブシャフト１２６１が回転すると、プーリ１７８１が共に回転するように、たとえば、プーリ１７８１は、中間ドライブシャフト１２６１に連結されてもよい。アイドラプーリ１７８４が、肘軸ＥＸの周りで回転するために、第１アームリンク１７２１内に配置されてもよい。アイドラプーリ１７８４が回転すると、シャフト１７６５が共に回転するように、アイドラプーリ１７８４は、シャフト１７６５に連結されてもよい。シャフト１７６５およびプーリ１７８４は、任意の適切な軸受ＥＸＢを用いるなどの、任意の適切な方法で支持されてもよい。アイドラプーリ１７８４は、本明細書で説明されるものに実質的に類似の、任意の適切な伝達部１７９０を通して、などの任意の適切な方法で、プーリ１７８１と連結されてもよい。プーリ１７８４および１７８７が同時に回転するように、第２アイドラプーリ１７８７もまた、第２アームリンク１７２２内でシャフト１７６５に連結されてもよい。シャフト１２７１および肩部プーリ１７８９が同時に回転するように、肩部プーリ１７８９は、シャフト１２７１に連結されてもよい。第２アイドラプーリ１７８７は、本明細書で説明されるものに実質的に類似の、任意の適切な伝達部７９４を通して、などの任意の適切な方法で、肩部プーリ１７８９と連結されてもよい。
【0023】
同軸スピンドルの内側シャフト１２７０は、任意の適切な方法で、たとえば、内側ドライブシャフト１２６２によって、駆動されてもよい。内側ドライブシャフト１２６２が回転すると、プーリ１７８２が共に回転するように、たとえば、プーリ１７８２は、内側ドライブシャフト１２６２に連結されてもよい。アイドラプーリ１７８５が、肘軸ＥＸの周りで回転するために、第１アームリンク１７２１内に配置されてもよい。アイドラプーリ１７８５が回転すると、シャフト１７６４が共に回転するように、アイドラプーリ１７８５は、シャフト１７６４に連結されてもよい。シャフト１７６４およびプーリ１７８５は、任意の適切な軸受ＥＸＢを用いるなどの、任意の適切な方法で、支持されてもよい。アイドラプーリ１７８５は、本明細書で説明されるものに実質的に類似の、任意の適切な伝達部７９２を通して、などの任意の適切な方法で、プーリ１７８２と連結されてもよい。プーリ１７８５および１７８６が同時に回転するように、第２アイドラプーリ１７８６もまた、第２アームリンク１７２２内でシャフト１７６４に連結されてもよい。内側シャフト１２７０および肩部プーリ１７８８が同時に回転するように、肩部プーリ１７８８は、内側シャフト１２７０に連結されてもよい。第２アイドラプーリ１７８６は、本明細書で説明されるものに実質的に類似の、任意の適切な伝達部１７９３を通して、などの任意の適切な方法で、肩部プーリ１７８８と連結されてもよい。理解できるように、ある態様では、１つまたは複数の任意の適切な基板ホルダーが、任意の適切な方法で、シャフト１２７０、１２７０に固定されてもよい。別の態様では、アーム１７２０が、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１３年２月１１日に出願された、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された、国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１３／２５５１３号明細書に記載されたような、細長い移送チャンバを通して、移送アーム１２１４を搬送するための「ブーム」または「ベース」型アームとして構成されるように、（たとえば、任意の適切な数のアームリンクおよび基板ホルダーを有する）任意の適切な移送アーム１２１４が、シャフト１２７０、１２７０に取り付けられてもよい。
【0024】
たとえば、図３Ｄを参照すると、開示される実施形態の態様に従って、自動化または移送モジュール２０３０が図示され、基板は、基板に一度触れることによって、処理ツールモジュール２０２５、２０２６、２０４０の間で、自動化モジュール２０３０を通して移送される。処理ツールモジュールは、自動化モジュール２０３０のポート２０３０Ｐ１～２０３０Ｐ６を通して、などの任意の適切な方法で（たとえば、横並びで、上下に積み重ねられて、および／または他の任意の適切な配置で）、自動化モジュール２０３０に連結されてもよい。自動化モジュール２０３０は移送ロボット２０８０を含む。ある態様では、移送ロボット２０８０は、上記のものと実質的に類似の、駆動部２０８１を含んでもよい。