▶ ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシーの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-04-17
(45)【発行日】2023-04-25
(54)【発明の名称】基板搬送装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230418BHJP
B25J 9/06 20060101ALI20230418BHJP
B65G 49/07 20060101ALI20230418BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B25J9/06 D
B65G49/07 D
【請求項の数】
18
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2019215618
(22)【出願日】2019-11-28
(62)【分割の表示】P 2016540517の分割
【原出願日】2014-12-15
(65)【公開番号】P2020053692
(43)【公開日】2020-04-02
【審査請求日】2019-11-28
(31)【優先権主張番号】14/568,742
(32)【優先日】2014-12-12
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】61/917,056
(32)【優先日】2013-12-17
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】522041444
【氏名又は名称】ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー
(74)【代理人】
【識別番号】110001896
【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】キャベニー、ロバート ティー
(72)【発明者】
【氏名】ギルクリスト、ユリシーズ
(72)【発明者】
【氏名】クラピイシェフ、アリグザンダー
【審査官】三浦 みちる
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１３－１９７１６４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１３－５４４０３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－０６２０４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１３／０４０４０１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００３－２０３９６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１３／１５４８６３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特表２００８－５０２４９８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ２５Ｊ ９／０６
Ｂ６５Ｇ ４９／０７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
フレームと、前記フレームに接続され、共通枢動軸の周りで枢動する複数のアームであって、それぞれのアームが、エンドエフェクタと、前記複数のアームのうちの他のアームに対する、それぞれのアームの伸長および収縮のための独立した駆動軸とを有する、複数のアームと、
少なくとも１つのアームの伸長および収縮のための独立した駆動軸の自由度を画定する線形レールと、
それぞれのアームが共通モータに共通して従属するように、それぞれのアームによって共有される共通モータの共通駆動軸であって、前記共通モータが前記共通枢動軸の周りで前記複数のアームをユニットとして共通トルクで枢動させるように構成されるように、前記共通モータが、それぞれのアームに共通である前記共通駆動軸を画定する共通トルクを出力する、共通駆動軸と、
を備え、
前記線形レールが、前記共通モータに従属し、前記複数のアームのうちの少なくとも１つが、前記複数のアームのうちの他のアームに対して独立した運動の自由度を提供する他の駆動軸を有し、前記独立した運動の自由度を提供する前記他の駆動軸が、前記共通モータに従属し、前記独立した運動の自由度を提供する前記他の駆動軸が、それぞれのアームの伸長および収縮のための前記独立した駆動軸、ならびに前記共通モータの前記共通駆動軸とは別個であり、異なる、
移送装置。
【請求項2】
前記他の駆動軸によりもたらされる運動方向であって、前記他の駆動軸により提供される前記独立した運動の自由度を画定する運動方向が、伸長および収縮のための軸に対して角度をなしている、請求項１記載の移送装置。
【請求項3】
前記他の駆動軸が、前記エンドエフェクタの着座平面と同一平面上である運動方向に前記独立した運動の自由度を提供するように配置される、請求項１記載の移送装置。
【請求項4】
前記他の駆動軸が、他の独立した運動の自由度の運動方向に対して角度をなす運動方向に前記独立した運動の自由度を提供するように配置される、請求項１記載の移送装置。
【請求項5】
前記他の駆動軸が、他の独立した運動の自由度の運動方向に対して平行である運動方向に前記独立した運動の自由度を提供するように配置される、請求項１記載の移送装置。
【請求項6】
前記複数のアームを共通のＺ運動軸に沿って一斉に移動させるように構成された第２の共通駆動モータをさらに備える、請求項１記載の移送装置。
【請求項7】
前記他の駆動軸が、ワークピースの自動中央揃えをもたらす、請求項１記載の移送装置。
【請求項8】
前記他の駆動軸が、ワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの設置の独立した調節をもたらす、請求項１記載の移送装置。
【請求項9】
前記複数のアームが、伸縮アームである、請求項１記載の移送装置。
【請求項10】
フレームと、前記フレームに接続され、共通枢動軸の周りで枢動する複数のアームであって、それぞれのアームが、エンドエフェクタと、ワークピースを搬送チャンバの内外に搬送するために、それぞれのアームの伸長および収縮のための独立した駆動軸とを有する、複数のアームと、
前記エンドエフェクタの着座平面と同一平面上である、少なくとも１つのアームのための、線形運動を画定する自由度を提供する線形駆動部によって駆動される線形駆動軸と、
それぞれのアームが共通モータに共通して従属するように、それぞれのアームによって共有される共通モータの共通駆動軸であって、前記共通モータが前記共通枢動軸の周りで前記複数のアームをユニットとして共通トルクで枢動させるように構成されるように、前記共通モータが、それぞれのアームに共通である前記共通駆動軸を画定する共通トルクを出力する、共通駆動軸と、
を備え、
前記線形駆動軸が、前記共通駆動軸に従属し、前記複数のアームのうちの少なくとも１つが、前記複数のアームのうちの他のアームに対して独立した運動の自由度を提供する他の駆動軸を有し、前記独立した運動の自由度を提供する前記他の駆動軸が、前記共通モータに従属し、前記独立した運動の自由度を提供する前記他の駆動軸が、それぞれのアームの伸長および収縮のための前記独立した駆動軸、前記線形運動を画定する自由度を提供する前記線形駆動部によって駆動される前記線形駆動軸、ならびに前記共通モータの前記共通駆動軸とは別個であり、異なる、
移送装置。
【請求項11】
前記他の駆動軸によりもたらされる運動方向であって、前記他の駆動軸により提供される前記独立した運動の自由度を画定する運動方向が、伸長および収縮のための軸に対して角度をなしている、請求項１０記載の移送装置。
【請求項12】
前記他の駆動軸が、前記エンドエフェクタの着座平面と同一平面上である運動方向に前記独立した運動の自由度を提供するように配置される、請求項１０記載の移送装置。
【請求項13】
前記他の駆動軸が、他の独立した運動の自由度の運動方向に対して角度をなす運動方向に前記独立した運動の自由度を提供するように配置される、請求項１０記載の移送装置。
【請求項14】
前記他の駆動軸が、他の独立した運動の自由度の運動方向に対して平行である運動方向に前記独立した運動の自由度を提供するように配置される、請求項１０記載の移送装置。
【請求項15】
前記複数のアームを共通のＺ運動軸に沿って一斉に移動させるように構成された第２の共通駆動モータをさらに備える、請求項１０記載の移送装置。
【請求項16】
前記他の駆動軸が、ワークピースの自動中央揃えをもたらす、請求項１０記載の移送装置。
【請求項17】
前記他の駆動軸が、ワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの設置の独立した調節をもたらす、請求項１０記載の移送装置。
【請求項18】
前記複数のアームが、伸縮アームである、請求項１０記載の移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
［関連出願の相互参照］
本出願は、２０１３年１２月１７日に出願された米国仮特許出願第６１／９１７，０５６号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
本出願は、２０１３年１２月１７日に出願された米国仮特許出願第６１／９１７，０５６号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
【0002】
［技術分野］
開示される実施形態の態様は、概してロボットシステムに関し、特にロボット搬送装置に関する。
開示される実施形態の態様は、概してロボットシステムに関し、特にロボット搬送装置に関する。
【背景技術】
【0003】
たとえば、半導体製造業では、ワークピースまたは半導体基板は、横並びの基板保持ステーションを有する線形ツールシステムおよび／またはクラスターツールシステムで処理されてもよい。一般的に、横並びの基板保持ステーションを有するこれらのシステムにおいて、半導体製造者は、基板を、実質的に同時にまたは独立して、横並びの基板保持ステーションへ、および基板保持ステーションから移送することが可能である独立型のラジアルロボットを要請する。一般的に、これは、横並びの基板保持ステーション間の間隙と実質的に同じである間隙を移送アーム間に有する２つの移送アームを設けることによってなされてきた。これらの移送アームは、ブームアーム上または線形スライド上に取り付けられてもよい。これらの移送アームは、アームを基板保持ステーションへ、および基板保持ステーションから伸長および収縮するために、リニア駆動装置を使用してもよい。
【発明の概要】
【0004】
それぞれの径方向軸に沿った、独立した回転モータ作動を有しながらも、各アームが共通の回転軸上で動作するように構成された横並びの２つの独立アームを有して構成される単一のロボットを設けることは有利となるだろう。共通の径方向軸に沿った、独立した回転モータ作動を有しながらも、各アームが共通の回転軸上で動作するように構成された２つの独立アームを有して構成される単一のロボットを設けることもまた、有利となるだろう。移送ロボットのシータ軸を使用せずに、オンザフライ（on-the-fly）技術を使用してウェハの配置を修正する能力をもたらしながらも、システムステーションエラーを修正する能力をもたらすため、横並びの独立したアームの径方向軸に沿った移動に対し略垂直である方向への移動を、横並びの独立したアームのそれぞれに提供することもまた、有利となるだろう。
【図面の簡単な説明】
【0005】
開示される実施形態の前述の態様および他の特徴が、添付の図面と関連して、以下の記載において説明される。
【0006】
【図1A】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。
【図1B】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。
【図1C】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。
【図1D】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。
【図2A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図2B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図2C】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図2D】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図2E】開示される実施形態の態様による駆動セクションの概略図である。
【図2F】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。
【図2G】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。
【図2H】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。
【図2I】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。
【図2J】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。
【図3F】開示される実施形態の態様による駆動セクションの概略図である。
【図3G】開示される実施形態の態様による駆動セクションの概略図である。
【図5A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図5B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図5C】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図6A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図6B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図7A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図7B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図7C】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図8A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図8B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図10A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図10B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図11A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図11B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図11C】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図11D】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図12A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図12B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図12C】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図13】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。
