特許 7273541出願番号特願 2019-37196
透過荷電粒子顕微鏡における動的試料の調査法および透過荷電粒子顕微鏡

出願人エフ　イー　アイ　カンパニ（識別番号 501233536）

2026年特許公開件数ランキング 630位 35件（※）

2026年特許取得件数ランキング 886位 18件（※）

公報発行日　2023年5月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7273541　ログイン済みの方はこのURLへ

［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。

※ 共同出願を含む

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。ログインはこちら ログイン・ユーザー登録

透過荷電粒子顕微鏡（ＴＣＰＭ）を使用して動的試料を検査する方法に関し、顕微鏡は、－荷電粒子ビームを生成するためのソースと、－試料を試料平面内に保持するための試料ホルダと、－ビームを試料に向けるための照明システムと、－試料を透過した荷電粒子を検出器平面の検出器に向けるための撮像システムと、を備える。

ここで、本発明は、例示的な実施形態および添付の（一定の比率ではない）概略図に基づいてより詳細に説明される。

【図1】本発明が実装されるＴＣＰＭの実施形態の縦断面図を描写する。

【図2A】本発明の第１の、図１の主題の一部の詳細斜視図を描写する。

【図2B】図１の試料の詳細平面図であり、図２Ａで利用される態様を描写する。

【図3】本発明の第２、図１の一部の詳細を示す。

【図4】本発明のさらに別の実施形態の一定の詳細を示す。

【図5】図４に示した構成に対する代替の設定を示す。

図面において、適切な場合、対応する部分は対応する参照記号を使用して示される。

３０’ サブ画像３０” 左向き矢印４０開口４０’ 開口４０” 破線４２ａ偏向電極４２ｂ偏向電極

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

［広告欄］

ログインすれば広告は減ります