ブームまたはベースアーム２０８２Ｂは、駆動部２０８１に回転可能に取り付けられてもよく、１つまたは複数の、それぞれの基板ホルダー２０８３を有する、１つまたは複数のマルチリンクアーム２０８２は、肩軸ＳＸにおいてベースアーム２０８２Ｂに回転可能に取り付けられてもよい。１つまたは複数のアーム２０８２が、自動化モジュール２０３０の両側面に基板を移送するため、基板を、矢印２４００の方向に（たとえば、自動化モジュール２０３０および／または真空トンネルの長手方向軸に沿って）、また、矢印２４０１の方向に、移送することが可能であるように、駆動部２０８１は、１つまたは複数のアーム２０８２およびエンドエフェクタ２０８３を、肩軸ＳＸの周りで、単一体として回転させるように構成されてもよい。理解できるように、ベースアーム２０８２Ｂは、１つまたは複数のマルチリンクアーム２０８２、およびそれらのエンドエフェクタを、自動化モジュール２０３０の長さに沿った方向２４００に搬送するために、軸ＢＸの周りで回転可能である。
【0025】
再び図３Ｃを参照すると、本明細書で説明される搬送装置は、任意の適切なＺ軸駆動部１２０３を含んでいてもよい。Ｚ軸駆動部１２０３は、移送アームを搬送アームの伸長／収縮の軸に実質的に直角をなす方向１７９９に移動させるように構成されてもよい。
【0026】
次に図４Ａおよび４Ｂを参照すると、トルク伝達バンド３５０、３５１の剛性は、１つまたは複数のエンドエフェクタ／ペイロードの慣性および駆動ねじり固有振動数とともに、ロボットアームの性能に影響を与え得る。たとえば、少なくともトルク伝達バンドの剛性は、アームの加速、アームのジャークとジャーク率、およびアームの最高速度などの、トルク伝達バンドの剛性の関数とすることができる、アームの応答に影響を与え得る。また、アームの長さが増加すると、搬送アームにおける、バンドの緊張状態からの変位も増加するため、アームリンクがより長くなると、トルク伝達バンドの剛性に影響し得る。搬送アームリンクの長さの増加による、搬送アームリンクの角速度の変化もまた、たとえば、バンドの長手方向軸に沿う、および／またはトルク伝達バンドの短手方向軸に沿う、バンドの固有振動数の１次モードに応答を生じ得る。トルク伝達バンドの振動の振動数モードは通常、ロボットアームの振動の最低次モードであるため、たとえば、アームが任意の適切な基板保持位置に伸長するときに、この振動の振動数モードもまた、駆動モータ、ロボットアームの位置決め精度および停止性能に影響し得る。トルク伝達バンド３５０、３５０の固有振動数は、以下のように記載されてもよい。
【0027】
【数1】
【0028】
ｒはプーリの半径であり、Ｉは基板ホルダーおよびペイロード（基板Ｓ）の慣性である。Ｋは各トルク伝達バンドの剛性（ばね定数）であり、以下のように記載されてもよい。
【0029】
【数2】
【0030】
Ａはトルク伝達バンドの断面積であり、Ｅは弾性率であり、Ｌは、トルク伝達バンドの長手方向軸ＬＡに沿った、トルク伝達バンドの自由長さ（たとえば、それぞれの駆動部との接触点と、従動プーリＰ１、Ｐ２との間のトルク伝達バンドの長さ）である。等式［２］に見られるように、各トルク伝達バンドの剛性は、トルク伝達バンドの長さＬに反比例する。半導体基板のサイズは３００ｍｍから４５０ｍｍおよびそれ以上に増加しているため、ロボットアームのアームリンク（たとえば、アッパーアーム、フォアアーム、エンドエフェクタ）の長さもまた、増加しなければならない。したがって、トルク伝達バンドの剛性Ｋおよび／または振動数ｆを増加させるのが望ましい。
【0031】
ある態様では、トルク伝達バンドの固有振動数が、ロボットアームモータのチューニングに干渉しないように、振動数ｆは最大化されてもよい。ある態様では、振動数は、ある一定のトルク伝達バンドの高さにおいて、トルク伝達バンドの断面積を増加させることによって、増加させることができる。たとえば、さらに図４Ｂを、および図５を参照すると、たとえばトルク伝達バンド３５０のような各トルク伝達バンドは、側面ＬＳ１、ＬＳ２を有し、所定のまたは固定の高さＨ、および厚さＴを有している。各トルク伝達バンドはまた、プーリ接合部３５０ＰＳ１、３５０ＰＳ２、および増加した側面厚さ／断面を有する部分またはセクションを含んでいる。なお、トルク伝達バンドの厚さＴは、たとえば、トルク伝達バンドがプーリＰ１、Ｐ２に巻き付くように、少なくともプーリ接合部３５０ＰＳ１、３５０ＰＳ２において湾曲可能となるように、充分に薄くなくてはならないが、トルク伝達バンドの高さＨは、トルク伝達バンドが設置される、それぞれのアームリンク３２６、３２８の高さＨＡ１、ＨＡ２および／または外形（図３Ｂ参照）によって制限される、あるいは固定される。トルク伝達バンドの剛性を増加させるために、（たとえば、所定の／制限された高さＨにおいて）トルク伝達バンドの厚さＴを横方向に、（たとえば、トルク伝達バンドが変化する側面の厚さを有するように）少なくともトルク伝達バンドの長さＬの一部またはセグメント３５０ＩＳに亘って、厚さＴ’にまで増加させることによって、トルク伝達バンドの断面積は増加させることができ、各トルク伝達バンドの等価剛性Ｋeqは以下のように記載されてもよい。