【図14】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。
【図15】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。
【図16A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図16B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図16C】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図17A】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図17B】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図17C】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図18】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図19】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図20】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【図21】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
図１Ａ～１Ｄは、開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。開示される実施形態の態様は、図面を参照して説明されるが、開示される実施形態の態様は、多くの形態で具体化され得ることが理解されるべきである。加えて、任意の適切なサイズ、形状もしくは種類の構成要素、または材料が使用され得る。
【0008】
たとえば、半導体ツールステーションなどの処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄが、開示される実施形態の態様に応じて示されている。図面に半導体ツールステーションが示されているが、本明細書で説明される、開示される実施形態の態様は、ロボットマニピュレータを使用する、いずれのツールステーションまたは応用例にも適用可能である。ある態様では、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、（たとえば、中央チャンバに接続された基板保持ステーションを有する）クラスターツール構成を有して示され、一方で、他の態様では、処理装置は、線形に配置されたツールであってもよいが、開示される実施形態の態様は、任意の適切なツールステーションに適用されてもよい。装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、一般的に、大気フロントエンド１０１、少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、および真空バックエンド１０３を含む。少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは、任意の適切な構成において、フロントエンド１０１および／またはバックエンド１０３の、１つもしくは複数の任意の適切なポート、または１つもしくは複数の開口部に連結されてもよい。たとえば、ある態様では、１つまたは複数のロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは、図１Ｂ～１Ｃに見られるように、横並びの配置における共通の水平面に配置されてもよい。他の態様では、図１Ｅに示されるように、１つまたは複数のロードロックが、少なくとも２つのロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄが列をなして（たとえば水平面を離間させて）、およびカラム状に（たとえば、垂直面を離間させて）配置されるような、グリッド形式で配置されてもよい。さらに別の態様では、１つまたは複数のロードロックは、図１Ａに見られるように、単一の一列ロードロック１０２であってもよい。さらに別の態様では、少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ｅは、図１Ｆに見られるように、積み重ねられた一列配置で配置されてもよい。ロードロックが、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの端部１００Ｅ１または面１００Ｆ１上に図示されているが、他の態様では、１つまたは複数のロードロックは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの、任意の数の側面１００Ｓ１、１００Ｓ２、端部１００Ｅ１、１００Ｅ２、または面１００Ｆ１～１００Ｆ８上に配置されてもよいことが理解されるべきである。少なくとも１つのロードロックのそれぞれは、それぞれのロードロック内で適切な支持部上に基板が保持される、１つまたは複数のウェハ／基板静止面ＷＲＰ（図１Ｆ）を含んでもよい。他の態様では、ツールステーションは任意の適切な構成を有してもよい。フロントエンド１０１、少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、バックエンド１０３のそれぞれの構成要素は、たとえば、クラスタ化されたアーキテクチャ制御などの任意の適切な制御アーキテクチャの一部であってもよい制御装置１１０に接続されてもよい。制御システムは、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１１年３月８日に発行された、「Ｓｃａｌａｂｌｅ Ｍｏｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ」と題された、米国特許第７，９０４，１８２号明細書に記載されたもののような、主制御装置、クラスタ制御装置および自律型遠隔制御装置を有する閉ループ制御装置であってもよい。他の態様では、任意の適切な制御装置および／または制御システムが利用されてもよい。
【0009】
ある態様では、フロントエンド１０１は一般的に、ロードポートモジュール１０５および、たとえばイクイップメントフロントエンドモジュール（ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｆｒｏｎｔ ｅｎｄ ｍｏｄｕｌｅ）（ＥＦＥＭ）などのミニエンバイロメント１０６を含む。ロードポートモジュール１０５は、３００ｍｍロードポート、前開き型または底開き型ボックス／ポッドおよびカセットのためのＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９に適合した、ボックスオープナー／ローダーツール標準（ＢＯＬＴＳ）インターフェースであってもよい。他の態様では、ロードポートモジュールは、２００ｍｍウェハ／基板インターフェース、４５０ｍｍウェハ／基板インターフェース、または、たとえば、大型もしくは小型の半導体ウェハ／基板、もしくは、平面パネルディスプレイ、ソーラパネル、レチクルもしくは他の任意の適切な物体用の平面パネルなどの、他の任意の適切な基板インターフェースとして構成されてもよい。図１Ａ～１Ｄには３つのロードポートモジュール１０５が示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールがフロントエンド１０１に組み込まれてもよい。ロードポートモジュール１０５は、オーバーヘッド型搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、レール型搬送車、または他の任意の適切な搬送手段から、基板キャリアまたはカセットＣを受容するように構成されていてもよい。ロードポートモジュール１０５は、ロードポート１０７を通じて、ミニエンバイロメント１０６と接続してもよい。ロードポート１０７は、基板カセットとミニエンバイロメント１０６との間で、基板の通過を可能にしてもよい。ミニエンバイロメント１０６は一般的に、本明細書で説明される、開示される実施形態の１つまたは複数の態様を組み込んでもよい任意の適切な移送ロボット１０８を含む。ある態様では、ロボット１０８は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、１９９９年１２月１４日に発行された米国特許第６，００２，８４０号明細書、２０１３年４月１６日に発行された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および２０１０年１月１９日に発行された米国特許第７，６４８，３２７号明細書に記載されたもののような、走路搭載型ロボットであってもよい。他の態様では、ロボット１０８は、バックエンド１０３に関して、本明細書において説明されるものに実質的に類似であってもよい。ミニエンバイロメント１０６は、複数のロードポートモジュール間での基板移送のための、制御されたクリーンゾーンを提供してもよい。
【0010】
少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは、ミニエンバイロメント１０６とバックエンド１０３との間に位置し、ミニエンバイロメント１０６およびバックエンド１０３に接続されてもよい。他の態様では、ロードポート１０５は、少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、または搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに実質的に直接連結されてもよく、基板キャリアＣが、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの真空まで真空引き（pump down）され、基板が、基板キャリアＣとロードロックまたは搬送チャンバとの間で直接移送される。この態様では、搬送チャンバの処理真空が基板キャリア内へと延在するように、基板キャリアＣは、ロードロックとして機能してもよい。理解できるように、基板キャリアＣが、適切なロードポートを通して、ロードロックに実質的に直接連結する場合、任意の適切な移送装置は、ロードロック内に設けられてもよく、または、基板キャリアＣへ、および基板キャリアＣから基板を移送するために、キャリアＣへのアクセスを有していてもよい。本明細書において使用される真空という用語は、基板が処理される、１０-5Ｔｏｒｒ以下のような高真空を意味してもよい。少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは一般的に、大気および真空スロットバルブを含む。ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂの（および処理ステーション１３０のための）スロットバルブは、大気フロントエンドから基板を搭載した後に、ロードロック内を排気するために使用され、および、窒素などの不活性ガスを用いてロック内に通気するときに、搬送チャンバ内の真空を維持するために使用される環境隔離を提供する。本明細書において説明されるように、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに連結された少なくとも処理装置ステーション１３０およびロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂへの、少なくとも処理装置ステーション１３０およびロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂからの基板の移送を受け入れるために、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄのスロットバルブは、（ロードポートに関して既に説明されたように）同一平面内や、垂直方向に積み重ねられた別の平面内に位置してもよく、または、同一平面内に位置するスロットバルブと、垂直方向に積み重ねられた別の平面内に位置するスロットバルブとの組み合わせであってもよい。少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ（および／またはフロントエンド１０１）は、基板の基準を処理に望ましい位置に揃えるためのアライナ、または他の任意の適切な基板測定機器を含んでいてもよい。他の態様では、真空ロードロックは、処理装置の任意の適切な場所に設置されていてもよく、任意の適切な構成を有していてもよい。
【0011】
真空バックエンド１０３は、一般的に、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１つまたは複数の処理ステーション１３０、および、本明細書で説明される、開示される実施形態の１つまたは複数の態様を含んでいてもよい１つまたは複数の移送ロボットを含む、任意の適切な数の移送ユニットモジュール１０４を含む。搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄは、たとえば、ＳＥＭＩ規格Ｅ７２のガイドラインを満たす任意の適切な形状およびサイズを有してもよい。１つまたは複数の移送ユニットモジュール１０４、および１つまたは複数の移送ロボットは、以下において説明され、ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ（またはロードポートに位置するカセットＣ）と様々な処理ステーション１３０との間で基板を搬送するために、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ内に少なくとも部分的に位置していてもよい。ある態様では、移送ユニットモジュール１０４がＳＥＭＩ規格Ｅ７２のガイドラインを満たすように、移送ユニットモジュール１０４は、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄから、モジュラユニットとして取り外し可能であってもよい。
【0012】
処理ステーション１３０は、様々な、成膜、エッチング、または他の種類の処理を通じて、基板上に電気回路または他の望ましい構造体を形成するために、基板に対して動作してもよい。典型的な処理は、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチング処理、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）、イオン注入などの注入、測定、急速熱処理（ＲＴＰ）、乾燥細片原子層成膜（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィ、エピタキシ（ＥＰＩ）、ワイヤボンダ、および蒸発などの、真空を使用する薄膜処理、または他の真空圧を使用する薄膜処理を含む。搬送チャンバ１２５から処理ステーション１３０に、またはその逆に、基板を通過させることを可能にするように、処理ステーション１３０は、スロットバルブを通してなどの任意の適切な方法で、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに連通可能に接続される。搬送チャンバ１２５のスロットバルブＳＶは、二重（たとえば、共通ハウジング内に位置する、２つ以上の基板処理チャンバ）または横並びの処理ステーション１３０Ｔ１、１３０Ｔ２、単一処理ステーション１３０Ｓ、および／または積み重ねられた処理モジュール／ロードロック（図１Ｅおよび１Ｆ）の接続を可能にするように配置されてもよい。
【0013】