【0032】
【数3】
【0033】
Ｋ1は、厚さＴを有するトルク伝達バンドの各部分の剛性であり、Ｋ2は増加された厚さＴ’を有するトルク伝達バンドの部分の剛性である。図４Ｂおよび５に見られるように、トルク伝達バンド３５０の変化する厚さは、バンドの厚さＴが、厚さＴ’に増加するように、セグメント３５０ＩＳに沿って、たとえば、横方向にトルク伝達バンドの断面積を増加させることによってもたらされる。ある態様では、トルク伝達バンド３５０のセグメント３５０ＩＳは、非湾曲バンドセグメントであってもよく、「非湾曲」という用語は、増加した断面／厚さＴ’のセグメント３５０ＩＳが、プーリＰ１、Ｐ２との接触またはプーリＰ１、Ｐ２の影響によって、湾曲することを予定されないことを示している。他の態様では、セグメント３５０ＩＳは、所定の、ある程度の湾曲性を可能にしてもよい。
【0034】
さらに図５を参照すると、トルク伝達バンド３５０の増加した厚さＴ’は、任意の適した方法で提供され得る。ある態様では、図５に示されるように、プーリ接合部３５０ＰＳ１、３５０ＰＳ２、および増加した側面の厚さ／断面３５０ＩＳの部分は、１つの単一部品で構成されるように、トルク伝達バンドは任意の適切な方法で形成されてもよい。理解できるように、バンドの追加された厚さは、トルク伝達バンド３５０の、１つまたは複数の側面ＬＳ１、ＬＳ２から延在する、あるいは側面ＬＳ１、ＬＳ２上に形成されてもよい。この態様では、増加した厚さＴ’が側面ＬＳ１から延在して示されているが、他の態様では、増加した厚さは側面ＬＳ２から、または両側面ＬＳ１、ＬＳ２から延在してもよい（図５Ａ参照）。
【0035】
図６を参照すると、開示される実施形態の別の態様では、駆動ベルトの部分／セグメントは、機械的に締結された、あるいは結合された、別個の部品であってもよい。たとえば、（上記の駆動ベルトに実質的に類似の）駆動ベルト６００は、厚さＴおよび高さＨを有する、プーリ接合セグメント６０１、６０２を含んでもよい。駆動ベルト６００はまた、厚さＴ’、高さＨ、および、たとえば、トルク伝達バンドが使用されるアームリンクの長さ、および／またはバンドの自由長さに対応する、任意の適した所定の長さを有する、（説明目的のため、本明細書において「プレートセグメント」と呼ばれる）増加した厚さ６０３のセグメントを有してもよい。プレートセグメント６０３は、プレートセグメント６０３の側面から横方向に延在する、支持棒または他の適切な突出部６０５を含んでもよい。プーリ接合セグメント６０１、６０２のそれぞれは開口６０９を含んでもよく、突出部６０５は開口６０９を通って延在する。組み立てられると、プーリ接合セグメント６０１、６０２がプレートセグメント６０３とそれぞれの保持部材６１０との間に配置されるように、突出部は、任意の適切な保持部材６１０（たとえば、任意の適切なクリップ、ナット、ピンなど）と接合するように構成された、任意の適切な凹部、溝、開口、スレッドなどに嵌ってもよい。この態様では、プレートセグメント６０３とプーリ接合セグメント６０１、６０２のそれぞれとの間の、突出部６０５と開口６０９の接続は、トルク伝達バンド６００が緊張状態にあるとき、プレートセグメント６０３およびプーリ接合セグメント６０１、６０２のそれぞれの自己整列を可能にする。他の態様では、プーリ接合セグメント６０１、６０２は、たとえば、化学的ファスナ、溶接、ろう付け、エポキシ接合、または、たとえば、ねじ、ボルト／ナット、クリップ、留め金などのような、他の任意の適切な機械的ファスナなどの、任意の適切な方法で、プレートセグメント６０３に、化学的または機械的に接着あるいは取り付けられてもよい。
【0036】
図７を参照すると、別の駆動ベルト７００が、開示される実施形態の態様に従って図示されている。駆動ベルト７００は、トルク伝達バンド６００に実質的に類似であるが、この態様では、プーリ接合セグメント７０１、７０２は、任意の適切な方法で、プレートセグメント７０３に化学的または機械的に取り付けられてもよい。たとえば、プレートセグメント７０３は、プレートセグメント７０３の長手方向の各端部に配置された、１つまたは複数の凹部７０３Ｒを有してもよい。凹部７０３Ｒは、それぞれのプーリ接合セグメント７０１、７０２の端部７０１Ｅ、７０２Ｅを受容するような、形状およびサイズであってもよい。プーリ接合セグメント７０１、７０２の端部７０１Ｅ、７０２Ｅは、たとえば、化学的ファスナ、溶接、ろう付け、エポキシ接合などの、任意の適切な方法で、プレートセグメント７０３に、化学的または機械的に接着あるいは取り付けられてもよい。理解できるように、組み立て中に、プーリ接合セグメント７０１、７０２およびプレートセグメント７０３を整列させるために、任意の適切な整列固定具が使用されてもよい。
【0037】
次に図８を参照すると、トルク伝達バンド８００が、開示される実施形態の態様に従って図示されている。トルク伝達バンド８００は、上記のものに実質的に類似であってもよいが、この態様では、トルク伝達バンド８００は一体式バンド８５０および、一体式バンドに取り付けられ、バンド重ね板（ｂａｎｄ ｄｏｕｂｌｅｒ）を形成する、プレートセグメント８０３を含む（たとえば、プレートセグメントが、バンドの長さに沿って長手方向に延在し、バンドと、その長手方向の長さに沿って、実質的に接触している）。プレートセグメント８５０は、上記のものに実質的に類似の方法のような、任意の適切な方法で、一体式バンド８００に、化学的または機械的に接着、あるいは化学的または機械的に取り付けられてもよい。理解できるように、組み立て中に、一体式バンド８５０およびプレートセグメント８０３を整列させるために、任意の適切な整列固定具が使用されてもよい。
【0038】
上記の、開示される実施形態の態様では、増加した側面の厚さ／断面３５０ＩＳの一体形成された部分、およびプレートセグメント６０３、７０３、８０３は、実質的に長方形の断面を有して図示されている。しかし、他の態様では、プレートセグメント、および／または（説明目的のために、まとめてプレート部と呼ばれる）増加した側面の厚さ／断面の一体形成された部分は、図９Ａ～９Ｈに記載されるもののような、任意の適切な断面を有してもよい。たとえば、図９Ａは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、「Ｔ」字（または逆「Ｔ」字）状の断面を有する、プレート部を図示している。図９Ｂは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、「Ｉ」字状の断面を有する、プレート部を図示している。図９Ｃは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、「Ｃ」字（または反転「Ｃ」字）状の断面を有する、プレート部を図示している。図９Ｄは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、「Ｌ」字（または逆「Ｌ」字）状の断面を有する、プレート部を図示している。図９Ｅは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、穴の開いた長方形の形状の断面（たとえば、長方形のチューブ）を有する、プレート部を図示している。図９Ｆは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、三角形状の断面を有する、プレート部を図示している。図９Ｇは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、穴の開いた長方形の形状の断面（たとえば、三角形のチューブ）を有する、プレート部を図示している。図９Ｈは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、横向きの「Ｔ］字状の断面を有する、プレート部を図示している。図９Ｉは、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントが取り付け、または一体形成され得る側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２を備えた、「Ｚ」字状の断面を有する、プレート部を図示している。理解できるように、図９Ａ～９Ｉに図示される、１つまたは複数のプレート部は、上記のトルク伝達バンド３５０、６００、７００、８００のプーリ接合部の、１つまたは複数の側面ＬＳ１、ＬＳ２と、（単一の一体構造体として）一体形成、接着、あるいは取り付けられてもよい。図９Ｊおよび９Ｋは、上記のプレートセグメントに類似であり、バンド重ね板を形成するために、上記のような、一体式バンドまたはプーリ接合セグメントの１つまたは複数の側面ＰＬＳ１、ＰＬＳ２に（たとえば、接着、溶接、圧着などの、機械的または化学的な任意の適切な方法で）取り付けられ得る、１つまたは複数のワイヤセグメントＷＳを図示している。各側面に１つのワイヤセグメントＷＳが図示されているが、他の態様では、２つ以上のワイヤセグメントが各側面に取り付けられてもよい。