移送ユニットモジュール１０４の１つまたは複数のアームが、所定の処理ステーション１３０と位置が揃うときに、移送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに連結された処理ステーション１３０およびロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ（またはカセットＣ）への、および、それらからの基板の移送が行なわれてもよい。開示される実施形態の態様によると、１つまたは複数の基板は、個々に、または実質的に同時に（たとえば、基板が、図１Ｂ、１Ｃおよび１Ｄに示されるような、横並びの、または縦に並んだ処理ステーションから取り上げられ／載置されるときなど）それぞれの所定の処理ステーション１３０に移送されてもよい。ある態様では、移送ユニットモジュール１０４が、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１３年１０月１８日に出願され、「Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国仮特許出願第６１／８９２，８４９号明細書、２０１３年１１月１５日に出願され、「Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国仮特許出願第６１／９０４，９０８号明細書、および２０１３年２月１１日に出願され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１３／２５５１３号明細書に記載されたもののような、ブームアーム１４３（たとえば図１Ｄ参照）または線形キャリッジ１４４上に取り付けられてもよい。
【0014】
次に図２Ａ～２Ｄを参照すると、ある態様では、移送ユニットモジュール１０４は、少なくとも１つの駆動セクション２００、２０１、および少なくとも１つの移送アーム２１０、２１１、２１２、２１３を含む。少なくとも１つの駆動セクション２００、２０１は、Ｚ軸駆動装置２７０および回転駆動セクション２８２のうちの１つまたは複数を収容するフレーム２００Ｆを含む共通駆動セクション２００を含んでもよい。フレーム２００Ｆの内部２００ＦＩは、以下において説明される任意の適切な方法で密封されてもよい。ある態様では、Ｚ軸駆動装置は、少なくとも１つの移送アーム２１０、２１１、２１２、２１３をＺ軸に沿って移動させるように構成された任意の適切な駆動装置であってもよい。図２Ｅにおいて、Ｚ軸駆動装置は、スクリュー型の駆動装置として図示されているが、他の態様では、駆動装置は、リニアアクチュエータ、ピエゾモータなどの任意の適切なリニア駆動装置であってもよい。回転駆動セクション２８２は、たとえば、ハーモニックドライブ部などの任意の適切な駆動セクションとして構成されてもよい。たとえば、回転駆動セクション２８２は、任意の適切な数のハーモニックドライブモータ２８０を含んでもよい。ある態様では、図２Ｅに示されている回転駆動セクション２８２は、シャフト２８０Ｓを駆動するために、１つのハーモニックドライブモータ２８０を含んでいるが、他の態様では、駆動セクションは、同軸駆動システムにおいて、たとえば、任意の適切な数の駆動シャフトに応じた任意の適切な数のハーモニックドライブモータを含んでもよい。磁性流体シール２７６、２７７の構成部品が、移送ユニットモジュール１０４の望ましい回転Ｔおよび伸長Ｒ移動の間、十分な安定性およびクリアランスを有して、少なくとも部分的に、ハーモニックドライブモータ２８０によって中央に揃えられ、支持されるように、ハーモニックドライブモータ２８０は、高性能の出力軸受を有してもよい。磁性流体シール２７６、２７７は、以下において説明されるような、実質的に同心の同軸シールを形成する複数の部分を含んでもよい。この例では、回転駆動セクション２８２は、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，８４５，２５０号明細書、米国特許第５，８９９，６５８号明細書、米国特許第５，８１３，８２３号明細書、および米国特許第５，７２０，５９０号明細書に記載されたものに実質的に類似の方法で、駆動モータ２８０を収容するハウジング２８１を含む。流体シール２７６、２７７は、駆動シャフトアセンブリ内の各駆動シャフト２８０Ｓを密封するために、公差を有してもよい。駆動シャフト２８０Ｓは、ワイヤ２９０、または他の任意の適切な部品が、たとえば、（たとえば駆動セクション２０１などの）別の駆動セクションおよび／または駆動セクション２００に取り付けられた少なくとも１つの移送アーム２１０、２１１、２１２、２１３への接続のために、駆動装置アセンブリを通過することを可能にするために、（たとえば、駆動シャフトの中心に沿って長手方向に延びる孔を有する）中空型の構造を有してもよい。
【0015】
ある態様では、Ｚ軸駆動装置が、キャリッジ（およびキャリッジ上に位置するハウジング２８１）をＺ軸に沿って移動させるように、ハウジング２８１は、Ｚ軸駆動装置２７０に連結されたキャリッジ２７０Ｃに取り付けられてもよい。理解できるように、少なくとも１つの移送アーム２１０、２１１、２１２、２１３が、（大気圧ＡＴＭ環境内で動作してもよい）駆動装置２００の内部から動作する、制御された雰囲気を密封するために、上記の磁性流体シール２７６、２７７のうちの１つまたは複数、およびベローズシール２７５を含んでもよい。フレーム２００Ｆの内部２００ＦＩが、少なくとも１つの移送アーム２１０、２１１、２１２、２１３が動作する、制御された雰囲気から隔離されるように、ベローズシール２７５は、キャリッジ２７０Ｃに連結された一方の端部、およびフレーム２００ＦＩの任意の適切な部分に連結された別の端部を有してもよい。
【0016】
ある態様では、駆動シャフト２８０Ｓは、少なくとも１つの移送アーム２１０、２１１、２１２、２１３のそれぞれに共通であってもよい共通軸ＣＡＸの周りで矢印Ｔの方向に回転させるために、駆動セクション２０１に連結されてもよい。ここで、駆動セクション２０１は、ベース部材２５０および少なくとも１つの駆動部２５１、２５２を含んでもよい。この態様では、２つの駆動部２５１、２５２があるが、他の態様では、任意の適切な数の駆動部が設けられてもよい。ベース部材２５０は、内部チャンバ２５０Ｐを形成するフレームを含む。各駆動部２５１、２５２は、ベース部材２５０の内部チャンバ２５０Ｐと密封連通している内部チャンバ３００Ｐを形成するフレーム２５１Ｆ、２５２Ｆを含む。理解できるように、各駆動部２５１、２５２は、たとえば、任意の適切なカバー２５０Ｃによって密封されてもよい任意の適切なアクセス用開口部を含んでもよい。図２Ｂに見られるように、ベース部材２５０は、駆動部２５１、２５２が端部のそれぞれの一方に密封連結されるような第１および第２の端部を含んでもよい。駆動部上に取り付けられた１つまたは複数のアームの伸長／収縮軸が、１つまたは複数のアームが位置する移送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄのポートを通って延在可能であるように、駆動部は、互いに対して、任意の適切な角度βで配置されてもよい。たとえば、ある態様では、（駆動部２５１、２５２の伸長／収縮軸の間の角度に対応してもよい）角度βは、移送チャンバ１２５Ａの面１００Ｆ１～１００Ｆ８（図１Ａ）の角度αと実質的に同じ、または同等であってもよい。他の態様では、駆動部（および駆動部上に取り付けられた１つまたは複数のアーム）の伸長／収縮の軸が、たとえば、移送チャンバ１２５Ｂ（図１Ｂ）、１２５Ｃ（図１Ｃ）、および１２５Ｄ（図１Ｄ）の横並びのポートを通って延在するために、互いに実質的に平行であるように、角度βはおよそ０であってもよい。さらに他の態様では、駆動部２５１、２５２の伸長／収縮の軸が、互いに対して任意の適切な角度βを有するように、（以下において説明されるように、手動または自動操作のいずれかによって）角度βは、調節可能であってもよい。たとえば、角度βは、移送チャンバ１２５Ｃ（図１Ｃ）のポートを通って延在するために、および／または以下において説明されるような、ワークピースの自動中央揃えのために、角度０とθとの間で調節されてもよい。さらに別の態様では、移送ユニットモジュール１０４のアームが、共通駆動軸ＣＡＸの回転、および各駆動部２５１、２５２の独立した伸長または動作によって、角度の付いた面を有する移送モジュールのポートを通って伸長するように、駆動部間の角度βおよび／または間隔は、固定されてもよい。ベース部材２５０は、各駆動部２５１、２５２の伸長および収縮の軸Ｒ１、Ｒ２が固定の距離を離れるように、任意の適切な長さＬ１を有してもよく、固定の距離が、システムツールの構成により課せられる要件（たとえば、移送ユニットモジュール１０４が位置するモジュールのポート間の距離）に対応するか、または要件を満たしてもよい。
【0017】
図３Ａ～３Ｇを参照して、駆動部２５１、２５２が、駆動部２５１に関して説明される。駆動部２５２は、駆動部２５１と実質的に類似であってもよいことが理解されるべきである。上記のように、駆動部２５１は、任意の適切な方法で互いに密封連結される第１のフレーム部材２５１Ｆおよび第２のフレーム部材２５１Ｆ２で構築されてもよいフレーム２５１Ｆを含む。他の態様では、フレームは、任意の適切な構成を有してもよく、任意の適切な数のフレーム部材から構成されてもよい。駆動部２５１の内部チャンバ３００Ｐが、ベース部材２５０の内部チャンバ２５０Ｐと密封連通し、それによって、共通の雰囲気環境が、内部チャンバ２５０Ｐ、３００Ｐと駆動セクション２００のハウジング２８１の内部との間で共有されるように、フレーム２５１Ｆは、任意の適切な方法でフレーム２５１Ｆをベース部材２５０に取り付けるために構成されたアパーチャまたは開口部２５１Ｍを含んでもよい。この態様では、駆動部２５１は、２つの移送アーム２１２、２１３を支持および駆動するように構成されてもよいが、他の態様では、駆動部２５１は、任意の適切な数の移送アームを支持および駆動するように構成されてもよい。駆動部２５１は、移送アーム２１２、２１３のそれぞれを伸長および収縮させる独立した駆動軸の自由度を画定するように構成された第１の線形レールまたはスライド３１０Ａ、３１０Ｂ（概して、線形レールまたはスライド３１０）、および第２の線形レールまたはスライド３１１Ａ、３１１Ｂ（概して、線形レールまたはスライド３１１）を含んでもよい。この態様では、駆動部は、たとえば、バンドおよびプーリ駆動伝達部によってそれぞれのアーム２１２、２１３を駆動するための第１の駆動モータ３２０および第２の駆動モータ３２１を含む。モータが回転モータとして図示されているが、他の態様では、たとえば、直結駆動のリニアモータ、リニア圧電モータ、リニアインダクタンスモータ、リニア同期モータ、ブラシまたはブラシレスリニアモータ、リニアステッパモータ、リニアサーボモータ、リラクタンスモータなどの、１つもしくは複数の任意の適切なモータ、および／または１つもしくは複数の適切な駆動伝達部が使用されてもよい。適切なリニアモータの例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１１年１０月３１日に出願され、「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題された米国特許出願第１３／２８６，１８６号明細書、２０１１年６月１３日に出願され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国特許出願第１３／１５９，０３４号明細書、２０１１年３月８日に発行され、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題された米国特許第７，９０１，５３９号明細書、２０１２年１０月２３日に発行され、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題された米国特許第８，２９３，０６６号明細書、２０１３年４月１６日に発行され、「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、２００９年８月１８日に発行され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国特許第７，５７５，４０６号明細書、および２０１１年６月１４日に発行され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国特許第７，９５９，３９５号明細書に記載されている。
【0018】
第１および第２の駆動モータ３２０、３２１は、駆動モータ２８０に実質的に類似のハーモニック駆動装置であってもよいが、一方で他の態様では、駆動モータ３２０、３２１は、任意の適切な駆動モータであってもよい。各駆動モータ３２０、３２１は、任意の適切な方法で、それぞれの駆動プーリ３３２Ｂ、３３３Ａに連結するために、モータ３２０、３２１の駆動シャフト３７０が通って延在するフレーム２５１中のアパーチャを密封するための、磁性流体シールなどのそれぞれの密封部３２０Ｓ、３２１Ｓを有してもよい。駆動プーリ３３２Ｂ、３３３Ａは、１つまたは複数のバンドなどの任意の適切な方法で、それぞれの従動プーリ３３２Ａ、３３３Ｂに連結されてもよい。たとえば、駆動プーリ３３２Ｂは、バンド３３０Ａ、３３０Ｂによって、従動プーリ３３２Ａに連結されてもよい。駆動プーリ３３３Ａは、バンド３３１Ａ、３３３Ｂによって、従動プーリ３３３Ｂに連結されてもよい。バンド３３０Ａ、３３０Ｂ、３３１Ａ、３３１Ｂは、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１３年８月２６日に出願され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国仮特許出願第６１／８６９，８７０号明細書に記載されたものなどの任意の適切なバンドであってもよい。また、理解できるように、本明細書において説明される駆動軸は、それぞれの駆動モータの位置を検知するための、および、たとえば、移送ユニットモジュール１０４を制御するための制御装置１１０などの任意の適切な制御装置に１つまたは複数の信号を送信するための、エンコーダ３７１、２９６、３７１などの任意の適切なエンコーダを有してもよい。理解できるように、駆動部２５１、２５２およびベース部材２５０の密封された内部によって、各駆動部２５１、２５２の駆動モータ３２０、３２１が、移送アーム２１０～２１３が動作する環境から分離または密封された雰囲気環境内に位置することが可能になる。駆動部２５１、２５２およびベース部材２５０の密封された内部によって、ワイヤまたはホースが駆動セクション２００から駆動セクション２０１へと配線されることが可能になる。
【0019】
再度、図２Ａ～２Ｄおよび図４Ａ～４Ｂを参照すると、移送アーム２１０～２１３が、開示される実施形態の態様による駆動部２５２に関して説明される。この態様では、移送アーム２１０～２１３は、伸縮構成を有するが、他の態様では、移送アーム２１０～２１３は任意の適切な構成を有してもよい。また、この態様では、各駆動部２５１、２５２は、２つの伸縮アーム２１０～２１３を含むが、他の態様では、任意の適切な数の移送アームが、各駆動部２５１、２５２上に設けられてもよい。この態様では、各移送アーム２１０～２１３は、ベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂ、およびそれぞれのベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂに移動可能に連結されたエンドエフェクタ２１０Ｅ、２１１Ｅを含む。各ベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂは、エンドエフェクタを伸長／収縮の軸に沿って駆動するために任意の適切な伝達部が配置される内部を有してもよい。ベース部材の内部は、移送アームが動作する環境に曝露されてもよいが、その環境へのいかなる粒子の進入をも防止し、または環境内で搬送されるワークピースへのいかなる粒子の接触をも防止するために、ラビリンスシールなどの任意の適切な密封部を含んでもよい。本明細書において説明される各エンドエフェクタは、エンドエフェクタに保持されているときに基板が位置するエンドエフェクタ着座平面ＳＰ（図２Ｄ）を含む。ベース部材２１０Ｂは、駆動部２５２に対して移動可能となるように、線形レール３１０Ａ、３１０Ｂを介して駆動部２５２に移動可能に連結されてもよい。ベース部材２１１Ｂは、駆動部２５２に対して移動可能となるように、線形レール３１１Ａ、３１１Ｂを介して駆動部２５２に連結されてもよい。移送アーム２１０および２１１のそれぞれの、線形レールによって画定される自由度が、互いに対して平行である（たとえば、エンドエフェクタの移送平面が上下に位置する）ように、各アーム２１０、２１１は、それぞれのレールによって画定される自由度を有する。理解できるように、移送アーム２１２、２１３は、類似の、平行の自由度を有する。また、理解できるように、アーム２１１の、線形レールによって画定される自由度は、移送アーム２１２の、線形レールによって画定される自由度と同一平面上であってもよく（たとえば、各移送アーム２１１、２１２のエンドエフェクタが同じ平面に位置する）、一方で、アーム２１０の、線形レールによって画定される自由度は、移送アーム２１３の、線形レールによって画定される自由度と同一平面上であってもよい（たとえば、各移送アーム２１０、２１３のエンドエフェクタが同じ平面に位置する）。
【0020】
ベース部材２１０Ｂが、バンド３３０Ａ、３３０Ｂの少なくとも１つに連結され、それによって、バンド３３０Ａ、３３０Ｂがモータ３２０によって駆動されると、ベース部材２１０Ｂが、バンド３３０Ａ、３３０Ｂの少なくとも１つと共に、伸長／収縮の方向Ｒに移動するように、ベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂは、駆動部２５２上で横並びに配置されてもよい。ベース部材２１１Ｂが、バンド３３１Ａ、３３１Ｂの少なくとも１つに連結され、それによって、バンド３３１Ａ、３３１Ｂがモータ３２１によって駆動されると、ベース部材２１１Ｂが、バンド３３１Ａ、３３１Ｂの少なくとも１つと共に、伸長／収縮の方向Ｒに移動する。他の態様では、ベース部材は、互いに対し、任意の適切な空間的配置を有してもよい。
【0021】
ベース部材２１０Ｂは、ベース部材２１０Ｂおよび駆動部２５２に対する相対的な回転のために、エンドエフェクタ２１０Ｅが移動可能に取り付けられるベース部材の内部に少なくとも部分的に配置された線形レールまたはスライド４１０Ａ、４１０Ｂを含んでもよい。プーリ４１０、４１１、４２０、４２１は、それぞれのベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂの内部の端部または他の任意の適切な場所に回転可能に取り付けられてもよい。１つまたは複数の（上記のものに類似の）バンド、単一の連続ループバンド／ベルト、または他の任意の適切な伝達部材４１２、４２２は、プーリ４１０、４１１、４２０、４２１のそれぞれを互いに連結してもよい。ある態様では、ベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂとフレーム２５２Ｆとの間の相対移動が、それぞれの伝達部材４１２、４２２を駆動するように、各伝達部材４１２、４２２は、駆動部２５２のフレーム２５２Ｆに接地されてもよい。ベース部材２１１Ｂが、矢印Ｒの方向に移動すると、エンドエフェクタも、たとえば、プーリ４１０、４１１によって画定される任意の適切な駆動比で、ベース部材２１１Ｂに対して矢印Ｒの方向に移動するように、エンドエフェクタ２１１Ｅは、伝達部材４１２に連結されてもよい。同様に、ベース部材２１０Ｂが、矢印Ｒの方向に移動すると、エンドエフェクタも、たとえば、プーリ４２０、４２１によって画定される任意の適切な駆動比で、ベース部材２１０Ｂに対して矢印Ｒの方向に移動するように、エンドエフェクタ２１０Ｅは、伝達部材４１２に連結されてもよい。理解できるように、エンドエフェクタ２１１Ｅ、２１２Ｅが、互いの上方／下方を通過することを可能にしながら、それぞれの駆動部２５１、２５２の他方のエンドエフェクタ２１０Ｅ、２１３Ｅの上方に位置決めされ得るように、ブリッジ部材４００が、エンドエフェクタ２１１Ｅ、２１２Ｅなどのエンドエフェクタの１つの上に設けられてもよい。
【0022】
上記のように、本明細書に説明される移送アームは、例示目的のみのため、伸縮アーム（または以下において説明されるようなスライドアーム）として、図示されている。しかし、他の態様では、移送アームは、図２Ｇに示されるような、線形スライドアーム２１４などのための任意の適切な移送アームであってもよい。他の態様では、アームは、スカラ（ＳＣＡＲＡ）アーム２１５（図２Ｈ）、または任意の適切なアーム連動機構を有する他の適切なアームであってもよい。アーム連動機構の適切な例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、２０１３年４月１６日に発行された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、２０１１年１１月１０日に出願され、「Ｄｕａｌ Ａｒｍ Ｒｏｂｏｔ」と題された米国特許出願第１３／２９３，７１７号明細書、および２０１３年９月５日に出願され、「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題された米国特許出願第１３／８６１，６９３号明細書に見られる。開示される実施形態の態様では、少なくとも１つの移送アームは、アッパーアーム、バンド駆動フォアアームおよびバンド拘束エンドエフェクタを含む従来のスカラ（水平多関節ロボットアーム）型の設計に由来するか、または伸縮アームもしくは他の任意の適切なアーム設計に由来してもよい。移送アームの適切な例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２００８年５月８日に出願され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｍｏｖａｂｌｅ Ａｒｍｓ Ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ ａ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｗｉｔｃｈ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ」と題された米国特許出願第１２／１１７，４１５号明細書、および２０１０年１月１９日に発行された米国特許第７，６４８，３２７号明細書に見られる。移送アームの動作は、互いに独立であってもよい（たとえば、各アームの伸長／収縮が互いに独立している）か、ロストモーションスイッチによって動作されてもよいか、またはアームが少なくとも１つの共通駆動軸を共有するように、任意の適切な方法で、動作可能に連動されてもよい。さらに他の態様では、搬送アームは、フロッグレッグアーム２１６（図２Ｆ）構成、リープフロッグアーム２１７（図２Ｊ）構成、左右対称型アーム２１８(図２Ｉ）構成などの他の任意の望ましい構成を有してもよい。搬送アームの適切な例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２００１年５月１５日に発行された米国特許第６，２３１，２９７号明細書、１９９３年１月１９日に発行された米国特許第５，１８０，２７６号明細書、２００２年１０月１５日に発行された米国特許第６，４６４，４４８号明細書、２００１年５月１日に発行された米国特許第６，２２４，３１９号明細書、１９９５年９月５日に発行された米国特許第５，４４７，４０９号明細書、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、２０１１年１１月１０日に出願され、「Ｄｕａｌ Ａｒｍ Ｒｏｂｏｔ」と題された米国特許出願第１３／２９３，７１７号明細書、および２０１１年１０月１１日に出願され、「Ｃｏａｘｉａｌ Ｄｒｉｖｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ」と題された米国特許出願第１３／２７０，８４４号明細書に見られる。
【0023】
次に図５Ａ～５Ｅを参照すると、開示される実施形態の態様による搬送ユニットモジュール１０４Ａが図示されている。搬送ユニットモジュール１０４Ａは、上記の搬送ユニットモジュール１０４と実質的に類似であり、駆動セクション２００、２０１’を含む。ここでは、駆動セクション２０１’は、内部チャンバ５５１を形成するフレーム５５０Ｆを有するベース部材５５０を含む。ある態様では、内部チャンバ５５１は、取り外し可能のカバー５５０Ｃと、カバー５５０Ｃがフレーム５５０Ｆと結合するときに、カバー５５０Ｃとフレーム５５０Ｆとの間の接合部を密封するための任意の適切な密封部材５５０ＣＳと、を含んでもよい。内部チャンバは、上記のものと実質的に類似の方法で、駆動セクション２００の内部と連通していてもよい。この態様では、駆動部２５１、２５２のアームに、アームの伸長／収縮の軸Ｒに対して角度をなした自由度を提供するために、駆動部２５１、２５２は、任意の適切な方法で、駆動セクション２０１’のベース部材５５０に移動可能に取り付けられてもよい。
【0024】
ある態様では、駆動セクションは、駆動部２５１、２５２のそれぞれを移動可能に支持するために、ベローズ部材または密封支持部材５６０、５６１を含んでもよい。ベローズ部材５６０、５６１のそれぞれは、ベローズシール５６０Ｂ、５６１Ｂによってなどの任意の適切な方法で取り付け部材５６０Ｍ、５６１Ｍに移動可能に接続されたスタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓを含んでもよい。スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓが、それぞれのアパーチャまたは開口部５７５Ａ、５７５Ｂを通って、少なくとも部分的に内部チャンバ５５１に挿入されるように、取り付け部材５６０Ｍ、５６１Ｍは、任意の適切な方法でフレーム５５０Ｆに連結するように構成される。ある態様では、任意の適切な密封部材５６５Ａ、５６５Ｂが、内部チャンバ内の密封環境を維持するために、取り付け部材５６０Ｍ、５６１Ｍとフレーム５５０Ｆとの間に配置されてもよい。ある態様では、ベローズシール５６０Ｂ、５６１Ｂは、スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓに、たとえば、ＸおよびＺ方向における軸方向の支持を提供するように、任意の適切な材料で構成されてもよく、任意の適切な構成を有してもよい。他の態様では、スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓは、少なくとも部分的に内部チャンバ５５１内に位置し、アームが動作する環境から密封される線形レール、ブッシュ、軸受などによる任意の適切な方法で、軸方向に支持されてもよい。たとえば、フレーム５５０Ｆは、内部チャンバ５５１内に配置される１つまたは複数の線形レール５８８Ａ、５８８Ｂ（図５Ｅ）を含んでもよい。各スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓは、スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓが、線形レールに沿って矢印５９９の方向に線形移動可能であり、線形レール５８８Ａ、５８８Ｂによって、ＸおよびＺ方向に支持されるように構成された、１つもしくは複数のレールガイド部材ＧＭ１、ＧＭ２、ＧＭ３、ＧＭ４に固定されて取り付けられてもよいし、または１つもしくは複数のレールガイド部材ＧＭ１、ＧＭ２、ＧＭ３、ＧＭ４を含んでもよい。
【0025】
スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓの内部通路ＩＰが、ベース部材５５０とそれぞれの駆動部２５１、２５２との間を、たとえばワイヤ、ホースなどが通過することを可能にしながら、内部チャンバ５５１と、それぞれの駆動部２５１、２５２の内部チャンバ３００Ｐとの間での雰囲気の連通を容易にするように、各スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓは、任意の適切な方法で、スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓをそれぞれの駆動部２５１、２５２と連結するように構成された接合部５６６Ａ、５６６Ｂを含む。理解できるように、スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓの内部通路ＩＰを通過する任意のワイヤ、ホースなどの移動側面を保持または固定するために、任意の適切なタイダウン（tide down）または保持部材５９７が、内部チャンバ５５１内に設けられてもよい。ある態様では、内部チャンバ５５１、３００Ｐの内部雰囲気が、移送アームが動作する環境から密封され得るように、任意の適切な密封部材５６６Ｓが、接合部５６６Ａ、５６６Ｂとそれぞれのフレーム２５１Ｆ、２５２Ｆとの間に配置されてもよい。
【0026】
各スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１は、内部通路ＩＰを形成し、アパーチャ５７５Ａ、５７５Ｂを通って、少なくとも部分的に、ベース部材５５０の内部チャンバ５５１内へと延在するシャフト部分５６０ＳＰ、５６１ＳＰを含んでもよい。少なくとも１つのスタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓ、および少なくとも１つのスタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓに連結された駆動部２５１、２５２に、（たとえば、矢印５９９の方向で、Ｙ軸に沿った）線形運動を与えるために、１つまたは複数の駆動装置５１０、５２０が、任意の適切な方法で、ベース部材５５０内に配置されてもよい。理解できるように、駆動部２５１、２５２の矢印５９９の方向への移動は、駆動部２５１、２５２に取り付けられた移送アーム２１０～２１３の移動も提供する。ある態様では、駆動装置５１０、５２０は、モータ５１０Ｍ、５２０Ｍ、モータによって駆動されるボールねじ５１０Ｓ、５２０Ｓ、およびボールねじに沿って走るボールナットを有するボールねじ駆動装置などの任意の適切なリニア駆動装置であってもよい。ボールナットは、ボールナットアダプタまたは連結器５１０Ｃ、５２０Ｃに一体化、または連結してもよい。スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓが、それぞれの駆動装置５１０、５２０に連結されるように、連結器５１０Ｃ、５２０Ｃは、それぞれのスタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓに固定されて接続され、ボールねじに係合するために、ボールナットを含む。ある態様では、連結器５１０Ｃ、５２０Ｃは、たとえば、それぞれのスタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓの１つまたは複数のレールガイド部材ＧＭ１～ＧＭ４に連結されるが、他の態様では、連結器５１０Ｃ、５２０Ｃは、それぞれのスタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓのシャフト部分５６０ＳＰ、５６１ＳＰと実質的に直接連結されてもよい、または一体化されてもよい。ここでは、ボールねじが回転すると、それぞれのスタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓを矢印５９９の方向に移動させるボールねじに沿って、矢印５９９の方向に、連結器５１０Ｃ、５２０Ｃが移動するように、各駆動装置５１０、５２０の駆動軸は、実質的にＹ軸に沿って（たとえば、スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓの移動の方向５９９に対して実質的に平行に）配置される。駆動装置５１０、５２０が、線形ボールねじ駆動装置として図示されているが、他の態様では、駆動装置は、直結駆動のリニアモータ、リニア圧電モータ、リニアインダクタンスモータ、リニア同期モータ、ブラシもしくはブラシレスリニアモータ、リニアステッパモータ、リニアサーボモータ、リラクタンスモータ、または他の任意の適切なリニア駆動装置であってもよい。さらに別の態様では、回転モータが、スタンドオフ部材５６０Ｓ、５６１Ｓ（および、スタンドオフ部材上に位置するアーム）を１つまたは複数の任意の適切な伝達部材によって矢印５９９の方向に駆動するために設けられてもよい。
【0027】