【0039】
再び図５を参照すると、本明細書で説明されるプレートセグメントは、バンドにおける応力集中を減少させるために、１つまたは複数のウェブまたは他の適切な形状の部分５５０、５５１を含んでもよい。たとえば、一体式バンドまたはプーリ接合部に取り付けられた、プレート部の端部は、プレート部と、一体式バンドまたはプーリ接合部との間の移行部に、先細りする、フィレット状の、または他の適切な形状の端部５５０、５５１を有してもよい。他の態様では、バンドおよび／またはプレート部における応力集中は、任意の適切な方法で減少されてもよい。
【0040】
図１０を参照すると、バンドの剛性をさらに増加させるために、プレート部は、バンドの運動を制限および誘導するように構成された、任意の適切なガイド部に接続されていてもよい。たとえば、図１０は、トルク伝達バンド１００１が設置される、例示的なアームリンクを図示している。トルク伝達バンド１００１は、上記のものに実質的に類似であってもよい（バンド１００１と接合するプーリは、明確にするために省略されている）。線形ガイドレール１０１０が、搬送アームリンク１０００内に配置されてもよい。可動式キャリッジ１０１１が搬送アームリンク１０００の長手方向軸（たとえば、Ｘ方向）に沿った運動に、実質的に制限されるように、可動式キャリッジ１０１１は、ガイドレール１０１０と接合する、およびガイドレール１０１０に沿って移動するように構成されてもよい。バンド１００１のプレート部１００１Ｐもまた、Ｘ方向の運動に、実質的に制限されるように、連結部材１０１２は、たとえば、バンド１００１のプレート部１００１Ｐをキャリッジ１０１１に連結する、あるいは接続してもよい。他の態様では、プレート部１００１Ｐの運動をＸ方向の運動に実質的に制限するために、任意の適切なガイド構成が提供されてもよい。
【0041】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、基板処理装置は、連続的に接続されたアームリンクを有し、アームリンクの少なくとも１つが所定のアームリンクの高さを有する、搬送アームと、少なくとも、第１プーリおよび第２プーリであって、第２プーリが連続的に接続されたアームリンクのうちの１つのアームリンクに固定されている、第１プーリおよび第２プーリと、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれの間で長手方向に延在し、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれに連結される、少なくとも１つのトルク伝達バンドとを備え、少なくとも１つのトルク伝達バンドが、所定のアームリンクの高さ対応するバンドの高さと、対応するバンドの高さに対して、横方向に増加した断面のセグメントを含むように、変化する横方向厚さとを有している。
【0042】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、基板処理装置は、連続的に接続されたアームリンクの伸長および収縮をもたらすために、第１プーリに駆動接続された駆動部を含む。
【0043】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、第１プーリは駆動プーリであり、第２プーリは従動プーリである。
【0044】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、横方向に増加した断面のセグメントは、非湾曲バンドセグメントである。
【0045】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、搬送アームは、駆動部に連結される近位端部を有する、第１アームリンクと、第２アームリンクであって、第２アームリンクの近位端部で、第１アームリンクの遠位端部に回転可能に連結された、第２アームリンクと、第２アームリンクの遠位端部に接続された、基板支持部と、を含む。