図５Ａ～５Ｅにおいて、駆動セクション２０１’が、移送アーム２１０～２１３を、互いに対し、および／またはベース部材５５０に対し、Ｙ軸に沿って矢印５９９の方向に移動させるための２つのリニア駆動装置５１０、５２０を有して図示されているが、他の態様では、１つの駆動部２５１、２５２のみが、ベース部材５５０および／または他の駆動部２５１、２５２に対し、Ｙ軸に沿って移動可能であるように、駆動セクション２０１’は、１つのリニア駆動装置を有して構成されてもよい。理解できるように、１つまたは複数の駆動部２５１、２５２の移動は、駆動部２５１、２５２の伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２間の距離Ｄの変化を提供するか、または伸長／収縮のそれぞれの軸Ｒ１、Ｒ２と、回転の共通軸ＣＡＸとの間の距離Ｄ１、Ｄ２の変化を提供する。移送アーム２１０～２１３が、ワークピースを取り出すか、または処理ステーション１３０に載置しているときに、１つまたは複数の伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２の変位によって、ワークピースの自動中央揃えが可能になり、および／または、たとえば移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節が可能になる。たとえば、図１Ｂを参照すると、伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２が処理ステーション１３０Ｔ１、１３０Ｔ２に面するように、駆動セクション２００は、ベース部材５５０を回転させてもよい。任意の適切なワークピース自動中央揃え処理またはアルゴリズムに従って、伸長／収縮の軸を、処理ステーション１３０Ｔ１、１３０Ｔ２のうちの１つまたは複数の中のワークピース保持ステーションと揃えるために、伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２のうちの１つまたは複数は、Ｙ軸に沿って矢印５９９の方向に変位してもよい。たとえば、アーム２１０～２１３によって運搬されたワークピースの１つまたは複数の特徴を検知するために、１つまたは複数のセンサ１２３Ａ、１２３Ｂが、それぞれの処理ステーション１３０Ｔ１、１３０Ｔ２に隣接して配置されてもよい。ワークピースＳの中心を判定するために、１つまたは複数のセンサ１２３Ａ、１３Ｂは、任意の適切な信号を、たとえば、制御装置１１０などの任意の適切な制御装置に送信してもよい。ワークピースＳの中心が、処理ステーション１３０Ｔ１、１３０Ｔ２内のワークピース保持ステーションの所定の位置と揃うように、伸長／収縮のそれぞれの軸Ｒ１、Ｒ２が変位するように、制御装置１１０は、搬送ユニットモジュール１０４Ａの１つまたは複数の駆動装置を制御してもよい。ある態様では、ワークピースの自動中央揃えのために、および／または、たとえば、移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節のために、伸長／収縮の軸の両方が変位してもよい。別の態様では、伸長／収縮の軸Ｒ１のみが変位し、それによってワークピースＳの中心が、処理ステーション１３０Ｔ１内のワークピース保持ステーションの所定の位置と揃うように、リニアモータ５２０が、駆動部２５１を移動させるように動作してもよい。さらに別の態様では、伸長／収縮の軸Ｒ２のみが、処理ステーション１３０Ｔ２内のワークピース保持ステーションと揃うように、リニアモータ５１０が、駆動部２５２を移動させるように動作してもよい。ワークピース自動中央揃えの適切な例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１２年９月１４日に出願され、「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ Ｋａｌｍａｎ Ｆｉｌｔｅｒ」と題された米国特許出願第１３／６１７，３３３号明細書、２０１１年４月１２日に発行され、「Ｐｒｏｃｅｓｓ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｏｎ－Ｔｈｅ－Ｆｌｙ Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ」と題された米国特許第７，９２５，３７８号明細書、２０１０年１２月２８日に発行され、「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ Ｃｈａｒｇｅ－Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ」と題された米国特許第７，８５９，６８５号明細書、２０１２年９月１８日に発行され、「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ ａ Ｋａｌｍａｎ Ｆｉｌｔｅｒ」と題された米国特許第８，２７０，７０２号明細書、２０１０年９月７日に発行され、「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ」と題された米国特許第７，７９２，３５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行され、「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ」と題された米国特許第７，８９４，６５７号明細書、２０１２年２月２８日に発行され、「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ Ｃｈａｒｇｅ－Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ」と題された米国特許第８，１２５，６５２号明細書、２０１２年８月２８日に発行され、「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ Ｃｈａｒｇｅ－Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ」と題された米国特許第８，２５３，９４５号明細書に見られる。理解できるように、ワークピースの自動中央揃え、および／または、面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節をもたらすため、駆動モータ５１０、５２０の位置を検知するために、および／または、アーム２１０～２１３（およびアーム２１０～２１３上に保持されるワークピース）のＹ軸に沿った変位を検知するために、上記のものと実質的に類似の１つまたは複数のエンコーダ５１０Ｅ、５２０Ｅが設けられてもよい。
【0028】
次に図６Ａおよび６Ｂを参照すると、開示される実施形態の態様による移送ユニットモジュール１０４Ｂが図示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｂは、上記の移送ユニットモジュール１０４Ａに実質的に類似であってもよい。この態様では、回転駆動部６００、６０１が、駆動部２５１、２５２に関して既に説明されたものに実質的に類似の方法で、ベローズ部材５６０、５６１に連結されてもよい。１つまたは複数の適切な移送アーム６０５、６０６（図２Ｆ～２Ｊに関して既に説明されたものなど、または回転モータによって駆動されることが可能である他の任意の適切な移送アームなど）が、任意の適切な方法で、各回転駆動部６００、６０１に駆動可能に取り付けられてもよい。この態様における、回転駆動部６００、６０１のそれぞれは、フレームまたはハウジング６００Ｆ、６０１Ｆ、第１の駆動モータ６１０、および任意の適切な方法でフレーム６００Ｆ、６０１Ｆに取り付けられた第２の駆動モータ６２０を含む。モータの構成は、示されるような同軸モータ構成であってもよく、他の態様では、モータは、横並びに配置されてもよい。駆動モータは、たとえば、圧電モータ、インダクタンスモータ、同期モータ、ブラシまたはブラシレスモータ、リニアステッパモータ、サーボモータ、リラクタンスモータ、ハーモニックドライブモータなどの任意の適切なモータであってもよい。第１のモータ６１０は、ステータ６１０Ｓおよびロータ６１０Ｒを含んでもよい。第２のモータ６２０は、ステータ６２０Ｓおよびロータ６２０Ｒを含んでもよい。この態様では、同軸駆動シャフトアセンブリ６４５は、たとえば、（たとえばセルフベアリングモータを用いるなど）実質的に接触せずに、または任意の適切な軸受を用いるなど、任意の適切な方法で、少なくとも部分的にフレーム６００Ｆ、６０１Ｆ内で回転可能に支持される。同軸駆動シャフトアセンブリ６４５は、外側駆動シャフト６４０および内側駆動シャフト６５０を含む。ロータ６１０Ｒが回転すると駆動シャフト６４０が共に回転するように、ロータ６１０Ｒは、任意の適切な方法で、外側駆動シャフト６４０に連結されてもよい。他の態様では、任意の適切な数の駆動シャフトを駆動するために、任意の適切な数の駆動モータが、回転駆動部６００、６０１のそれぞれに設けられてもよい。ある態様では、ロータ６１０Ｒ、６２０Ｒおよび駆動シャフトアセンブリ６４５は、移送アーム６０５、６０６が動作する環境内に配置されてもよい。ステータが、移送アーム６０５、６０６が動作する環境から隔離または密封され、駆動セクション２００およびベース部材の内部と共通の雰囲気環境内に配置されるように、キャンシール（can seal）などの任意の適切な密封部６６０が、ステータ６１０Ｓ、６２０Ｓと、それらのそれぞれのロータ６１０Ｒ、６２０Ｒとの間に配置されてもよい。他の態様では、ロータ２１０Ｒ、２２０Ｒおよびステータ２１０Ｓ、２２０Ｓを、移送アーム６０５、６０６が動作する環境から密封するために、１つまたは複数の磁性流体シールが、各駆動シャフト６４０、６５０の周りに設けられてもよい。回転駆動部の適切な例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１１年１０月１１日に出願され、「Ｃｏａｘｉａｌ Ｄｒｉｖｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ」と題された米国特許出願第１３／２７０，８４４号明細書、２０１２年１０月５日に出願され、「Ｒｏｂｏｔ Ｄｒｉｖｅ ｗｉｔｈ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｓｐｉｎｄｌｅ Ｂｅａｒｉｎｇｓ」と題された米国特許出願第１３／６４６，２８２号明細書、１９９８年２月２４日に発行され、「Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｄｅｖｉｃｅ」と題された米国特許第５，７２０，５９０号明細書、１９９９年５月４日に発行され、「Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｄｅｖｉｃｅ」と題された米国特許第５，８９９，６５８号明細書、１９９８年９月２９日に発行され、「Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｄｅｖｉｃｅ」と題された米国特許第５，８１３，８２３号明細書、および２０１２年１０月９日に発行され、「Ｒｏｂｏｔ Ｄｒｉｖｅ ｗｉｔｈ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｓｐｉｎｄｌｅ Ｂｅａｒｉｎｇｓ」と題された米国特許第８，２８３，８１３号明細書に見られる。他の態様では、駆動部６００、６０１のうちの１つまたは複数（または本明細書において説明される他の駆動部２５１、２５２、２５１’、２５２’、８５０、８５１のいずれか）は、Ｚ軸駆動装置６００Ｚ、６０１Ｚに取り付けられたアームのうちの１つまたは複数を他の駆動部６００、６０１のアームに対し移動させるように構成されたＺ軸駆動装置６００Ｚ、６０１Ｚも含んでもよい。
【0029】
次に図７Ａ～７Ｃを参照すると、移送ユニットモジュール１０４Ｃが、開示される実施形態の態様に従って、図示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｃは、上記の移送ユニットモジュール１０４に実質的に類似であってもよい。この態様では、各アーム２１０～２１３のための駆動モータ３２０、３２１が、ベース部材２０１’内に位置しながらも、駆動部２５１’、２５２’は、エンドエフェクタ２１０Ｅ～２１３Ｅの着座平面と略平行であるプーリを有する駆動システムを含んでもよい。図７Ａを参照して駆動部２５１’が説明されるが、駆動部２５２’は、駆動部２５１’に実質的に類似であることが理解されるべきである。駆動部２５１’は、任意の適切なサイズ、形状、および／または構成を有してもよいフレーム２５１Ｆ’を含む。フレーム２５１Ｆ’は、例示目的のために、平坦な面として図示されているが、他の態様では、駆動伝達部によって発生するあらゆる粒子の、アームが動作する環境への進入を実質的に防止するようにカバーが構成されるように、フレーム２５１Ｆ’は、駆動伝達部を収容するための任意の適切なカバーを含んでもよい。フレーム２５１Ｆ’は、それぞれのベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂが移動可能に取り付けられる移送ユニットモジュール１０４、１０４Ａに関して既に説明されたものに類似の任意の適切なレールまたはガイド部材を含んでもよい。各駆動モータ３２０、３２１は、上記のものと実質的に類似であってもよいそれぞれのベルトまたはバンド７４０、７４１を駆動するために、それぞれの駆動プーリ７３３Ａ、７３３Ｂに連結された駆動シャフトを含んでもよい。理解できるように、それぞれのアーム２１０、２１１を上記の方法で駆動するために、ベルトまたはバンドがベース部材に固定連結または固定定着されるように、任意の適切なアイドラプーリ７３４Ａ、７３４Ｂ、７３５Ａ、７３５Ｂが、それぞれのベース部材２１０Ｂ、２１１Ｂに隣接するベルトまたはバンド７４０、７４１を方向付けするために、フレーム２５１Ｆ’に設けられ、取り付けられてもよい。理解できるように、モータが、駆動セクション２００と共に、共通の雰囲気環境内に位置するように、ベース部材２０１’は、カバー２５０Ｃなどを用いて、適切に密封されてもよい。図７Ａに、２つの駆動部が、ベース部材２０１’に取り付けられて示されているが、他の態様では、２つより多いまたは２つより少ない駆動部が、ベース部材２０１’に取り付けられてもよい。たとえば、図７Ｃは、ベース部２０１’に取り付けられた２つのアームを有する単一の駆動部を図示している。理解できるように、図７Ｃに図示される単一の駆動部は、上記のものに実質的に類似の３軸駆動装置であってもよい。ある態様では、３軸駆動装置の１つの駆動軸は、アーム２１０の伸長／収縮を駆動するために、プーリに連結されてもよく、３軸駆動装置の１つの駆動軸は、アーム２１０、２１１を一体として回転させるために、フレーム２５１Ｆ’に連結されてもよく、３軸駆動装置の１つの駆動軸は、アーム２１１の伸長／収縮を駆動するために、プーリに連結されてもよい。
【0030】
次に図８Ａ～９Ｄを参照すると、移送ユニットモジュール１０４Ｄが、開示される実施形態の態様に従って、図示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｄは、上記の移送ユニットモジュール１０４に実質的に類似であってもよい。この態様では、駆動部８００、８０１は、アームを線形スライドさせる単一のステージを有して構成される。この態様では、各駆動部８００、８０１は、密封されたモータセクション８６０および伝達セクション８５３を有するフレーム８５１、８５２を含む。駆動部８００、８０１が駆動部８０１に関して説明されるが、駆動部８００は実質的に類似であり、図８Ａに示されるように手もとが反対であってもよいことが理解されるべきである。密封されたモータセクション８６０は、フレーム８５１に固定されて取り付けられ、モータ３２０、３２１を収容するように構成されたハウジングまたはカバー８５１Ｃ１を含んでもよい。駆動セクション２００内の雰囲気環境に共通の雰囲気環境内にモータ３２０、３２１が配置されるように、ハウジング８５１Ｃ１は、任意の適切な密封部材８６０Ｓを用いて、フレームに対し密封されてもよい。上記のものと実質的に類似の方法で、ハウジング８５１Ｃ１は、上記のものなどの任意の適切な方法で、密封された支持部材５６０にハウジング８５１Ｃ１を取り付けるように構成されたアパーチャまたは開口部８５１Ｍを含んでもよい。理解できるように、ハウジング８５１Ｃ１は、任意の適切な材料で構築されてもよく、フレーム８５１、駆動装置の構成要素、アーム８１２、８１３、およびアーム８１２、８１３によって保持される任意のワークピースを（たとえば、密封された支持部材５６０に連結されたときに）支持するように構成されてもよい。たとえば、それぞれのモータ３２０、３２１の磁性流体シール３２０Ｓが、密封されたモータセクション８６０内の密封された雰囲気を維持するために、駆動シャフト３７０が通って延在する、フレーム８５１内のそれぞれの開口部９７３、９７４を封止するように、モータ３２０、３２１は、任意の適切な方法で、フレーム２５１に取り付けられてもよい。
【0031】
少なくとも１つのアーム８１２、８１３の独立した駆動軸の自由度を画定するように、１つまたは複数の線形レールまたはガイド部材９３０、９３１が、任意の適切な方法で、伝達セクション８５３内のフレーム８５１に取り付けられてもよい。この態様では、Ｘ軸、またはアーム８１２、８１３の伸長／収縮の軸Ｒに沿って配置された２つのガイドレール９３０、９３１があるが、他の態様では、任意の適切な数のアームをガイドするために、任意の適切な数のレールが設けられてもよい。キャリアまたはアーム支持部９４０、９４１は、レールによって支持され、Ｘ軸に沿って（たとえば、伸長／収縮の軸Ｒに沿って）移動可能であるように、それぞれのレールに取り付けられてもよい。この態様では、キャリア９４０は、ガイドレール９３０に移動可能に取り付けられ、キャリア９４１は、ガイドレール９３１に移動可能に取り付けられる。各キャリアは、それぞれのアーム８１２、８１３が固定取り付けされるアーム取付け部９４０Ｍ、９４１Ｍを含んでもよい。キャリア９４０、９４１は、１つのキャリア９４０、９４１が伸長／収縮の軸Ｒに沿ってキャリア９４０、９４１のもう１つの近傍を通ることができるように、任意の適切な方法で構成されてもよい。任意の適切な駆動伝達部を介して、キャリア９４０は、モータ３２０に連結されてもよく、キャリア９４１は、モータ３２１に連結されてもよい（またはその逆であってもよい）。ある態様では、駆動プーリ９２１は、シャフト３７０が回転すると駆動プーリ９２１が共に回転するように、モータ３２０のシャフト３７０に連結されてもよい。アイドラプーリ９１０Ａ、９１０Ｂは、実質的に、ガイドレール９３０、９３１の対向する端部に配置されてもよく、１つまたは複数のベルトまたはバンドが、少なくとも部分的に、アイドラプーリ９１０Ａ、９１０Ｂの周りに巻き付くように構成されてもよい。図９Ｅおよび９Ｆも参照すると、（たとえば、上記のものに実質的に類似の）１つまたは複数のベルトまたはバンド９４０Ｂ１、９４０Ｂ２が、駆動プーリ９２０、９２１をそれぞれのキャリア９４０、９４１に連結させてもよい。たとえば、駆動プーリ９２１およびキャリア９４０に関して言うと、第１のバンド／ベルト９４０Ｂ１は、第１のバンド／ベルト９４０Ｂ１の一方の端部ＢＥ１で、プーリ９２１に固定連結されてもよい。バンド／ベルト９４０Ｂ１は、バンド／ベルト９４０Ｂ１の他方の端部ＢＥ２がキャリア９４０に固定連結されるように、少なくとも部分的にアイドラプーリ９１０Ａに巻き付き、キャリア９４０へと延びてもよい。第２のバンド／ベルト９４０Ｂ２は、バンド／ベルト９４０Ｂ２の一方の端部ＢＥ３で、プーリ９２１に固定連結されてもよい。バンド／ベルト９４０Ｂ２は、バンド／ベルト９４０Ｂ２の他方の端部ＢＥ４がキャリア９４０に固定連結されるように、少なくとも部分的にアイドラプーリ９１０Ｂに巻き付き、（たとえば、第１および第２のバンド／ベルト９４０Ｂ１、９４０Ｂ２のうちの一方がキャリア上で押す間、第１および第２のバンド／ベルト９４０Ｂ１、９４０Ｂ２のうちの他方がキャリア上で引くように、第１のバンド／ベルト９４０Ｂ１のものとは反対の方向から）キャリア９４０へと延びてもよい。同様に、キャリア９４１に関して、第１のバンド／ベルト９４０Ｂ１は、バンド／ベルト９４０Ｂ１の一方の端部で、プーリ９２０に固定連結されてもよい。バンド／ベルト９４１Ｂ１は、バンド／ベルト９４１Ｂ１の他方の端部がキャリア９４１に固定連結されるように、少なくとも部分的にアイドラプーリ９１０Ａに巻き付き、キャリア９４１へと延びてもよい。第２のバンド／ベルト９４１Ｂ２は、バンド／ベルト９４０Ｂ２の一方の端部で、プーリ９２０に固定連結されてもよい。バンド／ベルト９４１Ｂ２は、バンド／ベルト９４１Ｂ２の他方の端部がキャリア９４１に固定連結されるように、少なくとも部分的にアイドラプーリ９１０Ｂに巻き付き、（たとえば、第１および第２のバンド／ベルト９４１Ｂ１、９４１Ｂ２のうちの一方がキャリア上で押す間、第１および第２のバンド／ベルト９４１Ｂ１、９４１Ｂ２のうちの他方がキャリア上で引くように、第１のバンド／ベルト９４１Ｂ１のものとは反対の方向から）キャリア９４１へと延びてもよい。
【0032】
ある態様では、伝達セクション８５３は、アーム８１２、８１３が動作する雰囲気に曝露されてもよいが、ベルト／バンド、プーリ、および／またはキャリア／レールによって発生するあらゆる粒子が、環境内へ進入することを実質的に防止し、アーム８１２、８１３に保持されるワークピースに接触することを実質的に防止するための、１つまたは複数のカバーを含んでもよい。ある態様では、カバー８５１Ｃ３が、駆動プーリ９２０、９２１の少なくとも一部の上方など、伝達セクション８５３の少なくとも一部の上方に配置されてもよい。カバー８５１Ｃ３は、ガイドレール９３０、９３１に隣接して配置される密封部９９８を含んでもよい。カバー８５１Ｃ２は、ガイドレール９３０、９３１の上方に設置されてもよく、キャリア９４０、９４１が、それぞれのガイドレール９３０、９３１を横断することを可能にするように構成されてもよい。カバー８５１Ｃ２は、密封部９９７および９９８が互いに向かって延びるような密封部９９７を含んでもよい。ある態様では、キャリア９４０、９４１のアーム取り付け部９４０Ｍ、９４１Ｍが、それぞれのアーム８１２、８１３との接続のために、空間または開口部９０１を通って延びるように、および、それぞれのアーム８１２、８１３が上下に積み重ねられて配置されるように、空間または開口部９０１が、密封部９９７、９９８の間に設けられてもよい。密封部９９７、９９８は、アーム８１２、８１３の伸長／収縮を可能にしながらも、カバー８５１Ｃ２、８５１Ｃ３内でどのような粒子も実質的に封じ込めるために、ラビリンスシールを形成してもよい。
【0033】
他の態様では、キャリアの１つまたは複数が、上記のものなどの任意の適切なリニアモータによって実質的に直接駆動されてもよい。たとえば、ある態様では、共通の雰囲気環境が、密封されたモータ部８６０に関して上述されたものと実質的に類似の方法で、伝達セクション８５３と駆動セクション２００との間で共有されるように、伝達セクション８５３は、アーム８１２、８１３が動作する雰囲気から密封されてもよい。ガイドレール９３０、９３１は、伝達セクションの外側に配置されてもよく、キャリア９４０、９４１、および密封部９９７、９９８を含むカバーを含んでもよい。各キャリアは、たとえば、その開示内容の全てが、参照により既に本明細書に組み込まれている、米国特許第７，９０１，５３９号明細書、米国特許第８，２９３，０６６号明細書、米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および米国特許出願第１３／２８６，１８６号明細書に記載されたものと実施的に類似の方法で、磁気駆動部によって、磁気従動部と磁気駆動部との間の磁気連結を介し、たとえば、伝達セクション８５３の壁またはカバーを通って、磁気駆動される、各キャリアに取り付けられた磁気従動部を有してもよい。別の態様では、たとえば、その開示内容の全てが、参照により既に本明細書に組み込まれている、米国特許第７，５７５，４０６号明細書、米国特許第７，９５９，３９５号明細書、および米国特許出願第１３／１５９，０３４号明細書に記載されたものと実質的に類似の方法で、キャリア９４０、９４１のそれぞれは、伝達セクション８５３の密封された雰囲気環境内に配置されるモータ巻線の線形アレイによって駆動される磁気プラテンを含んでもよい。
【0034】
ある態様では、各アーム８１０～８１３は、実質的に剛性のあるアーム部またはエンドエフェクタ伸長部材８１０ＥＭ～８１３ＥＭによって、それぞれのキャリア９４０、９４１に連結されるエンドエフェクタ８１０Ｅ～８１３Ｅを含む。たとえば、実質的に剛性のあるアーム部８１０ＥＭ～８１３ＥＭは、機械的留め具などの任意の適切な方法で、それぞれのキャリア９４０、９４１のそれぞれのアーム取り付け部９４０Ｍ、９４１Ｍに固定連結されてもよい。エンドエフェクタ８１０Ｅ～８１３Ｅは、機械的留め具などの任意の適切な方法で、それぞれの実質的に剛性のあるアーム部８１０ＥＭ～８１３ＥＭに固定連結されてもよい。他の態様では、実質的に剛性のあるアーム部８１０ＥＭ～８１３ＥＭ、およびそれぞれのエンドエフェクタ８１０Ｅ～８１３Ｅは、単一の一体式構造を有してもよい。さらに他の態様では、実質的に剛性のあるアーム部８１０ＥＭ～８１３ＥＭ、それぞれのエンドエフェクタ８１０Ｅ～８１３Ｅ、およびそれぞれのキャリアは、単一の一体式構造を有してもよい。
【0035】
上記の説明に見られるように、各エンドエフェクタ８１０Ｅ～８１３Ｅは、それぞれの伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２に沿って、独立して伸長／収縮可能である。また、上記の説明に見られるように、上記のものと実質的に類似の方法による、ワークピースの自動中央揃えのため、および／または、たとえば、移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節のため、伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２の間の互いに対する距離Ｄを変化させるために、または１つまたは複数の伸長／収縮の軸の、共通回転軸ＣＡＸ（図５Ａ参照）に対する距離Ｄ１、Ｄ２を変化させるために、各駆動部８００、８０１は、駆動部８００、８０１のもう一方から独立して、Ｙ軸に沿って移動可能であってもよい。図１０Ａおよび１０Ｂを参照すると、ある態様では、駆動部８００、８０１の一方は、他方の駆動部８００、８０１および／または共通軸ＣＡＸに対し、Ｙ軸に沿って移動可能であってもよいが、他方の駆動部８００、８０１は、共通軸ＣＡＸに対し、固定の距離Ｄ１、Ｄ２を有し、Ｙ軸に沿って移動可能ではない。たとえば、駆動部８００は、ベース部材５５０内に配置される駆動装置５１０によってＹ軸に沿って移動可能になるように、密封された支持部材５６０によって、ベース部材５５０に移動可能に取り付けられてもよい。駆動部８０１は、固定支持部材１０００によって、ベース部材５５０に固定されて取り付けられてもよく、固定支持部材が、少なくとも密封されたモータ部８６０と、駆動セクション２００との間における雰囲気の連通を可能にするように構成されている。
【0036】
次に図１１Ａおよび１１Ｂを参照すると、伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２の間の角度βを変化させるため、ならびに、ワークピースの自動中央揃えを可能にするため、および／または、たとえば、移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節を可能にするため、駆動部８００、８０１’のうちの１つまたは複数は、駆動部８００、８０１’の別の１つに対し、枢動可能である。たとえば、上記の１つまたは複数の移送ユニットモジュールに実質的に類似であってもよい移送ユニットモジュール１０４Ｅは、ベース部材５５０に類似のベース部材１１５０を含んでもよい。この態様では、ベース部材１１５０は、たとえば、固定支持部材１０００などの任意の適切な方法で、駆動部８００に連結するように構成されてもよい。ベース部材１１５０は、（上記の駆動部８０１に実質的に類似の）駆動部８０１’と連結するように構成されてもよい。ここでは、ベース部材は、（上記の駆動装置２８０、３２０、３２１、６１０、６２０のうちの１つまたは複数に実質的に類似であってもよい）任意の適切な駆動装置１１００を含んでもよい。角度βを変化させるために、駆動部８０１およびアーム８１２、８１３が、共通軸Ｘ１の周りで、矢印Ｔ２の方向に枢動可能であるように、駆動シャフト１１００Ｄは、（上記のハウジング８５１Ｃ１に実質的に類似の）ハウジング８５１Ｃ１’に連結するために、ベース部材１１５０の壁を通って延在してもよい。理解できるように、駆動部８００に保持される１つまたは複数のワークピースは、たとえば、両方の駆動部を一体として軸ＣＡＸの周りで回転させることによって中央に揃えられてもよく、一方で、駆動部８０１’に保持される１つまたは複数のワークピースは、駆動部８００’を軸Ｘ１の周りで回転させることによって中央に揃えられてもよい。
【0037】
図１１Ｃに見られるように、ある態様では、角度βを変化させるために、各駆動部が、それぞれの駆動装置１１００によって、それぞれの軸Ｘ１、Ｘ２の周りをそれぞれの方向Ｔ１、Ｔ２に枢動するように構成されるように、（駆動部８０１’に実質的に類似である）駆動部８００’および駆動部８０１’の両方は、（ベース部材１１５０に実質的に類似である）ベース部材１１５０’に枢動可能に取り付けられてもよい。ここで、ワークピースの自動中央揃え、および／または、たとえば、移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節が、各駆動部８００’、８０１’を任意の所定の量で回転させることによって実行されてもよい。ある態様では、両方の駆動部が一体として、軸ＣＡＸの周りで回転されてもよいが、一方では、１つまたは複数の駆動部８００’、８０１’をそれぞれの軸Ｘ１、Ｘ２の周りで回転させることによって、駆動部８００’、８０１’に保持される１つまたは複数のワークピースが中央に揃えられてもよい。
【0038】
さらに他の態様では、１つまたは複数の駆動部８００、８０１の回転と併せて、１つまたは複数のアーム８１０～８１３のＹ軸に沿った移動も提供されてもよい。図１１Ｄを参照すると、たとえば、ベース部材は、Ｙ軸に沿って移動可能となるように、密封された支持部材５６０を介してハウジング８５１Ｃ１と連結するように構成されている。他の態様では、ハウジング８５１Ｃ１は、固定支持部材１０００によって、ベース部材１１５０に連結されてもよい。図１１Ａ～１１Ｃに関して既に説明されたものに実質的に類似の方法で、（ハウジング８５１Ｃ１’に実質的に類似であってもよい）枢動ハウジング１１３０は、ベース部材１１５０に枢動可能に連結されてもよい。ハウジング１１３０は、密封された支持部材５６１が連結されるアパーチャを有してもよく、ベース部材５５０に関して既に説明されたものと実質的に類似の方法で、リニアドライブモータ１１１０を含んでもよい。駆動部８０１は、上記のものに実質的に類似の方法で、ハウジング８５１Ｃ１によって、密封された支持部材８６１に連結されてもよい。他の態様では、駆動部８００、８０１の両方が、任意の適切な方法で、枢動ハウジング１１３０に取り付けられてもよい。
【0039】
次に図１２Ａおよび１２Ｂを参照すると、ある態様では、角度βを変化させるために、ならびに、ワークピースの自動中央揃えを可能にするために、および／または、たとえば、移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節を可能にするために、１つまたは複数の駆動部８００、８０１が、共通軸ＣＡＸの周りで枢動され得るように、駆動部８００、８０１の密封された駆動部ハウジング１２５０、１２５１のうちの１つまたは複数が、共通軸ＣＡＸの周りで回転可能に駆動セクション２００に連結されるように構成されてもよい。たとえば、駆動シャフト２８０Ｓが回転すると、ハウジング１２５１が駆動シャフト２８０Ｓと共に回転するように、（上記のハウジング８５１Ｃ１に実質的に類似であってもよい）ハウジング１２５１が、駆動部２００の駆動シャフト２８０Ｓに実質的に直接連結されてもよい。（上記のハウジング８５１Ｃ１に実質的に類似であってもよい）ハウジング１２５０は、共通軸ＣＡＸの周りで回転可能にハウジング１２５１に取り付けられてもよい。たとえば、（上記の２８０、３２０、３２１、６１０、６２０などの）任意の適切な駆動装置１２００がハウジング１２５１内に配置されてもよい。ハウジング１２５１は、駆動シャフト１２００Ｓが通って延在するアパーチャを含んでもよく、ハウジング１２５０は、駆動シャフト１２００Ｓが連結されるアパーチャを含んでもよい。理解できるように、ハウジング１２５０、１２５１および駆動セクション２００内の密封された雰囲気環境を維持するために、（上記のものなどの）任意の適切な密封部が、駆動装置１２００とハウジング１２５１との間、および駆動シャフト１２００Ｓとハウジング１２５０との間で、駆動シャフトの周りに配置されてもよい。ある態様では、任意の適切な軸受１２００Ｂが、ハウジング１２５０、１２５１の間に設けられてもよいが、他の態様では、ハウジング１２５０が、駆動シャフト１２００Ｓおよび駆動装置１２００とハウジング１２５１との間の連結によって支持されるように、軸受は含まれなくてもよい。ここでは、角度βを変化させるために、共通軸ＣＡＸの周りで、駆動部が、任意の適切な方法で互いに対して枢動され得るように、駆動装置２８０および１２００は、独立して動作可能であってもよい。他の態様では、駆動部８００、８０１のうちの１つまたは複数が、Ｙ軸に沿って移動可能であってもよい。たとえば、図１２Ｃを参照すると、駆動部８００のハウジング８５１Ｃ１が、図１１Ｄに関して既に説明されたものと実質的に類似の方法で、密封された支持部材５６０によって枢動ハウジング１２２０に連結されるように、（枢動ハウジング１１３０に実質的に類似であってもよい）枢動ハウジング１２２０が設けられてもよい。１つまたは複数の枢動ハウジング１２２０および／またはハウジング１２５０、１２５１の回転は、角度βの調節を可能にし、一方で、１つまたは複数の駆動部８００、８０１のＹ軸に沿った移動は、ワークピースの自動中央揃えのために、および／または、たとえば、移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの面と面との間におけるワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの配置の独立した調節のために、伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２と共通軸ＣＡＸとの間の距離Ｄ１、Ｄ２の調節を可能にする。