【0046】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、搬送アームはスカラアームを備える。
【0047】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、少なくとも１つのトルク伝達バンドのそれぞれは、横方向に増加した断面と異なる第１の横方向の断面を有する、第１および第２プーリ接合部を含み、横方向に増加した断面のセグメントは、第１プーリ接合部を第２プーリ接合部につなぐ。
【0048】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、少なくとも１つのトルク伝達バンドのそれぞれは、第１および第２プーリ接合部を含み、横方向に増加した断面のセグメントは、第１プーリ接合部と第２プーリ接合部との間の、少なくとも１つのトルク伝達バンド上に配置される。
【0049】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、横方向に増加した断面のセグメントは、少なくとも１つのトルク伝達バンドに取り付けられる。
【0050】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、横方向に増加した断面のセグメントは、少なくとも１つのトルク伝達バンドを備えた単一の一体構造を有する。
【0051】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、横方向に増加した断面のセグメントは、少なくとも１つのトルク伝達バンドの１つまたは複数の側面から横方向に延在する、１つまたは複数のフランジを備える。
【0052】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、基板処理装置は、連続的に接続されたアームリンクを有し、アームリンクのそれぞれが所定のアームリンクの高さを有する、搬送アームと、少なくとも、第１プーリおよび第２プーリであって、第２プーリが連続的に接続されたアームリンクのうち、駆動されるアームリンクに接続された、第１プーリおよび第２プーリと、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれの間で長手方向に延在し、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれに連結される、少なくとも１つのトルク伝達バンドとを備え、少なくとも１つのトルク伝達バンドが、横方向のバンド厚さと、所定のアームリンクの高さに関連する所定の高さとを有し、少なくとも１つのトルク伝達バンドのうち、少なくとも１つの側面にバンドセグメントが連結され、バンドセグメントは、少なくとも１つのトルク伝達バンドの所定の長さに亘って、少なくとも１つのトルク伝達バンドの厚さを変えるために、重ね板部材を形成するように構成されている。
【0053】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、基板処理装置は、アームリンクの伸長および収縮をもたらすために、第１プーリに駆動接続された駆動部をさらに含む。
【0054】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、第１プーリは駆動プーリであり、第２プーリは従動プーリである。
【0055】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、バンドセグメントは、非湾曲バンドセグメントである。
【0056】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、搬送アームは、駆動部に連結される近位端部を有する、第１アームリンクと、第２アームリンクであって、第２アームリンクの近位端部で、第１アームリンクの遠位端部に回転可能に連結された、第２アームリンクと、第２アームリンクの遠位端部に接続された、基板支持部と、を含む。
【0057】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、搬送アームはスカラアームを備える。
【0058】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、バンドセグメントは、少なくとも１つの側面に、機械的に固定される、または化学的に接着される。