【0040】
図１１Ａ～１２Ｃを参照すると、ある態様では、任意の適切な数の制御装置１１０Ａ、１１０Ｂが、本明細書において説明される移送ユニットモジュール内に配置されてもよい。ある態様では、移送ユニットモジュール内に、１つまたは複数の駆動装置のための制御装置があってもよい。これらの制御装置１１０Ａ、１１０Ｂは、制御装置１１０、または他の任意の適切な制御装置に接続されてもよい。上記のように、ある態様では、制御装置１１０Ａ、１１０Ｂは、クラスタ化された制御アーキテクチャの一部であってもよいが、他の態様では、制御装置は、任意の適切なアーキテクチャを有してもよい。ある態様では、１つまたは複数のエンドエフェクタの線形および回転運動のうちの１つまたは複数を生じさせるために、本明細書において説明される移送ユニットモジュールのうちのいずれか１つまたは複数が、移送ユニットモジュール内に、任意の適切な数の制御装置を含むことが理解されるべきである。
【0041】
図１３を参照すると、移送ユニットモジュール１０４Ｆが、開示される実施形態の態様に従って図示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｆは、上記の移送ユニットモジュール１０４と実質的に類似であってもよい。この態様では、二重ウェハ伸長部またはエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１は、本明細書において説明される搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅなどの、リニア駆動装置のチャンバの内側に位置し、（ある態様では、上記のようなＺ軸駆動装置２７０および回転駆動セクション２８２のうちの１つまたは複数を収容するフレーム２００Ｆを含む）駆動セクション２００は、上記の理由のため、移送チャンバ３０１の外部に位置決めされている。
【0042】
図１４を参照すると、開示される実施形態の態様による例示的な単一リニア駆動装置１３４００の概略図が示されている。ある態様では、アーム１０４Ｅの上部エンドエフェクタ１３３１０および下部エンドエフェクタ１３３１１は、それぞれの単一リニア駆動装置１３４００によってそれぞれ駆動されて、各エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１の独立した伸長および収縮をもたらす。他の態様では、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１は、任意の適切な方法で、本明細書において説明されるものなどの任意の適切な駆動装置によって、伸長および収縮される。図１４に見られるように、各エンドエフェクタは、任意の適切な方法でエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１を支持するエンドエフェクタステージ１３４１１に接続されている。ある態様では、エンドエフェクタステージ１３４１１は、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１のそれぞれの一部を形成し、エンドエフェクタステージが、エンドエフェクタと共に一体的に成形されるが、他の態様では、エンドエフェクタステージは、任意の適切な方法で、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１に連結される。ある態様では、単一リニア駆動装置１３４００は、（エンドエフェクタステージおよび中間ステージの両方の二重の線形伸長が、単一または１自由度の駆動装置によってもたらされる）関節機構であり、それにより、エンドエフェクタステージ１３４１１の運動が、任意の適切な伝達部によって、中間ステージ１３４１０の運動の２倍に増幅され、中間ステージ１３４１０が、エンドエフェクタステージ１３４１１（それゆえエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１）を、以下において説明されるテーブルプレートまたはアームベース部材１３４２３に接続する。理解できるように、他の態様では、エンドエフェクタステージの運動は、中間ステージ１３４１０に対し、任意の適切な量（たとえば２倍よりも多い量）に増幅されるか、または１対１の比率で伸長される。ある態様では、任意の適切な方法で、たとえば中間ステージ１３４１０の対向する端部に取り付けられた２つのプーリ１３４２４、１３４２５の間に延びるベルト１３４２０により、中間ステージ１３４１０を移動させることによって増幅が達成される。他の態様では、プーリ１３４２４、１３４２５は、中間ステージ１３４１０の任意の適切なそれぞれの場所で取り付けられる。この関節設計は、それぞれＸおよびＲの座標で表わされる、中間ステージ１３４１０の運動と、エンドエフェクタステージ１３４１１の運動との間で、１対２の伸長／収縮の比をもたらす。ある態様では、中間ステージ１３４１０は、任意の適切なリニアモータによって駆動される。たとえば、リニアモータ１４０００は、駆動部またはステータ１３４２１および駆動部１３４２２を含む。少なくとも、リニアモータ１４０００の駆動部１３４２２は、中間ステージ１３４１０に取り付けられ、したがって、中間ステージ１３４１０と共に移動する。中間ステージ１３４１０は、たとえば、テーブルプレート１３４２３に取り付けられる中間リニアベアリング１３４０１などの任意の適切なリニアベアリング上をテーブルプレート１３４２３に沿って滑走する。中間ステージ１３４１０に取り付けられたエンドエフェクタ用リニアベアリング１３４０２が、エンドエフェクタステージ１３４１１に関節運動を与える。エンドエフェクタ用ベアリング１３４０２は、１つまたは複数のベアリングブロック１３４０２Ｂおよびレール１３４０２Ｒを含み、１つまたは複数のベアリングブロック１３４０２Ｂは、レール１３４０２Ｒに沿って走る。ある態様では、エンドエフェクタ用ベアリング１３４０２は、２つのベアリングブロック１３４０２Ｂを含むが、他の態様では、エンドエフェクタ用ベアリング１３４０２は、３つ以上のベアリングブロック１３４０２Ｂを含む。理解できるように、エンドエフェクタ用ベアリング１３４０２は、中間リニアベアリング１３４０１に実質的に類似である。エンドエフェクタの伸長／収縮の運動制御のための位置フィードバックを提供するために、任意の適切な数の線形エンコーダ１５０００が、１つまたは複数の中間ステージ１３４１０およびエンドエフェクタステージ１３４１１に取り付けられてもよい。
【0043】
次に図１６Ａ～１６Ｃを参照すると、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’が、開示される実施形態の態様に従って、伸長構成および収縮構成で図示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｆ’は、上記の移送ユニットモジュール１０４Ｆに実質的に類似であり、移送ユニットモジュール１０４に関して説明されたものに実質的に類似の方法で、本明細書において説明される搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅのうちのいずれか１つまたは複数に使用される。ここでは、例示目的のみのために、１つのエンドエフェクタ１３３１０が図示されており、他の態様では、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’は、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１などの任意の適切な数のエンドエフェクタを含むことが理解されるべきである。ある態様では、同等でない長さのリンクまたは部材を有する伸長アームを形成するように、エンドエフェクタステージ１３４１１、および（本明細書において、例示目的のためエンドエフェクタ１３３１０と呼称される）エンドエフェクタ１３３１０は、合わせると、中間ステージ１３４１０の長さよりも大きい長さを有する。別の態様では、同等の長さのリンクまたは部材を有する伸長アームを形成するように、エンドエフェクタ１３３１０は、中間ステージ１３４１０の長さと略同等の長さを有する。この態様では、軸ＣＡＸが実質的にテーブルプレート１３４２３の中心点に位置するように、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’の回転の中心が、ある態様では駆動セクション２００の回転の軸である軸ＣＡＸと実質的に一致する。
【0044】
次に図１７Ａ～１７Ｃを参照すると、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’が、開示される実施形態の態様に従って、伸長構成および収縮構成で図示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’は、上記の移送ユニットモジュール１０４Ｆに実質的に類似であり、移送ユニットモジュール１０４に関して説明されたものに実質的に類似の方法で、本明細書において説明される搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅのうちのいずれか１つまたは複数に使用される。ここでは、例示目的のみのために、１つのエンドエフェクタ１３３１０が図示されており、他の態様では、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’は、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１などの任意の適切な数のエンドエフェクタを含むことが理解されるべきである。ある態様では、同等でない長さのリンクまたは部材を有する伸長アームを形成するように、エンドエフェクタステージ１３４１１、および（本明細書において、例示目的のためエンドエフェクタ１３３１０と呼称される）エンドエフェクタ１３３１０は、合わせると、中間ステージ１３４１０の長さよいも大きい長さを有する。別の態様では、同等の長さのリンクまたは部材を有する伸長アームを形成するように、エンドエフェクタ１３３１０は、中間ステージ１３４１０の長さと略同等の長さを有する。この態様では、軸ＣＡＸがテーブルプレート１３４２３の端部に位置する（たとえば、軸ＣＡＸが、テーブルプレート１３４２３の中心点からずれる）ように、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’の回転の中心が、ある態様では駆動セクション２００の回転の軸である軸ＣＡＸと実質的に一致する。
【0045】
次に図１８を参照すると、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’’が、開示される実施形態の態様に従って、伸長構成および収縮構成で図示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’’は、上記の移送ユニットモジュール１０４Ｆに実質的に類似であり、移送ユニットモジュール１０４に関して説明されたものに実質的に類似の方法で、たとえば、本明細書において説明される搬送チャンバ１２５Ａ（またはチャンバの面が多角形の構成を有する任意の適切な移送チャンバ）に使用される。ここでは、テーブルプレート１３４２３上に配置された複数のアームのうちの少なくとも２つアームの伸長および収縮の軸が互いに対して角度をなし、複数のアームうちの少なくとも２つのアームのエンドエフェクタ着座平面ＳＰが実質的に同一平面上であるように、テーブルプレート１３４２３は、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’’の肩部の回転の主軸（たとえば軸ＣＡＸ）から離れるように伸長する略「Ｕ」または「Ｖ」形状を有する、実質的に剛性を有するリンクである。ある態様では、少なくとも１つのアームが、実質的に、アームベース部材の対向する各端部に取り付けられる。この態様では、テーブルプレート１３４２３は、第１および第２の部分１３４２３Ａ、１３４２３Ｂに取り付けられたエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１が、隣接する処理モジュール１３０にアクセスするのを可能にする任意の適切な角度αだけ、軸ＣＡＸの周りで互いに対して角度を有する第１の部分１３４２３Ａおよび第２の部分１３４２３Ｂを含む（たとえば、第１の部分に取り付けられた１つまたは複数のエンドエフェクタの伸長／収縮の軸Ｒ、および第２の部分に取り付けられた１つまたは複数のエンドエフェクタの伸長／収縮の軸Ｒが、互いに対して角度αをなす）。ある態様では、第１および第２の部分１３４２３Ａ、１３４２３Ｂの間の角度αは調節可能であるが、他の態様では、角度αは固定され、変更できない。ここでは、例示目的のみのために、エンドエフェクタ１３３１０は、部分１３４２３Ａに取り付けられ、一方で、エンドエフェクタ１３３１１が、部分１３４２３Ｂに取り付けられて図示されているが、他の態様では、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’’は、第１および第２の部分１３４２３Ａ、１３４２３Ｂのそれぞれの上に、上下に積み重なった任意の適切な数のエンドエフェクタを含むことが理解されるべきである。ある態様では、同等でない長さのリンクまたは部材を有する伸長アームを形成するように、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１は、中間ステージ１３４１０の長さより大きい長さを有する。別の態様では、同等の長さのリンクまたは部材を有する伸長アームを形成するように、エンドエフェクタ１３３１０は、中間ステージ１３４１０の長さと略同等の長さを有する。
【0046】
次に図１９を参照すると、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’’’が図示され、移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’’’は、上記の移送ユニットモジュール１０４Ｆ’’’に実質的に類似している。しかし、この態様では、第１の部分に取り付けられた１つまたは複数のエンドエフェクタの伸長／収縮の軸Ｒ、および第２の部分に取り付けられた１つまたは複数のエンドエフェクタの伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２が、実質的に互いに平行であり、（テーブルプレート１３４２３の対向する端部にある）第１および第２の部分１３４２３Ａ、１３４２３Ｂに取り付けられたエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１が隣り合う処理モジュール１３０にアクセスするように、テーブルプレート１３４２３は構成される。ある態様では、第１の部分１３４２３Ａ上の少なくとも１つのアームのエンドエフェクタ着座平面ＳＰは、第２の部分１３４２３Ｂ上の少なくとも１つのアームのエンドエフェクタ着座平面ＳＰと、実質的に同一平面上である。ここでは、軸Ｒ１、Ｒ２は、軸ＣＡＸから、それぞれの距離Ｄ１、Ｄ２で配置される（および、互いから距離βで位置する）。ある態様では、距離Ｄ１、Ｄ２のうちの１つまたは複数（それゆえ距離β）は、上記のものに実質的に類似の方法で調節可能である。他の態様では、第１および第２の部分１３４２３Ａ、１３４２３Ｂに取り付けられたエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１のうちの１つまたは複数は、上記のものに実質的に類似の方法で、それぞれの軸Ｘ１、Ｘ２の周りで、テーブルプレート１３４２３に対して回転可能である。さらに他の態様では、距離Ｄ１、Ｄ２のうちの１つまたは複数が、調節可能であり、第１および第２の部分１３４２３Ａ、１３４２３Ｂに取り付けられたエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１のうちの１つまたは複数が、上記のものに実質的に類似の方法で、テーブルプレート１３４２３に対して回転可能である。
【0047】
図２０および２１は、移送ユニットモジュール１０４Ｆ、１０４Ｆ’、１０４Ｆ’’、１０４Ｆ’’’、１０４Ｆ’’’’が、いかにブームアーム１４３に取り付けられるかの例を図示している。たとえば、移送ユニットモジュール１０４Ｆ、１０４Ｆ’、１０４Ｆ’’、１０４Ｆ’’’、１０４Ｆ’’’’のそれぞれは、移送ユニットモジュール１０４に関して既に説明されたものと実質的に類似の方法で、ブームアーム１４３に取り付けられてもよい。
【0048】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置は、フレームと、フレームに接続された複数のアームであって、それぞれのアームが、エンドエフェクタと、複数のアームのうちの他のアームに対する、それぞれのアームの伸長および収縮のための独立した駆動軸とを有する、複数のアームと、少なくとも１つのアームの伸長および収縮のための独立した駆動軸の自由度を画定する線形レールと、それぞれのアームによって共有され、共通枢動軸の周りで複数のアームを枢動させるように構成された共通駆動軸と、を備え、複数のアームのうちの少なくとも１つが、複数のアームのうちの他のアームに対する独立した自由度を画定する他の駆動軸を有する。
【0049】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、伸長および収縮のための軸に対して角度をなしている。
【0050】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、独立した自由度がエンドエフェクタの着座平面と同一平面上であるように構成される。
【0051】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、独立した自由度が他の独立した自由度に対し角度をなすように構成される。
【0052】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、独立した自由度が他の独立した自由度に対し平行であるように構成される。
【0053】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置が、複数のアームを共通軸の周りで一斉に移動させるように構成された第２の共通駆動軸をさらに備える。
【0054】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、他の駆動軸が、ワークピースの自動中央揃えをもたらす。
【0055】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、他の駆動軸が、ワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの設置の独立した調節をもたらす。
【0056】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームが、伸縮アームである。
【0057】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置が、フレームに接続されたアームベース部材を含み、複数のアームのうちの少なくとも２つのアームの伸長および収縮の軸が互いから離間するように、複数のアームのそれぞれが、アームベース部材に取り付けられている。
【0058】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームのうちの少なくとも２つアームの間の間隙が、調節可能である。
【0059】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置が、フレームに接続されたアームベース部材を含み、複数のアームのうちの少なくとも２つのアームの伸長および収縮の軸が互いに対し角度をなすように、複数のアームのそれぞれが、アームベース部材に取り付けられている。
【0060】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アームベース部材が、実質的にアームベース部材の対向する端部のそれぞれに取り付けられた複数のアームのうちの少なくとも１つを有する略Ｕ形状または略Ｖ形状を有する。
【0061】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームのうちの少なくとも２つのアームの間の角度が、調節可能である。
【0062】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置は、フレームと、フレームに接続された複数のアームであって、それぞれのアームが、エンドエフェクタと、ワークピースを搬送チャンバの内外に搬送するために、それぞれのアームの伸長および収縮のための独立した駆動軸とを有する、複数のアームと、エンドエフェクタの着座平面と同一平面上である、少なくとも１つのアームのための、他の自由度を画定する線形駆動軸と、それぞれのアームによって共有され、共通枢動軸の周りで複数のアームを枢動させるように構成された共通駆動軸と、を備え、複数のアームのうちの少なくとも１つが、複数のアームのうちの他のアームに対して独立した自由度を画定する他の駆動軸を有する。
【0063】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、伸長および収縮のための軸に対して角度をなしている。
【0064】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、独立した自由度がエンドエフェクタの着座平面と同一平面上であるように構成される。
【0065】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、独立した自由度が他の独立した自由度に対して角度をなすように構成される。
【0066】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度を画定する他の駆動軸が、独立した自由度が他の独立した自由度に対して平行であるように構成される。
【0067】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームを共通軸の周りで一斉に移動させるように構成された第２の共通駆動軸をさらに備える。
【0068】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度が、ワークピースの自動中央揃えをもたらす。
【0069】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した自由度が、ワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの設置の独立した調節をもたらす。
【0070】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームが、伸縮アームである。
【0071】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置が、フレームに接続されたアームベース部材を含み、複数のアームのうちの少なくとも２つのアームの伸長および収縮の軸が互いから離間するように、複数のアームのそれぞれが、アームベース部材に取り付けられている。
【0072】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームのうちの少なくとも２つアームの間の間隙が、調節可能である。
【0073】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置が、フレームに接続されたアームベース部材を含み、複数のアームのうちの少なくとも２つのアームの伸長および収縮の軸が互いに対し角度をなすように、複数のアームのそれぞれが、アームベース部材に取り付けられている。
【0074】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アームベース部材が、実質的にアームベース部材の対向する端部のそれぞれに取り付けられた複数のアームのうちの少なくとも１つを有する略Ｕ形状または略Ｖ形状を有する。
【0075】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームのうちの少なくとも２つアームの間の角度が、調節可能である。
【0076】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置は、チャンバ雰囲気を有する密封チャンバを形成するフレームと、フレームに接続され、密封チャンバ内に配置された複数のアームであって、それぞれのアームが、それぞれのアームを伸長および収縮させるための独立した駆動軸を有する、複数のアームと、密封チャンバの外部に配置され、複数のアームを共通軸の周りで移動させるために複数のアームに接続された第１の駆動セクションと、密封チャンバの内部に配置され、チャンバ雰囲気とは異なる密封雰囲気を保持するように構成された密封ハウジングを含む第２の駆動セクションと、を備え、密封ハウジングが、少なくとも１つのアームの第１の自由度のための第１の駆動軸を含む第１の密封部と、第１の密封部と密封連通し、少なくとも１つのアームの第２の自由度のための第２の駆動軸を含む第２の密封部とを有する。
【0077】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームの少なくとも１つが、それぞれのアームを伸長および収縮させるための駆動軸から独立した第２の自由度を含む。
【0078】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第２の自由度が、ワークピースの自動中央揃えをもたらす。
【0079】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第２の自由度が、ワークピース保持ステーションの位置変動に対するワークピースの設置の独立した調節をもたらす。
【0080】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、密封ハウジングが、密封ハウジング内に、そこを通して第２の密封部が第１の密封部と連通する開口部を含む。
【0081】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２の自由度のうちの少なくとも１つが、それぞれのアームの伸長および収縮の軸に対して角度をなしている。
【0082】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２の自由度のうちの少なくとも１つが、エンドエフェクタの着座平面と同一平面上である。
【0083】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２の自由度のうちの少なくとも１つが、他の独立した自由度に対して角度をなしている。
【0084】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２の自由度のうちの少なくとも１つが、他の独立した自由度に対して平行である。
【0085】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１の駆動セクションが、複数のアームを共通の回転軸の周りで一斉に回転させるように構成された共通回転駆動軸を含む。
【0086】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームが、伸縮アームである。
【0087】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置が、フレームに接続されたアームベース部材を含み、複数のアームのうちの少なくとも２つのアームの伸長および収縮の軸が互いから離間するように、複数のアームのそれぞれが、アームベース部材に取り付けられている。
【0088】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームのうちの少なくとも２つアームの間の間隙が、調節可能である。
【0089】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、移送装置が、フレームに接続されたアームベース部材を含み、複数のアームのうちの少なくとも２つのアームの伸長および収縮の軸が互いに対し角度をなすように、複数のアームのそれぞれが、アームベース部材に取り付けられている。
【0090】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アームベース部材が、実質的にアームベース部材の対向する端部のそれぞれに取り付けられた複数のアームのうちの少なくとも１つを有する略Ｕ形状または略Ｖ形状を有する。
【0091】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数のアームのうちの少なくとも２つアームの間の角度が、調節可能である。
【0092】
上記記載は、開示される実施形態の態様の例示にすぎないことが理解されるべきである。当業者によって、様々な代替例および修正例が、開示される実施形態の態様から逸脱することなく案出され得る。従って、開示される実施形態の態様は、添付の請求項の範囲に該当する、そのような代替例、修正例、および変形例のすべてを含むことを意図している。さらに、異なる特徴が、それぞれ異なる従属または独立請求項に詳述されるという一事実は、これらの特徴の組み合わせを有利に使用することができないということを意味せず、そのような組み合わせは、本発明の態様の範囲内に留まる。
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図1E】
【図1F】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図2G】
【図2H】
【図2I】
【図2J】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図3E】
【図3F】
【図3G】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図5E】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8A】
【図8B】
【図9A】
【図9B】
【図9C】
【図9D】
【図9E】
【図9F】
【図10A】
【図10B】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図11D】
【図12A】
【図12B】
【図12C】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16A】
【図16B】
【図16C】
【図17A】
【図17B】
【図17C】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】