【0059】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、バンドセグメントは、少なくとも１つの側面から横方向に延在する、１つまたは複数のフランジを備える。
【0060】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、バンドセグメントは、少なくとも１つのトルク伝達バンドの第１側面上に配置された第１バンドセグメント、および少なくとも１つのトルク伝達バンドの第２側面上に配置された第２バンドセグメントを備え、第２側面は第１側面の反対に位置する。
【0061】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、基板搬送装置は、駆動部と、３つ以上のアームリンクを有し、少なくとも１つのアームリンクが所定のアームリンクの高さを有する、スカラアームと、少なくとも、第１プーリおよび第２プーリであって、第２プーリが、連続的に接続されたアームリンクのうちの１つのアームリンクに固定されている、第１プーリおよび第２プーリと、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれの間で長手方向に延在し、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれに連結される、少なくとも１つのトルク伝達バンドとを備え、少なくとも１つのトルク伝達バンドが、所定のアームリンクの高さに対応するバンドの高さと、対応するバンドの高さに対して、横方向に増加した断面のセグメントを含むように、変化する横方向厚さとを有している。
【0062】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、少なくとも１つのトルク伝達バンドは、少なくとも１つのトルク伝達バンドの少なくとも１つの側面上に配置された、バンドセグメントを含み、バンドセグメントは所定の高さに対して、少なくとも１つのトルク伝達バンドの所定の長さに亘って、バンドセグメントの断面を変えるように構成されている。
【0063】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、バンドセグメントは、少なくとも１つの側面に、機械的に取り付けられる、または化学的に接着される。
【0064】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、バンドセグメントは、少なくとも１つの側面から横方向に延在する、１つまたは複数のフランジを備える。
【0065】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様に従って、基板処理装置は、連続的に接続されたアームリンクを有し、アームリンクの少なくとも１つが所定のアームリンクの高さを有する、搬送アームと、少なくとも、第１プーリおよび第２プーリであって、第２プーリが連続的に接続されたアームリンクのうちの１つのアームリンクに接続された、第１プーリおよび第２プーリと、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれの間で長手方向に延在し、第１プーリおよび第２プーリのそれぞれに連結される、少なくとも１つのトルク伝達バンドとを備え、少なくとも１つのトルク伝達バンドが、所定のアームリンクの高さに対応するバンドの高さを有し、第１および第２プーリの間に、第１バンド部分が長手方向に延在し、第１および第２プーリの間に、第２バンド部分が長手方向に延在し、第２バンド部分の厚さは、第１バンド部分の厚さよりも大きい。
【0066】
上記記載は、開示される実施形態の態様の例示にすぎないことが理解されるべきである。当業者によって、様々な代替例および修正例が、開示される実施形態の態様から逸脱することなく案出され得る。従って、開示される実施形態の態様は、添付の請求項の範囲に該当する、そのような代替例、修正例、および変形例のすべてを含むことを意図している。さらに、異なる特徴が、それぞれ異なる従属または独立請求項に詳述されるという一事実は、これらの特徴の組み合わせを有利に使用することができないということを意味せず、そのような組み合わせは、本発明の態様の範囲内に留まる。
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図5A】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】